集成電路晶圓級(jí)先進(jìn)封測(cè)生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告表

建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（污染影響類(lèi)）項(xiàng)目名稱(chēng)：集成電路晶圓級(jí)先進(jìn)封測(cè)生產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)項(xiàng)目建設(shè)單位（蓋章）：華天科技（江蘇）有限公司編制日期：2023年3月中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制 1 18 71 98 161 165 166、、稱(chēng)改建擴(kuò)建技術(shù)改造不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目（核準(zhǔn)/備浦行審備〔2022〕221號(hào)設(shè)是：依據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南（污染影響類(lèi)試行）》表1專(zhuān)規(guī)劃名稱(chēng)：《南京江北新區(qū)橋林新城總體規(guī)劃（規(guī)劃環(huán)評(píng)：《江蘇省浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境影響報(bào)告審查文件名稱(chēng)及文號(hào)：《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃中水回用：規(guī)劃遠(yuǎn)期污水再生利用率達(dá)到40%。再生水用于城市雜用，主遠(yuǎn)期至2035年，主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)為集成電路京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021本項(xiàng)目位置本項(xiàng)目位置本項(xiàng)目位置本項(xiàng)目位置③《南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》審類(lèi)別準(zhǔn)入內(nèi)容相符性分析禁止引入類(lèi)項(xiàng)目1.禁止引入與國(guó)家、地方現(xiàn)行產(chǎn)業(yè)政策相沖突的項(xiàng)2.禁止引入不符合《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南》《江蘇省長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單實(shí)施細(xì)則》《南本項(xiàng)目與國(guó)家及地方產(chǎn)業(yè)政策相符，本項(xiàng)目不使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠限制引入類(lèi)項(xiàng)目空間布局約束污染物排放管控環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)京市建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定的通知》等要求的項(xiàng)目。膠粘劑等項(xiàng)目。黏劑等本項(xiàng)目不屬于限制類(lèi)項(xiàng)目，本項(xiàng)目廢氣經(jīng)治理后能滿(mǎn)足《揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）污蘇省重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制指南》等要求。本項(xiàng)目已進(jìn)行鍍工序不能剝離論證。本項(xiàng)目未占用基本農(nóng)田根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，石磧河水質(zhì)未達(dá)到Ⅲ類(lèi)水標(biāo)準(zhǔn)。本項(xiàng)目污染物排放總量：大氣污染物排放/年、氮氧化物1.1119噸/年、顆粒物0.75噸/年、異丙醇0.228噸/年、VOCs3.06噸/年，水污染物排放量：化學(xué)需氧量46.3769噸/總磷0.4642噸/年、總銅0.15噸/年。滿(mǎn)足規(guī)劃近期及遠(yuǎn)期總量控制要求。詳見(jiàn)表1-4。本項(xiàng)目周邊無(wú)環(huán)境敏感目標(biāo)，且具有完善的風(fēng)險(xiǎn)防控措施，滿(mǎn)1.限制引入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本）》《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制淘汰目錄和能耗限額》中的限制類(lèi)項(xiàng)目。2.限制引入污染治理措施達(dá)不到《揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）污染防治技術(shù)政策》《江蘇省重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制南》等要求的項(xiàng)目。3.限制新（擴(kuò)）建電鍍項(xiàng)目，確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項(xiàng)目，需組織專(zhuān)家進(jìn)行技術(shù)論證。1.區(qū)內(nèi)永久基本農(nóng)田區(qū)域?qū)嵭袊?yán)格保護(hù)，確保其面積不減少、土壤環(huán)境質(zhì)量不下降，除法律規(guī)定的重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目選址確實(shí)無(wú)法避讓外，其他任何項(xiàng)目不得占用。2．在瓊花湖河道兩岸設(shè)置一定寬度的綠化景觀(guān)帶：在蘭橋雅居居民安置小區(qū)西北向與工業(yè)區(qū)相鄰區(qū)域設(shè)置以道路、防護(hù)林為主要形式的空間防護(hù)帶，防護(hù)帶寬度原則上不小于50米，非生產(chǎn)型企業(yè)空間防護(hù)距離可以適當(dāng)縮小，但不應(yīng)小于30米。3.區(qū)內(nèi)規(guī)劃的水域和防護(hù)綠地，禁止一切與環(huán)境保護(hù)功能無(wú)關(guān)的建設(shè)活動(dòng)。1.環(huán)境質(zhì)量：大氣環(huán)境質(zhì)量達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）附錄D其他污染物空氣質(zhì)量濃度參考限值；石磧河和高旺河水環(huán)境質(zhì)量達(dá)《地表水環(huán)境環(huán)境質(zhì)量》Ⅲ類(lèi)水標(biāo)準(zhǔn)；土壤達(dá)到《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB36600-2018）篩選值中的第一類(lèi)、第二類(lèi)用地標(biāo)準(zhǔn)。2.總量控制：大氣污染物排放量：近期2025年：二氧化硫137.24噸/年、氮氧化物352.44噸/年、顆粒物238.29噸/年、氨氣5.73噸/年、異丙醇9.33噸/噸/年、氮氧化物380.58噸/年、顆粒物250.65噸/噸/年。水污染物排放量：近期2025年：化學(xué)需氧量243.69噸/年、氨氮29.6噸/年、總磷2.44噸/年、氟化物5.81噸/年、總銅1.94噸/年。遠(yuǎn)期2035年：化學(xué)需氧量245.06噸/年、氨氮27.89噸/年、總磷2.45噸/年、氟化物5.21噸/年、總銅1.74噸/年。3.其他要求：提高污水處理廠(chǎng)再生水回用率，浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠(chǎng)近期20%、遠(yuǎn)期30%，浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)污水處理廠(chǎng)遠(yuǎn)期30%。1.建立區(qū)域監(jiān)測(cè)預(yù)警系統(tǒng)，實(shí)行聯(lián)防聯(lián)控。生產(chǎn)、使用、儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的企業(yè)，應(yīng)當(dāng)采取風(fēng)險(xiǎn)防范措施，并根據(jù)要求編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。2.加強(qiáng)布局管控。開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)部的功能布局應(yīng)充分考慮風(fēng)險(xiǎn)源對(duì)區(qū)內(nèi)及周邊環(huán)境的影響，儲(chǔ)罐區(qū)、危廢倉(cāng)庫(kù)應(yīng)遠(yuǎn)離村鎮(zhèn)集中區(qū)、區(qū)內(nèi)人群聚集的辦公樓、周邊村莊及河流，且應(yīng)在規(guī)劃區(qū)的下風(fēng)向布局，以減少對(duì)其項(xiàng)目的影響；區(qū)內(nèi)不同企業(yè)風(fēng)險(xiǎn)源之間應(yīng)盡量遠(yuǎn)離，防止其中某一風(fēng)險(xiǎn)源發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)事故引起其他風(fēng)險(xiǎn)源爆發(fā)帶來(lái)的連鎖反應(yīng)，降低風(fēng)險(xiǎn)事故發(fā)生的范圍。足風(fēng)險(xiǎn)防控要求。資源開(kāi)發(fā)利用1.水資源利用總量為2333萬(wàn)噸/年。2．土地資源可利用總面積上線(xiàn)1976.5公頃，建設(shè)用地總面積上線(xiàn)1937.27公頃，工業(yè)用地及倉(cāng)儲(chǔ)用地總面積上線(xiàn)1376.17公頃。3．能源利用上線(xiàn)為單位GDP綜合能耗0.31噸標(biāo)煤/萬(wàn)元。本項(xiàng)目新鮮水用量2415190噸/年，用地面積169367平方米，滿(mǎn)足資源開(kāi)發(fā)利用要求污染物已批復(fù)總量規(guī)劃總量本項(xiàng)目總量是否滿(mǎn)足總量控制近期遠(yuǎn)期大氣污染物二氧化硫92.76137.24156.29是氮氧化物231.54352.44380.58是顆粒物200.07238.29250.650.75是異丙醇7.6479.330.228是VOCs114.13162.263.06是生產(chǎn)廢水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.0645.0169是氨氮29.627.892.2508是總磷2.442.450.4502是總銅0.15是生活污水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.06是氨氮29.627.890.068是總磷2.442.450.014是因此，本項(xiàng)目與《江蘇省浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)規(guī)劃（2021-2035）環(huán)境—6—本項(xiàng)目不屬于《市場(chǎng)準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）》中禁止或許可準(zhǔn)入類(lèi)項(xiàng)對(duì)照《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2012年本2013年修芯片規(guī)模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM）等先進(jìn)封裝與測(cè)試”、“20、集成管控類(lèi)別重點(diǎn)管控要求相符性分析長(zhǎng)江流域空間布局約束加強(qiáng)生態(tài)空間保護(hù)，禁止在國(guó)家確定的生態(tài)保護(hù)紅線(xiàn)和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)，投資建設(shè)除國(guó)家重大戰(zhàn)略資源勘查項(xiàng)目、生態(tài)保護(hù)修復(fù)和地質(zhì)災(zāi)害治理項(xiàng)目、重大基礎(chǔ)設(shè)施項(xiàng)目、軍事國(guó)防項(xiàng)目以及農(nóng)民基本生產(chǎn)生活等必要的民生項(xiàng)目以外的項(xiàng)目。本項(xiàng)目不在國(guó)家確定的生態(tài)保護(hù)紅線(xiàn)和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)。