5G手機高密度射頻PAMiDSiP先進封裝技術攻關及量產化項目環(huán)評報告表

項目名稱：5G手機高密度射頻PAMiDSiP先進封裝—1—一、建設項目基本情況造子器件制造397”擴建首次申報項目浦行審備〔2023〕335號否無—2—規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析1.2與《南京江北新區(qū)橋林新城總體規(guī)劃（2015—2030年）》相符性分析規(guī)劃范圍：東至長江岸線、南至規(guī)劃錦文路過江通道、西至規(guī)劃橋西、北產業(yè)主導方向：以智能制造為產業(yè)主導方向。圍繞集成電路、新能源汽車等戰(zhàn)略性新興產業(yè)，積極吸納和集聚創(chuàng)新資源要素，培育發(fā)展新動能。進一步發(fā)展新一代信息技術、智能交通、智能裝備制造等高端智能制造業(yè)和以現代物地：結合地鐵站點，于創(chuàng)新軸南側打造以總部辦公、咨詢、金融等三產服務業(yè)為主的總部基地。四板塊：即雙峰路以北的重型工業(yè)板塊、雙峰路以南的輕型—3—用地，符合園區(qū)用地規(guī)劃。本項目行業(yè)類別為集成電路制造，主要進行集成電規(guī)劃林中路，東以浦烏公路－雙峰路－百合路－步月路為界，西至規(guī)劃橋星大結合本地區(qū)的資源要素，將本片區(qū)定位為“橋林新城重要的制造業(yè)產業(yè)地本規(guī)劃區(qū)積極圍繞江北新區(qū)和浦口區(qū)經濟開發(fā)區(qū)的產業(yè)定位，重點開發(fā)建片封裝、成品測試、終端制造等各個環(huán)節(jié)的完整集成電路產業(yè)鏈。計劃成為全國乃至全球具有重要影響力的集成電路產業(yè)基地。同時以集成電路為產業(yè)主導方向，圍繞集成電路和新能源汽車、智能制造等戰(zhàn)略性新興產業(yè)，積極吸納和集聚創(chuàng)新資源要素，培育發(fā)展新動能。進一步發(fā)展信息技術、智能交通和智能緊抓國家和省市大力發(fā)展人工智能產業(yè)的政策機遇，以智能芯片關鍵技術為核心，以大數據、云計算、物聯(lián)網、移動互聯(lián)、信息安全、人機交互等新一代信息技術為支撐，努力形成人工智能的完整產業(yè)生態(tài)鏈。經過測評，浦口經濟開新能源交通裝備：浦口經濟開發(fā)區(qū)是南京市重點規(guī)劃的新能源汽車產業(yè)基—4—地，目標圍繞新能源汽車等產業(yè)，重點發(fā)展新能源汽車、智能網聯(lián)汽車等綠色化、智能化、高端化交通裝備，聚焦突破無人駕駛、車載信息終端、汽車進程服務人機交互系統(tǒng)等智能車網互聯(lián)關鍵技術，培育軌道交通核心零部件與配套智能裝備制造：主要為以制造業(yè)企業(yè)為主的智能裝備園，主要形成以金屬結構制造為主要特色產業(yè)，此外機械制造、醫(yī)療器械、汽車零部件制造、電子現狀：規(guī)劃區(qū)由橋林水廠與江浦自來水廠聯(lián)合供水，供水管由浦烏公路下水源：以江浦水廠和橋林水廠為規(guī)劃區(qū)供水水源，由浦烏公路、云杉路以DN1200給水管連接浦口中心城區(qū)；規(guī)劃沿新星大道、云杉路、百合路等敷設DN1000給水管；規(guī)劃沿紫峰路敷設DN600給水管；其他道路下規(guī)劃DN300-DN500給水管。給水管在道路上主要沿路北和路東敷設，其中沿新星現狀：規(guī)劃區(qū)內現狀工業(yè)建成區(qū)為雨污分流，其他區(qū)域為雨污合流制?，F規(guī)劃區(qū)內無雨水泵站，雨水就近排入河道或水塘，浦烏公路北側設有一條—5—業(yè)生產廢水外，其余生活污水及工業(yè)企業(yè)的生產廢水和生活污水接入浦口經濟m3/d。主要服務臺積電、華天科技等電子工業(yè)生產廢水。根據工業(yè)廢水量測算，采用滲、滯、蓄、凈、用、排等多種技術，實現規(guī)劃區(qū)良性水文循環(huán)，提高對徑流雨水的滲透、調蓄、凈化、利用和排放能力，有效緩解內澇風險，削保留現狀百蘭河、步月河，規(guī)劃新開挖云杉河、凌霄河、玉蓮河、瓊花河負荷預測：采用分類用地綜合指標法進行預測，其中綜合用電同時系數取—6—千伏下韓變）采用架空敷設，分別布置在新星大道北側、橋星大道西側以及步現狀：規(guī)劃區(qū)現狀氣源為石油液化氣和管道天然氣為主。區(qū)內燃氣管線與—7—用氣量按照公建：居民=1:3計算；工業(yè)用地的年用氣量按照150萬標立方米/供天然氣分布式能源站，進行提檔升級，升級后總容量為2供熱管網：根據主要熱用戶熱力負荷分布情況，合理布置供熱主干管，服務主要熱力用戶，規(guī)劃主要沿紫峰路、龍港路、步月路等敷設，管徑為及為規(guī)劃熱負荷留有余地，主要管道支架采用雙管架，預留一根通管徑管道敷—8—表1-1本項目與審查意見的相符性分析表序號1號，屬于集成電路制造2根據國家和江蘇省關于大氣、水、土壤污染防治和區(qū)域生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控相關要求，落實污染物總量管控要求。完善主要污染物排放總量控制措施，實現主要3預處理后接管污水處理造業(yè)目前清潔生產達到4污水分類收集，分別接業(yè)固廢收集后委托利用危險廢物依法依規(guī)收集5—9—6位突發(fā)環(huán)境事件應急預的要求編制環(huán)境風險應急預案并配備充足的應急裝備物資和應急救援—10—其他符合性分析1本項目屬于“鼓勵類”中“二十八信息產業(yè)”），2業(yè)轉型升級高質量發(fā)展的實施意34區(qū)域準入“新（擴）建工業(yè)生產項目必須進入經各級政府認定的開發(fā)園區(qū)或工—11—3施入江入河入湖排污口長效管理，持續(xù)推進美麗河湖建設。治土方面，加強土壤污染源頭防控，嚴控耕地、在產企業(yè)、化工園區(qū)等新增污染。通過采取上述根據《光大工業(yè)廢水處理南京有限公司浦口經濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠一測斷面，除COD超標，其余監(jiān)測因子均滿足《地表水環(huán)境質量標準》—12—④地下水環(huán)境：根據引用監(jiān)測數據，各地下水監(jiān)測點位的監(jiān)測因子均能達到地下水《地下水質量標準》(GB/T4848-2017)中Ⅳ類及以上標準限值，環(huán)境本項目廢水、廢氣、固廢均得到合理處置，噪聲對周邊影響較小，不會突本次擴建項目用水由市政給水統(tǒng)一供給。項目所在區(qū)域由浦口自來水有限主要水源為長江；主要負責浦口區(qū)原江浦地區(qū)的江浦街道、永寧街道、橋林街本項目不使用蒸汽。綜上，本項目用水、用電均在市政供應能力范圍內，—13—他符合性分析表1-3與南京浦口經濟開發(fā)區(qū)生態(tài)環(huán)境準入清單相符性目目在瓊花湖河道兩岸設置一定綠化景觀帶，在蘭橋雅居居民業(yè)區(qū)相鄰區(qū)域設置以道路、防護林為主要形式的空間防護控—14—塵小于250.65t/a，氨氣小于6.氮小于27.89t/a，總磷小于2.45t/a，氟化物小于5.21t/a，總銅急響應體系，實行聯(lián)防聯(lián)控。