鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展主講人：目錄01鈮酸鋰晶體概述02超精密加工技術(shù)03研究進(jìn)展概述04技術(shù)應(yīng)用實例05技術(shù)挑戰(zhàn)與對策06產(chǎn)業(yè)影響與展望01鈮酸鋰晶體概述基本物理特性折射率特性晶體結(jié)構(gòu)鈮酸鋰晶體屬于三方晶系，具有獨特的鐵電性質(zhì)，使其在光學(xué)和電學(xué)應(yīng)用中表現(xiàn)突出。鈮酸鋰晶體具有較高的折射率和良好的透光性，是制造光學(xué)器件的理想材料之一。熱膨脹系數(shù)該晶體的熱膨脹系數(shù)較小，有助于在溫度變化時保持尺寸穩(wěn)定性，適用于精密加工。應(yīng)用領(lǐng)域介紹01鈮酸鋰晶體因其優(yōu)異的非線性光學(xué)特性，在激光器、光調(diào)制器等光學(xué)設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用02由于鈮酸鋰晶體的壓電效應(yīng)，它被用于制造高精度的聲表面波(SAW)濾波器和傳感器。電子設(shè)備應(yīng)用03鈮酸鋰晶體在光纖通信中作為關(guān)鍵材料，用于制造光調(diào)制器和頻率轉(zhuǎn)換器，提高通信效率。通信技術(shù)應(yīng)用市場需求分析鈮酸鋰晶體在激光器、光學(xué)調(diào)制器等領(lǐng)域的應(yīng)用推動了其市場需求的增長。光學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域需求01隨著5G和未來6G技術(shù)的發(fā)展，鈮酸鋰晶體作為關(guān)鍵材料的需求日益增加。無線通信技術(shù)發(fā)展02在國防和航天領(lǐng)域，鈮酸鋰晶體因其優(yōu)異的電光性能被廣泛應(yīng)用于高精度傳感器和激光武器系統(tǒng)。國防與航天領(lǐng)域0302超精密加工技術(shù)加工技術(shù)原理通過機(jī)械研磨、化學(xué)腐蝕等方法，實現(xiàn)鈮酸鋰晶體表面的原子級去除，達(dá)到超精密加工的目的。晶體材料去除機(jī)制在加工過程中，精確控制溫度變化，防止熱應(yīng)力導(dǎo)致的晶體損傷，保證加工質(zhì)量。熱效應(yīng)管理采用精密測量和反饋控制技術(shù)，確保晶體表面的平整度和粗糙度達(dá)到納米級精度。表面形貌控制技術(shù)010203加工技術(shù)分類包括傳統(tǒng)的磨削、拋光技術(shù)，以及近年來發(fā)展的超聲波加工、磁流變拋光等。機(jī)械加工技術(shù)利用激光束的高能量密度，進(jìn)行精確切割、打孔或表面改性，如飛秒激光微細(xì)加工技術(shù)。激光加工技術(shù)利用化學(xué)反應(yīng)去除材料，如濕法刻蝕、離子束刻蝕等，實現(xiàn)晶體表面的超精密加工。化學(xué)加工技術(shù)技術(shù)難點分析鈮酸鋰晶體加工中，表面質(zhì)量控制是難點之一，要求無劃痕、無損傷，以保證光學(xué)性能。表面質(zhì)量控制01在超精密加工中，保持加工精度的穩(wěn)定性是一大挑戰(zhàn)，需要高精度的機(jī)床和控制技術(shù)。加工精度穩(wěn)定性02如何在不損害晶體結(jié)構(gòu)的前提下提高材料去除率，是鈮酸鋰晶體加工技術(shù)中的一個關(guān)鍵問題。材料去除率優(yōu)化0303研究進(jìn)展概述國內(nèi)外研究現(xiàn)狀國際上，鈮酸鋰晶體加工技術(shù)已實現(xiàn)亞納米級表面粗糙度，廣泛應(yīng)用于光電子領(lǐng)域。