禁止在沿江地區(qū)新建或擴(kuò)建化學(xué)工業(yè)園區(qū)，禁止新建或擴(kuò)建以大宗進(jìn)口油氣資源為原料的石油加工、石油化工、基礎(chǔ)有機(jī)無(wú)機(jī)化工、煤化工項(xiàng)目；禁止在長(zhǎng)江干流和主要支流岸線(xiàn)1公里范圍內(nèi)新建?；反a頭。本項(xiàng)目不屬于石油加工、石油化工、基礎(chǔ)有機(jī)無(wú)機(jī)化工、煤化工項(xiàng)目，不新建危化品碼頭。強(qiáng)化港口布局優(yōu)化，禁止建設(shè)不符合國(guó)家港口布局規(guī)劃和《江蘇省沿江沿海港口布局規(guī)劃（2015-2030年）》《江蘇省內(nèi)河港口布局規(guī)劃（2017-2035年）》的碼頭項(xiàng)目，禁止建設(shè)未納入《長(zhǎng)江干線(xiàn)過(guò)江通道布局規(guī)劃》的過(guò)江干線(xiàn)通道項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于碼頭項(xiàng)目和過(guò)江干線(xiàn)通道項(xiàng)目。禁止新建獨(dú)立焦化項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于獨(dú)立焦化項(xiàng)目。污染物排放管控根據(jù)《江蘇省長(zhǎng)江水污染防治條例》實(shí)施污染物總量控制制度。本項(xiàng)目實(shí)施污染物總量控制制度。全面加強(qiáng)和規(guī)范長(zhǎng)江入河排污口管理，有效管控入河污染物排放，形成權(quán)責(zé)清晰、監(jiān)控到位、管理規(guī)范的長(zhǎng)江大河排污口監(jiān)管體系，加快改善長(zhǎng)江水環(huán)境質(zhì)量。本項(xiàng)目廢水接管污水處理廠(chǎng)，不直接排放。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范沿江環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)。深化沿江石化、化工、醫(yī)藥紡織、印染、化纖、危化品和石油類(lèi)倉(cāng)儲(chǔ)、涉重金屬和危險(xiǎn)廢物處置等重點(diǎn)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控。本項(xiàng)目具有完善的風(fēng)險(xiǎn)防控措施。（2）與《南京市“三線(xiàn)一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實(shí)施方案》相符性分析管控類(lèi)別重點(diǎn)管控要求相符性分析江蘇省南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)空間布局約束（1）執(zhí)行規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評(píng)及其審查意見(jiàn)相關(guān)要求。（2）優(yōu)先引入：智能制造、集成電路、新能源汽車(chē)、新一代信息技術(shù)、智能交通、智能裝備制造、現(xiàn)代物流。（3）禁止引入：非環(huán)保類(lèi)研發(fā)項(xiàng)目；不符合全國(guó)和省級(jí)港口布局規(guī)劃以及港口總體規(guī)劃的碼頭項(xiàng)目；不符合《長(zhǎng)江干線(xiàn)過(guò)江通道布局規(guī)劃》的過(guò)江通道項(xiàng)目；露天和敞開(kāi)式噴涂作業(yè)（除工藝有特殊要求外）。本項(xiàng)目從事集成電路的封裝與測(cè)試，屬于優(yōu)先引入項(xiàng)目，符合要污染物排放管控嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，采取有效措施減少主要污染物排放總量，確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善。園區(qū)污染物排放總量按照規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評(píng)及其審查意見(jiàn)的要求進(jìn)行管控。本項(xiàng)目實(shí)施污染物總量控制制度。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)（1）園區(qū)建立環(huán)境應(yīng)急體系，完善事故應(yīng)急救援體系，加強(qiáng)應(yīng)急物資裝備儲(chǔ)備，編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，定期開(kāi)展演練。（2）生產(chǎn)、使用、儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的企事業(yè)單位，應(yīng)當(dāng)制定風(fēng)險(xiǎn)防范措施，編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。（3）加強(qiáng)環(huán)境影響跟蹤監(jiān)測(cè)，建立健全各環(huán)境要素監(jiān)控體系，完善并落實(shí)園區(qū)日常環(huán)境監(jiān)測(cè)與污染源監(jiān)控計(jì)劃。企業(yè)已制定風(fēng)險(xiǎn)防范措施，建議企業(yè)編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案，防止發(fā)生環(huán)境污染事故。資源利用效率要求（1）引進(jìn)項(xiàng)目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備、能耗、污染物排放、資源利用等均須達(dá)到同行業(yè)先進(jìn)水平。（2）按照國(guó)家和省能耗及水耗限額標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。（3）強(qiáng)化企業(yè)清潔生產(chǎn)改造，推進(jìn)節(jié)水型企業(yè)、節(jié)水型園區(qū)建設(shè)，提高資源能源利用效率。本項(xiàng)目采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝和設(shè)備，各資源利用效率較高。環(huán)境質(zhì)量底線(xiàn)環(huán)境質(zhì)量底線(xiàn)項(xiàng)目相符性分析生態(tài)保護(hù)紅線(xiàn)本項(xiàng)目選址位于南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，距離最近的國(guó)家級(jí)生態(tài)保護(hù)紅線(xiàn)范圍為東南6.8km處的橋林飲用水水源保護(hù)區(qū)（備用），距離最近的生態(tài)空間管控區(qū)域范圍為西北10km生態(tài)保護(hù)紅線(xiàn)生態(tài)管控區(qū)域和生態(tài)紅線(xiàn)保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)生態(tài)環(huán)境影響小?！赌暇┢挚诮?jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境影響評(píng)價(jià)區(qū)域評(píng)估報(bào)告》顯示，根據(jù)2019年10月17日～10月23日引用監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，各監(jiān)測(cè)點(diǎn)，非甲烷總烴能夠滿(mǎn)足空《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》的標(biāo)準(zhǔn)限值。《南京新能源汽車(chē)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)氣新中心項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)報(bào)告顯示，根據(jù)2021年3月24日~環(huán)3月26日引用監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，錫及其化合物滿(mǎn)足質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求。本項(xiàng)目硫酸霧境廢氣經(jīng)堿液噴淋吸收塔后通過(guò)P1-1排氣筒達(dá)標(biāo)排放、異丙醇、非甲烷總烴、錫及其化合物經(jīng)沸石+RTO后經(jīng)P1-2排氣筒達(dá)標(biāo)排放、顆粒物經(jīng)濾筒除塵處理后達(dá)標(biāo)排放，對(duì)大氣環(huán)境影響較小地表水《南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境影響評(píng)價(jià)區(qū)域評(píng)估報(bào)告》顯示，開(kāi)發(fā)區(qū)區(qū)域內(nèi)石磧河W2、W3斷面SS超標(biāo)，W2、W3、W4斷面BOD5超標(biāo)，W3、W4斷面COD超標(biāo)，W4斷面高錳酸鹽指數(shù)超標(biāo)，其他內(nèi)河水質(zhì)均達(dá)到《地表水環(huán)境質(zhì)量》（GB地表水地下水三個(gè)地下水監(jiān)測(cè)點(diǎn)位中，D1、D2監(jiān)測(cè)點(diǎn)地下水中錳優(yōu)于《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017）地下水聲項(xiàng)目區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量較好。土項(xiàng)目所在地土壤各監(jiān)測(cè)指標(biāo)均能滿(mǎn)足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)壤險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)》（GB36600-2018）第二類(lèi)用地的篩選值。資源利用上線(xiàn)本項(xiàng)目用水來(lái)自自來(lái)水管網(wǎng)，用電由市政電網(wǎng)所供給，項(xiàng)目用地用途為工業(yè)用地，符合當(dāng)?shù)赝恋匾?guī)劃要求，不會(huì)達(dá)到資源利用上限。負(fù)面清單本項(xiàng)目屬于《中共南京市委南京市人民政府關(guān)于優(yōu)化全市區(qū)域功能定位和產(chǎn)業(yè)布局的意見(jiàn)》（寧委發(fā)〔2016〕23號(hào)）中優(yōu)先開(kāi)發(fā)區(qū)域，符合《關(guān)于印發(fā)長(zhǎng)江保護(hù)修復(fù)攻堅(jiān)戰(zhàn)行動(dòng)計(jì)劃的通知》（環(huán)水體〔2018〕181號(hào)）的要求，不屬于《市政府關(guān)于印發(fā)南京市建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定的通知》（寧政發(fā)〔2015〕251）、《南京市制造業(yè)新增項(xiàng)目禁止和限制目錄（2018）版》（寧委辦發(fā)〔2018〕57號(hào)）中限制類(lèi)項(xiàng)目；不屬于《市場(chǎng)準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）》中禁止準(zhǔn)入類(lèi)項(xiàng)目，同時(shí)也不在許可準(zhǔn)入清單以?xún)?nèi)的行業(yè)，對(duì)照清單，對(duì)市場(chǎng)準(zhǔn)入負(fù)面清單以外的行業(yè)、領(lǐng)域、業(yè)務(wù)等，各類(lèi)市場(chǎng)主體皆可依法平等進(jìn)入，符合地區(qū)準(zhǔn)入要求和其他相關(guān)要求。根據(jù)橋林新城規(guī)劃發(fā)展的重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)優(yōu)先、限制、禁止發(fā)展項(xiàng)目清單，本項(xiàng)目屬于優(yōu)先發(fā)展的“集成電路的芯片制造、封裝測(cè)試、衛(wèi)星導(dǎo)航、大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)”，不在限制發(fā)展的項(xiàng)目類(lèi)別內(nèi)，不在禁止發(fā)展的“制革、化工、印染、釀造生產(chǎn)項(xiàng)目；使用非水性料、膠黏劑的項(xiàng)目；純電鍍項(xiàng)目；含重金屬、持久性有機(jī)物等有毒有害廢水達(dá)不到零排放的項(xiàng)目；禁止生產(chǎn)方式落后、高耗能、嚴(yán)重浪費(fèi)資源和污染環(huán)境大的項(xiàng)目”。