T-GVS 017-2024 連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備

TGVSContinuousopticalmagnetronsputteringcoatinI 2 2 3 4 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定子束（廣州）裝備科技有限公司、廣州市尤特新材料有1連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備GB/T2680—2021建筑玻璃可見光透射比、太陽光直接透射比、太陽能總透射比、紫外線透射GB/T5226.1機(jī)械電氣安全機(jī)械電氣設(shè)備第1部分：通GB/T11164—2011真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)GB/T13384機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)GB/T18209.1機(jī)械電氣安全指示、標(biāo)志和操作第1部分：關(guān)于視覺、聽覺和觸覺信號(hào)的要求GB/T33051光學(xué)功能薄膜表面硬化薄膜硬化層厚度測(cè)定方法GB/T35076—2018機(jī)械安全生產(chǎn)設(shè)備安全GB/T38518柔性薄膜基體上涂層厚度的測(cè)量3.1連續(xù)式光學(xué)磁控濺射鍍膜設(shè)備continuousopticalmagnetronsputteringcoatingequ將材料濺射到工件表面進(jìn)而沉積形成具有一定光學(xué)性能薄膜的連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，常見有采用立式鍍3.23.3包括了輸送輥道動(dòng)作、進(jìn)出口真空室充放氣和翻板閥3.424.2抽氣系統(tǒng)4.3真空測(cè)量系統(tǒng)4,4鍍膜系統(tǒng)4.5傳動(dòng)系統(tǒng)4,6控制系統(tǒng)a)進(jìn)水溫度：20℃~25℃;d)水質(zhì)：不低于自來水標(biāo)準(zhǔn)，宜使用純5.2壓縮空氣a)氣體為潔凈干燥空氣；5.3溫濕度a)設(shè)備主要分為上下料操作車間及主機(jī)區(qū)域，其中上下料操作車間溫度應(yīng)保持維持在體感舒適a)設(shè)備所需要用到的工作氣體包括但不限于如氬氣、氮?dú)?、氧氣、乙炔等，氣體純度一般大于35.5供電電源5.6接地要求5.7設(shè)備運(yùn)行環(huán)境a)設(shè)備主要分為上下料操作車間及主機(jī)區(qū)域，其中上下料操作車間應(yīng)符6.2技術(shù)參數(shù)12），3），45），67最小生產(chǎn)節(jié)拍，s注：鍍膜尺寸分檔（mm）：320、370、550、680、730、1100、1500、1950、2200、2880、3000。所列鍍膜6.3光學(xué)性能應(yīng)能根據(jù)設(shè)計(jì)需求自動(dòng)關(guān)閉或自動(dòng)打開。遇突然停電時(shí)，閥門應(yīng)能自動(dòng)46.4.4控制柜應(yīng)加裝有報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)反映設(shè)備狀6.4.5設(shè)備及其附屬的電氣裝置均應(yīng)裝設(shè)接地裝置，接地要求應(yīng)符合GB/T3797—2016中6.9規(guī)定。6.4.7操作中突然斷電后，再恢復(fù)供電時(shí)應(yīng)能防止電器自行接通。7.2技術(shù)參數(shù)試驗(yàn)條件按GB/T11164—2011中5.2之后，打開真空室15min，再關(guān)閉真空室，對(duì)其再度抽氣至5.0×10-3Pa壓力值所需的達(dá)到系統(tǒng)可設(shè)定的最大速度前出現(xiàn)故障，則最大機(jī)械傳動(dòng)速度為應(yīng)不小于100mm，保證同一直線上取點(diǎn)數(shù)量不少于5點(diǎn)（若樣品尺寸過小，則根據(jù)樣品實(shí)際尺寸等距取層厚度d1和最小膜層厚度d2，鍍膜厚度均勻性由式（1）5Ad——膜層厚度均勻性；d1——所有測(cè)試點(diǎn)位所測(cè)范圍內(nèi)最大膜層厚度，單位為nm。Ad——膜層厚度均勻性；d2——所有測(cè)試點(diǎn)位所測(cè)范圍內(nèi)最小膜層厚度，單位為nm。a）大氣狀態(tài)下的輸送輥道及門閥的傳動(dòng)速度已經(jīng)調(diào)試到系統(tǒng)內(nèi)Av——傳動(dòng)速度穩(wěn)定性；v1——線速度計(jì)測(cè)量值，單位為m/s。a）大氣狀態(tài)下的輸送輥道及門閥的機(jī)械節(jié)拍已經(jīng)調(diào)試到最7.3安全防護(hù)機(jī)械安全生產(chǎn)設(shè)備安全按GB/T35076—2018規(guī)定進(jìn)行，電氣安全按GB/T522668.2每臺(tái)設(shè)備應(yīng)經(jīng)制造廠檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格后方9標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存9.1.1每臺(tái)設(shè)備及其附屬裝置應(yīng)在明顯位置裝上產(chǎn)品標(biāo)牌，標(biāo)牌應(yīng)符合GB/T13306的規(guī)定，產(chǎn)品標(biāo)牌b)設(shè)備型號(hào)及名稱；a)產(chǎn)品質(zhì)量合格證；9.2.1設(shè)備包裝前應(yīng)對(duì)未做防銹處理的金屬表面涂以防銹油脂。對(duì)整機(jī)包裝的設(shè)備包裝前鍍膜室應(yīng)抽成真空狀態(tài)并關(guān)閉所有閥門。裝箱前應(yīng)將設(shè)備中的殘余積水或廢屑清9.3運(yùn)輸設(shè)備的運(yùn)輸方式和運(yùn)輸中所采取的措施應(yīng)保證設(shè)備及其包裝不發(fā)生損傷；設(shè)備在運(yùn)輸中有可能松散的零部件應(yīng)有防松、墊、托等措施；運(yùn)