國際研究動態(tài)01中國科研團(tuán)隊在鈮酸鋰晶體超精密加工方面取得顯著進(jìn)展，實現(xiàn)了高精度表面形貌控制。國內(nèi)技術(shù)突破02國內(nèi)外多家企業(yè)已將鈮酸鋰晶體應(yīng)用于激光器、聲表面波器件等高科技產(chǎn)品中。產(chǎn)業(yè)應(yīng)用案例03國際學(xué)術(shù)會議和合作項目推動了鈮酸鋰晶體加工技術(shù)的交流與合作，促進(jìn)了技術(shù)進(jìn)步。學(xué)術(shù)交流與合作04關(guān)鍵技術(shù)突破利用飛秒激光微加工技術(shù)，實現(xiàn)了對鈮酸鋰晶體的無熱損傷精密切割，拓展了加工應(yīng)用范圍。激光輔助加工技術(shù)采用聚焦離子束(FIB)技術(shù)對鈮酸鋰晶體進(jìn)行微納加工，實現(xiàn)了復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精確制備。先進(jìn)離子束加工技術(shù)通過化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)，實現(xiàn)了鈮酸鋰晶體表面的納米級平整度，顯著提升了光學(xué)性能。高精度表面拋光技術(shù)研究成果展示研究團(tuán)隊開發(fā)了多項新型加工技術(shù)，如激光微細(xì)加工，顯著提高了鈮酸鋰晶體的加工精度。01新型加工技術(shù)開發(fā)通過優(yōu)化加工參數(shù)和引入新的表面處理方法，成功提升了鈮酸鋰晶體的表面質(zhì)量和光學(xué)性能。02表面質(zhì)量提升采用先進(jìn)的自動化設(shè)備和工藝流程，實現(xiàn)了鈮酸鋰晶體加工效率的大幅提升，縮短了生產(chǎn)周期。03加工效率的突破04技術(shù)應(yīng)用實例光電子器件應(yīng)用激光器中的應(yīng)用鈮酸鋰晶體因其優(yōu)異的電光效應(yīng)，在激光器中用作調(diào)制器，實現(xiàn)高精度的激光輸出控制。光學(xué)調(diào)制器利用鈮酸鋰晶體的非線性光學(xué)特性，開發(fā)出用于高速光通信的光學(xué)調(diào)制器，提高數(shù)據(jù)傳輸速率。光學(xué)傳感器鈮酸鋰晶體在光學(xué)傳感器中應(yīng)用廣泛，如用于測量溫度、壓力等物理量的傳感器，具有高靈敏度和穩(wěn)定性。激光器組件應(yīng)用鈮酸鋰晶體用于高功率激光系統(tǒng)中，可實現(xiàn)高效率的光束轉(zhuǎn)換，廣泛應(yīng)用于工業(yè)切割和醫(yī)療手術(shù)。高功率激光系統(tǒng)利用鈮酸鋰晶體的非線性光學(xué)特性，可實現(xiàn)激光器的頻率轉(zhuǎn)換，用于科研和精密測量設(shè)備中。非線性頻率轉(zhuǎn)換在激光通信領(lǐng)域，鈮酸鋰晶體作為光學(xué)調(diào)制器的核心材料，用于精確控制激光信號的傳輸。光學(xué)調(diào)制器傳感器件應(yīng)用鈮酸鋰晶體在激光陀螺儀中用于制造高精度的光學(xué)元件，提高導(dǎo)航系統(tǒng)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。激光陀螺儀利用鈮酸鋰晶體的壓電特性，制造聲表面波器件，廣泛應(yīng)用于無線通信和傳感器技術(shù)中。聲表面波器件鈮酸鋰晶體的電光效應(yīng)使其成為制造光學(xué)調(diào)制器的理想材料，用于高速數(shù)據(jù)傳輸和光通信系統(tǒng)。