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文檔簡介
1、第二章 電阻式傳感器,電阻式傳感器的基本原理是將被測量的變化轉(zhuǎn)換成傳感元件電阻值的變化,再經(jīng)過轉(zhuǎn)換電路變成電信號輸出。,自動測力或稱重中應(yīng)用最普遍的是電阻應(yīng)變式傳感器,應(yīng)變式傳感器有下列優(yōu)點: 1.精確度高,線性度好,靈敏度高 2.滯后和蠕變都較小,壽命高 3.容易與二次儀表相匹配實現(xiàn)自動檢測 4.結(jié)構(gòu)較簡單,體積較小應(yīng)用靈活 5.工作穩(wěn)定、保養(yǎng)方便 應(yīng)變式傳感器除可用于測量力參數(shù)外,還可用于測量加速度,振幅等其他物理量。,第一節(jié) 電阻應(yīng)變式傳感器,一、電阻應(yīng)變效應(yīng),二、電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu),三、應(yīng)變片的粘貼技術(shù),四、測量電路,五、電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用,主要內(nèi)容,應(yīng)變片粘貼在被測試件上,當(dāng)溫度恒
2、定時,其加載特性與卸載特性不重合,即為機械滯后。,機械滯后、零漂及蠕變,機械滯后值還與應(yīng)變片所承受的應(yīng)變量有關(guān),加載時的機械應(yīng)變愈大,卸載時的滯后也愈大。所以,通常在實驗之前應(yīng)將試件預(yù)先加、卸載若干次,以減少因機械滯后所產(chǎn)生的實驗誤差。,產(chǎn)生原因:應(yīng)變片在承受機械應(yīng)變后的殘余變形,使敏感柵電阻發(fā)生少量不可逆的變化;在制造或粘貼應(yīng)變片時,敏感柵受到的不適當(dāng)?shù)淖冃位蛘辰Y(jié)劑固化不充分等。,對于粘貼好的應(yīng)變片,當(dāng)溫度恒定時,不承受應(yīng)變時,其電阻值隨時間增加而變化的特性,稱為應(yīng)變片的零點漂移。,產(chǎn)生的原因:敏感柵通電后的溫度效應(yīng);應(yīng)變片的內(nèi)應(yīng)力逐漸變化;粘結(jié)劑固化不充分等。,如果在一定溫度下,使應(yīng)變片承
3、受恒定的機械應(yīng)變,其電阻值隨時間增加而變化的特性稱為蠕變。一般蠕變的方向與原應(yīng)變量的方向相反。,產(chǎn)生的原因:由于膠層之間發(fā)生“滑動”,使力傳到敏感柵的應(yīng)變量逐漸減少。,一、電阻應(yīng)變效應(yīng) 導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外界力的作用下,會產(chǎn)生機械變形,其電阻值也將隨著發(fā)生變化,這種現(xiàn)象稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。 取一根長度為L,截面積為A,電阻率為 的金屬絲,未受力時其電阻R為,當(dāng)電阻絲受到拉力F作用時, 將伸長L, 橫截面積相應(yīng)減小A(取負(fù)號), 電阻率將改變, 故引起電阻值相對變化量為,式中L/L是長度相對變化量, 用應(yīng)變表示,A/A為電阻絲的截面積相對變化量, 因,所以,由材料力學(xué), 在彈性范圍內(nèi), 金屬絲受拉
