SJ-T 11820-2022 半導(dǎo)體分立器件直流參數(shù)測試設(shè)備技術(shù)要求和測量方法

I1本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體分立器件直流參數(shù)測試設(shè)備(以下簡稱“分立器件測試設(shè)備”)的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、測量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直流電壓輸出和直流電壓測量范圃不超過0.01V~5000V,直流電流輸出和直流電流測量范圍不超過1nA~10A,脈沖里流輸出和脈沖電流制范圍不超過10A~1200A的分立器件測試設(shè)備。2規(guī)范性引用文件本文件沒有規(guī)成性引用文件3術(shù)語和定義下列材語知是義適用于文件直流參數(shù)、DCparameters在規(guī)定條件下表征半導(dǎo)體分立器件直流或脈沖電氣特性的參數(shù)。4技術(shù)要求4.1外觀要求分立器件測試設(shè)備外表不應(yīng)有劃傷、玷污等痕跡。分立器件測試設(shè)備外露件不能有影響工作性能的機(jī)械損害或脫落。分立器件測試設(shè)備面板不應(yīng)有影響讀數(shù)的缺陷，機(jī)殼或銘牌上應(yīng)標(biāo)有產(chǎn)品名稱、型號規(guī)則、出廠編號、生產(chǎn)廠家或商標(biāo)標(biāo)志。分立器件測試設(shè)備開關(guān)、按鍵應(yīng)靈活可靠，接插件接觸應(yīng)保持良好。分立器件測試設(shè)備高壓和大電流端應(yīng)有明顯標(biāo)志。分立器件測試設(shè)備供電電源標(biāo)志應(yīng)正確無誤。4.2.1輸出功能分立器件測試設(shè)備輸出功能應(yīng)包括直流電壓輸出、直流電流輸出、脈沖電流輸出等的一種或多種。4.2.2測量功能2表1電氣性能技術(shù)要求電氣性能1按4.3.3.12345678——濕度：(25～75)%RH;測量范圍：±(1～40)V。35.2.4脈沖分流器5.2.5電阻箱阻值范圍：0.1Ω~10GΩ。5.2.6高壓表直流電壓測量范圍：(1000～5000)V。5.2.7校驗(yàn)件最大允許誤差：±5%。重復(fù)性優(yōu)于0.3%。年穩(wěn)定性優(yōu)于0.3%。5.3測量方法5.3.1外觀測量方法a)按圖1連接測量系統(tǒng)，當(dāng)分立器件測試設(shè)備直流電壓不大于1000V時(shí)使用數(shù)字多用表，當(dāng)分立器件測試設(shè)備直流電壓大于1000V時(shí)使用高壓表；c)設(shè)置數(shù)字多用表或高壓表工作于直流電壓加壓測流模式的參數(shù)，直流電壓輸出設(shè)置為V,讀取數(shù)字多用表測量值加壓測流模式的參數(shù)，直流電壓輸出設(shè)置為V,讀取數(shù)字多用表測量值V?！獢?shù)字多用表(或高壓表)直流電壓測量值，單位為伏特(V);Y?——分立器件測試設(shè)備直流電壓輸出設(shè)置值，單位為伏特(V)。e)記錄直流電壓輸出相對誤差8v為直流電壓輸出誤差測量結(jié)果；4a)按圖2連接測量系統(tǒng)，當(dāng)分立器件測試設(shè)備直流電壓不大于1000V時(shí)使用數(shù)字多用表，當(dāng)分立器件測試設(shè)備直流電壓大于1000V時(shí)使用高壓表；nL.O-nL.O-c)根據(jù)分立器件測試設(shè)備帶載能力選擇電陽箱阻值，設(shè)置數(shù)字多用表(或高壓表)工作于直流表(或高壓表)測量值or,讀取分立器件測試設(shè)備直流壓測量值為V?;d)根據(jù)式(2)計(jì)算真流電壓測量誤差δvg;Vor數(shù)宇多用表(或高壓表)直流電壓測量值，單位為伏特(V:V?