企業(yè)競爭圖譜：2024年半導體設備金屬機械類零部件 頭豹詞條報告系列

摘要中國半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)技術密集度高，具有高精度及高可靠性、種類多、覆蓋范圍廣等特點。行業(yè)受益于中國大陸晶圓廠擴產和下游半導體設備市場發(fā)展，市場規(guī)模不斷擴大，中國設備廠商崛起。未來，國家政策支持和國產替代趨勢將進一步推動行業(yè)發(fā)展，同時5G、IoT、AI等高新技術的發(fā)展也將為下游半導體消費產品帶來行業(yè)定義半導體設備零部件是指在半導體設備制造過程中所需的零部件，并在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面能達到半導體設備其中，半導體機械類零部件在設備中起到構建整體框架、基礎結構、晶圓反應環(huán)境和實現零部件特殊功能的作用，保證反應良率，延長設備使用壽命。半導體機械類零部件進一步細分主要包括金屬件、石英件、陶瓷件等，其中，金屬件占比最高。半導體設備金屬機械類零部件是指反應腔、傳輸腔、過渡腔、內襯、盤、托盤、冷卻板、底座、鑄鋼平臺等金屬類半導體機械類零部件。行業(yè)分類按照功能用途的分類方式，半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)可以分為如下類別：半導體設備金屬機械類零部件基于功能用途的分類金屬工藝件反應腔、傳輸腔、過渡腔、內襯、勻氣盤等。其中，腔體是半導體設備中參與晶圓制備反應工序的關鍵部件，為晶圓生產提供耐腐蝕、潔內襯通常為薄壁型金屬部件，是安裝在刻蝕腔體內部的襯套型部件，保護腔體免受腐蝕性工藝環(huán)境的影響，降低腔體制造成本、提升腔體使用金屬結構件行業(yè)特征半導體設備金屬機械類零部件的行業(yè)特征包括技術密集，高精度及高可靠性、多學科交叉融合，復合技術人才需求高、碎片化特征明顯，不同工半導體設備金屬機械類零部件種類多，覆蓋范圍廣，產業(yè)鏈較長，其研發(fā)設計、制造和應用涉及到材料、機械、物理、電子、精密儀器等跨由于半導體設備金屬機械類零部件市場分支領域較多，生產工藝對于研發(fā)周期和資金投入要求較高，碎片化特征門檻較高，半導體零部件公司多專注于某一細分工藝或產品，發(fā)展歷程中國半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)起步較晚。以先鋒件行業(yè)約起步于21世紀初，中國企業(yè)開始研制半導體設備金屬機械類零部件；2012年之后中國啟動期.2012-01-01~2017-2018年10月，“2018年中國半導體材料及零部件創(chuàng)新發(fā)展大會”(以下簡稱“大會”)在寧波市北侖區(qū)隆重召開；先鋒精科迭代升級硬質陽極氧化技術，增產業(yè)鏈分析半導體設備金屬機械類零部件發(fā)展現狀半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)產業(yè)鏈上游為原材料，主要包括鋁、不銹鋼、鎳等金屬；產業(yè)鏈中游為半導體設備金屬機械類零部件的制造環(huán)半導體設備金屬機械類零部件原材料主要包括鋁、不銹鋼、鎳等金屬，原材料在成本中占比較高，以先鋒精科為例，2021～2023年直接材料占公司的比例較高，約45%左右。此外，由于大宗金屬原材料價格易受宏觀環(huán)境、經濟周期、市場需求、匯率等因素的影響，故價格波動可能性較大，原材料價格的波動將會影響中游企業(yè)的成本和毛利。此外，從原材料端來看，高端金屬零部件制造原材料如鋁合金金屬、鎢鉬金屬等多被美國、日本公司壟斷供應，進口依賴度高，主要是由于中國高端鋁合金領域科技供給質量不高，正向研發(fā)能中國半導體設備金屬機械類零部件市場，由于零部件種類繁多，目前業(yè)內多數企業(yè)僅專注于特定生產工藝或特定零部件產品，散。