半導體氮化鎵單晶襯底試驗基地項目環(huán)評資料環(huán)境影響

M7320工程和技術研究和試□是：面積（m2）無規(guī)劃名稱：《無錫新區(qū)總體發(fā)展規(guī)劃（2005規(guī)劃環(huán)評名稱：《無錫市新吳區(qū)旺莊街道工業(yè)集中新環(huán)委辦發(fā)[2017]10號園區(qū)環(huán)境準入負面清單見表1-12345）；678要以一、二類工業(yè)為發(fā)展主體，重9析1256789《江蘇省禁止用地項目目錄》（2013年本）《江蘇省限制用地項目目錄》（2013年本）近的生態(tài)空間保護區(qū)域為無錫太湖大溪港省級濕地公園空間保護區(qū)域，不會導致無錫市轄區(qū)內生態(tài)空間保護區(qū)降。根據(jù)《江蘇省國家生態(tài)保護紅線規(guī)劃》，與本項目態(tài)保護紅線區(qū)為太湖（無錫市區(qū)）重要濕地（重要湖）， 制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項目，不屬于“兩高一資”項目，不屬于化工企業(yè) 控禁止銷售使用燃料為“Ⅱ類”），根據(jù)《中華人民共和國大氣污染防治法》的要求期達標規(guī)劃，明確限期達標，制定有效的大氣污染規(guī)劃的規(guī)劃范圍為：整個無錫市全市范圍（4650平方區(qū)、濱湖區(qū)、惠山區(qū)、錫山區(qū)、新吳區(qū)、江陰市、宜興市）、 空氣質量，明顯增強人民的藍天幸福感為核心目標，推進熱電整合，優(yōu)化產業(yè)結構和布局；提高各行業(yè)清潔化生產污染物特別排放限值，完成重點企業(yè)顆粒物無組織排放深子（半導體）、涂裝等工業(yè)行業(yè)挖掘VOCs減排重點推進熱電整合。完成重點行業(yè)低VOCs含術，優(yōu)化工藝流程，提高各行業(yè)清潔化生產水平。本項目建設后營運期產生的各項污染物通過相應標排放，本項目環(huán)境風險可控制在安全范圍內，因蘇省太湖水污染防治條例》（2021年修華人民共和國國務院令第604號）、《江蘇省太湖（2021年修訂）相符性分析表新建、擴建化工、醫(yī)藥生產項目二）新建、擴建污水集中處理設施排污口以外的排污口三）屬于條例中禁止建設項設項目不產生含氮磷的產生生活污水和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設施強排經化糞池預相符（一）設置劇毒物質、危險化學品的貯存、輸送設施和廢物回收場、垃圾場；（二）設置水上餐飲經營設施三）新建、擴建高爾夫球場四）新建、擴建畜禽養(yǎng)殖場五）新建、擴建向水體排放污染物的建設項目六）本條例第二十九條規(guī)太湖流域劃分為三級保護區(qū)：太湖湖體、沿湖岸5不位于太湖飲用水水源營運期不產生含氮磷的產生生活污水和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設施強排經化糞池預處理后和不含氮磷的純水制備濃水和冷卻設施強排水接管新城水處理廠處理后排綜上，建設項目符合《太湖流域管理條例》法》中明確的大運河無錫段主河道兩岸各2路11號無錫日聯(lián)科技股份有/城鎮(zhèn)開發(fā)邊界，圍繞“文化傳承、運河興城”產中國大運河遺產區(qū)、緩沖區(qū)以及全國重點華人民共和國文物保護法》《大運河遺產保充分考慮環(huán)保需求進行環(huán)境風險防范冷卻水強排水、反滲透（RO）尾水等“清凈下水”相符性“第三條：揮發(fā)性有機物污染防治堅持源頭控制、綜合治理、損害擔責、公眾參與的原則，重點防治工業(yè)源排放的揮發(fā)性有機物，強化生活第十三條新建、技改、擴建排放揮發(fā)性有機物的建設項目，應當依法進行環(huán)境影響評價。