光學(xué)調(diào)制器05技術(shù)挑戰(zhàn)與對策當(dāng)前面臨挑戰(zhàn)鈮酸鋰晶體的純度和均勻性直接影響加工質(zhì)量，目前提高這些特性是技術(shù)上的一個挑戰(zhàn)。材料純度與均勻性在超精密加工過程中保持鈮酸鋰晶體表面無損傷、無缺陷，是當(dāng)前技術(shù)面臨的一大難題。表面質(zhì)量控制如何確保長期加工過程中精度的穩(wěn)定性，是鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)亟待解決的問題。加工精度穩(wěn)定性解決方案探討優(yōu)化晶體生長環(huán)境通過精確控制溫度和壓力，改善鈮酸鋰晶體的生長環(huán)境，以減少缺陷和提高晶體質(zhì)量。0102改進(jìn)加工設(shè)備精度研發(fā)高精度的加工設(shè)備，如使用先進(jìn)的數(shù)控機(jī)床和激光加工技術(shù)，以實現(xiàn)晶體的超精密加工。03引入新型加工材料探索和應(yīng)用新型加工材料，如金剛石刀具，以減少加工過程中的磨損和提高加工效率。未來發(fā)展趨勢隨著人工智能的發(fā)展，智能化加工技術(shù)將被廣泛應(yīng)用于鈮酸鋰晶體的超精密加工中，提高加工效率和精度。智能化加工技術(shù)01研究者將探索更多新型材料，以實現(xiàn)鈮酸鋰晶體加工過程中的性能優(yōu)化和成本降低。新型加工材料的應(yīng)用02環(huán)保意識的提升將推動綠色制造技術(shù)在鈮酸鋰晶體加工中的應(yīng)用，減少對環(huán)境的影響。綠色制造技術(shù)0306產(chǎn)業(yè)影響與展望對相關(guān)產(chǎn)業(yè)的影響01鈮酸鋰晶體的超精密加工技術(shù)提升了光電設(shè)備的性能，如激光器和光調(diào)制器，增強了產(chǎn)業(yè)競爭力。02隨著加工技術(shù)的進(jìn)步，鈮酸鋰晶體在新型材料領(lǐng)域的應(yīng)用得到拓展，推動了相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)革新。03鈮酸鋰晶體在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用，如雷達(dá)和通信設(shè)備，其加工技術(shù)的提升直接增強了國防科技的實力。提高光電設(shè)備性能促進(jìn)新型材料應(yīng)用增強國防科技能力技術(shù)推廣與應(yīng)用前景精密測量儀器激光器與通信設(shè)備鈮酸鋰晶體在激光器和通信設(shè)備中的應(yīng)用前景廣闊，可提高信號傳輸?shù)姆€(wěn)定性和效率。隨著超精密加工技術(shù)的進(jìn)步，鈮酸鋰晶體可用于制造高精度的測量儀器，如光學(xué)干涉儀。國防與航天領(lǐng)域鈮酸鋰晶體在國防和航天領(lǐng)域具有重要應(yīng)用，如用于制造高性能的傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范01隨著鈮酸鋰晶體應(yīng)用的擴(kuò)展，國際電工委員會(IEC)等組織正在制定相關(guān)的國際標(biāo)準(zhǔn)。國際標(biāo)準(zhǔn)的制定02為確保鈮酸鋰晶體的性能一致性，行業(yè)內(nèi)部正在建立嚴(yán)格的質(zhì)量控制規(guī)范和測試方法。質(zhì)量控制規(guī)范03在超精密加工過程中，環(huán)保和安全成為重要考量，相關(guān)法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)正在逐步完善。環(huán)保與安全規(guī)定