受益于中國半導體設備行業(yè)國產替代的趨勢，中國半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)也迎來下游廠商需求增加的機遇，有望憑借地理優(yōu)勢和成本優(yōu)勢上半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)鏈上游分析生產制造端股無錫恒泰航空航天科技有限公司股蘇州首鋁金屬有限公司股無錫恒泰航空航天科技有限公司股蘇州首鋁金屬有限公司股靖江佳仁半導體科技有限公司股蘇州美德航空航天材料有限公司股靖江新恒和半導體科技有限公司股蘇州鍇璞拓緯機械設備有限公司股靖江新恒和半導體科技有限公司股蘇州鍇璞拓緯機械設備有限公司股無錫元基精密機械有限公司股蘇州市樂了精密機械制造廠股股優(yōu)密鋁業(yè)（蘇州）有限公司中產業(yè)鏈上游分析中產業(yè)鏈上游分析半導體設備金屬機械類零部件原材料主要包括鋁、不銹鋼、鎳等金屬，原材料在成本中占比較高，以先鋒精科為例，2021～2023年直接高端金屬零部件制造原材料依賴進口。由于中國工業(yè)長期受“重主機、輕配套”的思想影響，零部件上下游配套領域的投入力度嚴重不足，導致中國在零部件的原材料和生產裝備上就與國外拉開差距。例如目前半導體金屬零部件常用的高精度加工中心，中國在加工精度、加工穩(wěn)定性、幾何靈活度等方面都落后于國外。從原材料金屬零部件制造原材料如鋁合金金屬、鎢鉬金屬等多被美國、日本公司壟斷供應，進口依賴度高，主要是由于中國高端鋁合金領域科技供給質量不高，半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)鏈中游分析股沈陽富創(chuàng)精密設備股份有限公司股蘇州華亞智能科技股份有限公司股沈陽富創(chuàng)精密設備股份有限公司股蘇州華亞智能科技股份有限公司股寧波江豐電子材料股份有限公司股江蘇先鋒精密科技股份有限公司股浙江晶盛機電股份有限公司股股浙江晶盛機電股份有限公司股托倫斯股京鼎精密股蘇州珂瑪材料科技股份有限公司股股靖江市先鋒電機制造有限公司產業(yè)鏈中游分析產業(yè)鏈中游分析半導體機械類零部件在設備中起到構建整體框架、基礎結構、晶圓反應環(huán)境和實現零部件特殊功能的作用，保證反應良率，延長設備使用設備機械類零部件進一步細分主要包括金屬件、石英件、陶瓷件等，其中，金屬件占比最高，約為50%或更多。半導體設備金屬機械類零部件市度較分散，行業(yè)主要企業(yè)有日本的Ferrotec、中國臺灣地區(qū)的京鼎精密、美國的超科林、中國先鋒精科、靖江先多，目前業(yè)內多數企業(yè)僅專注于特定生產工藝或特定零部件產品，如靖江先鋒專業(yè)于精密金屬零部件生產制造，托體、軸類零件等精密零部件的加工，江豐電子專注于PVD、CVD、CMP、清洗機等多種設備的零部件產品，先下受益于中國半導體設備行業(yè)國產替代的趨勢，中國半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)也迎來下游廠商需求增加的機遇。相較于下受益于中國半導體設備行業(yè)國產替代的趨勢，中國半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)也迎來下游廠商需求增加的機遇。相較于備金屬機械類零部件行業(yè)企業(yè)具有地理優(yōu)勢和成本優(yōu)勢。一方面，中國零部件廠商靠近終端市場便于零部件返修，且交貨周期易于控制國零部件廠商由于運費成本以及關稅等因素影響，成本具有一定優(yōu)勢。據數據顯示，2023年度中國大陸半導體設備銷售額為366億半導體設備金屬機械類零部件產業(yè)鏈下游分析渠道端及終端客戶渠道端股中微科技控股有限公司股拓荊科技（上海）有限公司股中微科技控股有限公司股拓荊科技（上海）有限公司股華海清科（上海）半導體有限公司股北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司股北京屹唐半導體科技股份有限公司股北京屹唐半導體科技股份有限公司股中芯國際控股有限公司產業(yè)鏈下游分析產業(yè)鏈下游分析刻蝕設備和薄膜沉積設備市場是半導體設備金屬機械類零部件的重要下游市場。在半導體制造過程中，刻蝕設備和薄膜沉積設備是技術難度僅次于光刻設備的兩大核心設備，價值量合計約占半導體設沉積設備市場是半導體設備金屬機械類零部件的重要下游市場。