（1）與《南京市建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境準(zhǔn)入暫行規(guī)定》（寧政發(fā)〔2015〕251號(hào)）序號(hào)文件要求相符性分析1新（擴(kuò)）建工業(yè)生產(chǎn)項(xiàng)目必須進(jìn)入經(jīng)各級(jí)政府認(rèn)定的開(kāi)發(fā)園區(qū)或工業(yè)集中區(qū)（為研發(fā)配套的組裝加工項(xiàng)目除外）。項(xiàng)目選址位于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)符合2江南繞城公路內(nèi)不得新（擴(kuò)、改）建工業(yè)生產(chǎn)項(xiàng)目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患以及為研發(fā)配套的組裝加工項(xiàng)目除外）。本項(xiàng)目不涉及符合3城市清潔空氣廊道保護(hù)區(qū)（都市區(qū)生態(tài)廊道和城市通風(fēng)走廊）內(nèi)，嚴(yán)控各類(lèi)開(kāi)發(fā)區(qū)擴(kuò)園和新增成片新區(qū)建設(shè)，嚴(yán)控大型構(gòu)筑物和排放廢氣的項(xiàng)目建設(shè)。本項(xiàng)目不涉及符合本項(xiàng)目不涉及符合本項(xiàng)目不涉及符合4地區(qū)和長(zhǎng)江二橋至三橋沿岸）不得新（擴(kuò)）建工業(yè)項(xiàng)目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患和油品升級(jí)改造項(xiàng)目除外）及貨運(yùn)碼頭。5除南京化工園區(qū)外，其他區(qū)域不得新（擴(kuò)、改）建化工生產(chǎn)項(xiàng)目（節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患、油品升級(jí)改造和為區(qū)域配套的危險(xiǎn)廢物集中處置、氣體分裝、無(wú)化學(xué)反應(yīng)的工業(yè)氣體制造項(xiàng)目除外）。南京化工園禁止新（擴(kuò)）建農(nóng)藥和染料中間體、光氣以及排放惡臭氣體且不能有效治理的化工項(xiàng)目，禁止新增限制類(lèi)項(xiàng)目產(chǎn)能以及落后工藝和落后產(chǎn)品。玉帶片區(qū)從嚴(yán)控制化工生產(chǎn)項(xiàng)目。本項(xiàng)目從事集成電路的封裝和測(cè)試，不屬于化工生產(chǎn)項(xiàng)目。符合6建電鍍項(xiàng)目。確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項(xiàng)目，需由環(huán)保部門(mén)會(huì)同經(jīng)濟(jì)主管部門(mén)組織專(zhuān)家技術(shù)論證，通過(guò)專(zhuān)家論證同意后方可審批建設(shè)。本項(xiàng)目從事集成電路的封裝和測(cè)試，涉及電鍍工序不可剝離，已經(jīng)組織專(zhuān)家進(jìn)行技術(shù)論證，論證材料見(jiàn)附件。符合7石油焦等高污染燃料的設(shè)施和裝置。本項(xiàng)目不涉及符合8秦淮河、滁河以及固城湖、石臼湖流域禁止新（建釀造、制革等水污染重的項(xiàng)目，禁止新（擴(kuò)）建工業(yè)生產(chǎn)廢水排水量大于1000噸/日的項(xiàng)目，禁止新（擴(kuò)）建排放含汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬以及持久性有機(jī)污染物的工業(yè)項(xiàng)目（六合紅山表面處理中心除外）。本項(xiàng)目選址位于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，不在上述范圍內(nèi)。符合9太湖流域禁止建設(shè)氮、磷為特征因子的工業(yè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目選址位于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，不在太湖流域范圍。符合序號(hào)文件要求相符性分析1第十五條排放揮發(fā)性有機(jī)物的生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)者應(yīng)當(dāng)履行防治揮發(fā)性有機(jī)物污染的義務(wù)，根據(jù)國(guó)家和省相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以及防治技術(shù)指南，采用揮發(fā)性有機(jī)物污染控制技術(shù)，規(guī)范操作規(guī)程，組織生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)管理，確保揮發(fā)性有機(jī)物的排放符合相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)。本項(xiàng)目產(chǎn)生的有機(jī)廢氣采用沸石+RTO工藝進(jìn)行處理，滿(mǎn)足排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。符合2第二十一條產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)應(yīng)當(dāng)在密閉空間或者密閉設(shè)備中進(jìn)行。生產(chǎn)場(chǎng)所、生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)當(dāng)按照環(huán)境保護(hù)和安全生產(chǎn)等要求設(shè)計(jì)、安裝和有效運(yùn)行揮發(fā)性有機(jī)物回收或者凈化設(shè)施；固體廢物、廢水、廢氣處理系統(tǒng)產(chǎn)生的廢氣應(yīng)當(dāng)收集和處理；含有揮發(fā)性有機(jī)物的物料應(yīng)當(dāng)密閉儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸，禁止敞口和露天放置。無(wú)法在密閉空間進(jìn)行的生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)應(yīng)當(dāng)采取有效措施，減少揮發(fā)性有機(jī)物排放量。本項(xiàng)目車(chē)間有機(jī)廢氣產(chǎn)生點(diǎn)均設(shè)置收集系統(tǒng)，收集后的廢氣再經(jīng)沸石+RTO處理達(dá)標(biāo)后有組織排放；危廢庫(kù)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣收集與車(chē)間有機(jī)廢氣一起處理后排放。符合②與《江蘇省重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制指南》（蘇環(huán)辦〔2劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等環(huán)保材料，減少VOCs污染物的產(chǎn)生量。2、對(duì)式處理?！闭?qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》（HJ1031-2019）推薦的吸附濃縮），達(dá)95%以上。因此本項(xiàng)目符合《江蘇省重點(diǎn)行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物污染控制指南》③與《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)涉VOCs建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件審批有關(guān)要求的通知》序號(hào)文件要求相符性分析1嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)審查環(huán)評(píng)審批部門(mén)按照審批權(quán)限，嚴(yán)格排放標(biāo)準(zhǔn)審查。有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)格執(zhí)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)執(zhí)行國(guó)家、江蘇省相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)，鼓勵(lì)參照天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（DB12/524-2020）等標(biāo)準(zhǔn)中最嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。VOCs無(wú)組織排放執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》本項(xiàng)目污染物的排放執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB32/4041-2021）。符合234(GB37822-2019)，并執(zhí)行廠(chǎng)區(qū)內(nèi)VOCs特別排放限值。符合符合符合嚴(yán)格總量審查市生態(tài)環(huán)境局、各派出局總量管理部門(mén)嚴(yán)格排放總量審查（含各行政審批局負(fù)責(zé)審批的建設(shè)項(xiàng)目）。VOCs排放量?jī)?yōu)先采用國(guó)家大氣源清單統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。涉新增VOCs排放（含有組織、無(wú)組織排放）的建設(shè)項(xiàng)目，在環(huán)評(píng)文件審批前應(yīng)取得排放總量指標(biāo)，并實(shí)施2倍削減替代。對(duì)未完成VOCs總量減排任務(wù)的區(qū)（園區(qū)），暫緩其涉新增VOCs，排放的建設(shè)項(xiàng)目審批。本次環(huán)評(píng)在審批前已經(jīng)完成VOCs的平衡總量指標(biāo)。全面加強(qiáng)源頭替代審查環(huán)評(píng)文件應(yīng)對(duì)主要原輔料的理化性質(zhì)、特性等進(jìn)行詳細(xì)分析，明確涉VOCs的主要原輔材料的類(lèi)型、組分、含量等。使用涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等材料的，VOCs含量應(yīng)滿(mǎn)足國(guó)家及省VOCs含量限值要求（附表），優(yōu)先使用水性、粉末、高固體分、無(wú)溶劑、輻射固化等低VOCs含量、低反應(yīng)活性材料，源頭控制VOCs產(chǎn)生。禁止審批生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設(shè)項(xiàng)目。由于晶圓對(duì)清洗工藝要求高，目前半導(dǎo)體行業(yè)清洗劑基本以溶劑型為主，暫時(shí)未研發(fā)出可替代的水性清洗劑。企業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程采用先進(jìn)工藝和設(shè)備，實(shí)現(xiàn)設(shè)備、從源頭減少VOCs泄漏環(huán)節(jié)，可減少物料損耗，認(rèn)真落實(shí)各項(xiàng)污染防治措施，減少污染物排放。《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》（GB38508-2020）中明確：“本標(biāo)準(zhǔn)不適用于航空航天，核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體（含集成電路）制造用清洗集成電路）制造，故本項(xiàng)目使用的有機(jī)清洗劑不執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)。全面加強(qiáng)無(wú)組織排放控制審查涉VOCs無(wú)組織排放的建設(shè)項(xiàng)目，環(huán)評(píng)文件應(yīng)嚴(yán)格按照《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放標(biāo)準(zhǔn)》等有關(guān)要求，重點(diǎn)加強(qiáng)對(duì)含VOCs物料儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線(xiàn)組件泄漏、敞開(kāi)液面逸散以及工藝過(guò)程等5類(lèi)排放源的VOCs管控評(píng)價(jià)，詳細(xì)描述采取的VOCs廢氣無(wú)組織控制措施，充分論證其可行性和可靠性，不得采用密閉收集、密閉儲(chǔ)存等簡(jiǎn)單、籠統(tǒng)性文字進(jìn)行描述。生產(chǎn)流程中涉及VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)和服務(wù)活動(dòng)，在符合安全要求前提下，應(yīng)按要求在密閉空間或者設(shè)備中進(jìn)行。