無人機(jī)傳感器技術(shù) 8.2.陀螺儀發(fā)展趨勢_第1頁
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陀螺儀發(fā)展趨勢主講教師：《無人機(jī)傳感器技術(shù)》MEMS陀螺儀1發(fā)展趨勢2目錄MEMS陀螺儀01MEMS陀螺儀1.1概述依賴于相互正交的振動和轉(zhuǎn)動引起的交變科里奧利力。集機(jī)械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體。將旋轉(zhuǎn)物體的角速度轉(zhuǎn)換成與角速度成正比的直流電壓信號。通過摻雜技術(shù)、光刻技術(shù)、腐蝕技術(shù)、LIGA技術(shù)、封裝技術(shù)等批量生產(chǎn)。MEMS陀螺儀2.1種類及特性可靠性好，工作壽命超過10萬小時(shí)，能承受1000g的沖擊測量范圍大體積小、重量輕，其邊長都小于1mm，器件核心的重量僅為1.2mg成本低√√√√主要特點(diǎn)發(fā)展趨勢02發(fā)展趨勢2.1氦-氖環(huán)形激光陀螺儀優(yōu)點(diǎn)：無機(jī)械轉(zhuǎn)子，結(jié)構(gòu)簡單（少于20個部件）抗振動性能好啟動快可靠性高數(shù)字輸出發(fā)展趨勢2.1氦-氖環(huán)形激光陀螺儀基于氦-氖環(huán)形激光陀螺儀的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)已經(jīng)廣泛應(yīng)用在航空和航海導(dǎo)航、戰(zhàn)略導(dǎo)彈的導(dǎo)航、制導(dǎo)與控制領(lǐng)域，成為主要的高性能陀螺儀之一。發(fā)展趨勢2.2光纖陀螺儀目前，最為常見的光纖陀螺儀是相敏光纖陀螺儀，通過測量在一個光纖線圈中的兩束反向傳播光束的相移以敏感載體轉(zhuǎn)動，從而計(jì)算出其角速率。發(fā)展趨勢2.2光纖陀螺儀光纖陀螺儀的精度主要取決于其采用的光纖種類和光電檢測系統(tǒng)，偏值一般處于0.001度/時(shí)-0.0002度/時(shí)之間。廣泛應(yīng)用于魚雷、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈、潛艇和航天器等。發(fā)展趨勢2.3集成光學(xué)陀螺儀將幾毫米直徑的集成環(huán)形腔激光器、光電檢測電路都集成在同一芯片上，作為集成光學(xué)陀螺儀的敏感元件。減小質(zhì)量和尺寸，降低成本和功耗，更好地控

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