TFJAS 003-2024 濕電子化學(xué)品 再生鋁蝕刻液

ICS13.030.10CCSZ00T/FJAS團 體 標 準T/FJAS003—2024濕電子化學(xué)品再生鋁蝕刻液wetchemicalsregenerationaluminumEtch2024-06-30發(fā)布 2024-06-30實施福建省標準化協(xié)會??發(fā)布T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次范圍 1規(guī)范性引用文件 1術(shù)語和定義 1技術(shù)要求 2試驗方法 2檢驗規(guī)則 5標志、包裝、運輸、貯存 5前 言本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導(dǎo)則 第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省標準化協(xié)會歸口。T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGEPAGE1濕電子化學(xué)品再生鋁蝕刻液范圍本文件規(guī)定了再生鋁蝕刻液的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含鋁蝕刻液回收液為原料，經(jīng)過提純的鋁蝕刻液再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品），主要用于顯示面板制造行業(yè)等。規(guī)范性引用文件（包括所有的修改單適用于本文件。GB190 危險貨物包裝標志GB/T601化學(xué)試劑標準滴定溶液配制GB/T602化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標準溶液的制備GB/T603化學(xué)試劑試驗方法中所使用制劑及制品的制備GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T6682分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T9728化學(xué)試劑硫酸鹽測定通用方法GB/T9729化學(xué)試劑氯化物測定通用方法GB15603 危險化學(xué)品倉庫儲存通則SJ/T11510 液晶顯示器用鋁腐蝕液SJ/T11637 電子化學(xué)品 電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。濕電子化學(xué)品wetchemicals濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝（主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié)）中使用的各種液體化工材料。鋁蝕刻液aluminumetch是指一種利用酸類腐蝕劑刻蝕鋁及鋁合金金屬表面的液體材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、水等?；厥找簂iquidrecycling主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金屬雜質(zhì)等。技術(shù)要求產(chǎn)品技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定：表1 技術(shù)要求項目指標外觀無色透明粘稠狀液體磷酸w%60.0±20.0醋酸w%12.0±8.0硝酸w%7.0±5.0顆粒(≥0.5um)pcs/mL≤100顆粒(≥1um)pcs/mL≤10氯化物(Cl)mg/kg≤5硫酸鹽(SO4)mg/kg≤5鋰（Li）μg/kg200鈉（Na）μg/kg200鈣（Ca）μg/kg500鉻（Cr）μg/kg200錳（Mn）μg/kg200鐵（Fe）μg/kg500鈷（Co）μg/kg200鎳（Ni）μg/kg200銅（Cu）μg/kg200鍶（Sr）μg/kg200鋅（Zn）μg/kg200銀（Ag）μg/kg200鎘（Cd）μg/kg200鉛（Pb）μg/kg200注：由供需雙方商定，含量允許偏差值滿足合同規(guī)定。試驗方法一般規(guī)定本試驗方法中除另有規(guī)定外，標準滴定溶液、雜質(zhì)測定用標準溶液和所用制劑及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603GB/T6682純度測定T5自動電位滴定儀；SC-111型鉑電極。藥品TBAH10（AAR；無水乙醇（AR）。試劑與樣品的配置0.1mol/L26.3mL（分析純mL2～31cm～2cm100mLmol/L。m10001（TAOH）(v1

v

（1）式中:M--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準確數(shù)值；v1--四丁基氫氧，銨溶液的體積；v2--空白試驗四丁基氫氧化銨溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。0.5mol/L110g100mL27mL1000mL105℃～1102（10g/L），用配制好的氫氧化鈉溶液滴定至溶液呈粉紅色，并30s，同時做空白實驗。氫氧化鈉標準溶液的濃度，數(shù)值以摩爾每升（mol/L）表示，按下式計算：m10001（NaOH）(v1

v

（2）式中：m--鄰苯二甲酸氫鉀的質(zhì)量的準確數(shù)值；v1--氫氧化鈉溶液的體積；v2--空白試驗氫氧化鈉溶液的體積；M--鄰苯二甲酸氫鉀的摩爾質(zhì)量。被測樣品的制備取被測樣品10mL到滴定杯中，加入10mL蒸餾水，每次測定需要同時準備兩個相同的被測樣品。滴定分析過程2 TBAH先測定HNNa0測定HN和HP0NaOH測定HP02+2 測定混酸中的硝酸10mL10mL0.1mol/LTBAOH3 3 TBAH+HNONO+TN++H3 3 測定混酸中的磷酸和醋酸0.5mo1/Na0H滴定混酸中磷酸和醋酸有兩個滴定終點:2 4 4 3 3 4 3 2 4 HNO+HP0+20→NO-+HP0-+2H0HP0-+HAC+20HPO-+A-+2H2 4 4 3 3 4 3 2 4 結(jié)果計算硝酸質(zhì)量百分含量計算式:（NaOH）磷酸質(zhì)量百分含量計算式：

（TAOH1（HNO 310ml 3

（3）[CNaOH2)]C(TBAOH)1)M(HPO)34（HPO）34

3410mlP

（4）醋酸質(zhì)量百分含量計算式：（H）

{CNaOH3)

CNOH1]}（H）10mlP

（5）上述三個計算公式中:CVVVM--各物質(zhì)的摩爾質(zhì)量；10m1xP--10ml樣品的質(zhì)量。顆粒的測定按SJ/T11510中5.4規(guī)定的方法測定。氯化物按GB/T9729中規(guī)定的方法測定。按GB/T9728中規(guī)定的方法測定。金屬元素的測定按SJ/