新增揮發(fā)性有機物排放總量指標的不足部分，可以依照有關規(guī)定通過排污權交易取得?！薄暗诙粭l產生揮發(fā)性有機物廢氣的生產經符合揮發(fā)性有機物治理露天放置?！狈闲新屎腿コ书_展自查，重點關注單一采用光氧化、光催化、低溫等離子、一次性活性炭吸附、消廢氣排放系統(tǒng)旁路，因安全生產等原因必須保留的，應將保留旁路清單報當?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門，旁路在非緊急情況下保持關閉，并通過鉛封、安裝自動監(jiān)控設施、流量計等方式加強監(jiān)管，開啟后應及時向當?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門報告，做好臺賬記錄。將無組織排放轉變?yōu)橛薪M織排放進行控制，優(yōu)先采用密閉設備、在密閉空間中操作或采用全密閉集氣罩收集方式；對于采用局部集氣罩的，應根據(jù)廢氣排放特點合理選擇收集點位，距集氣加強生產車間密閉管理，在符合安全生產、職業(yè)衛(wèi)生相關規(guī)定前提下，采用自動卷簾門、密閉性好的塑鋼門窗等，在非必要時保持關閉。按照與率。根據(jù)處理工藝要求，在處理設施達到正常運行條件后方可啟動生產設備，在生產設備停止、生產工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；因安全等因素生產工藝設備不能停止或不能及時停止運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他替代措施。按照“適宜高效”的原則提高治理設施去除率，不得稀釋排放。企業(yè)新建治污設施或對現(xiàn)有治污設施實施改造，應依據(jù)排放選擇治理技術，對治理難度大、單一治理工藝難以穩(wěn)定達標的，要采用多種技術的組合工藝。采術的企業(yè)按期更換活性炭，對于長期未進行更換一步加強實驗室危險廢物管理工作的好源頭分類工作，建設規(guī)范且滿足防滲防漏需求的貯存設施。要建立實驗室危險廢物分類收集管理制度，制定內部收集流程、分類判定方法、包裝標簽要求以及相應的臺賬記錄體系；分類應遵循安全性、可操作性和經濟性原則，滿足收集、貯存和委托處置的需要。要按照相關法律法規(guī)要求執(zhí)行危險廢物申報登記、管理計劃備案、轉移聯(lián)單等管理制度，做到分類收集貯存、依法委托處置。對長期貯存的實驗室廢物，各產廢單位應盡快摸清底數(shù)，檢測理化性質，明確危險特性，進行分類分質，委托有資質單位進行利用處置。符合規(guī)范》4.1實驗室單位產生的廢氣應經過排風柜或排風4.2收集廢氣中NMHC初始排放速率大于或等集廢氣中NMHC初始排放速率在0.2kg/h~2kg/h(含0.2kg/h)范圍內的實驗室單元，廢氣凈化率在0.02kg/h~0.2kg/h(含0.02kg（以非甲烷總烴本項目排放的廢氣主要為長晶過程會產生過量氨氣和顆粒物設備密閉收集后經過“水冷式過濾器+電加熱燃燒式尾氣處理系統(tǒng)”處理后經過15m符合專業(yè)實驗室、研發(fā)（試驗）基地“其他”類，需編制目底序號1鎵23456789工工鎵和沸程(°C）：2403℃;相對密度(水/////味，熔點-114.2℃,沸點-85℃,相對氣/LC50無色油狀液體，熔點/凝固點(°C10℃~10.49℃,沸點290℃;相對密//(℃)：-209.9℃,沸點-195.8℃,相//點/凝固點(℃)：-77.7℃,沸點/初沸點和沸程100℃;溶解性100%水/例和水混溶；密度：1.15±0.03g/mL/>2000mg/kg狀：乳白色半透明液體，無毒無味；）：/無色無味液體，分子式H3PO4，熔點鉀/置置水/廢氣DA001排放參照《建筑給水排水設計標準》（GB50015-20本項目的MOCVD、臥式真空爐、HVPE器、燃燒式尾處理系統(tǒng)等廢氣處理系統(tǒng)需用2套循環(huán)冷卻系統(tǒng)進行間接冷卻降理廠 7理廠 73的西側閑置廠房一層進行研發(fā)實驗。