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展(1)

01傳統(tǒng)加工方法傳統(tǒng)加工方法

傳統(tǒng)的鈮酸鋰晶體加工主要采用研磨和拋光技術(shù)，通過研磨去除表面不規(guī)則部分，然后通過拋光進(jìn)一步細(xì)化晶粒結(jié)構(gòu)。這種方法雖然可以生產(chǎn)出形狀和尺寸較為精確的晶體，但由于設(shè)備復(fù)雜、成本較高且效率較低等問題，限制了大規(guī)模生產(chǎn)和廣泛應(yīng)用。02激光直寫加工技術(shù)激光直寫加工技術(shù)

激光直寫加工技術(shù)利用高能量密度的激光束直接照射鈮酸鋰晶體，實現(xiàn)材料的精確切割、雕刻和圖案形成。該技術(shù)具有精度高、速度快、無需復(fù)雜的機(jī)械裝置等優(yōu)點，在納米尺度下的加工尤為突出。此外，激光直寫加工還可以與化學(xué)腐蝕相結(jié)合，制備出多種類型的鈮酸鋰基納米結(jié)構(gòu)，如納米線、納米片等。03離子注入加工技術(shù)離子注入加工技術(shù)

離子注入加工是另一種先進(jìn)的鈮酸鋰晶體加工方法，它利用高速質(zhì)子或離子流對鈮酸鋰晶體進(jìn)行定點注入，從而改變晶體內(nèi)部原子排列方式，達(dá)到調(diào)節(jié)材料性質(zhì)的目的。這種方法不僅可以控制晶體的微觀形貌，還能有效改善晶體的電學(xué)性能，例如降低介電常數(shù)、增強電導(dǎo)率等。04微納制造技術(shù)微納制造技術(shù)

隨著微納制造技術(shù)的發(fā)展，研究人員開始嘗試將鈮酸鋰晶體加工與三維打印技術(shù)結(jié)合，構(gòu)建復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米級功能器件。這種技術(shù)融合了傳統(tǒng)加工技術(shù)和先進(jìn)微納制造技術(shù)的優(yōu)勢，使得鈮酸鋰晶體的應(yīng)用范圍得以擴(kuò)展。05綜合優(yōu)化策略綜合優(yōu)化策略

為了提升鈮酸鋰晶體的加工質(zhì)量和效率，科研人員正致力于開發(fā)更高效的加工方法和工藝流程。這包括改進(jìn)激光直寫加工中的脈沖寬度、功率密度等參數(shù)；探索離子注入加工中離子源類型、注入劑量等影響因素；以及研發(fā)新型的微納制造平臺，如自由電子激光器驅(qū)動的微納制造系統(tǒng)等。綜上所述，鈮酸鋰晶體的超精密加工技術(shù)正朝著更高精度、更低能耗、更低成本的方向發(fā)展。未來，隨著新材料、新工藝和新技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，相信鈮酸鋰晶體將在更多領(lǐng)域展現(xiàn)出其獨特優(yōu)勢，推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展(2)

01概要介紹概要介紹

鈮酸鋰晶體是一種具有優(yōu)異光學(xué)性能的晶體材料，具有非線性光學(xué)系數(shù)大、透光性好、機(jī)械強度高等特點。在激光技術(shù)、光通信、光電子等領(lǐng)域，鈮酸鋰晶體被廣泛應(yīng)用于光開關(guān)、光調(diào)制器、光隔離器、光傳感器等器件的制造。隨著科技的不斷發(fā)展，對鈮酸鋰晶體的加工精度要求越來越高，超精密加工技術(shù)應(yīng)運而生。02鈮酸鋰晶體超精密加工方法鈮酸鋰晶體超精密加工方法

1.機(jī)械加工方法機(jī)械加工方法主要包括切割、研磨、拋光等。切割是鈮酸鋰晶體加工的第一步，常用的切割方法有機(jī)械切割、激光切割等。研磨和拋光則是提高晶體表面質(zhì)量的關(guān)鍵步驟，常用的研磨材料有氧化鋁、氧化硅等，拋光材料有氧化鈰、氧化鋁等。2.光學(xué)加工方法光學(xué)加工方法主要包括光學(xué)磨削、光學(xué)拋光等。光學(xué)磨削是利用光學(xué)原理對晶體表面進(jìn)行加工，具有加工精度高、表面質(zhì)量好等特點。光學(xué)拋光則是通過控制拋光液的成分、溫度、壓力等參數(shù)，實現(xiàn)晶體表面的精密拋光。3.化學(xué)加工方法光學(xué)加工方法主要包括光學(xué)磨削、光學(xué)拋光等。光學(xué)磨削是利用光學(xué)原理對晶體表面進(jìn)行加工，具有加工精度高、表面質(zhì)量好等特點。光學(xué)拋光則是通過控制拋光液的成分、溫度、壓力等參數(shù)，實現(xiàn)晶體表面的精密拋光。