4、力時, 沿軸向伸長, 沿徑向縮短, 那么軸向應(yīng)變和徑向應(yīng)變的關(guān)系可表示為,式中: 材料的泊松比, 負(fù)號表示應(yīng)變方向相反。 材料的應(yīng)變, 以取代 和 ,得,實驗證明,應(yīng)變片的電阻相對變化量R R與材料的應(yīng)變的關(guān)系在很大范圍內(nèi)是線性的,從上式中提出 ,得, 材料的靈敏度系數(shù)K0取決于兩個因素 (1)材料幾何尺寸的改變。見上式中的 項。 (2)應(yīng)變引起的電阻率改變。見上式中的 項。 結(jié)論:金屬材料的 主要受前者影響;半導(dǎo)體材料主要受后者影響!,K0為靈敏度系數(shù)-單位應(yīng)變能引起的電阻相對變化。,二、電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu),1.金屬電阻應(yīng)變片,有絲式、箔式、薄膜式三種結(jié)構(gòu)。 金屬絲(一般是合金,電阻率較高,直
5、徑約0.02mm)式應(yīng)變片使用最早,有紙基、膠基、紙浸膠基之分。由于金屬絲式應(yīng)變片蠕變較大,金屬絲易脫膠,有逐漸被箔式所取代的趨勢。但其價格便宜,多用于大批量、一次性試驗。 目前箔式應(yīng)變片應(yīng)用較多。箔式應(yīng)變片中的箔柵(敏感柵)是金屬箔通過光刻、腐蝕等工藝制成的。箔的材料多為電阻率高、熱穩(wěn)定性好的銅鎳合金。箔式應(yīng)變片與片基的接觸面積大得多,散熱條件較好,在長時間測量時的蠕變較小,一致性較好,適合于大批量生產(chǎn)。還可以對金屬箔式應(yīng)變片進行適當(dāng)?shù)臒崽幚恚蛊渚€脹系數(shù)、電阻溫度系數(shù)以及被粘貼的試件的線脹系數(shù)三者相互抵消,從而將溫度影響減小到最小的程度,目前廣泛用于各種應(yīng)變式傳感器中。 金屬薄膜應(yīng)變片是采
6、用真空蒸鍍或濺射式陰極擴散等方法,在薄的基底材料上制成一層金屬電阻材料薄膜以形成應(yīng)變片。 這種應(yīng)變片有較高的靈敏度系數(shù),允許電流密度大,工作溫度范圍較廣。,常用應(yīng)變片的形式,金屬應(yīng)變計,2.半導(dǎo)體應(yīng)變片:利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)而制成的一種純電阻性元件。,對一塊半導(dǎo)體材料的某一軸向施加一定的載荷而產(chǎn)生應(yīng)力時,它的電阻率會發(fā)生變化,這種物理現(xiàn)象稱之為壓阻效應(yīng)。,將半導(dǎo)體材料硅或鍺晶體按一定方向切割成的片狀小條,經(jīng)腐蝕壓焊粘貼在基片上而成的應(yīng)變片,利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件而制成,將P型雜質(zhì)擴散到N型硅單晶體基底上,形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,再通過超聲波和熱壓焊法接上引出線就形
7、成了擴散型半導(dǎo)體應(yīng)變片,三、應(yīng)變片的粘貼技術(shù),應(yīng)變片的檢查與選擇 試件的表面處理 底層處理 貼片 固化 粘貼質(zhì)量檢查 引線焊接與組橋連接,四、測量電路,作用:測量電阻的微小變化。,直流電橋,交流電橋,金屬應(yīng)變片的電阻變化范圍很小,如果直接用歐姆表測量其電阻值的變化將十分困難,且誤差很大。 例如,有一金屬箔式應(yīng)變片,標(biāo)稱阻值R0為100,靈敏度K=2,粘貼在橫截面積為9.8mm2的鋼質(zhì)圓柱體上,鋼的彈性模量E=21011N/m2,所受拉力F=0.2t,受拉后應(yīng)變片的阻值R 的變化量僅為0.2,所以必須使用不平衡電橋來測量這一微小的變化量。,等臂電橋 輸出對稱電橋 電源對稱電橋,(一) 直流電橋,