無(wú)法密閉的，應(yīng)采取措施有效減少?gòu)U氣排放，并科學(xué)設(shè)計(jì)廢氣收集系統(tǒng)。采用全密閉集氣罩或密閉空間的，除行業(yè)有特殊要求外，應(yīng)保持微負(fù)壓狀態(tài)，并根據(jù)規(guī)范合理設(shè)置通風(fēng)量。采用局部集氣罩的，距集氣罩開(kāi)口面最遠(yuǎn)處的VOCs本項(xiàng)目涉及VOCs無(wú)組織排放，主要是工藝廢氣的未能收集部分及危廢庫(kù)內(nèi)危險(xiǎn)廢物的揮發(fā)。本次工藝廢氣產(chǎn)生點(diǎn)均采用微負(fù)壓方式收集，收集效率可達(dá)90以上%。56無(wú)組織排放位置，控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。VOCs廢氣應(yīng)遵循“應(yīng)收盡收、分質(zhì)收集”原則，收集效率應(yīng)原則上不低于90%，由于技術(shù)可行性等因素確實(shí)達(dá)不到的應(yīng)在環(huán)評(píng)文件中充分論述并確定收集效率要求。加強(qiáng)載有氣態(tài)、液態(tài)VOCs物料的設(shè)備與管線(xiàn)組件的管理，動(dòng)靜密封點(diǎn)數(shù)量大于等于2000個(gè)的建設(shè)項(xiàng)目，環(huán)評(píng)文件中應(yīng)明確要求按期開(kāi)展“泄漏檢測(cè)與修復(fù)”（LDAR）工作，嚴(yán)格控制跑冒滴漏和無(wú)組織泄漏排放。符合符合全面加強(qiáng)末端治理水平審查涉VOCs有組織排放的建設(shè)項(xiàng)目，環(huán)評(píng)文件應(yīng)強(qiáng)化含VOCs廢氣的處理效果評(píng)價(jià)，有行業(yè)要求的按相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。項(xiàng)目應(yīng)按照規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)適宜、合理、高效的VOCs治理設(shè)施。單個(gè)排口VOCs（以非甲烷總烴計(jì)）初始排放速率大于1kg/h的，處理效率原則上應(yīng)不低于90%，由于技術(shù)可行性等因素確實(shí)達(dá)不到的，應(yīng)在環(huán)評(píng)文件中充分論述并確定處理效率要求。非水溶性的VOCs廢氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋吸收處理。除惡臭異味治理外，不得采用低溫等離子、光催化、光氧化、生物法等低效處理技術(shù)。環(huán)評(píng)文件中應(yīng)明確，VOCs治理設(shè)施不設(shè)置廢氣旁路，確因安全生產(chǎn)需要設(shè)置的，采取鉛封、在線(xiàn)監(jiān)控等措施進(jìn)行有效監(jiān)管，并納入市生態(tài)環(huán)境局VOCs治理設(shè)施旁路清單。不鼓勵(lì)使用單一活性炭吸附處理工藝。采用活性炭吸附等吸附技術(shù)的項(xiàng)目，環(huán)評(píng)文件應(yīng)明確要求制定吸附劑定期更換管理制度，明確安裝量（以千克計(jì)）以及更換周期，并做好臺(tái)賬記錄。吸附后產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物，應(yīng)按要求密閉存放，并委托有資質(zhì)單位處置。鼓勵(lì)實(shí)施集中處置。各區(qū)（園區(qū)）應(yīng)加強(qiáng)統(tǒng)籌規(guī)劃，對(duì)同類(lèi)項(xiàng)目相對(duì)較為集中的區(qū)域（同一個(gè)街道或者毗鄰街道同類(lèi)企業(yè)超過(guò)10家的鼓勵(lì)建設(shè)集中噴涂、溶劑集中回收、活性炭集中再生等VOCs廢氣集中處置中心，實(shí)現(xiàn)集中生產(chǎn)、集中管理、集中治污。本次環(huán)評(píng)已在措施章節(jié)分析了措施可行性論述。根據(jù)工程分析，本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣采用沸石轉(zhuǎn)輪+RTO工藝對(duì)有機(jī)廢氣進(jìn)行處理，有機(jī)廢氣凈化效率可達(dá)90%。本項(xiàng)目危廢庫(kù)有機(jī)廢氣收集后與生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣一起處理后排放，有機(jī)廢氣凈化效率≥95%。全面加強(qiáng)臺(tái)賬管理制度審查涉VOCs排放的建設(shè)項(xiàng)目，環(huán)評(píng)文件中應(yīng)明確要求規(guī)范建立管理臺(tái)賬，記錄主要產(chǎn)品產(chǎn)量等基本生產(chǎn)信息；含VOCs原輔材料名稱(chēng)及其VOCs含量（使用說(shuō)明書(shū)、物質(zhì)安全說(shuō)明書(shū)MSDS等采購(gòu)量、使用量、庫(kù)存量及廢棄量，回收方式及回收量等；VOCs治理設(shè)施的設(shè)計(jì)方案、合同、操作手冊(cè)、運(yùn)維記錄及其二次污染物的處置記錄，生產(chǎn)和治污設(shè)施運(yùn)行的關(guān)鍵參數(shù)，廢氣處理相關(guān)耗材環(huán)評(píng)報(bào)告中已明確要求企業(yè)做好VOCs管理臺(tái)賬，臺(tái)賬保存期限不少于三年。（吸收劑、吸附劑、催化劑、蓄熱體等）購(gòu)買(mǎi)處置記錄；VOCs廢氣監(jiān)測(cè)報(bào)告或在線(xiàn)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)記錄等，臺(tái)賬保存期限不少于三年。7嚴(yán)格項(xiàng)目建設(shè)期間污染防治措施審查在項(xiàng)目建設(shè)過(guò)程中涉及使用涂料、油漆、膠黏劑、油墨、清洗劑等含VOCs產(chǎn)品的，環(huán)評(píng)文件中應(yīng)明確要求企業(yè)優(yōu)先使用符合國(guó)家、省和本市要求的低（無(wú)）VOCs含量產(chǎn)品。同時(shí)，鼓勵(lì)企業(yè)積極響應(yīng)政府污染預(yù)測(cè)預(yù)警，執(zhí)行夏季臭氧污染錯(cuò)時(shí)作業(yè)等要求。由于行業(yè)特殊性，半導(dǎo)體行業(yè)使用的溶劑型清洗劑暫時(shí)不可替代，企業(yè)將提高過(guò)程控制與末端治理力度，將污染影響降至最低程度。符合項(xiàng)目的建設(shè)與《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)涉VOCs建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件審批有關(guān)要求的通④《市政府辦公廳關(guān)于印發(fā)南京市“兩減六治三提升”13個(gè)專(zhuān)項(xiàng)行動(dòng)實(shí)施方①與《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)重金屬污染防控的意見(jiàn)》（環(huán)固體〔2022〕17號(hào)）），評(píng)和行業(yè)環(huán)境準(zhǔn)入管控要求。因此，本項(xiàng)目的建設(shè)符合環(huán)固體〔2022〕17號(hào)要②《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)涉及重金屬污染建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)審批的通知》（蘇環(huán)辦華天科技是我國(guó)集成電路封測(cè)行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模位列國(guó)內(nèi)第二戶(hù)要求及行業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的集成電路封裝測(cè)試服務(wù)。類(lèi)、基板類(lèi)、晶圓級(jí)等從低端到高端300億只/年的集成電路封測(cè)能力。公施等，建設(shè)具有國(guó)際領(lǐng)先水平的Bumping、WLCSP），根據(jù)《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》（2015.1.1）《中華人民共和國(guó)環(huán)以及其他相關(guān)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理的規(guī)定，要求本項(xiàng)目進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)。根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類(lèi)管理名錄（2021年版）》（生態(tài)環(huán)術(shù)人員進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)踏勘，同時(shí)根據(jù)項(xiàng)目的工程特征和項(xiàng)目建設(shè)區(qū)域的環(huán)境狀序號(hào)生產(chǎn)車(chē)間工程名稱(chēng)產(chǎn)品名稱(chēng)及規(guī)格設(shè)計(jì)能力年運(yùn)行時(shí)數(shù)1生產(chǎn)廠(chǎng)房1Bumping生產(chǎn)線(xiàn)Bumping84萬(wàn)片7920hWLCSP生產(chǎn)線(xiàn)WLCSP24萬(wàn)片Bumping：當(dāng)半導(dǎo)體集成電路芯片制程發(fā)展到40nm及以下時(shí)，傳統(tǒng)的WireBonding和FlipChip技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)芯片與外部的連接，而Copper品主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)橹悄苁謾C(jī)、筆記本、計(jì)算機(jī)、汽車(chē)電子、生物醫(yī)療、5G（6）封裝良品率：≥98.5%寸。WLCSP平臺(tái)最初用于大量的PMIC器件，但如今它的應(yīng)用已經(jīng)延伸至更多應(yīng)用，如開(kāi)關(guān)、天線(xiàn)調(diào)諧器、射頻收發(fā)器、濾波器、無(wú)線(xiàn)充電IC、部分CIS器件和NFC控制器等。產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槟M混合信號(hào)、無(wú)線(xiàn)傳器芯片、陀螺儀傳感芯片、單元控制器等。產(chǎn)品技（5）封裝良品率≥99%產(chǎn)品鍍種電鍍錫銀Bumping面積1406m2922m21100m2754m2厚度50μm3μm25μm9μm建筑編號(hào)名稱(chēng)層數(shù)占地面積建筑面積計(jì)容面積備注1生產(chǎn)廠(chǎng)房1319552.1069790.3989251.59本期2甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)1720720720本期3乙類(lèi)倉(cāng)庫(kù)35485本期4動(dòng)力中心8100.6732479.632564.7本期5大宗氣體000本期6110kV變電站22227.653496.94本期7食堂4262413387.2113387.21本期9倒班樓161321.977959.947959.94本期倒班樓52/141829.2820263.3120263.31本期地下室-17592.00本期1本期1本期架空連廊4278本期架空連廊5278本期總計(jì)35643.02154771.1168150.69注：110kV變電站另行辦理環(huán)評(píng)，本環(huán)評(píng)不包含該內(nèi)容。表2-4本項(xiàng)目主體工程及公輔工程一覽表建設(shè)名稱(chēng)設(shè)計(jì)能力備注主體工程生產(chǎn)廠(chǎng)房119693.52m2，3F一層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈Bumping生產(chǎn)車(chē)間；二、三層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈WLCSP生產(chǎn)車(chē)間；生產(chǎn)支持區(qū)主要包含空調(diào)機(jī)房、變配電站、空壓站等。