生產、使用、儲存危險化學品險的企業(yè)事業(yè)單位，應當采取風險防范措施，并根據《企業(yè)響，儲罐區(qū)、危廢倉庫應遠離村鎮(zhèn)集中區(qū)、區(qū)內人群聚集的及河流，且應在規(guī)劃區(qū)的下風向布局，以減少對其項目的風險源之間應盡量遠離，防止其中某一風險源發(fā)生風險事要求土地資源可利用總面積上線1976.5公頃，建設用地總面積上線1—15—他符合性分析通知》（蘇政發(fā)〔2020〕49號）相符性本項目位于南京浦口經濟技術開發(fā)區(qū)，對照《“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案的通知》（蘇政發(fā)〔2020〕49號）可知，項表1-4本項目與蘇政發(fā)〔2020〕49號相符性分析控綜上，本項目與《江蘇省政府關于印發(fā)江蘇省“（3）與《南京市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案》相符性本項目位于南京浦口經濟技術開發(fā)區(qū)，對照《南京市—16—分區(qū)管控實施方案》可知，項目位于重點管控單源汽車、新一代信息技術、智能交通、智能裝備項目；不符合全國和省級港口布局規(guī)劃以及港口總體規(guī)劃的碼頭項目；不符合《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過江通道項目；露天和敞開式噴控體系，加強應急物資裝備儲備，編制突發(fā)環(huán)境事儲存危險化學品或其他存在環(huán)境風險的企事業(yè)單位，應當制定風險防范措施，編制完善突發(fā)環(huán)境強環(huán)境影響跟蹤監(jiān)測，建立健全各環(huán)境要素監(jiān)控體系，完善并落實園區(qū)日常環(huán)境監(jiān)測與污染源監(jiān)化企業(yè)清潔生產改造，推進節(jié)水型企業(yè)、節(jié)水型方明令禁止和淘汰的落后設備、工藝和產品，資源利用和省能耗及水耗限額標準執(zhí)綜上，本項目與《南京市“三線一單”生態(tài)環(huán)—17—省人民代表大會常務委員會關于加強飲用水源地保護的決定》《江蘇省水污染防治條例》，禁止在飲用水水源一級保護區(qū)的岸線和河段范圍內新建、改建、擴畜禽養(yǎng)殖、旅游等可能污染飲用水水體的投資建設項目；禁止在飲用水水源二級保護區(qū)的岸線和河段范圍內新建、改建、擴建排放污染物的投資建設項目﹔禁止在飲用水水源準保護區(qū)的岸線和河段范圍內新建、擴建對水體污染嚴重的投資建設項目，改建項目應當消減排污量。飲用水水源―級保護區(qū)、二級保護區(qū)、準保護區(qū)由省生態(tài)環(huán)境廳會同水利等有關方面界定并禁止在國家級和省級水產種質資源保護區(qū)的岸線和河段范圍內新建圍湖造田、圍海造地或圍填海等投資建蘇省濕地保護條例》，禁止在國家濕地公園的岸線和河段范圍內挖沙、采礦，以及任何不符合主體功能定位的投資建設項目。水產種質資源保護區(qū)、國家濕地公園分別由省農業(yè)農村廳、省林業(yè)局會同有關方面界江岸線保護和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護區(qū)和保留區(qū)內投資建設除事關公共安全及公眾利益的防—18—動焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項目。合規(guī)園展—19—表1-7本項目與污染防治管理辦法相符性分析表1的廢氣采用布袋除塵+二2生產場所、生產設備應當按照環(huán)境保護和安全生產等要求設計、安裝和有效運行揮發(fā)性有機物回收或者凈化設施；固體廢物、廢水、廢氣處理系統(tǒng)產生的廢氣應當收集和處理；含有揮禁止敞口和露天放置。無法在密閉空間進行的生產經營活動應當采取有效措施，減少揮發(fā)性1—20—2先在生產系統(tǒng)內回用。對濃度、性狀差異較大中有機化工、醫(yī)藥化工、橡膠和塑料制品（有溶劑浸膠工藝）、溶劑型涂料表面涂裝、包裝印刷業(yè)的VOCs總收集、凈化處理率均不低于3量的油墨、清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液對各廢氣產生點采用密閉隔離、局部排風、就4VOCs的廢氣處理方案?！稉]發(fā)性有機物無組織排放控制標準》（GB31符—21—合2或存放于設置有雨棚、遮陽和防滲設施的專用345其使用過程應采用密閉設備或在密閉空間內操法密閉的，應采取局部氣體收集措施，廢氣應排至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。含VOCs產本項目生產過程均位于負壓環(huán)境內，產生的VOCs廢氣經工作區(qū)上方的風管收集后采用“二級活性炭678統(tǒng)應在負壓下運行，若處于正壓狀態(tài)，應對輸送管道組件的密封點進行泄漏檢測，泄漏檢測9收集的廢氣中NMHC初始排放速率≥3kg/h—22—），定表1-8本項目與寧環(huán)辦〔2021〕28號文件相符性分析表1照天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標準》無組織排放執(zhí)行《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》(GB37822-2019)，并執(zhí)業(yè)污染物排放標準》2的建設項目，在環(huán)評文件審批前應取得排放總量指務的區(qū)（園區(qū)），暫緩其涉新增VOCs，排放的建設3理化性質、特性等進行詳細分析，明確涉VOCs的主），低反應活性材料，源頭控制VOCs產生。禁止審批生產和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑、清洗—23—4組織排放標準》等有關要求，重點加強對含VOCs物詳細描述采取的VOCs廢氣無組織控制措施，充分論臺UM需求表進行設計（UM包括機臺設計的應的治理設施進行處數可達60次/h以上，控制斷面風速可達0.5m/s物較高的收集效率。集氣罩開口面最遠處的VOCs無組織排放位置，控制環(huán)評文件中應明確要求按期開展“泄漏檢測與修復”5VOCs廢氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋—24—），6），7含VOCs產品的，環(huán)評文件中應明確要求企業(yè)優(yōu)先使—25—強化生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控。完善“三線一單”上馬。新改擴建項目嚴格落實國家產業(yè)規(guī)重點污染物總量控制、污染物排放區(qū)域削清潔生產水平低的工藝和裝備納入淘汰類—26—制生產和使用高VOCs含量涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設項目，提高低（無）VOCs含量原輔材料替代力度。室外構筑物VOCs含量涂料。在生產、銷售、進口、使墨、膠粘劑、清洗劑低VOCs含量原輔材料替代計劃。禁止建設生產和使用高VOCs含量的溶劑型涂料、油墨、膠粘劑等項目。面排查涉VOCs企業(yè)治理設施情況，依法查烴初始排放速率≥2千克/小時的車間或生《省生態(tài)環(huán)境廳關于將排污單位活性炭使用更換納入排污許可管理的通知》計算了更換周期和更換量。