03鈮酸鋰晶體超精密加工設(shè)備鈮酸鋰晶體超精密加工設(shè)備

1.切割設(shè)備

2.研磨和拋光設(shè)備

3.光學(xué)加工設(shè)備切割設(shè)備主要包括機(jī)械切割機(jī)和激光切割機(jī)，機(jī)械切割機(jī)具有加工精度高、表面質(zhì)量好等特點，但加工速度較慢。激光切割機(jī)具有加工速度快、加工精度高、表面質(zhì)量好等特點，但設(shè)備成本較高。研磨和拋光設(shè)備主要包括研磨機(jī)、拋光機(jī)等。研磨機(jī)具有加工精度高、表面質(zhì)量好等特點，但加工速度較慢。拋光機(jī)具有加工速度快、表面質(zhì)量好等特點，但設(shè)備成本較高。光學(xué)加工設(shè)備主要包括光學(xué)磨削機(jī)和光學(xué)拋光機(jī)，光學(xué)磨削機(jī)具有加工精度高、表面質(zhì)量好等特點，但加工速度較慢。光學(xué)拋光機(jī)具有加工速度快、表面質(zhì)量好等特點，但設(shè)備成本較高。04鈮酸鋰晶體超精密加工工藝鈮酸鋰晶體超精密加工工藝

1.切割工藝2.研磨和拋光工藝3.光學(xué)加工工藝切割工藝主要包括切割速度、切割壓力、切割角度等參數(shù)的優(yōu)化。切割速度和切割壓力對切割質(zhì)量有重要影響，切割角度則影響切割面的平行度。研磨和拋光工藝主要包括研磨液、拋光液、研磨時間、拋光時間等參數(shù)的優(yōu)化。研磨液和拋光液的成分、濃度、溫度等參數(shù)對加工質(zhì)量有重要影響。光學(xué)加工工藝主要包括光學(xué)磨削參數(shù)、光學(xué)拋光參數(shù)的優(yōu)化。光學(xué)磨削參數(shù)包括磨削速度、磨削壓力、磨削深度等，光學(xué)拋光參數(shù)包括拋光液成分、拋光溫度、拋光壓力等。05結(jié)論結(jié)論

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)在我國已取得顯著進(jìn)展，加工方法、加工設(shè)備、加工工藝等方面不斷優(yōu)化。隨著科技的不斷發(fā)展，鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)將在光學(xué)材料領(lǐng)域發(fā)揮越來越重要的作用。

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展(3)

01簡述要點簡述要點

鈮酸鋰簡稱LN）晶體因其優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì)，如高聲速、高機(jī)電耦合系數(shù)和非線性光學(xué)效應(yīng)等，在光學(xué)、電學(xué)和聲學(xué)專業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。尤其在光電子集成、量子通信和光波導(dǎo)器件等領(lǐng)域，鈮酸鋰晶體發(fā)揮著不可替代的作用。然而，由于其硬度高、脆性大以及加工過程中的熱力學(xué)性質(zhì)變化等特點，鈮酸鋰晶體的超精密加工技術(shù)面臨巨大挑戰(zhàn)。本文將對其研究進(jìn)展進(jìn)行綜述。02鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)的挑戰(zhàn)鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)的挑戰(zhàn)

鈮酸鋰晶體的硬度高、脆性大，使其在進(jìn)行機(jī)械加工時極容易形成裂紋，且表面粗糙度難以控制。此外，其加工過程中的熱力學(xué)性質(zhì)變化也增加了超精密加工的難度。因此，開發(fā)高效、高精度的鈮酸鋰晶體加工技術(shù)一直是研究熱點。03鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展