先鋒精科是半導體設備金屬機械類零部件市先鋒精科主要提供以反應腔室、內襯為主的系列核心配套件，并是中國少數已量產供應7nm及以下國產刻蝕設備關鍵零部件的供應商，能直接與國商競爭；在薄膜沉積領域，先鋒精科主要提供加熱器、勻氣盤等核心零部件及配套產品。2023年，先鋒精科已量產應用在刻蝕設備的關鍵工藝部件行業(yè)規(guī)模半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)規(guī)模的概況2019年—2023年，半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)市場規(guī)模由8.41設備金屬機械類零部件行業(yè)市場規(guī)模由30.32億美元增長至89.29億美元，期間年復合增長率31.0括北方華創(chuàng)、盛美半導體、中微公司、上海微電子裝備等半導體設備龍頭企業(yè)，中國半導體設備市場作為半導體設備金屬機械類零部件的下游應用市場，下半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)是半導體行業(yè)上游，半導體行業(yè)的整體發(fā)展情況會對半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)產生較大影響。受擴產周期因素的疊加作用，半導體行業(yè)具有典型的周期性特點，通常每4-5在經歷了2021-2022H1的較快增長后，2022H2由于下游消費電子需求疲軟，產能緊張時期的供應鏈庫存累積，全球半導體市場進入下行周期，該下行周期在為推動中國半導體產業(yè)的發(fā)展，中國政府先后設立國家重大專項和國家集成電路產業(yè)投資基金，地方政府也推出集成電路投資基金，推動中國伴隨國家鼓勵類產業(yè)政策和產業(yè)投資基金不斷落地，中國半導體相關產業(yè)迎來發(fā)展紅利。目前，半導體設備零部件行業(yè)中，美國、日本公司處于壟斷優(yōu)勢地位，中國廠商起步晚，處于追趕態(tài)勢，半導體零部件國產化水平較低，仍存在較大的發(fā)展空間。近年來美國對中國半導體行業(yè)頒布一系列限制措施，限制領域涉及半導體行業(yè)下游應用及上游制造多個環(huán)節(jié)，使得中國半導體設備廠商進一步加快“去A化”步伐，在政策友好的半導體產業(yè)環(huán)境下積極開展研發(fā)工作，加快國產替代進程。技術的發(fā)展，為下游半導體消費產品帶來新的增量需求。同時，隨著半導體微縮制程要求提高，半導體設備的需求和價格持續(xù)高漲，未來半導體設備市場規(guī)模將持半導體設備金屬機械類零部件規(guī)模預測規(guī)模預測SIZE模型僅提供預測模型的PPTx格式文件下載半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)規(guī)模計算規(guī)則:政策梳理政策名稱頒布主體生效日期影響7政策內容政策解讀國家重視集成電路領域關鍵零部件的研發(fā)和關鍵材料的技術突破，集成電路領域作為國家重點關注的科技前沿領域受到政策政策性質政策名稱頒布主體生效日期影響《“十四五”智能制造發(fā)展規(guī)劃》務院、國有資產監(jiān)督管理委員會6政策內容大力發(fā)展智能制造裝備。針對感知、控制、決策、執(zhí)行等環(huán)節(jié)的短板弱項，加強用產學研聯合創(chuàng)新，突破一批“卡脖子”基礎零部件和裝置。政策解讀《“十四五”智能制造發(fā)展規(guī)劃》提出要大力發(fā)展智能制造裝備，突破“卡脖子”基礎零部件和裝置，為半導體行業(yè)從事半導體設備精密零部件研發(fā)和生產的企業(yè)發(fā)展提政策性質政策名稱頒布主體生效日期影響6政策內容在人工智能、量子信息、腦科學等前沿領域實施一批前瞻性、戰(zhàn)略性國家重大科技項目。聚焦核心基礎零部件及元器件、關鍵基礎材料、關鍵基礎軟件、先藝和產業(yè)技術基礎，引導產業(yè)鏈上下游聯合攻關。全面提升信息政策解讀對于集成電路行業(yè)提升產業(yè)鏈集成能力具有重要指導意義。