本廠區(qū)位于碩梅路與漓江路交口西南角，西側為無錫隆盛科技股份有限公司新廠區(qū)，南側為伊格爾機械密封(無錫)有限②長晶設備氮化鎵氣相外延直立式生長設備HVPE部分零件每季度使用純⑧電加熱燃燒式尾氣處理裝置定期維護更換設備中廢氣HCl廢水水噪聲N1N2N3N4固廢質量公告或環(huán)境質量報告中的數(shù)據(jù)或結論。本報年，根據(jù)無錫市生態(tài)局公布的《無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報（2023年度NO240μg/m3PM10PM2.528μg/m34mg/m3輔料替代目標；以港口碼頭和堆場為重點提高揚塵污染納水體京杭運河的水環(huán)境質量現(xiàn)狀進行了監(jiān)測（報告編0909001-A環(huán)境質量監(jiān)測共在京杭大運河布設監(jiān)測斷直接引用符合時效性的相關規(guī)劃環(huán)境影響評價的環(huán)境調查資料及有關結論。”DO000000000000依據(jù)國家《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）評價，2023年，全市功能區(qū)聲環(huán)境質量晝間、夜間平均達標率分別為96.9%和90.6%全市道路全市晝間道路交通噪聲平均等效聲級持平，交通噪聲質量等級為二級，全市夜間XY0N本項目排放的廢氣主要為長晶過程會產生過量氨氣和顆粒物經過設備密氯化氫、硫酸霧、非甲烷總烴執(zhí)行《半導體行業(yè)污染物排放標準》組織排放的非甲烷總烴執(zhí)行江蘇省《大氣污染物綜合排放標準》1//12346接管標值準3尾水排放標準A標準（SS10mg/L）3序號1《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排環(huán)境要素廢水水0000廢氣固廢/0廢0料000物0000110100試劑）00套000產生氯化氫廢氣，酸洗晶片產生硫酸霧和氫污核算方法和系數(shù)手冊機械行業(yè)系數(shù)手冊.》，機械加工00稱間h排放方式物+/連續(xù)/連續(xù)排氣筒底部中心坐標(o)度(℃)//1袋1DA001排放器01勉強能聞到有氣味，但不宜辨認氣味性質（感覺閾值）2），345排放口外1m水量濃度術化糞池厭氧生化是間接排放間歇00505備濃////廠/////////////////////產生源物名稱綜合廢水污濃水量-□√廠律總排口52.713″N31°29′33.762″pH/ 尾水排放執(zhí)行《城鎮(zhèn)水處理廠污染物排放標準》GB18918本項目廢水擬接入新城水處理廠進行處理,新城水飽和，新建四期工程設計處理能力2萬m3/d，尚有余量，本5.86t/d(1757t/a)，廢水量較小不會對新城水處理廠造b.