生產(chǎn)測(cè)試樓丁類(lèi)二級(jí)廠(chǎng)房，占地面積2400m2（100m×24m），8F，建筑高度為31.95m用于辦公、測(cè)試甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)占地面積720m2，1F位于廠(chǎng)區(qū)西側(cè)，本期項(xiàng)目部分原輔料位于甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)乙類(lèi)倉(cāng)庫(kù)位于廠(chǎng)區(qū)西側(cè)，本期項(xiàng)目部分原輔料位于乙類(lèi)倉(cāng)庫(kù)危廢倉(cāng)庫(kù)危廢倉(cāng)庫(kù)240m2位于甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)；用于存放危廢公用給水系統(tǒng)2812208m3/a自來(lái)水由市政自來(lái)水管網(wǎng)供給排水系統(tǒng)生產(chǎn)廢水：1500563m3/a生活污水：45302m3/a廠(chǎng)區(qū)實(shí)施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠(chǎng)內(nèi)污水處理站預(yù)處理后，部分回用，剩余接管南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)集中處理；食堂污水經(jīng)隔油后，與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后接管南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠(chǎng)集中處理。供電系統(tǒng)12441.60萬(wàn)度/年電源引自浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠(chǎng)內(nèi)110kV變電站。循環(huán)冷卻系統(tǒng)4000m3/h×2、2800m3/h×2總循環(huán)水量13600m3/h，補(bǔ)水為自來(lái)水。工藝循環(huán)冷卻水：每棟廠(chǎng)房設(shè)置獨(dú)立的工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，總循環(huán)量1000m3/h，系統(tǒng)形式采用密閉式系統(tǒng)，板式換熱器換熱。常溫循環(huán)冷卻水：12600m3/h，該系統(tǒng)為冷凍機(jī)和空壓機(jī)提供32-38℃的常溫循環(huán)冷卻水系配套1000m3的循環(huán)水池。動(dòng)力中心，丁類(lèi)二級(jí)廠(chǎng)房，建筑高地下一層為生產(chǎn)和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產(chǎn)水池；地上一層為純水站，二、三層為動(dòng)力站，包含變配電室、冷機(jī)、氣體動(dòng)力等，動(dòng)力站屋面放置為工業(yè)型冷卻塔。壓縮空氣5臺(tái)，總設(shè)計(jì)能力為430Nm3/min采用水冷離心式空壓機(jī)，提供無(wú)油壓縮空氣?？諝饨?jīng)預(yù)過(guò)濾器過(guò)濾，由空壓機(jī)壓縮后進(jìn)入壓縮熱吸附式干燥器干燥后，再進(jìn)過(guò)濾器過(guò)濾，經(jīng)壓縮空氣緩沖罐供給各生產(chǎn)廠(chǎng)房。冷水機(jī)組在動(dòng)力站二、三樓設(shè)置低溫冷水機(jī)（7℃)、中溫冷水機(jī)（14℃)及中溫?zé)峄厥諜C(jī)，供應(yīng)各建筑空調(diào)及工藝使用。純水站設(shè)計(jì)制水能力200m3/h純水設(shè)備主要包括砂濾器、活性炭過(guò)濾器、一級(jí)RO反滲透機(jī)組、二級(jí)RO反滲透機(jī)組、度為23.3mEDI系統(tǒng)等。純水管路采用主管循環(huán)供回水系統(tǒng)。2臺(tái)100t/h純水機(jī)，純水制備得率0.75。本項(xiàng)目純水用量1569685t/a（198t/h）。真空系統(tǒng)24000m3/h工藝真空系統(tǒng)真空站設(shè)置在動(dòng)力站三層。工藝真空真空度660mmHg。廠(chǎng)房真空站采用噴油螺桿式真空泵，采用n+1配置方式。供熱系統(tǒng)4.2MW×2臺(tái)，熱水鍋爐主要作為生產(chǎn)廠(chǎng)房初期回收熱源不足時(shí)補(bǔ)充熱源使用，當(dāng)產(chǎn)能達(dá)50%回收熱源充足時(shí)，熱水鍋爐即停止僅當(dāng)作緊急備援使用。大宗氣站制氮站3000Nm3/h×1臺(tái)采用空分制氮。提供氮?dú)?，氮?dú)饧兌?9.999%，制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲(chǔ)存罐。天然氣職工食堂采用天然氣，用量來(lái)自市政天然氣管道倒班樓1占地面積1321.97m2，6F建筑的二層～六層為主要的倒班樓層，并設(shè)置活動(dòng)室、洗衣房等生活輔助用房。倒班樓5占地面積1829.28m2，2/14F建筑的二層～十四層為主要的倒班樓層，并設(shè)置活動(dòng)室、洗衣房等生活輔助用房。食堂占地面積2624m2，6F/共設(shè)置2個(gè)門(mén)衛(wèi)室，占地面積分別為15m2、180m2，1F/初期雨水池設(shè)置三座初期雨水池及配套收集管網(wǎng)，共計(jì)2339m31#初期雨水池位于食堂南側(cè)，容積574m3；2#初期雨水池位于生產(chǎn)測(cè)試樓東側(cè)，容積227m3；3#初期雨水池位于生產(chǎn)測(cè)試樓東側(cè)，容積1538m3環(huán)保廢氣處理①Bumping生產(chǎn)線(xiàn)電鍍銅、電鍍鎳、電鍍錫銀、電鍍金、銅刻蝕等工序產(chǎn)生的酸性廢氣通過(guò)酸堿廢氣處理系統(tǒng)（堿液噴淋，堿性洗滌塔2臺(tái)并聯(lián)）處理后通過(guò)30m高P1-1#排氣筒（位于生產(chǎn)廠(chǎng)房1樓頂）排放，共2臺(tái)風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)風(fēng)量共140000m3/h；含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過(guò)30m高P1-2#排氣筒（位于生產(chǎn)廠(chǎng)房1樓頂）有組織排放，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為50000m3/h。②WLCSP生產(chǎn)線(xiàn)酸洗工序，Bumping生產(chǎn)線(xiàn)涂布、曝光、軟烤、硬烤、等離子去膠、光刻膠去除、焊料成球等工序產(chǎn)生的有機(jī)廢氣經(jīng)收集后通過(guò)管道引至樓頂，利用有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)（3套沸石并聯(lián)+1套R(shí)TO）處理后通過(guò)30m高P1-3#排氣筒（位于生產(chǎn)廠(chǎng)房1樓頂）排放，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為60000m3/h×3；③WLCSP生產(chǎn)線(xiàn)回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物，Bumping生產(chǎn)線(xiàn)回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物和非甲烷總烴，與有機(jī)廢氣一起收集處理后排放（P1-3#排氣筒）④WLSCP生產(chǎn)線(xiàn)激光打印工序產(chǎn)生的含塵廢氣經(jīng)收集后通過(guò)管道引至樓頂，經(jīng)1套濾筒除塵處理后通過(guò)30m高P1-4#排氣筒（位于生產(chǎn)廠(chǎng)房1樓頂）排放，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為20000m3/h；⑤鍋爐天然氣燃燒廢氣，天然氣屬于清潔能源，2臺(tái)鍋爐的天然氣燃燒廢氣通過(guò)1根27m高排氣筒排放（排氣筒編號(hào)為P1-5#煙氣量為5200m3/h；⑥RTO天然氣燃燒廢氣，通過(guò)P1-3#排氣筒排放；⑦污水處理站廢氣通過(guò)動(dòng)力車(chē)間樓頂P1-6#排氣筒排放，高30m，風(fēng)機(jī)風(fēng)量150000m3/h；⑧食堂油煙經(jīng)油煙凈化設(shè)備處理后排放，煙道排口高8m（編號(hào)為P1-7#），風(fēng)量為22000m3/h；廢水處理①切割廢水進(jìn)入切割廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為6000t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進(jìn)入廠(chǎng)區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為3600t/d）處理達(dá)標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)；②研磨廢水進(jìn)入研磨廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為840t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進(jìn)入廠(chǎng)區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為3600t/d）處理達(dá)標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)；③一般、酸堿、有機(jī)廢水先進(jìn)入一般、酸堿、有機(jī)廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為2222t/d）處理后進(jìn)入廠(chǎng)區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為3600t/d）處理達(dá)標(biāo)后接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)；④純水站反沖洗水、廢氣洗滌塔水進(jìn)入廠(chǎng)區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為3600t/d）處理后接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)；⑤含鎳廢水先進(jìn)入含鎳廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為480t/d）處理后車(chē)間達(dá)標(biāo)排放接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)，含錫銀廢水進(jìn)入含銀廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為480t/d）處理后車(chē)間達(dá)標(biāo)排放接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)，含氰廢水進(jìn)入含氰廢水處理系統(tǒng)（設(shè)計(jì)處理能力為240t/d）后與其他含重金屬?gòu)U水（含銅、鈦）進(jìn)入其他重金屬?gòu)U水處理系統(tǒng)，這兩股廢水處理達(dá)標(biāo)后進(jìn)入一般、酸堿、有機(jī)廢水處理系統(tǒng)，再進(jìn)入綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)，最后接管至浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)。⑤循環(huán)冷卻系統(tǒng)排水、純水制備棄水、鍋爐排水直接接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠(chǎng)；⑥食堂廢水經(jīng)隔油池預(yù)處理后與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理，一并接入市政污水管網(wǎng)，接管浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)污水處理廠(chǎng)集中處理。