本項目非甲烷總由上表可知，本項目建設與江蘇印發(fā)《關于深入打好污染防治攻堅戰(zhàn)的實—27—表1-10與集成電路制造建設項目環(huán)境影響評價文件審批原則相符性分析本項目符合相關法律法規(guī)、產的鉛及其化合物等涉重金屬焊接煙塵應配置覆、清模等工序產生的廢氣采用布袋除塵+二級活性炭吸附處理后；回流焊、上芯廢氣經處理后廢氣達標排放。本項目廢氣執(zhí)行《半導體行業(yè)污染物《大氣污染物綜合排放標準》企業(yè)廠區(qū)內VOCs無組織排放監(jiān)控點濃度應符合《大氣污染—28—染物排放標準》（GB13271）要求。有地方《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標標準》（GB18597）、《一般足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB—29—能產生的突發(fā)環(huán)境事件應制定有效的風險防學品存儲區(qū)應設置事故廢水收集或應急儲存影響范圍并提出環(huán)境風險防范和應急措施。建筑，已經實行了分區(qū)防控措污水收集管道和處理池等實行條條鹽類和相關化合物（PFOA類）等新污染運營企業(yè)應按照《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731）開展廢水綜合毒性監(jiān)測。條—30—條價的還應符合相關環(huán)境影響評價技術導則要1.6.4與《省政府辦公廳關于加快推進城市污水處理能力建設全面提升污水集中標產廢水經廠內綜合廢水處理系統(tǒng)預備濃水一同接管至南京浦口經濟開汞、鎘、鉻、砷、鉈和銻，并對鉛、汞、鎘、鉻和砷五種重點重金屬污染物排放量實施總量控制。重點行業(yè)。包括重有色金屬礦采選業(yè)（銅、鉛鉛蓄電池制造業(yè)，電鍍行業(yè)，化學原料及化學制品制造業(yè)（電石法（聚）氯乙），—31—根據與企業(yè)核實，含砷化鎵晶圓是晶圓廠已經減薄劃片完成的成品，本項目不對砷化鎵晶圓進行任何減薄或切割處理。直接將晶圓廠處理好的成品晶圓摘取封裝到成品里面，然后發(fā)貨出售。砷化鎵不會進入廢水等環(huán)境中。本項目1.6.6與《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物清潔原料替代工作方案》相符性分析38597-2020）規(guī)定的粉末、水性、無溶劑、輻射固化涂料產品；符合《油墨中和能量固化油墨產品；符合《清洗劑揮發(fā)性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）規(guī)定的水基、半水基清洗劑產品；符合《膠粘劑揮發(fā)性有機化合全部揮發(fā)，則清模膠揮發(fā)性有機物為89.5g/kg，滿足《膠粘劑揮發(fā)性有機化合—32——33—建設內容2018年9月，國內封測行業(yè)的領軍企業(yè)天水華天科技股份有限公司（以下簡稱“華天科技”）在南京成立華天科技（南京）有限公司（以下簡稱“華天南京”選址南京浦口經濟開發(fā)區(qū)建立先進封測產業(yè)基地。華天科技（南得南京市浦口區(qū)行政審批局的備案，備案證號為浦12計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39－電子器件制造397的集成電路的制—34—稱義1的數量成234線5///5/項目單位依托集團國家企業(yè)技術中心平臺及省級實驗室平臺經過多年工藝技術—35——36—建設內容表2-3擴建后全廠產品方案一覽表目1000002000003000004000005000006/000007列0000080000000100010000000000000000000000000—37—000000000000000線00006060000101000005575表2-4擴建項目及全廠工程組成一覽表—38——39—機設置低溫冷水機（5℃)、中溫冷水機（12℃),產生冷凍水，為6/13℃低溫冷凍水和12/19℃設置低溫冷水機（5℃)、中溫冷水機（12℃),產生冷凍水，99.999%，制氮站配套液氮緩沖套—40—用電量17100萬kWh。式除塵+沸石+RTO裝置”+20m“酸堿洗滌塔”+20m高排氣筒（FQ-4），風量8498m3/h“酸堿洗滌塔”+20m高排氣筒（FQ-4），風量8498m3/h），），），“1#三級袋式除塵+沸石+RTO裝），“1#三級袋式除塵+沸石+RTO），），），根據規(guī)劃已考慮本項目級活性炭改為“布袋除塵+二—41—級活性炭”//），），/植球廢水高，將減薄廢水單獨預處理后同劃片、回流焊清洗廢水等再進入廢水回用系統(tǒng)。改造后減薄廢水預處水—42—水儲存要求為：應保持適宜的溫濕度，確保儲存物品不受防火門等；確保儲存物品的安全。應定期巡檢，檢查儲存物品的狀態(tài)，及時發(fā)現問題并予以處理。應—43—建設內容表2-5擴建項目依托設備可行性1457.7kW24.5m3/h3447m3/h510640m3/h420m3/h62941kW551kW7504m3/h94m3/h32m3/h8泵592m3/h37m3/h9“布袋除塵+二級活））26120m3/h“二級活性炭”處理））12460m3/h9.1t/h2.6t/h62t/h7.6t/h28.5t/d表2-6擴建項目儲運工程依托可行性123485—44—2.1.3.2公輔工程—45—再生過程污氮放空污氮廢分子篩放空廢氣（富養(yǎng)廢氣）分子篩純化（預處理）再生過程污氮放空污氮廢分子篩放空廢氣（富養(yǎng)廢氣）分子篩純化（預處理）空氣過濾空氣過濾廢過濾芯、噪聲空氣壓縮空氣壓縮冷卻冷卻/分離冷箱冷卻液化（熱交換）低溫精餾恢復常溫（熱交換）壓縮壓縮合格合格供生產線使用②空氣壓縮：原料空氣進入MAC空壓機中，經過壓縮到所需的壓力—46—把壓縮空氣溫度從40℃冷卻到3℃的露點溫度，使壓縮空氣中含水量趨于超飽⑤冷卻液化（冷箱中熱交換器經分子篩吸附后的空氣進入主交換器（安裝在一個保溫隔熱的冷箱中干空氣通過與回流產品及廢蒸汽在主交換器中的—47—辦資〔2021〕81號）中“其他居民服務業(yè)”中的“城鎮(zhèn)居民住宅”用水定額150L/原水箱純水反滲透純水反滲透反滲透EDI超濾UF超濾純水制備廢濾料/廢膜純水制備濃水反沖洗廢水類比現有項目，本項目減薄劃片/回流焊清洗/植球清洗和切割等工序使用純—48—表2-7循環(huán)冷卻水系統(tǒng)用排水一覽表-h519800t/a，食堂污水產污系數按0.8計，食堂污水產生量1980t/a。綜上，共計根據提供資料分析；本項目減劃/回流焊清洗/植球清洗工序使用純水量為本項目切割工序使用純水為22809.6t/處理，處理后淡水（15807t/a，回用率約77%）回用于純水站純水制備，4722t/a—49—60mg/L、SS＜30mg/L，納入污水管網排放。