8、直流電源U,輸 出 電 壓,R,等效電阻:,直流電橋平衡條件:,空載電壓:,1.直流電橋的電流輸出:電橋輸出信號較大,輸出端又接入電阻值較小的負(fù)載如檢流計進行測量時,電橋以電流形式輸出 如果直流電橋帶一個具有內(nèi)阻Rg的負(fù)載,將輸出電流Ig. 電流輸出電路及其等效電路:,(E=U0),由等效電路可求得Ig、Ug的一般表達式:,*當(dāng)阻抗匹配即Rg=R時,Ig、Ug表達式可簡化為:,設(shè)R1為應(yīng)變電阻,當(dāng)電阻增加R時,由Ig簡化算式:,得輸出電流為:,即,(2)阻抗匹配的電源對稱電橋,也有,(1)阻抗匹配的輸出對稱電橋,(3)阻抗匹配的等臂電橋,有,輸出與輸入呈線性關(guān)系,2.直流電橋的電壓輸出,如果直
9、流電橋輸出端接運算放大器,負(fù)載電阻Rg,輸出電流Ig0,輸出電壓即可認(rèn)為是電橋電路的開路電壓:,(單臂)對于輸出對稱電橋(右圖),即,對于電源對稱電橋,對于等臂電橋,輸出與輸入呈線性關(guān)系,直流電橋?qū)嵱秒娐?等臂電橋全橋工作電路,特征:四個電阻相同 四個電阻全為應(yīng)變電阻 (兩個被拉長,兩個被壓短),與單臂應(yīng)變相比,靈敏度擴大4倍!,(二) 交流電橋,交流電橋采用正弦交流電源U,電源頻率取被測應(yīng)變頻率的510倍。 各橋臂采用應(yīng)變片或定值精密無感電阻。 在頻率較高時,必須考慮分布電容的影響。 如:,等。,設(shè)正弦交流電源,則輸出交流電壓,交流電橋平衡條件:,或,(1)等臂電橋單臂應(yīng)變情況下,(2)等臂
10、電橋雙臂應(yīng)變情況下,2,2,雙臂差動比單筆工作靈敏度提高一倍,(三) 電橋的線路補償,(1)初始平衡補償(零點補償) 對平衡位置(零點)的改變進行的補償。 如果某一對橋臂電阻的乘積較小,可對這兩個電阻中的任一個串聯(lián)小的補償電阻進行補償,以滿足電橋的初始平衡條件。,補償電阻,(2)溫度補償,a.補償片補償,b.熱敏電阻補償,如圖中R2、R4橋臂的總溫度系數(shù)低, 可采用高溫度系數(shù)的RT進行補償,(3)彈性模量補償,彈性材料受環(huán)境影響,如升溫變軟,彈性模量減??;老化變硬,彈性模量增大等。 對于升溫變軟,可采用銅絲或鎳絲制成補償電阻RE進行補償。,分析:當(dāng)彈性材料升溫變軟,同樣受力引起的應(yīng)變增大,測量
11、電路輸出會增大。 加上RE之后,由于RE升溫增大,電橋電路供電電壓減小,補償了升溫引起的輸出增大。,五、電阻應(yīng)變式傳感器的應(yīng)用,應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)用十分廣泛。它可以測量應(yīng)變應(yīng)力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量。電阻應(yīng)變片的應(yīng)用可分為兩大類:第一類是將應(yīng)變片粘貼于某些彈性體上,并將其接到測量轉(zhuǎn)換電路,這樣就構(gòu)成測量各種物理量的專用應(yīng)變式傳感器。應(yīng)變式傳感器中,敏感元件一般為各種彈性體,傳感元件就是應(yīng)變片,測量轉(zhuǎn)換電路一般為橋路;第二類是將應(yīng)變片貼于被測試件上,然后將其接到應(yīng)變儀上就可直接從應(yīng)變儀上讀取被測試件的應(yīng)變量。,(一)測力與稱重傳感器,(二)壓力傳感器,補償片,工作片,膜片,應(yīng)變片,插座,(