固廢處置生活垃圾垃圾桶若干，環(huán)衛(wèi)清運(yùn)固體廢物零排放一般工業(yè)480m2，位于廠(chǎng)區(qū)西南側(cè)甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)危險(xiǎn)廢物240m2，位于廠(chǎng)區(qū)西南側(cè)甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)事故應(yīng)急消防水池室外消防水箱一座，846m3，位于生產(chǎn)測(cè)試樓滿(mǎn)足應(yīng)急需求應(yīng)急事故池設(shè)置兩座應(yīng)急池及配套收集管網(wǎng)，共計(jì)1500m3；位于動(dòng)力站房負(fù)一層建設(shè)內(nèi)容根據(jù)建設(shè)單位提供數(shù)據(jù)資料，本項(xiàng)目的主要原輔材料和能源消耗見(jiàn)表類(lèi)別名稱(chēng)規(guī)格組分年耗量單位全廠(chǎng)最大倉(cāng)儲(chǔ)量包裝儲(chǔ)存方式包裝方式儲(chǔ)存地點(diǎn)來(lái)源及運(yùn)輸原輔料WLCSP生產(chǎn)線(xiàn)24萬(wàn)片1/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸5L/桶3%-6%醋酸0.32t0.045L/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸錫球/鐵、鋅、錫、銀、銅等2400瓶30061.11g/瓶室內(nèi)/瓶裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸助焊劑/松香/樹(shù)脂60%-70%、芐醇30%-40%7.2kg0.9150g/支室內(nèi)/瓶裝學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸助焊劑清洗液/95%乙二醇醚、5%水0.76t0.0919kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸研磨貼布230mm*100mmPVC，PET，PO，丙烯酸樹(shù)脂等400卷50230mm*50m/卷室內(nèi)/卷原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸背面貼布230mm*50m330mm*50mPET，PO，丙烯酸樹(shù)脂200卷25230mm*50m/卷330mm*50m/卷室內(nèi)/卷原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸U(kuò)V膜/藍(lán)膜300mm*100m400mm*100mPVC，PET，PO，丙烯酸樹(shù)脂233卷29300mm*100m/卷400mm*100m/卷室內(nèi)/卷原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸二氧化碳/液態(tài)二氧化碳t0.0615kg/瓶瓶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸切割液KetecaDiamaflow388LB94%水，1.9%聚乙二醇、4.1%甲基環(huán)氧乙烯，與環(huán)氧乙烯的聚合物，單（辛基苯）醚等4000桶5001加侖/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸載帶依據(jù)芯片尺寸而定聚碳酸酯320萬(wàn)米40AO=1.0BO=1.0室內(nèi)/紙箱裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸Bumping萬(wàn)1/室內(nèi)/盒原料倉(cāng)國(guó)內(nèi)運(yùn)生產(chǎn)線(xiàn)片裝庫(kù)輸異丙醇≥99.7%40t2000L20L/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品倉(cāng)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸光刻膠HD41001-甲基-2-吡咯烷酮50-60%、芳香肟（1-10%）8t1kg/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸負(fù)膠顯影液KS5400環(huán)戊酮≥98%30t210kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸負(fù)膠漂洗液KS7200丙二醇甲醚醋酸酯＞98%550t210kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸鈦靶材Ti99.999%Ti99.999%28（0.95t）個(gè)1/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸銅靶材Cu99.999%Cu99.999%50（0.252t)個(gè)1/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸金靶材Cu99.999%Cu99.999%（0.05t）個(gè)1/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸光刻膠JSR151丙烯酸樹(shù)脂30%～45%、多官能丙烯酸酯15%～25%、光敏劑5%~15%、丙二醇甲醚醋酸酯30%~40%6t0.241加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸邊膠清洗液GCTOK73異甲基醚丙二醇70%，乙酸丙二醇異甲基醚酯30%50t24kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸顯影液TMAH2.38%四甲基氫氧化銨2.38%、剩余量為水930t21加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅陽(yáng)極英寸（2cmCu99.999%、P0.001%610（7.936t)個(gè)/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍鎳陽(yáng)極鎳陽(yáng)極板，Ni99.999%（0.221t)個(gè)/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫陽(yáng)極Sn陽(yáng)極板，Sn99.999%,56（0.297t)個(gè)3/室內(nèi)/盒裝原料倉(cāng)庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅藥液MICROFABSC40MU硫酸銅20%—30%；硫酸10%—20%；聚二硫二丙烷磺酸鈉＜1%；脂肪胺聚氧乙烯醚＜1%15720kg20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR1硫酸1-10%、水90-99%990kg404kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR22甲氧基1丙醇0.00001-0.0001%、水99%kg204kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅補(bǔ)充液MicrofabSCcoppersulfate硫酸銅20-30%、硫酸0-1%、水69%-80%15720kg50020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍銅補(bǔ)充液濃硫酸濃硫酸（95％-98%)510kg400.5kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍鎳藥液MICROFABNi100氨基磺酸鎳20%—30%；硫酸鎳1%；硼酸5%—10%；十二烷基磺酸鈉＜1%；鹽酸＜1%；其余為水10200kg72020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀IshiharaUTBTS-140base甲基磺酸錫10%、甲基磺酸銀0.05%、甲基磺酸10%、有機(jī)化合物6%、水79%7100kg40020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀：錫離子添加劑IshiharaUTBTS-TIN15水50%12600kg15kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀：銀離子添加劑IshiharaUTBTS-Ag-S面活性劑25%、水72%kg5020kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀：銀離子穩(wěn)定劑IshiharaUTBTS-SLG表面活性劑35%、水65%kg20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸基磺酸添加劑IshiharaUTBTS-Acid甲基磺酸70%、水30%2090kg10kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀：平整機(jī)添加劑IshiharaUTBTS-140AD甲醇10％、表面活性劑10%、有機(jī)化合物5%、水75%650kg2010kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍錫銀：除泡劑IshiharaUTBAntifoamer甲醇（70g/l）、剩余量為水kg11kg/桶室內(nèi)/桶裝學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸銅蝕刻液KS_6205剩余量為水76t0.910kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-A氫氧化鉀1%-10%、剩余量為水t0.34511.5kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-B雙氧水28%-34%、剩余量為水90t0.2528.4kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸去膠液CZ825酮類(lèi)99%，1%四甲基氫氧化銨t20kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸99%t0.41加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍金補(bǔ)充液Pur-A-Gold402MakeUp無(wú)機(jī)酸1-10%；二氰金酸鉀800L20L/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍金補(bǔ)充液Pur-A-Gold402MakeUp二氰金酸鉀60-70%；氰化鉀800L20L/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍金藥液Pur-A-GoldAcidAdjustingsalt有機(jī)酸80-100%kg5005kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸電鍍金藥液Pur-A-GoldBaseAdjustingsalt80-100%：有機(jī)鹽kg5005kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸金蝕刻液UE-350碘4%～10%；碘化鉀10%～25%；水63%～85%t0.510kg/桶室內(nèi)/桶裝乙類(lèi)化學(xué)品庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸/氮?dú)?氮?dú)?.59*107NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝大宗氣站國(guó)內(nèi)運(yùn)輸/氬氣/氬氣4.75*104NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝庫(kù)國(guó)內(nèi)運(yùn)輸注：本項(xiàng)目各原輔料使用量為企業(yè)根據(jù)華天其他廠(chǎng)區(qū)同類(lèi)產(chǎn)品長(zhǎng)期實(shí)際生產(chǎn)情況計(jì)算得出，可滿(mǎn)足本項(xiàng)目產(chǎn)能需求。表2-6主要原輔材料理化性質(zhì)及毒理物料名稱(chēng)分子式CAS號(hào)危規(guī)號(hào)理化性質(zhì)燃燒爆炸性毒理性質(zhì)C2H4O281601無(wú)色透明液體，有刺激性酸臭；分子量60.05；熔點(diǎn)16.7℃;沸點(diǎn)118.1℃;相對(duì)密度(水=1)1.05；相對(duì)蒸氣密度(空氣=1)2.07；飽和蒸汽壓爆炸極限4.0-17.0；溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與鉻酸、過(guò)氧化鈉、硝酸或其他氧化劑接觸，有爆炸危險(xiǎn)。LD50：3530mg/kg（大鼠經(jīng)LC50：13791mg/m3，1小時(shí)（小鼠吸入）錫7440-31-5/灰綠色粉末。分子量118.69；熔點(diǎn)231.9℃;相對(duì)密度(水=1)7.31；不溶于水，溶于稀鹽酸、硫酸、硝酸。//松香//淡黃色透明及不透明顆?；驂K狀，有特殊樹(shù)脂的氣味。遇火種、高溫、氧化劑都有引起燃燒的危險(xiǎn)。燃燒時(shí)放出有毒煙霧和蒸汽。/乙二醇醚C4H10O3110-80-5/無(wú)色液體，幾乎無(wú)氣味；分子量90.12；熔點(diǎn)-70℃;沸點(diǎn)135.1℃;相對(duì)密度(水=1)0.94；閃點(diǎn)43℃LD50：3460mg/kg（大鼠經(jīng)氫氧化鈉NaOH1310-73-282001熔點(diǎn)(℃)：318.4，沸點(diǎn)(℃)：1390，飽和可致人體灼傷。