政策中提到的發(fā)展核心基礎零部件及元器件、關鍵基礎材料、先進基礎工藝等尤其對于集成電路上政策性質政策名稱頒布主體生效日期影響7政策內容聚焦核心基礎零部件和元器件，促進產業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、價值鏈融合，借鑒可靠性先進經驗，著力突破重點行業(yè)可靠性短板弱項，推動大中小企業(yè)“鏈式”發(fā)展。聚焦機械、電子、汽車等行業(yè)，實施基礎產品可靠性“筑基”工程，筑牢核心基礎零部件、核心基礎元器件、關鍵基礎軟件、關鍵基礎材料及先進基礎工藝的可靠。政策解讀對于半導體行業(yè)，精密零部件通常有通用件和定制件，政策指政策性質指導類政策名稱頒布主體生效日期影響6政策內容政策解讀該政策進一步強調集成電路行業(yè)面向數字經濟發(fā)政策性質指導類競爭格局半導體設備金屬機械類零部件概況由于半導體設備零部件行業(yè)整體集中度較為分散，目前行業(yè)內領先企業(yè)主要來自歐洲、美國和日本等地區(qū)；且目半導體設備金屬機械類零部件行業(yè)呈現以下梯隊情況：第一國外企業(yè)如Ferrotec于1980年在日本注冊成立，進入市場較早，主營半導體硅片、半導體設備精密零部件、光伏電池子有限公司為半導體設備精密零部件業(yè)務主要經營實體，是國際半導體設備企業(yè)的直接供應商，在半導體設備零部件市場憑借技術優(yōu)勢建立穩(wěn)定的供應網絡企業(yè)如先鋒精科成立于2008年，進入市場較晚，近年來不斷加大技術研發(fā)，2021～2023年研發(fā)費用分別為1,341.45萬元、2,154.10萬元和3,097.44萬元，復精密機械零部件制造作為一個國家裝備制造業(yè)整體水平的重要衡量標準，其品類豐富性、功能性、質量技術水平決定了機械設備整體的性能、質量與可靠性來中國政府持續(xù)為精密機械零部件推出多項扶持政策，有力推動半導體設備金屬機械類零部件市場的發(fā)展。2021年，工信部、國家發(fā)改委等八部門印發(fā)《“十四五”智能制造發(fā)展規(guī)劃》的通知，通知中提出大力發(fā)展智能制造裝備。針對感知、控制、決策、執(zhí)行等環(huán)節(jié)的短板弱項，加強用產學研聯合創(chuàng)新，突破一批“卡脖子”基礎零部件和裝置。在《中華人民共和國國民經濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景目標綱要》中提到，在高端裝備制造等重點領域和關鍵環(huán)節(jié)部署一批重大科技攻關項目，努力攻克一批關鍵核心技術、“卡脖子”技術，加快關鍵零部件國產化替代。半導體設備金屬機械類零部件作為“卡脖子”基礎零部件制造領域的細隨著全球半導體行業(yè)的快速發(fā)展，對于半導體設備零部件的需求不斷增加，將會吸引越來越多的市場參與者積極開展半導體設備金奪市場份額，如包括富創(chuàng)精密、江豐電子、新萊應材等在內的多家A股上市公司，已積極投入半導體零部件領域。同時行業(yè)內領先的企業(yè)通過并購重組進資源，使得市場競爭更加激烈。如富創(chuàng)精密擬收購亦盛精密100%股權，擴大在半導體零部件行業(yè)業(yè)務；江豐電子700萬收購北京睿昇56%股權，加快半導部件業(yè)務的發(fā)展。目前，中國半導體設備精密零部件市場主要由美國、日本和中國臺灣地區(qū)的企業(yè)占據主導地位。此外，隨著中國半導體領域國產替代進全球各主要經濟體紛紛在半導體產業(yè)政策方面加力，如自2022年以來，美國、歐盟、日本、韓國等國家和地區(qū)紛紛發(fā)布各自的芯片法案，聚焦自身在代工封測、生產與消費、設備與制造等領域的不平衡態(tài)勢，計劃通過大規(guī)模激勵措施和產業(yè)扶持資金，鼓勵本土芯片研發(fā)、生產，在提升需求自給率的同時，謀求相較于主要競爭對手的產業(yè)優(yōu)勢和技術優(yōu)勢。相較于此前效率優(yōu)先的產業(yè)布局，供應鏈的獨立性、多元化和安全性正在逐步成為各國半導體產業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略的優(yōu)先考量。這一態(tài)勢不僅影響全球半導體產業(yè)鏈供應鏈和產能分布，同時對半導體產業(yè)的發(fā)展趨勢也將造成深遠影響。“本地產、本地用”成為當前主要經濟體發(fā)展半導體產業(yè)的主流理念。