該設備設計產生率v=wxqxF2對客戶提供的不同批次的原料（晶圓、基板元—50—減劃/standoff回流焊/植球80308.8072278.0016625.0022809.6020529.004722.00切割工序損耗1140.80127862.4088368.0010264.00570.6033.60損耗及危廢6395.006395.00綜合廢水處理系統(tǒng)2化糞池24750.0019800.0019800.00隔油池生活污水處理設施南京浦口經濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠1980.00 1980.002475.001980.0031185.002911.00損耗減劃/standoff回流焊/植球80308.8072278.0016625.0022809.6020529.004722.00切割工序損耗1140.80127862.4088368.0010264.00570.6033.60損耗及危廢6395.006395.00綜合廢水處理系統(tǒng)2化糞池24750.0019800.0019800.00隔油池生活污水處理設施南京浦口經濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠1980.00 1980.002475.001980.0031185.002911.00損耗55653.00損耗8030.80減劃/standoff回流焊/植球回用水系統(tǒng)15807.00損耗2280.60切割工序回用水系統(tǒng)純水站 11404.80 11404.8031965.6013305.6012735.00含清洗液的回流13305.6012735.00焊清洗清洗液配置初期雨水15584.0059930.00153173.00初期雨水15584.0059930.00濃水31965.60濃水純水站反沖水系統(tǒng)損耗4950.00辦公生活用水損耗495.0059930.00食堂用水28274.00冷卻循環(huán)系統(tǒng)南京浦口經濟開發(fā)區(qū)污水處理廠63051.60—51—421.00337.00車間地面沖洗損耗600.003480.002880.00廢氣洗滌系統(tǒng)545725.00534576.00損耗128518.80915827.80減劃/standoff回流焊/1321885.00植球綜合廢水處理系統(tǒng)1、2減劃/standoff回流焊/植球回用水系統(tǒng)241584.00165898.00854415.00損耗77357.60492206.60切割工序1269264.00切割工序回用水系統(tǒng)248951.001087077.00純水站損耗1140.801438961.4011404.8010264.00研磨燒蝕工序損耗38349.00421.00337.00車間地面沖洗損耗600.003480.002880.00廢氣洗滌系統(tǒng)545725.00534576.00損耗128518.80915827.80減劃/standoff回流焊/1321885.00植球綜合廢水處理系統(tǒng)1、2減劃/standoff回流焊/植球回用水系統(tǒng)241584.00165898.00854415.00損耗77357.60492206.60切割工序1269264.00切割工序回用水系統(tǒng)248951.001087077.00純水站損耗1140.801438961.4011404.8010264.00研磨燒蝕工序損耗38349.00損耗36075.0036075.00綠化損耗84.00損耗0.5危廢處理0.509.0010.009.00實驗用具清洗初期雨水15584損耗1044.0015584損耗10589.0011633.0010589.00退錫清洗164.00損耗164.001875.002039.001875.00浸煮軟化清洗550493.00南京浦口經濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠550493.001513920.0550493.00492.00新鮮水492.006117.005625.00去皮氧化、錫化后、6117.005625.00中和后清洗6.00損耗66.0060.0066.00配置工作液芬頓處理配置工作液570.60損耗570.60359738.6013305.6012735.00含清洗液的回流焊清13305.6012735.00洗33.60損耗及危廢清洗液配置損耗及危廢56812.0056812.00純水站反沖洗56812.00586251.6南京浦口經濟開發(fā)區(qū)污水處理廠153396.00191745.00化糞池2849.00153396.00191745.00化糞池2849.00損耗11394.0014243.00隔油池+11394.0014243.00隔油池+生活污水處理系統(tǒng)損耗105474.004911.00110385.00冷卻循環(huán)系統(tǒng)4911.00110385.00—52—表2-8本項目主要生產設備一覽表、1臺8/2臺6/3臺6/4臺/5臺8/6NeoHorizon03IX臺/7臺6/8臺/9臺/臺2/臺6/臺3/臺6/臺6/臺6/臺/臺/臺9/臺6臺6/臺3/臺2/臺/臺/臺4/臺/臺6/臺/臺臺/臺6/臺2/臺6/二1臺6/—53—2臺6/3臺6/4臺6/5臺9/6臺6/三1套1/2臺2/3臺2/4套1/5臺1/6臺6/7套18/套1/9套2/122泵2324泵2554用1備61/71/81/9/1//3/—54—18526535485556657585925656595656565353556556555545555656525—55—6525/0/NXTⅢ0/0//0/404/機0/機505//404/0/統(tǒng)0/0/101//2020/202/0/0//202/505/0/F0/NXTⅢ808/0/0/VSP-88D606/0/統(tǒng)0/—56—303/303/101/1010/高端封測303/606/0//101/0/0/505/606/202/0/202/0//404//303//202/0/0/V50/S50/3380/S200/NI/PAX/90//101//101//101//202//101//101//101//101//101//303//101//101//101//101//0//0//202//202//101/—57—/202//101//101//101//101//101//0/備/101/線707/505/707//0/606/00000/0/0/0/0/0/0/0/0/0000/505//505/0/0/808/0/0/—58—0//0/錫化線202/熔錫爐/404/101/鏡101/101/101/實驗室101/鏡101/101/101/密度射頻先進封裝技術攻關及量產化/88/66/660088NeoHorizon03IX00660002206603306606606609900066—59—066033022000440066000066022066066066066066099066101/101/404/統(tǒng)4478m3/h202/022統(tǒng)202/統(tǒng)011202/101/—60—統(tǒng)備303/404/011統(tǒng)505/011//224//202統(tǒng)/1012.1.6原輔材料及能源消耗量152t34t45噸67/89/水噸/卷噸—61—L//噸M噸8L//化鎵芯片進行任何減薄或切割處理。