工藝及接管標準上的可行性分析型號XYZ1234機/5震8:00~16:00機/51/51機/51建筑物離/m/dB(A)XYZ123456本項目車間+廠71北：168:00~16:001m71北：1651北：12511西：121789北：151西：1251南：1051南：151南：10西：101南：15西：101南：15西：101南：15西：10516181西：8741南：5預測點dB(A)東廠界間/1機南廠界間/1機西廠界間/15北廠界5機55間/機⑥廢拋光布：本項目研磨拋光工段需用到拋光布，為0.177t/a，吸附效率90%，因此產生年的氯化銨顆粒物粉塵生量副產品1/√物鑒別標2工√3√456789工等√1√√NH4Cl√√√NaOH等√√√√年√√√√產生/年）固態(tài)/版）及告/液態(tài)T加工固態(tài)桶加工液態(tài)等加工液態(tài)磷酸1料套等固態(tài)鉀固態(tài)NH4Cl理固態(tài)/固態(tài)鎵/洗液態(tài)NaOH等固態(tài)膜/固態(tài)固態(tài)年固態(tài)/護固態(tài)護液態(tài)護固態(tài)////1/1///////年/////各類工業(yè)固廢在合理利用和安全處置前暫存于對應所（設1T廠區(qū)內劃分23/45167液89I、貯存物質相容性要求：在常溫常壓下不水解、不揮發(fā)的需符合(GB18597-2023)標準的相關規(guī)定；禁止將不相容(相互III、危險廢物貯存場所要求：危廢倉庫險廢物運輸車輛通道等關鍵位置按照危險廢物貯存設施視頻關于印發(fā)江蘇省危險廢物貯存規(guī)范化管理專項框貯存設施警示標識牌設置位置Lm尺寸志設施類型名稱其他文字室外入口>10824室內4<216室內68危險廢物貯存分區(qū)標注m志0<62.5<9包裝識別標簽序號L132>50~≤45053>4506：（匯環(huán)?？萍加邢薰?、無錫添源環(huán)?？萍加邢薰镜葐挝?司136號礦物油與含礦物油廢物（HW08）、油/水、烴/水混合物或乳化液（HW09）、），2⑦固廢貯存(處置)場所規(guī)范化設置，固體廢物貯存(處置)場所⑧與《省生態(tài)環(huán)境廳關于印發(fā)<江蘇省固體廢物全過程環(huán)理理,不得出現(xiàn)“中間產物”“再生產物”等不），情況選擇采用危險廢物貯存設施或貯染控制標準；不具備建設貯存設施條危險廢物集中收集體系建設工作方案⑨與《危險廢物貯存污染控制標準》(GB18597-2023)相123HJ1276要求設置危險廢物貯存設施或場所危險廢物貯存分區(qū)標志和危險廢物標4HJ1259規(guī)定的危險廢物環(huán)境重點監(jiān)5等應采用堅固的材料建造，表面無裂縫。防腐材料應覆蓋所有可能與廢物及其滲濾防滲、防腐工藝應分別建設貯存分區(qū)。67溝89泄漏監(jiān)控和事故廢水/液收集系統(tǒng)，建成后應及時修編突發(fā)環(huán)境事件應急預危險廢物檢測廢液、廢油桶裝密閉暫輸、消防等法律法規(guī)和標準的相關要求。度。按照《省生態(tài)環(huán)境廳關于印發(fā)<江蘇省固體廢物全過程1+環(huán)氧樹脂涂層地面；危廢倉庫設置截流溝。2中“油類物質（礦物油類，如石油、汽油、柴油等；生物柴油等）”的臨界量2500t；本項目Q＜1時，項目環(huán)境風險潛勢為Ⅰ,評價等級為簡單分析。1④伴生/次生環(huán)境風險。最危險的伴生/次生污染事故為爆炸2）研發(fā)車間必須加強通風、防火設施，杜絕明火。生產過程4）制定設備運行和操作的巡回檢查制度、檢修制度、運行安全操項規(guī)章制度。加強人員技術培訓，設備維修和《建筑防火通用規(guī)范》（GB55037-2022）的規(guī)定，項目研發(fā)車間、公用輔助工6）當設備發(fā)生突發(fā)故障時，設備雖然停止運行，8）廠區(qū)應設置消防水收集途徑、集污袋等a.平時加強廢氣處理設施的維護保養(yǎng)，及時發(fā)現(xiàn)處理b.建立健全的環(huán)保機構，配置必要的監(jiān)測儀器，對管理人員和技