中國政府也積極推動中國半導體行業(yè)產業(yè)鏈一體化建設，中國半導體行業(yè)零部件國產替代趨勢的發(fā)展，有望推動中國半導體設備金屬機械類零部上市公司速覽總市值總市值總市值總市值--------總市值總市值總市值總市值----總市值總市值總市值總市值----總市值總市值總市值總市值----總市值總市值-總市值營收規(guī)模同比增長(%)毛利率(%)企業(yè)分析11江蘇先鋒精密科技股份有限公司【688605】公司信息企業(yè)狀態(tài)企業(yè)總部法人企業(yè)類型注冊資本行業(yè)統一社會信用代碼成立時間經營范圍許可項目：技術進出口；貨物進出口（依法須經批目，經相關部門批準后方可開展經營活動，具體經營項審批結果為準）一般項目：技術服務、技術開發(fā)、技詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣；半導體器件專用制造；半導體器件專用設備銷售；機械零件、零部件加工；機械零件、零部件銷售；專用設備修理；模具制造；模售（除依法須經批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開財務數據分析財務指標2024(Q1)2024(Q3)銷售現金流/營業(yè)收入//扣非凈利潤同比增長(%)////////////////////////////預收款/營業(yè)收入////////////////////////扣非凈利潤滾動環(huán)比增長(%)////////////總資產周轉率(次)////////////////扣非凈利潤(元)////////////扣非每股收益(元)////////////經營現金流/營業(yè)收入//公司競爭優(yōu)勢江蘇先鋒精密科技股份有限公司是中國半導體刻蝕和薄膜沉積設備細分領域關鍵零部件的精密制造專家，尤其在國際公認的技術難度僅次于光刻設備領域。公司是國內少數已量產供應7納米及5納米國產刻蝕設備關鍵零部件的供應商，直接與國際廠商競爭。在聚焦半導體領域的同時，公司充分22沈陽富創(chuàng)精密設備股份有限公司【688409】公司信息企業(yè)狀態(tài)企業(yè)總部注冊資本行業(yè)法人統一社會信用企業(yè)類型企業(yè)類型代碼成立時間經營范圍許可項目：貨物進出口，技術進出口，進出口代理（經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活經營項目以審批結果為準）一般項目：機械零件、工，機械零件、零部件銷售，半導體器件專用設備屬表面處理及熱處理加工，金屬切割及焊接設備制加工機械制造，增材制造，3D打印服務，技術服務發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣（財務數據分析財務指標2024(Q1)2024(Q2)2024(Q3)銷售現金流/營業(yè)收入///扣非凈利潤同比增/////////////////////////////////////////預收款/營業(yè)收入////////////1//////流動負債/總負債//////////////////扣非凈利潤滾動環(huán)////////////////總資產周轉率(次)////////////////////////扣非凈利潤(元)////////////////扣非每股收益(元)////////////////經營現金流/營業(yè)收入1///公司競爭優(yōu)勢沈陽富創(chuàng)精密設備股份有限公司創(chuàng)成立于2008年，2022年10月成為科創(chuàng)板首家半導體設備精密零部件上市公司。公司專注于金屬材料零部件精密制造技術，33寧波江豐電子材料股份有限公司【300666】公司信息企業(yè)狀態(tài)企業(yè)總部法人企業(yè)類型注冊資本行業(yè)統一社會信用代碼成立時間經營范圍用材料銷售；電子元器件制造；電子元器件零售；電子設備制造；電子專用設備銷售；有色金屬壓延加工；常色金屬冶煉；有色金屬鑄造；金屬材料制造；新材料技發(fā)；軟件開發(fā)；信息系統集成服務；智能控制系統集成聯網應用服務；物聯網技