本項目直接將晶圓廠處理好的成品芯片摘取封裝到成②濺鍍過程金屬靶材經過氣體離子的撞擊，產生的金屬離子沉積在產品表面，多余的靶材1個—62—2ZH05-SD4000-N1-70CC個3劑把46/5//個6//個7//個82/9//個/米/米/個/個/個//根//個個鋼個個把2.1.7本項目有機物、砷平衡、銀平衡—63—廢氣非甲烷總體4.59助焊劑4上芯廢氣0.01DAF帶入產品鐳射保護液粉末塑封料9.59塑封固化清模清模膠8.805清洗皂化劑廢氣非甲烷總體4.59助焊劑4上芯廢氣0.01DAF帶入產品鐳射保護液粉末塑封料9.59塑封固化清模清模膠8.805清洗皂化劑去向原料帶入有機物工藝過程去向錫膏0.59導電膠0.002上芯涂覆廢氣0.88劃片廢水7.92塑封固化廢氣0.048帶入產品9.542清模廢氣帶入固廢7.462廢皂化劑—64—含砷化鎵的芯片783.12產品WBPA生產品WBPA生產線上芯導電膠0.0082上芯導電膠0.0082帶入產品0.0082錫球+錫膏0.48930錫球+錫膏0.48930帶入產品0.489072廢氣0.000228濺鍍不銹鋼靶材0.00048濺鍍不銹鋼靶材0.00048帶入產品0.0004695廢靶材（固廢）0.0000105—65—建設內容建設內容稱醇），脂的黃色透明液體至固體。熔點(℃)145~155，分子量： 引燃溫度(℃)2,4,7,9-炔-4,7-—66——67—建設內容表2-15本項目建成后全廠主要原輔材料名稱與1025354t56t7t8t9//34tt/卷/88L//t///1/1/t//支/卷/t//t/t/t/個/t/t/t—68—/t/t/t/t/t/t/t/t/t/t4/4t/t/瓶/瓶/瓶/瓶1/1瓶6/6瓶/瓶/瓶/瓶6/6瓶碘2/2瓶4/4瓶/瓶/瓶生產區(qū)：位于廠區(qū)中部，由生產廠房和測試樓組樓2位于廠區(qū)東南角，廠房與測試樓之間有連廊連—69—外輪廓為矩形，為地上三層的丙類電子潔凈生輔助區(qū)：位于用地的西部、生產區(qū)的西側，主要套功能，如氣體供應、電力供應、化學品供應、生產宿舍區(qū)：位于用地的南部，由兩棟宿舍樓、運動流出入口位于廠區(qū)西南角；宿舍區(qū)主要出入口位于物流②測試樓等基本無污染建筑位于生產區(qū)上風向，化學品2.1.9勞動定員及工作制度—70—工藝流程和產排污環(huán)節(jié)2.2施工期工藝流程及產污分析本項目利用現有已建設廠房，施工期不涉及土建2.3營運期工藝及產污分析—71—不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W1-1減薄廢水S1-1廢膜G1-1覆膜廢氣W1-2劃片廢水涂覆劃片鐳射保護液純水+中水DPS編帶DPS編帶S1-2廢皂化劑G1-3堿霧可選G1-7后固化廢氣G1-8打印粉塵S1-4廢膜W1-4切割廢水S1-5廢靶材切割膠膜純水+中水靶材、氬氣S1-6廢棄電路S1-7廢包裝材料包裝材料錫膏、助焊劑元器件不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W1-1減薄廢水S1-1廢膜G1-1覆膜廢氣W1-2劃片廢水涂覆劃片鐳射保護液純水+中水DPS編帶DPS編帶S1-2廢皂化劑G1-3堿霧可選G1-7后固化廢氣G1-8打印粉塵S1-4廢膜W1-4切割廢水S1-5廢靶材切割膠膜純水+中水靶材、氬氣S1-6廢棄電路S1-7廢包裝材料包裝材料錫膏、助焊劑元器件氮氣G1-2焊接煙塵純水+中水、皂化劑W1-3清洗廢水SMT可選貼片回流焊噴淋清洗皂化劑清洗+純水洗+分離洗G1-4焊接煙塵G1-4焊接煙塵倒裝上芯G1-5塑封廢氣G1-5塑封廢氣G1-6清模廢氣S1-3廢膜塑封塑封分離膜清模膠后固化一次回流焊烘烤打印切割濺鍍六面檢包裝入庫（1）晶圓減?。簷z測后的晶圓需進行背面減薄，使其達到所需的厚度對其背面進行研磨，直至設定的厚度。磨片時，需要在正面貼時研磨背面，研磨之后，去除膜，測量厚度。減薄過程由貼—72—工面進行保護，在激光切割完成之后，用純水清洗便可去除涂覆劃片過程由激光開槽機、劃片機完成。激光（4）SMT：表面貼裝技術，將電容等元器件或者倒裝芯片貼裝在基板上。錫膏加至鋼網，通過刮刀在一定速度及壓力控制下，將錫膏—73—件供料于貼片機，通過吸嘴攜帶及放置于對應焊盤位置；然入AOI設備進行回流前檢驗；然后再進行240℃高溫回流，使錫膏熔化，與焊盤及器件形成焊接點；回流焊完成后對器件周邊殘留物進行②回流焊：通過重新熔化預先分配到印制板焊盤上的膏狀③回流焊噴淋清洗：回流焊清洗主要清洗回流焊后焊盤在回流焊清洗機內清洗，包括皂化劑清洗和純水清洗和分離實現芯片凸點引腳與基板的互聯(lián)。使用助焊劑—74—或化學損壞，防止外界物質及水分污染。塑封時先要進行預熱的品名、批號、商標、制造廠家、生產國、二維碼等的標志，使制品的履歷可查。打印原理：利用激光的能量將塑封體表面刻出5~30um深度的溝槽，通過凹凸產生光線的漫反射，從而在制品表面得到視覺上光線反差，這樣就可以看見打印圖形。打印在激光打割道切割成單顆產品的分離技術。切割在純水噴淋的（W1-4切割廢水進入“切割廢水回用系統(tǒng)”處理后淡水作為純水制備系統(tǒng)補產生氬正離子，并加速形成高能量的離子流轟擊在靶材表濺射是機器里面真空腔體注入氣體離子撞擊金屬靶材，—75—不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W2-1減薄廢水鐳射保護液純水+中水S2-1廢膜G2-1覆膜廢氣W2-2劃片廢水涂覆劃片含砷化鎵的芯片S2-3清潔廢膠G2-4上芯廢氣特點：濺射形成的金屬薄膜表面光亮如鏡，無氧化不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W2-1減薄廢水鐳射保護液純水+中水S2-1廢膜G2-1覆膜廢氣W2-2劃片廢水涂覆劃片含砷化鎵的芯片S2-3清潔廢膠G2-4上芯廢氣產品，合格產品按照要求，進入料管或料盤中。將測試后（13）包裝入庫：測試合格品進行包裝入庫待售。包裝過程產生廢包裝料基版錫膏元器件氮氣錫膏元器件氮氣G2-2焊接煙塵純水+中水、皂化劑W2-3清洗廢水S2-2廢皂化劑G2-3堿霧貼片回流焊噴淋清洗皂化劑清洗+純水洗+分離洗上芯導電膠上芯等離子清洗壓焊S2-4殘余線料G2-5塑封廢氣等離子清洗壓焊S2-4殘余線料G2-5塑封廢氣G2-6清模廢氣S2-5廢膜G2-7后固化廢氣銅絲塑封粉末塑封料塑封塑封分離膜清模膠后固化一次回流焊烘烤G2-8打印粉塵G2-8打印粉塵切割膠膜純水切割膠膜純水+中水切割六面檢W2-4切割廢水切割六面檢S2-7廢棄電路包裝入庫包裝材料S2-8廢包裝材料包裝入庫包裝材料—76——77——78—不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W5-1減薄廢水鐳射保護液純水+中水S5-1廢膜G5-1覆膜廢氣W5-2劃片廢水涂覆劃片S5-3清潔廢膠G5-4上芯廢氣S5-4殘余線料G5-5塑封廢氣G5-6清模廢氣S5-5廢膜銅絲W5-5燒蝕廢水G5-13打印粉塵W5-7切割廢水S5-8廢靶材靶材、氬氣S5-9廢棄電路錫膏、助焊劑元器件氮氣G5-2焊接煙塵純水+中水、皂化劑W5-3清洗廢水S5-2廢皂化劑G5-3堿霧T-SMT貼片噴淋清洗皂化劑清洗+純水洗+分離洗基版不含砷化鎵的晶圓減劃膠膜純水+中水減薄W5-1減薄廢水鐳射保護液純水+中水S5-1廢膜G5-1覆膜廢氣W5-2劃片廢水涂覆劃片S5-3清潔廢膠G5-4上芯廢氣S5-4殘余線料G5-5塑封廢氣G5-6清模廢氣S5-5廢膜銅絲W5-5燒蝕廢水G5-13打印粉塵W5-7切割廢水S5-8廢靶材靶材、氬氣S5-9廢棄電路錫膏、助焊劑元器件氮氣G5-2焊接煙塵純水+中水、皂化劑W5-3清洗廢水S5-2廢皂化劑G5-3堿霧T-SMT貼片噴淋清洗皂化劑清洗+純水洗+分離洗上芯DAF上芯壓焊T-塑封T-塑封粉末塑封料塑封分離膜T-后固化倒裝上芯助焊劑T-后固化倒裝上芯助焊劑G5-8焊接煙塵B-塑封清模膠B-塑封清模膠粉末塑封料塑封分離膜G5-10清模廢氣S5-6廢膜B-后固化B-研磨B-后固化B-研磨純水+中水純水+中水錫球、助焊劑純水+中水W5-4研磨廢水激光燒蝕standoff植球standoff植球清洗W5-6清洗廢水烘烤切割膠膜純水切割膠膜純水+中水切割濺鍍六面檢包裝材料包裝入庫S5-10廢包裝材料—79—上芯過程由上芯機完成。