1.磨削技術(shù)2.激光加工技術(shù)3.飛秒激光加工技術(shù)干磨削、水磨削及復(fù)合磨削是鈮酸鋰晶體加工的主要方法。近年來，研究人員通過優(yōu)化磨削參數(shù)、改進(jìn)磨具以及采用新型磨削液等方法，有效提高了磨削精度和表面質(zhì)量。激光加工具有高精度、非接觸等優(yōu)點，適用于鈮酸鋰晶體的微納加工。研究者通過調(diào)控激光參數(shù)，實現(xiàn)了對鈮酸鋰晶體的高精度切割、打孔以及微結(jié)構(gòu)制造。與傳統(tǒng)的納米加工技術(shù)相比，飛秒激光加工技術(shù)在鈮酸鋰晶體超精密加工中顯示出獨特的優(yōu)勢。飛秒激光能夠在鈮酸鋰晶體內(nèi)部實現(xiàn)無熱影響區(qū)的精細(xì)加工，從而得到高質(zhì)量的加工表面。鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展精密研磨和拋光是獲得鈮酸鋰晶體高質(zhì)量表面的關(guān)鍵步驟。研究者通過開發(fā)新型研磨液、優(yōu)化拋光工藝參數(shù)等方法，顯著提高了研磨拋光效果。4.精密研磨和拋光技術(shù)

04展望展望

盡管鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)已取得了一定的研究進(jìn)展，但仍面臨諸多挑戰(zhàn)。未來，研究重點將放在開發(fā)更高效、更精確的加工方法，提高加工表面的質(zhì)量，以及探索新的工藝路線等方面。此外，隨著智能制造和智能制造系統(tǒng)的快速發(fā)展，如何將先進(jìn)的智能制造技術(shù)與鈮酸鋰晶體超精密加工相結(jié)合，提高生產(chǎn)效率和自動化程度，也將成為研究的重要方向。05結(jié)論結(jié)論

總的來說，鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)的研究進(jìn)展顯著，各種加工方法不斷發(fā)展和完善。然而，仍需進(jìn)一步研究和探索，以滿足日益增長的應(yīng)用需求。我們期待未來在這一領(lǐng)域能取得更多的突破和創(chuàng)新。

鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)研究進(jìn)展(4)

01概述概述

鈮酸鋰晶體是一種具有非線性光學(xué)效應(yīng)、電光效應(yīng)和熱光效應(yīng)的光學(xué)材料，廣泛應(yīng)用于激光技術(shù)、光電子器件、光通信等領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，對鈮酸鋰晶體的加工精度要求越來越高，超精密加工技術(shù)應(yīng)運而生。本文將對鈮酸鋰晶體超精密加工技術(shù)的研究進(jìn)展進(jìn)行綜述。02鈮酸鋰晶體超精密加工方法鈮酸鋰晶體超精密加工方法

1.機(jī)械加工方法

2.化學(xué)加工方法

3.光學(xué)加工方法機(jī)械加工方法包括磨削、研磨、拋光等。近年來，隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展，超精密磨削、超精密研磨、超精密拋光等加工方法在鈮酸鋰晶體加工中得到廣泛應(yīng)用。這些加工方法具有加工精度高、表面質(zhì)量好、加工效率高等優(yōu)點?；瘜W(xué)加工方法包括化學(xué)腐蝕、化學(xué)刻蝕、化學(xué)拋光等?；瘜W(xué)加工方法具有加工速度快、成本低、對材料損傷小等優(yōu)點，但在加工精度和表面質(zhì)量方面存在一定局限性。光學(xué)加工方法包括光學(xué)磨削、光學(xué)研磨、光學(xué)拋光等。光學(xué)加工方法具有加工精度高、表面質(zhì)量好、加工效率高等優(yōu)點，但設(shè)備成本較高。03鈮酸鋰晶體超精密加工設(shè)備鈮酸鋰晶體超精密加工設(shè)備

超精密研磨機(jī)主要用于鈮酸鋰晶體的