108manual離子濺射儀使用說(shuō)明

108manual離子濺射儀使用說(shuō)明108manual離子濺射儀使用說(shuō)明1/4108manual離子濺射儀使用說(shuō)明108auto離子濺射儀使用說(shuō)明操作界面系統(tǒng)安裝電源要求：220VAC，50HZ工作臺(tái)要求：長(zhǎng)120cm*寬100cm小心拆開(kāi)包裝箱，取出真空泵和濺射儀主機(jī)，并置于工作臺(tái)上，真空泵放在濺射儀主機(jī)的后面。在真空泵上安裝上油霧過(guò)濾器，并在進(jìn)油口倒入適量的真空泵油，確保真空泵油在觀察窗口的上線和下線之間（設(shè)備出廠時(shí)有可能已在真空泵中裝有適當(dāng)真空泵油）；小心將濺射儀主機(jī)上的濺射頭抬起，并盡量向后仰，確保濺射頭不會(huì)倒下。移走濺射頭保護(hù)墊，按上玻璃樣品室，再小心輕輕的放下濺射頭；用金屬真空管件連接真空泵和濺射儀主機(jī)，連接前在真空泵上先裝上真空管轉(zhuǎn)接頭，連接時(shí)每個(gè)接口都要墊上真空墊圈，連接后注意鎖緊接口，以防真空泄漏；用電源線將真空泵和濺射儀主機(jī)連接上，并將真空泵上的開(kāi)關(guān)打到開(kāi)的位置；接上濺射儀主機(jī)的電源線，并打開(kāi)濺射儀主機(jī)后面的進(jìn)氣口系統(tǒng)測(cè)試真空系統(tǒng)：檢查電壓是否合適，插上濺射儀主機(jī)電源關(guān)閉氣體控制閥打開(kāi)POWER（控制單元）讓泵暖機(jī)5MIN關(guān)掉POWER，拔出濺射頭上蓋的放氣閥放氣，放氣完后再放下閥再開(kāi)POWER，檢查0.1mb耗時(shí)，1.5分鐘左右為合適。運(yùn)行15MIN，檢查真空是否到0.01mb左右。關(guān)掉電源濺射單元：抽真空至0.05mb以下調(diào)節(jié)前面控制面板上的氣體控制閥，將壓力穩(wěn)定在0.08mb左右順時(shí)針旋轉(zhuǎn)主機(jī)后面的濺射電流控制旋鈕到底按TEST，可見(jiàn)輝光放電，此時(shí)mb燈熄滅，mA燈亮，量表顯示45mA左右。鍍膜步驟檢查Ar閥是否處開(kāi)啟狀態(tài)，調(diào)節(jié)閥壓力為0.3bar（如接空氣則不需要）檢查timevalue為30秒，如有需要，重新設(shè)定等壓力穩(wěn)定后，檢查壓力是否為0.08mb，如果不是，重新設(shè)定按下TEST鍵，調(diào)節(jié)后面的濺射電流控制旋鈕至20mA，再釋放TEST按下start鍵開(kāi)始鍍膜鍍膜完成后，拔出濺射頭上蓋的放氣閥放氣完全放氣后，打開(kāi)濺射頭，取出樣品若所鍍膜的厚度不適，可更改濺射時(shí)間，先不要改電流或氣體壓力。設(shè)備保養(yǎng)設(shè)備需遠(yuǎn)離熱源，工作環(huán)境需要保持干燥、干凈；定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室，注意不要打破玻璃真空圈；更換靶材時(shí)，請(qǐng)致