上芯機上的點膠頭需定期通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序行等離子清洗時，本身處于安全范圍之內，清洗—80—的銅線把芯片上電路的外接點和框架上的引線通過核心工具是陶瓷劈刀，內部為空心，中間穿上金線露于陶瓷劈刀前端的金線高溫熔化成球形，以便在該過程在植球機、回流焊爐和水清洗機中完成?；亓骱笭t中產生焊接煙塵同時進行純水噴淋，該過程會產生研磨廢水W5-4。研磨廢水進入綜合廢水處理職工食堂運行過程中會產生食堂油煙和廢水。食堂—81—物、非甲烷總物、非甲烷總）（）（//蝕/—82—磷///水/N洗潔////護//////—83—//材///—84—表2-17集成電路芯片及分立器件芯片制造企業(yè)清潔生產評價指標體系技術指標項權重值序號值/術12到率90%，Ⅰ級34用量，56使用量—85—71級標89品化學需氧量產生2—86—品危險廢棄物產生2性認證”了環(huán)境管理機—87—效運行；有完善的清潔生產管理機構，制定持續(xù)清潔生產體確ISO14001質級—88—與項目有關的原有環(huán)境污染問題華天科技（南京）有限公司于2018年在南京市浦口區(qū)注冊成立。華天科技（南京）有限公司近年陸續(xù)進行了五期項目。一期項目：華天科技（南京）有限公司于2證編號：91320111MA1X741DOD001V。企業(yè)已按照排污許可證的要求按時填報—89—12收3收4收5備12目32.5.1現有項目環(huán)保措施及污染物排放情況2.5.1.1《集成電路先進封測產業(yè)基地（一期）》已驗收—90—一期項目污染物排放標準及排放情況根據原有項目環(huán)評、變動環(huán)境影響分向/置化器UV光氧催化+活性—91—生活污水處理設施，采用生化處理工藝對生環(huán)冷卻水棄水和純水制備濃水接入生活污水管網，送至經別況1234567894①②//////—92—//////////—93——94—與項目有關的原有環(huán)境污染問題表2-22《存儲及射頻類集成電路封測產業(yè)化項目》污染物產生及治理措施理/統(tǒng)/—95—//2.5.1.3三期項目《集成電路高端封測生產線建設項目》（已建設正在組織驗收）表2-23集成電路高端封測生產線建設項目污染源與污染因子表源式//—96—源式氮/廠氮/氮////—97—///氮/氮//////////////////—98—/////////////2.5.1.4四期項目：集成電路先進封測產業(yè)基地MEMS技表2-24“集成電路先進封測產業(yè)基地MEMS技術攻關及產業(yè)化項目”污染源與污染因子匯總表/—99——100—量理—101—//生錫—102—產廠房2NOx/洗理—103—活---///—104—與項目有關的原有環(huán)境污染問題2.5.2現有項目例行檢測數據源1231后固部填化廢流焊廢氣口數/1硫NDNDND/物NDNDND/口數//2后固模廢片涂覆廢口數/1NDNDND—105—氣硫/物NDNDND/3錫爐廢氣口數/氨/物NDNDND/口數///口數/NDNDND/口數///ND/////4口數//5/—106—口數/6口數//7庫口數//8口FQ-1、FQ-2排氣筒出口的顆粒物、二氧化硫、氮氧化物的最—107—TSP氮氧化物氨二氧化硫氣0.1830.0430.08ND0.2950.0500.17ND0.2420.0620.24ND0.2870.0790.10ND0.50.120.4////////////////////////////6////值。顆粒物、氮氧化物、二氧化硫企業(yè)邊界濃度均符合《大氣污染物綜合排N1N2N3N4根據上表數據，廠界噪聲均可達《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》—108—pH/2.5.3已建項目環(huán)評批復落實情況表2-31“環(huán)評批復”落實情況檢查1形成引線框架類、基板類集成電路2—109—3集，分類處理。回流焊/植球清洗廢水接入割工序產生的減劃廢水接入減劃廢水回用雨水管網；生活污水經化糞池收集后與食堂含油廢水經隔油池預處理后一并接入南京浦口經濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理；生產廢水經綜合污水處理設施預處理后接入光大工業(yè)廢水處理南京有限公司處理。4VOCs經設備風管收集經過三級袋式除塵+沸石+RTO裝置處理?！?10—567委托環(huán)衛(wèi)部門定期清運；餐廚垃圾在餐廳設置垃圾桶收集，隔油產生的廢油脂委托南京來順廢棄油脂有—111—89庫、綜合廢水處理系統(tǒng)、危險廢物溶劑清洗的生產車間等作為重點防般工業(yè)固廢倉庫等作為一般污染防施，制定事故應急預案，正在報環(huán)—112—性理，與其他生活污水一并經生化處理達接管標準后，接入市政污水管網，排至浦口經濟開發(fā)區(qū)污清洗廢水、切割廢水分別經廢水回用系統(tǒng)處理達再生利用工業(yè)用水水質》(GBT19923-200滌用水水質標準后部分回用，其余經廠內現有綜合污水處理系統(tǒng)處理達《半導體行業(yè)污染物排放級活性炭吸附裝置處理達標后，通過新建的15米(DB32/4041-2021）表1“置”標準及“其他”標準；錫及其化合物、顆粒甲烷總經無組織排放執(zhí)行《半導體行業(yè)污染物排—113—界噪聲滿足《工業(yè)企業(yè)廠界噪廢包裝桶、廢礦物油、油水混合物、污泥、托有資質單位安全處置，轉移處置時應按規(guī)廢包裝材料、生活垃圾、餐廚垃圾、廢油脂專業(yè)單位綜合利用或規(guī)范化處置的，須執(zhí)行規(guī)定。所有固廢零排放。按照《危險廢物貯生態(tài)環(huán)境廳關于進一步加強危險廢物污染防作的實施意見》的相關要求建設危險廢物貯貯存、處置場污染控制標準》(GB18責任制度，確保環(huán)境治理設施安全、穩(wěn)定、有效—114—告表提出的環(huán)境管理與監(jiān)測計性理廠集中處理；生產廢水中減劃/回流焊/植球清高排氣筒（FQ-2）高空排放；生產廠房1（BGA—115—界噪聲滿足《工業(yè)企業(yè)廠界噪—116—排污口和標志，其中生活廢水和生產廢水排口分別設置。按監(jiān)測要求建設、安裝自動監(jiān)控設備及配套設施，并與生態(tài)環(huán)境部門監(jiān)控中心聯(lián)網。已按照告表提出的環(huán)境管理與監(jiān)測計性—117—理；生產廢水中減劃/回流焊/植球清洗廢水、切物排放標準》（DB32/3747-20排放。新增MEMS生產線（生產廠房1）中回流），一并通過2#三級袋式除塵+沸石+RTO處理達標(DB32/4041-2021）表3—118—染物排放標準》(DB32/3747-2020）界噪聲滿足《工業(yè)企業(yè)廠界噪—119—告表提出的環(huán)境管理與監(jiān)測計否/否0/否否錫否///否/氨否水否否否否否否否水否否否否—120—否水否否否否否否否2.6現有項目存在的主要環(huán)保問題及“以新帶老”根據企業(yè)最新規(guī)劃，調整清模廢氣收集經過排氣筒Q12排放，同時調整排氣筒Q12前的處理設施，由二級活性炭改為布袋除塵+二級活性炭。