LD50：無(wú)資料LC50：無(wú)資料溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮。異丙醇C3H8O67-63-032064性狀：無(wú)色透明液體，有似乙醇和丙酮混合物的氣味。分子量：60.10。熔點(diǎn)(℃)：-88.5，沸點(diǎn)(℃)：80.3，飽和蒸汽壓：4.40(20℃)，相對(duì)密度（水=10.79，相對(duì)密度（空氣=12.07，溶解性：溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多數(shù)有機(jī)溶劑。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。在火場(chǎng)中，受熱的容器有爆炸危險(xiǎn)。閃點(diǎn)(℃)：12引燃溫度(℃)：399爆炸極限：2.0-12.7%LD50：5045mg/kg（大鼠經(jīng)醇C4H10O2——無(wú)色透明液體，密度：0.922g/mL；相對(duì)蒸汽密-97；沸點(diǎn)(oC，常壓118；折射率（20oC1.4034；黏度（mPa·s,25oC）：1.75；閃點(diǎn)(oC，開(kāi)口）：39；蒸發(fā)熱（KJ/mol）：40.6；比熱容（KJ/(kg·K),25oC，定壓）：2.56；蒸氣壓1.4017——對(duì)皮膚刺激不明顯，但中毒劑量可通過(guò)皮膚吸收。動(dòng)物中毒后主要表現(xiàn)為抑制和不完全麻醉。大鼠暴露于40.18g/m3的蒸氣濃度中5~6小時(shí)，有半數(shù)死亡。丙二醇單甲醚醋酸酯C6H12O3108-65-6——性狀：無(wú)色吸濕液體，有特殊氣味；分子量：132.16熔點(diǎn)(℃)：-87沸點(diǎn)(℃)：146相對(duì)密度（水=1）：0.96溶解性：溶于水閃點(diǎn)(℃)：42爆炸極限：在空氣中，20°C時(shí)1.5%～7.0%（體積）——?dú)溲趸汯OH1310-58-382002性狀：白色晶體，易潮解。分子量：56.11熔點(diǎn)(℃)：360.4沸點(diǎn)(℃)：1320飽和蒸汽壓：0.13(719℃)相對(duì)密度（水=1）：2.04溶解性：溶于水、乙醇，微溶于醚?？芍氯梭w灼傷。環(huán)氧樹(shù)脂——32197外觀(guān)與形狀：從無(wú)臭、無(wú)味、黃色透明液體到固體。熔點(diǎn)145～155℃,溶于丙酮、乙二醇、易燃，引燃溫度49℃（粉云）。遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。粉體與空氣可形成爆炸性混合物，當(dāng)達(dá)到一定濃度時(shí)遇火星會(huì)發(fā)生爆炸。LD50：11400mg/kg（大鼠經(jīng)醇C5H12O2——無(wú)色透明體液體。熔點(diǎn)：-85℃,沸點(diǎn)：161℃,相對(duì)密度：0.971（20/20℃),溶于大部分有機(jī)溶劑，不溶于水?！獰o(wú)水碳酸鈉Na2CO3——性狀：白色粉末或細(xì)顆粒（無(wú)水純品），味澀。分子量：105.99熔點(diǎn)(℃)：851相對(duì)密度（水=1）：2.53溶解性：易溶于水，不溶于乙醇、乙醚等——LD50：4090mg/kg（大鼠經(jīng)），LC50：2300mg/m3，2小時(shí)（大鼠吸入）鈦Ti7440-32-641504鈦為銀白色，粉末為深灰色或黑色并發(fā)亮，或溶于氫氟酸、硝酸、濃硫酸。金屬鈦粉塵具有爆炸性，遇熱、明火或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)會(huì)燃燒爆炸。其粉體化學(xué)活性很高，在空氣中能自也能在二氧化碳或氮?dú)庵腥紵?。高溫時(shí)易與鹵素、氧、硫、氮化合?！~Cu——熔點(diǎn)1083℃;相對(duì)密度(水=1)8.92其粉體遇高溫、明火能燃燒——硫酸銅CuSO4·5H2O61519藍(lán)色三斜晶系結(jié)晶。熔點(diǎn)：200℃(無(wú)水物)，相對(duì)密度(水=1)：2.28。溶于水，溶于稀乙醇，不溶于無(wú)水乙醇、液氨。未有特殊的燃燒爆炸特性。受高熱分解產(chǎn)生有毒的硫化物煙氣。鼠經(jīng)口33mg/kg（小鼠腹腔）硫酸H2SO481007純品為無(wú)色透明油狀液體，無(wú)臭。分子量98.08，0.13kPa(145.8℃)，相對(duì)密度(水=1)1.83。與水混纖維素等）接觸會(huì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，甚至引起燃燒。能與一些活性金屬粉末發(fā)生反應(yīng)，放出氫氣。遇水大量放熱，可發(fā)生沸濺。具有強(qiáng)腐蝕中等毒性。LD5080mg/kg（大鼠經(jīng)口LC50510mg/m3，22小時(shí)（小鼠吸入）過(guò)硫酸鈉Na2S2O851504性狀：白色晶狀粉末，無(wú)臭。分子量：238.13相對(duì)密度（水=1）：2.4溶解性：溶于水。嗅閾值惡臭物質(zhì)）與有機(jī)物、還原劑、易燃物如硫、磷等接觸或混合時(shí)有引起燃燒爆炸的危險(xiǎn)。急劇加熱時(shí)可發(fā)生爆硫酸鈀PdSO4·2H2O——紅棕色結(jié)晶粉末，溶于冷水中，在熱水中分解；沸點(diǎn)330℃.常溫常壓下穩(wěn)定——氯化鈉NaCl——性狀：無(wú)色無(wú)味固體分子量：58.44熔點(diǎn)(℃)：801沸點(diǎn)(℃)：1461相對(duì)密度（水=1）：2.17相對(duì)密度（空氣=1）溶解性：溶于水如果是強(qiáng)氧化性物質(zhì)、爆炸性物質(zhì)需注明。LD50（鼠經(jīng)口3000mg/kg次亞磷酸鈉NaH2PO2·H2O——無(wú)色單斜晶系結(jié)晶或有珍珠光澤的晶體或白色結(jié)晶性粉末。相對(duì)密度1.388，無(wú)臭，味咸。易溶于水、乙醇、甘油；微溶于氨、氨水；不溶于乙醚。遇強(qiáng)熱時(shí)會(huì)爆炸，與氯酸鉀或其他氧化劑相混合會(huì)爆炸。在常壓下，加熱蒸發(fā)次磷酸鈉溶液會(huì)發(fā)生爆炸，故蒸發(fā)應(yīng)在減壓下進(jìn)行?！蛩徭嘚iSO4.6H2O性狀：無(wú)色無(wú)味固體分子量：58.44熔點(diǎn)(℃)：801沸點(diǎn)(℃)：840飽和蒸汽壓：0.13kPa(145.8℃)相對(duì)密度（水=1）：2.07相對(duì)密度（空氣=1）：3.4————檸檬酸鉀C6H5K3O7.H2O——性狀：白色無(wú)味固體分子量：324.42熔點(diǎn)(℃)：230（分解）相對(duì)密度（水=1）：1.98——LD50相對(duì)密度（空氣=1）嗅閾值惡臭物質(zhì)）銀Ag——灰白色金屬，屬立方晶系，富延展性；沸點(diǎn)：1950℃;熔點(diǎn)：960.5℃;相對(duì)密度：10.5；不溶于水、鹽酸和堿溶液。溶于硝酸、熱硫酸、氰化鉀、熔融的氫氧化鈉；————雙氧水H2O251001無(wú)色透明液體，有微弱氣味，熔點(diǎn)-2℃,沸點(diǎn)爆炸性強(qiáng)氧化劑。過(guò)氧化氫本身不燃，但能與可燃物反應(yīng)放出大量熱量和氧氣而引起著火爆炸。過(guò)氧化氫在pH值為3.5～4.5時(shí)最穩(wěn)定，在堿性溶液中極易分解，在遇強(qiáng)光，特別是短波射線(xiàn)照射時(shí)也能發(fā)生分解。當(dāng)加熱到100℃以上時(shí)，開(kāi)始急劇分解。——四甲基氫氧化銨C4H13NO——性狀：白色針狀結(jié)晶分子量：91.15沸點(diǎn)(℃)：110°C飽和蒸汽壓：17.5mmHg相對(duì)密度（水=1）：0.866——硅——密度：2328.3kg/m3;熔點(diǎn)：1687K（1414℃);沸點(diǎn)：3173K（2900℃);————烷酮C5H9NO——透明液體，類(lèi)似苯胺氣味；沸點(diǎn)(℃)：202；熔點(diǎn)(℃)：-24；自燃溫度(℃)：346；閃點(diǎn) (℃)：95；爆炸極限：1.3-9.5%；密度：1.03；能與水、醇、醚、酯、酮、鹵代烴、芳烴互溶?！狶D50：5130mg/kg（小鼠經(jīng)口）；8mg/kg（兔經(jīng)皮）；3914mg/kg（小鼠經(jīng)口）CH4O32058外觀(guān)與性狀：無(wú)色澄清液體，有刺激性氣味。熔點(diǎn)(℃)：-97.8；沸點(diǎn)(℃)：64.8，相對(duì)密度(水=1)：0.79；相對(duì)蒸氣密度(空氣=1)：1.11；飽和易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸發(fā)生化學(xué)反應(yīng)LD50：5628mg/kg（大鼠經(jīng)LC50：83776mg/m3，4小時(shí)蒸汽壓(kPa)：13.33(21.2℃)；燃燒熱(kJ/mol)：727.0；閃點(diǎn)(℃)：11；引燃溫度(℃)：385；爆炸上限%(V/V)：44.0；爆炸下限%(V/V)：5.5；溶于水，可混溶于醇、醚等多數(shù)有機(jī)溶劑。或引起燃燒。在火場(chǎng)中，受熱的容器有爆炸危險(xiǎn)。其蒸氣比空氣重，能在較低處擴(kuò)散到相當(dāng)遠(yuǎn)的地方，遇火源會(huì)著火回燃。（大鼠吸入）環(huán)戊酮C5H8O33590外觀(guān)與性狀：水白色液體，有醚樣的氣味。熔點(diǎn)(℃)：-58.2；沸點(diǎn)(℃)：130.6相對(duì)密度(水=1)：0.95；相對(duì)蒸氣密度(空氣=1)：2.3；閃點(diǎn)(℃)：26易燃，遇明火、高熱或與氧化劑接觸，有引起燃燒爆炸的危險(xiǎn)。LD50：1950mg/kg（小鼠靜丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無(wú)色透明液體；熔點(diǎn)(℃)：-87；沸點(diǎn)(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經(jīng)口LD50：8532mg/kg；小鼠經(jīng)腹腔LD50：750mg/kg；兔子經(jīng)皮膚接觸LD50：5mg/kg丙烯酸樹(shù)脂————無(wú)色或有色流體，有特殊芳香味；熔點(diǎn)(℃):-47.9；沸點(diǎn)(℃)：139；相對(duì)密度(水=1)：0.86；相對(duì)蒸氣密度(空氣=1)：3.66；可與丙烯酸漆稀釋劑等混溶。爆炸極限：1.1-7.0%LD50：5000mg/kg（大鼠經(jīng)丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無(wú)色透明液體；熔點(diǎn)(℃)：-87；沸點(diǎn)(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經(jīng)口LD50：8532mg/kg；小鼠經(jīng)腹腔LD50兔子經(jīng)皮膚接觸LD50：>5mg/kg鎳Ni42004銀白色堅(jiān)硬金屬；熔點(diǎn)(℃)：1453；沸點(diǎn)(℃)：2732，相對(duì)密度(水=1)：8.9；飽和蒸汽壓(kPa)： 0.13(1810℃)；不溶于濃硝酸，溶于稀硝酸。其粉體化學(xué)活性較高，暴露在空氣中會(huì)發(fā)生氧化反應(yīng)，甚至自燃。遇強(qiáng)酸反應(yīng)，放出氫氣。粉塵可燃，能與空氣形成爆炸性混合物?！被撬徭嘚i(NH2SO3)2——綠色結(jié)晶粉末；沸點(diǎn)(℃)：≥100；相對(duì)密度(水=1)：1.4-1.6；易溶于水，液氨，乙醇，微溶于丙酮不燃，無(wú)特殊燃爆特性L(fǎng)D50：3160mg/kg（大鼠經(jīng)硼酸H3BO3——熔點(diǎn)(℃)：185；沸點(diǎn)(℃)：300；相對(duì)密度：1.44；溶于水，乙醇、乙醚等?！被撬酘3NO3S81506性狀：白色結(jié)晶體，無(wú)臭無(wú)味。分子量：97.09熔點(diǎn)(℃)：205沸點(diǎn)(℃)：209相對(duì)密度（水=1）：2.13相對(duì)密度（空氣=1）：3.3溶解性：溶于水、液氨，不溶于乙醇、乙醚，微溶于甲醇。本品不燃，具腐蝕性、強(qiáng)刺激性，可致人體灼傷。LD50：3160mg/kg（大鼠經(jīng)二甲基乙酰胺C4H9NO——性狀無(wú)色透明液體。分子量：87.12熔點(diǎn)(℃)：-20沸點(diǎn)(℃)：164閃點(diǎn)(℃)：66相對(duì)密度：0.937溶解性：能與水、醇、醚、酯、苯、三氯甲烷和芳香化合物等有機(jī)溶劑任意混合。爆炸下限（%,V/V,160oC2.0；爆炸上限（%,V/V,160oC）：11.5大鼠經(jīng)口LD50為5680mg/kg。大鼠吸入LC50為2475ppm-1h甲基磺酸CH4O3S81626性狀：無(wú)色液體或固體。分子量：96.1熔點(diǎn)(℃)：20沸點(diǎn)(℃)：167飽和蒸汽壓：0.13相對(duì)密度（水=1）：1.48相對(duì)密度（空氣=1）：3.3閃點(diǎn)(℃)：>110——磷酸H3PO481501性狀：純磷酸為無(wú)色結(jié)晶，無(wú)臭，具有酸味。