女分重器件試設(shè)備直流電壓團(tuán)讀值，單位為伏特(V)。e)記錄重流電壓測量相對誤差δw為直流電壓測量誤差測結(jié)果。5.3.3.3直流電流輸出誤差立c)設(shè)置數(shù)字多用表工作于直流電流測量功能，選擇分立器件測試設(shè)備測試參數(shù)為采用加流測壓模式的參數(shù)，直流電流輸出設(shè)置為1,讀取數(shù)字多用農(nóng)測量值Ld)根據(jù)式(3)計(jì)算直流電流輸出誤差L分立器件測試設(shè)備直流電流輸出設(shè)5.3.3.4直流電流測量誤差a)按圖4連接測量系統(tǒng)；5圖4直流電流測量測量框圖選擇分立器件測試設(shè)備測試參數(shù)為采用加壓測流模式的參數(shù)，根據(jù)分立力選擇電阻箱電阻值，讀取數(shù)字多用表測量值loe,分立IL?——分立器件測試設(shè)備直流電流測量值，單位為安培(A)。f)選取其他測量點(diǎn)，重復(fù)c)到e)。5.3.3.5脈沖電流輸出誤差a)脈沖電流輸出測量點(diǎn)應(yīng)均勻分布在所選定的量程范圍內(nèi)，不少于3個(gè)測量點(diǎn)，至少應(yīng)包括量分立器件分立器件oo選擇分立器件測試設(shè)備測試參數(shù)為采用加流(脈沖電流)測壓模式的參數(shù)，啟動(dòng)測量；d)記脈沖電流輸出設(shè)置值為Ip,讀取脈沖專用數(shù)字化儀脈沖電流測量值Iop,根據(jù)式(5)計(jì)算脈Iop——脈沖專用數(shù)字化儀脈沖電流測量值，單位為安培(A);Ip——分立器件測試設(shè)備脈沖電流輸出設(shè)置值，單位為安培(A)。5.3.3.6脈沖電流測量誤差a)脈沖電流測量測量點(diǎn)應(yīng)均勻分布在所選定的量程范圍內(nèi)，不少于3個(gè)測量點(diǎn)，至少應(yīng)包括量6b)根據(jù)脈沖電流測量測量點(diǎn)幅度與脈沖分流器電阻值乘積應(yīng)位于脈沖專用數(shù)字化儀測量范圍內(nèi)，根據(jù)測量點(diǎn)選擇合適的脈沖分流器，按圖6連接測量系統(tǒng)；根據(jù)測量點(diǎn)選擇合適的脈沖分流器，按圖6連接測量系統(tǒng)；脈沖圖6脈沖電流測量測量框圖c)設(shè)置脈沖專用數(shù)字化儀工作于單次脈沖電流幅值測量，設(shè)置量程覆蓋測量點(diǎn)，采樣率為1MSa/s,選擇分立器件測試設(shè)備測試參數(shù)為采用加壓測流模式的參數(shù)，啟動(dòng)測量；d)讀取脈沖專用數(shù)字化儀脈沖電流測量值分產(chǎn)器件測試設(shè)備脈沖電流顯示值為Ip,根據(jù)式IopR十途專用數(shù)字化儀脈沖電流測量值，單位為安增A);Ip分立器件測試設(shè)備脈沖電流顯示值，單位為安(A)。e)記錄脈沖電流測量相對誤δipk為脈沖電流測量誤差測量結(jié)果；f)選取其他測量點(diǎn)，重復(fù)b)到e)。5.3.3.7直流電阻誤差測量步驟如下：a)測量點(diǎn)應(yīng)覆蓋分立器件測試設(shè)備所配備自校準(zhǔn)盒全部標(biāo)能電阻阻值；b)按圖連接測量系統(tǒng)，測量點(diǎn)應(yīng)覆蓋目校準(zhǔn)盒給出標(biāo)準(zhǔn)電阻值，當(dāng)測量點(diǎn)≤1okp推薦使用四線連接線連接，其余測量點(diǎn)使用兩線圖7直流電阻測量框圖c)根據(jù)連線設(shè)置數(shù)字多用表工作于直流電阻測量兩線或四線功能記分立器件測試設(shè)備自校準(zhǔn)盒直流電阻標(biāo)稱值為A。讀取數(shù)字多用表面流電阻測量值R;d)根據(jù)式(7)計(jì)算直流電阻誤差δn:Ro數(shù)字多用表直流電阻測量值，單位為歐姆(Ω);R分立器件測試設(shè)備自