具體調整情況如節(jié)3炭”處理裝置+25m高排氣炭”處理裝置+25m高排氣氣炭”處理裝置+25m高排氣底部填性炭”處理裝置+25m高排—121—統(tǒng)元劃片廢水、回流焊/植球廢水→—122—現有項目環(huán)評：純水站反沖廢水接管到南京浦口經濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理稱據量//銅//錫//食堂污水+水+純水站—123—////—124—區(qū)域環(huán)境質量現狀3.1區(qū)域環(huán)境質量現狀3.1.1環(huán)境空氣3.1.1.1基本因子現狀評價33年南京環(huán)境質量改善重點工作為持續(xù)深入打好污染防治攻堅戰(zhàn)。持續(xù)實施PM2.53.1.1.2其他因子現狀評價稱況—125—表3-2地表水環(huán)境質量現狀監(jiān)測方案米—126—區(qū)域環(huán)境質量現狀）（銅鎳砷ND4.18NDNDNDND4.06NDNDNDND4.25NDNDND/4.16///標準值(Ⅳ31/00000000000數///////////////NDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDND////標準值(Ⅳ31/00000000000數///////////////NDNDNDNDND4.06NDNDND—127—ND4.16NDNDND/4.11///標準值(Ⅳ31/0000000000數//////ND4.05NDNDNDND4NDNDND5ND4.14NDNDND/4.06///標準值(Ⅲ51611/0000000000//////////NDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDND////標準值(Ⅲ51611/0000000000//////////—128—NDNDNDNDNDNDNDNDNDNDNDND////標準值(Ⅲ51611/0000000000//////7ND4NDND7NDNDNDNDNDND7///標準值(Ⅲ51611/0000000000/////0///—129—區(qū)域環(huán)境質量現狀2、石磧河兩側有大量的農業(yè)種植區(qū)，農業(yè)污染源經地表水漫流、徑流等作3.1.3地下水環(huán)境質量現狀表3-4地下水質量現狀監(jiān)測點位DW2—130—硬度（以CaCO3計）、溶解性總固體、硫酸鹽、氯物、碘化物、揮發(fā)性酚類（以苯酚計）、陰離子蒽、苯并（k）熒蒽、?、二苯并（a,h）蒽、茚并物錫表3-6地下水質量現狀監(jiān)測結果及評價結果表鐵ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ錳ⅣⅣⅣⅣⅣⅠ銅ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ鋅ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ鈉ⅠⅠⅠⅠⅠⅡ砷—131—ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ鉛ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ錫ⅣⅠⅠⅠⅠⅠ鎳ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ/ⅠⅠⅠⅠⅠⅠ/無無無無無無ⅠⅠⅠⅠⅠⅠNTU11ⅣⅠⅠⅠⅠⅠ物/無無無無無Ⅰ0ⅠⅠⅠⅠpH/ⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅣⅢⅡⅡⅢⅡⅢⅡⅡⅡⅢⅢⅠⅠⅡⅠⅠⅠⅢⅠⅠⅠⅠⅠ21ⅡⅢⅡⅡⅢⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅡⅡⅢⅠⅡⅢⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠⅠ—132—聲均值為67.7dB，同比上升0.3dB；郊區(qū)晝間交通噪聲均值66.1dB，同比下降表3-7聲環(huán)境質量現狀監(jiān)測及評價結果單位：dB(N1N2N3N4此次監(jiān)測期間各廠界及敏感目標處晝、夜噪聲值均滿足《聲環(huán)境質量標準》3.1.5土壤環(huán)境質量—133—pH錫砷鎘銅鉛汞鎳錫烴3.1.6輻射環(huán)境和生態(tài)環(huán)境—134—環(huán)境保護目標3.2環(huán)境保護目標素境境E/WE污染物排放控制標準3.3污染物排放控制標準—135—氣//NMHC//6—136—業(yè)污染物排業(yè)廢水接管6//—137—8準5（10）*1/營運期間廠界執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3表3-19《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）本項目施工期場界噪聲排放執(zhí)行《建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標準》—138—表3-20建筑施工場界環(huán)境噪聲排放標準（單位：dB(3.3.4固廢貯存標準對項目生產過程中危險固廢的暫存場所執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標準》總量控制指標3.4本項目污染物總量控制指標本項目建成后全廠生活污水污染物接管量586251.60t/a、COD73.629t/a、—139—廢氣/////0.1244//0.0004//廢水NH3-N0（生活污環(huán)冷卻排反沖水）0NH3-N—140—NH3-N固廢00000000表3-22全廠廢氣、固廢污染物排放總量量量廢氣有組織廢氣//NOX//////氨//無組織廢氣NOx//////氨//合計//NOx//////氨//種類生量固—141—廢—142—總量控制指標稱廢水水//銅/////錫/////水+食+純水水等////0000000000//銅/////錫///////—143—施4.1施工期環(huán)境保護措施運營期環(huán)境影響和保護措施4.2營運期環(huán)境影響和保護措施等離子清洗廢氣：等離子清洗過程產生微量的粉塵，由等離子清洗機風管清洗劑清洗堿霧廢氣：皂化劑清洗過程中，因含有苛性鉀會有堿霧產生，產生的堿霧經過收集后由堿霧處理塔（噴淋塔）處理，處理后經過排氣筒Q16本項目回流焊、倒裝上芯、植球回流焊接過程中會使用到無鉛錫膏、錫球和助焊劑。該過程會產生焊接煙塵、上芯廢氣，污染因子有錫及其化合物（同按照錫膏中助焊劑成分全部揮發(fā)計，無鉛錫膏用量為5.9t/a，助焊劑成分為—144—稱料共20.9t/a，故錫及其化合物（同時計的單體和低聚物可能部分揮發(fā)出來，根據有機廢氣產生量參考《合成樹脂工業(yè)徑向外流，液體薄膜厚度不斷下降，最終在晶圓表面形成均勻薄膜（鐳射保護—145—鐳射保護液有機份主要成分是聚乙烯醇和丙二醇甲醚，水生產工藝中塑封以及后固化過程中環(huán)氧樹脂塑膠料因在加熱軟化過程中，鑒于溫度較低，其廢氣量小，成分不復雜。