分子量：98.00熔點(diǎn)(℃)：42.4沸點(diǎn)(℃)：260飽和蒸汽壓：0.67相對(duì)密度（水=1）：1.87——LD50：1530mg/kg（大鼠經(jīng)口）；2740mg/kg（兔經(jīng)皮）相對(duì)密度（空氣=1）：3.38芐醇（苯甲醇）C7H8O——外觀(guān)與性狀：無(wú)色液體，有芳香味。熔點(diǎn)(℃)：-15.3相對(duì)密度（水=1）：1.04(25℃)沸點(diǎn)(℃)：205.7相對(duì)蒸氣密度（空氣=1）：3.72相對(duì)密度（水=1）：1.0419分子量：108.13飽和蒸汽壓（kPa）：0.13(58℃)溶解性：微溶于水，易溶于醇、醚、芳烴。閃點(diǎn)(℃)：100引燃溫度(℃)：436LD50：1230mg/kg（大鼠經(jīng)）；甲基吡咯烷酮C5H9NO——透明液體有胺樣氣味；分子量：99.15熔點(diǎn)(℃)：-24沸點(diǎn)(℃)：202飽和蒸汽壓：68°F（20℃)相對(duì)密度（水=1）：1.03相對(duì)密度（空氣=1）：3.4爆炸極限：1.3-9.5%LD50：3914mg/kg（大鼠經(jīng)）；LD50：5130mg/kg（小鼠經(jīng)）；目標(biāo)，必須移除表面的污染物并避免在制程前讓污染物重新殘余在晶圓表），揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》（GB38508-2020）規(guī)定的水基、半水基清洗類(lèi)型名稱(chēng)規(guī)模型號(hào)設(shè)備數(shù)量（臺(tái)/套）備注生產(chǎn)WLCSP生產(chǎn)線(xiàn)自動(dòng)貼BG膜機(jī)Lintec35103/AOI（檢驗(yàn)儀）中科飛測(cè)1/研磨機(jī)Disco3/全自動(dòng)硅厚測(cè)量AOM中科飛測(cè)1/自動(dòng)撕膜機(jī)Lintec30102/AOI（檢驗(yàn)儀）/1/背膠前清洗機(jī)/1/自動(dòng)貼背膠膜機(jī)Lintec36002/AOI（檢驗(yàn)儀）中科飛測(cè)1/背膠膜自動(dòng)烤箱/3/Sorter（導(dǎo)片機(jī)）導(dǎo)片1/打標(biāo)機(jī)EO1/打標(biāo)后AOI中科飛測(cè)1/自動(dòng)貼Dicing膜機(jī)Lintec25102/AOI（檢驗(yàn)儀）中科飛測(cè)1/全自動(dòng)隧道烤箱/1/激光切割機(jī)7161disco/激光開(kāi)槽后檢驗(yàn)ATM中科飛測(cè)1/切割機(jī)6362切割機(jī)67/AOI（檢驗(yàn)儀）中科飛測(cè)3/UV機(jī)/2/全自動(dòng)編帶機(jī)ASM/MIE5/Bumping生產(chǎn)線(xiàn)晶圓清洗機(jī)芯源6/導(dǎo)片機(jī)新創(chuàng)達(dá)5/烤箱真萍3/濺射機(jī)北方華創(chuàng)9/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)2/涂布機(jī)芯源/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)3/檢測(cè)機(jī)/儀中科飛測(cè)1/曝光機(jī)SMEE/顯影機(jī)芯源/全功能或CD檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)4/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)4/烤箱真萍7/全功能或CD檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)4/導(dǎo)片機(jī)新創(chuàng)達(dá)6/等離子清洗機(jī)北方華創(chuàng)/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)3/LAM/檢測(cè)機(jī)/儀中科飛測(cè)1/去膠機(jī)新陽(yáng)硅密5/全功能或CD檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)4/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)2/蝕刻機(jī)（刻銅）芯源6/蝕刻機(jī)（刻鈦）芯源/全功能或CD檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)4/2D檢驗(yàn)機(jī)中科飛測(cè)3/植球機(jī)上海微松5/補(bǔ)球機(jī)上海微松2/回流焊sikama2/晶圓清洗機(jī)芯源晶圓清洗機(jī)芯源2/測(cè)試機(jī)+探針臺(tái)opus5/QT71005/檢測(cè)機(jī)/儀中科飛測(cè)1/回流焊semigear3/全自動(dòng)金屬測(cè)厚儀新創(chuàng)達(dá)1/X射線(xiàn)儀Dage3/晶圓清洗機(jī)芯源2/推拉力機(jī)XYZ3/檢測(cè)機(jī)/儀camtek/導(dǎo)片機(jī)新創(chuàng)達(dá)3/注：根據(jù)《中華人民共和國(guó)放射性污染防治法》《放射環(huán)境管理辦法》等文件要求，如涉及放射性設(shè)備需委托有資質(zhì)的單位進(jìn)行放射性污染環(huán)境影響評(píng)價(jià)，論證其環(huán)境可行性和污染防治對(duì)策。名稱(chēng)條數(shù)設(shè)備名稱(chēng)規(guī)模型號(hào)單條生產(chǎn)線(xiàn)數(shù)量（個(gè)）鍍銅、鎳、錫銀生產(chǎn)線(xiàn)3預(yù)濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍銅槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍鎳槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍錫銀槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2鍍金生產(chǎn)線(xiàn)1預(yù)濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍金槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2（2）項(xiàng)目位于浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)橋林園區(qū)東至丁香路、南至紫桐路、西的物料進(jìn)行平衡分析。經(jīng)篩選，本次評(píng)價(jià)擬對(duì)銅、鎳、錫、銀、CN-及非甲入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水（液）1銅靶材50個(gè)（0.252t）0.999990.2525.267/0.155.1862銅板610（7.936t）0.999997.9363補(bǔ)充劑9.4320.2562.415合計(jì)10.60310.603入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水1硫酸鎳0.1020.22140.0230.204/0.03230.54872氨基磺酸鎳3.060.17680.5413鎳陽(yáng)極（0.221t）0.99990.221合計(jì)0.7850.785表2-11錫物料平衡（單位：t/a）入方序物料名用量元素含量純量廢氣元素含量純量廢氣廢水產(chǎn)品1錫球0.1470.99990.14720.710.3830.27220.710.3830.2720.3850.0240.00560.3014酸錫56個(gè)（0.297t56個(gè)（0.297t）0.99990.297合計(jì)0.7160.716入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水12電鍍錫銀（甲基磺酸銀）0.003550.5320.001890.01517/0.000040.00136銀離子添加劑（甲基磺酸銀）0.02760.5320.01468合計(jì)0.016570.01657入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素含量純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水固廢（液）1二氰金酸鉀2.8770.683//0.3672二氰金酸鉀0.04110.6830.028合計(jì)本項(xiàng)目CN源于電鍍金補(bǔ)充液（二氰金酸鉀、氰化鉀），去向主要包入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素比例純量產(chǎn)品/中間產(chǎn)品廢氣廢水分解1二氰金酸鉀2.9180.18060.527/0.0230.00290.0681.10712氰化鉀0.4000.674合計(jì)去向主要包括廢氣及廢液；有機(jī)廢氣經(jīng)RTO處理后有組織排放，廢液作為入方序號(hào)物料名稱(chēng)用量元素比例純量有組織排放無(wú)組織排放1冰乙酸0.320.40.01283.1060.32829.779631.96482助焊劑0.00720.420.0033助焊劑清洗液0.760.950.7224切割液0.060.965異丙醇400.99739.886光刻膠80.655.27顯影液300.9829.48漂洗液5500.98539邊框清9洗液9洗液合計(jì)665.1778665.1778本項(xiàng)目勞動(dòng)定員880人，配套員工倒班樓（含淋?。┘笆程?，年運(yùn)行），），），本項(xiàng)目循環(huán)冷卻系統(tǒng)總循環(huán)水量為13600m3/h（10771.2），），純水制備棄水直接接管市政污水管網(wǎng)進(jìn)入南京浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)廢工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)垃圾和噪聲污染，其他污染物（如工人生活共同用作填土材料。填土施工時(shí)，將軟弱土層挖至天夯實(shí)是利用起重機(jī)械吊起特制的重錘來(lái)沖擊基土表面，使地基受到壓切、接長(zhǎng)、彎曲等物理過(guò)程，然后進(jìn)行鋼筋的綁扎，攪拌機(jī)料斗中依次加入砂、水泥、石子和水，裝料量為攪拌機(jī)幾何容積的1/2～1/3。拌制完后，根據(jù)澆注量、運(yùn)輸距離選用運(yùn)輸工具球狀的焊錫（錫球）焊至需要連接的地方，使用無(wú)鉛焊錫，焊接溫度約為觀(guān)檢查時(shí)只需要觸碰繃膜環(huán)便可，防止工作人員直接觸碰晶圓造成材料污將背面貼膜后的晶圓采用烤箱進(jìn)行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生烘烤廢氣G1-4。利用激光的高能量，將產(chǎn)品型號(hào)及客戶(hù)要求印字內(nèi)容打印在塑封體表將貼膜后的晶圓采用烤箱進(jìn)行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過(guò)程會(huì)產(chǎn)生烘烤廢氣G1-6。表2-16WLCSP生產(chǎn)線(xiàn)主要污染工序及污染物一覽表類(lèi)別污染物編號(hào)產(chǎn)生工序性質(zhì)污染物廢水W1-1酸洗后水洗水洗廢水pH、COD、SSW1-2清洗后水洗水洗廢水COD、SSW1-3晶圓研磨研磨廢水COD、SSW1-4激光切割切割廢水COD、SSW1-5刀片切割切割廢水COD、SS廢氣G1-1酸洗有機(jī)廢氣揮發(fā)性有機(jī)物G1-2植球、回流焊焊接煙塵錫及其化合物G1-3焊接有機(jī)廢氣非甲烷總烴G1-4烘烤烘烤廢氣熱排氣G1-5激光打印打印粉塵顆粒物G1-6烘烤烘烤廢氣熱排氣噪聲N設(shè)備運(yùn)行機(jī)械噪聲噪聲固廢S1-1酸洗酸洗廢液含廢酸（冰乙酸）S1-2植球、回流焊廢助焊劑樹(shù)脂S1-3清洗清洗廢液含助焊劑清洗液S1-4正面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-5正面揭膜廢貼膜廢棄研磨貼布S1-6背面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-7貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-8編帶廢載蓋帶廢載蓋帶S1-9外觀(guān)檢查不合格品不合格品本項(xiàng)目Bumping生產(chǎn)工藝主要是在晶圓的焊盤(pán)上形成凸點(diǎn)。其主要工藝為晶圓表面鈍化、濺鍍鈦/銅、電鍍銅、鎳以及錫銀、濺鍍鈦鎢/金、電鍍表2-17晶圓清洗產(chǎn)污環(huán)節(jié)及污染類(lèi)別污染物編號(hào)產(chǎn)生工序性質(zhì)污染物廢水W2-1-1水洗水洗廢水COD、SS廢氣烘烤烘烤廢氣熱排氣），高防護(hù)材料在后續(xù)過(guò)程