本項目塑封以及后固化過程使用環(huán)但樹脂中的單體和低聚物可能部分揮發(fā)出來，根據有機廢氣產生量參考《合成鋪放到模具腔體內，合模后高溫下（165-190℃)固化4—8min即可（按6min/—146—總烴，合成橡膠參考《熱重法評估橡膠絕緣材料的熱老化壽命》中熱失重曲線集成電路打印過程產生顆粒物，顆粒物的主要成分是環(huán)氧樹脂及二氧化硅取有組織排放濃度2.5mg/m3,本次擴建項目激光打印機配套風機總風量打印區(qū)設置了一套空調凈化系統(tǒng)，使車間潔凈度保持在萬級，換氣次數≥潔凈車間氣流送風、回風方式為：頂送下側回，車間內為正壓，達到潔凈—147—本項目回流焊清洗過程中會產生廢皂化劑。廢皂化劑存放在危廢庫中。根危廢庫有機廢氣通過危廢倉庫已建的二級活性炭吸附裝置處理后由排氣筒食堂產生的油煙廢氣經油煙凈化器處理后通過煙管道引至樓頂排放，本項目油3—148—和NOx產污系數來源于第二次全國污染源普查中生活源產排污表4-3食堂天然氣燃燒污染物產生量NOX—149—運營期環(huán)境影響和保護措施表4-4廢氣產生及質量措施一覽表率集//NOx//—150—表4-5本項目工藝有組織廢氣產生排放情況位置產污工序號施去除率產廠活性炭物活性炭化////////////塵表4-6本項目無組織廢氣產生排放情況19—151—表4-7本項目建成后全廠有組織廢氣排放情況NOxNOxNH3NOx—152—NOXNOX表4-8本項目建成后全廠無組織廢氣產生排放情況16NOx氨29—153—NOX39NOx4864.2.1.2廢氣排放口基本情況表4-9本項目廢氣排放口基本情況表（m)徑度/物///2/////—154—運營期環(huán)境影響和保護措施非正常排放是指生產設備在開、停車狀態(tài)，檢修狀態(tài)或者部分設備未能完全運行的狀態(tài)下污染物的排放情況，本次評價非正常排放時考慮工藝廢氣裝置去除效率1物11111在非正常工況下，廢氣排放濃度會有一定程度的增加，企業(yè)應加強廢氣處理設施的管理，定期檢修，確保廢氣處理設施正常運行，在廢氣處理設備停止運行或出現故障時，產生廢氣的各工序應立即啟用備用廢氣處理設施，必要時停止生產。為b.當發(fā)現廢氣處理設施故障并導致廢氣非正常排放時，應立即停止生產工序，—155—根據《固定污染源廢氣非甲烷總烴連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)技術要求及檢測方法》（HJ應具有產品銘牌，銘牌上應標有產品名稱、型號、生產單位、出廠編號、制造表面應完好無損，無明顯缺陷，各零、部件連接可靠，各操作鍵、按鈕使用靈b)相對濕度：≤85%；安裝和使用者應建立起有效安全措施，防止易燃易爆、有毒有害氣體泄漏，及—156—/《大氣污染物綜合排放標準》（DB32/4041-2021）4.2.1.5.1廢氣收集措施及風量設計—157—運營期環(huán)境影響和保護措施回流焊、上芯清模塑封、后固化劃片涂覆激光打印危廢庫食堂錫及其化合物顆粒物非甲烷總烴布袋除塵器+二級活性炭顆粒物非甲烷總烴布袋除塵器+二級活性炭非甲烷總烴非甲烷總烴顆粒物布袋除塵器非甲烷總烴活性炭吸附裝置天然氣燃燒廢氣靜電式油煙凈化器錫及其化合物顆粒物非甲烷總烴布袋除塵器+二級活性炭顆粒物非甲烷總烴布袋除塵器+二級活性炭非甲烷總烴非甲烷總烴顆粒物布袋除塵器非甲烷總烴活性炭吸附裝置天然氣燃燒廢氣靜電式油煙凈化器設備風管收集、進出料端擦用N2氣簾封閉，封閉收集設備風管收集、進全封閉收集設備風管收集、進全封閉收集設備風管收集、進全封閉收集設備風管收集、進全封閉收集堿霧設備風管收集、進堿霧設備風管收集、進出料端擦用N2氣簾密閉負壓收集專用管道收集25m高排氣筒FQ-11排放依托現有25m高排氣筒FQ-12排放依托現有25m高排氣筒FQ-17排放新建25m高排氣筒FQ-16排放新建FQ-9排放依托現有通過樓頂煙囪排放FQ-8依托現有—158—運營期環(huán)境影響和保護措施由于半導體晶圓對微污染物的存在非常敏感，必須保證工作空間的潔凈度，盡可能避免無組織排放，故各產污設備要保證對污染物的高收集效率。根據《揮備、在密閉空間中操作或采用全密閉集氣罩收集方式，并保持負壓運行，設置負根據本項目車間平面布置情況，本項目焊接煙塵、上芯廢氣產生于廠房西南側和中間部分，產污的設備為回流焊機，上芯機，因回流焊機，上芯機進出口不廢氣經過布袋除塵+二級活性炭處理后通過排氣筒FQ-11排放。回流焊機和考慮到工藝流量的流暢性，本項目劃片區(qū)和塑封區(qū)分布在廠房西北側和廠房后固化廢氣一起收集處理。涂覆劃片廢氣和塑封、后固化廢氣產污的設備為激光開槽機、塑封機、固化烘箱，工件進出口可完全密閉，故采用可視窗密閉，在縫3/h，本項目本項目激光打印區(qū)域設置在廠房東南側，其產污設備為打印機，工件進出口—159—可完全密閉，故采用可視窗密閉，在縫隙處有軟質膠條增加氣密性，收集效率可根據各階段工序產生的廢氣性質進行分類，分別用抽風支管連接至各廢氣產生槽體或設備排氣口，在每根支管上安裝風閥，控制抽風量，項目廢氣排氣量根密閉狀態(tài)，由于抽風機的作用，設備內處于負壓狀態(tài)，產生的廢氣由抽風支管吸入后匯總至抽風主管路，并收集至相應的治理設施進行處理。根據各設備的匹配證對各污染物較高的收集效率，項目廢氣治理工程廢氣收集設計符合《大氣污染根據平面布置情況，各生產區(qū)域內設備布置緊密，同類型污染物可集中并管收集，空間劃分合理，廢氣處理設置安裝在樓頂，通過管道集中收集處理。綜上表4-12廢氣產污區(qū)域和收集方式、風量設計情況一覽表源（m3）配風量3焊接區(qū)域N2氣簾封集66機6機8—160—濾袋采用紡織的濾布或非紡織的氈制成，利用纖維織物的過濾作用對含塵氣體進行過濾，當含塵氣體進入袋式除塵器后，顆粒大、比重大的粉塵，由于重力的作用沉降下來，落入灰斗，含有較細小粉塵的氣體在通過濾料時，粉塵被阻留，使氣體得到凈化。過濾材料捕集粗粒粉塵主要靠慣性碰撞作用，捕集細粒粉塵主要除塵器利用濾料捕獲含塵氣流中的塵粒。濾料捕獲塵粒的能力決定除塵器的除塵效率。因此，整個除塵器的工藝流程可以簡單描述為通過對經過除塵器的含塵氣流的阻力的控制，使濾料保持最大的捕獲塵粒的能力，此控制即為周期性地—161—123456本項目顆粒物廢氣處理措施與現有項目一致，根據現有項目《華天科技（南京）有限公司集成電路先進封測產業(yè)基地（一期）竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告》活性炭吸附是一種常用的吸附方法，吸附法主要利用高孔隙率、高比表面積的吸附劑，藉由物理性吸附（可逆反應）或化學性鍵結（不可逆反應）作用，將有機氣體分子自廢氣中分離，以達成凈化廢氣的目的。由于一般多采用物理性吸附，隨操作時間之增加，吸附劑將逐漸趨于飽和現象，此時則須進行脫附再生或吸附劑更換工作。在有機廢氣處理過程中，活性炭常被用來吸附烷烴、烯烴、芳香烴、酮、醛、氯代烴、酯以及揮發(fā)性有機化合物（VOCs適用于低濃度揮發(fā)活性炭是由各種含碳物質（如木材、泥煤、果核、椰殼等原料）在高溫下炭化后，再用水蒸氣或化學藥品（如氯化鋅、氯化錳、氯化鈣和磷酸等）進行活化種，具有良好的選擇吸附能力?；钚蕴渴且环N具有非極性表面、疏水性、親有機物的吸附劑。所以活性炭常常被用來吸附回收空氣中的有機溶劑和惡臭物質，它可以根據需要制成不同性狀和粒度，如粉末活性炭、顆