12、三)加速度傳感器,(四)位移傳感器,應(yīng)變式力傳感器,應(yīng)變式力傳感器,F,F,F,F,各種懸臂梁,各種懸臂梁,F,F,固定點,固定點,電纜,應(yīng)變式荷重傳感器的外形及應(yīng)變片的粘貼位置,F,應(yīng)變式荷重傳感器外形及受力位置(續(xù)),F,F,應(yīng)變式荷重傳感器外形及受力位置(續(xù)),F,F,荷重傳感器原理演示,荷重傳感器上的應(yīng)變片在外力作用下產(chǎn)生變形。軸向變短,徑向變長。,汽車衡,汽車衡(以下參考北京遠亞興業(yè)商貿(mào)有限公司資料 ),汽車衡稱重系統(tǒng),荷重傳感器用于構(gòu)件的稱重,荷重傳感器 (共 3個,120度分布,以達到均衡目的,另兩個未拍出),底座,墊塊,電纜,電子秤,磅秤,超市打印秤,遠距離顯示,電子天平,電子
13、天平的精度可達十萬分之一,人體秤,吊鉤秤,便攜式,應(yīng)變式數(shù)顯扭矩扳手,可用于汽車、摩托車、飛機、內(nèi)燃機、機械制造和家用電器等領(lǐng)域,準(zhǔn)確控制緊固螺紋的裝配扭矩。量程2500N.m,耗電量10mA,有公制/英制單位轉(zhuǎn)換、峰值保持、自動斷電等功能。,第二節(jié) 固態(tài)壓阻式傳感器 -半導(dǎo)體傳感器,壓阻效應(yīng):半導(dǎo)體受到作用力后,電阻率就要發(fā)生變化,這種現(xiàn)象叫壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)特別強。 半導(dǎo)體壓阻式傳感器分類,粘貼式應(yīng)變片,擴散硅型壓阻傳感器,特點:靈敏系數(shù)大,分辨率高,動態(tài)響應(yīng)快,體積小,溫度范圍寬,便于批量生產(chǎn),易于集成化、智能化。,本節(jié)介紹擴散硅型壓阻傳感器,設(shè)半導(dǎo)體材料的壓阻系數(shù)為 ,材料
14、受到的應(yīng)力為, 有,一、工作原理與結(jié)構(gòu),對于半導(dǎo)體材料,其電阻率的變化為:,在彈性變形限度內(nèi),壓阻效應(yīng)是可逆的,當(dāng)應(yīng)力消失時,硅片的電阻會恢復(fù)原來數(shù)值。 注意:晶體在不同的方向上,壓阻效應(yīng)數(shù)值不同。,壓阻效應(yīng)傳感器的核心-硅膜片,二、壓阻式壓力傳感器,三、壓阻式加速度傳感器,四、壓阻式傳感器的應(yīng)用,因為壓阻式傳感器具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快、體積小、溫度范圍寬、便于批量生產(chǎn)、易于集成化、智能化的優(yōu)點。在航空、航海、石油、化工、機械、兵器、醫(yī)療等各方面獲得廣泛應(yīng)用。,機械:實時檢測各種機器設(shè)備、生產(chǎn)線的氣液壓力等 航空:飛機發(fā)動機壓力、物體加速度等 兵器:槍炮膛內(nèi)壓力、爆炸壓力、沖擊波壓力等 醫(yī)療
15、:測量心腦血管、顱內(nèi)、尿道、眼球內(nèi)壓力等 其他:自來水管網(wǎng)壓力檢測 震動檢測 過山車加速度檢測等,壓阻式固態(tài)壓力傳感器的隔離、承壓膜片,隔離、承壓膜片可以將腐蝕性的氣體、液體與硅膜片 隔離開來。,壓阻式固態(tài) 壓力傳感器 內(nèi)部結(jié)構(gòu),信號處理電路,小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器,高壓進氣口,低壓進氣口,絕對壓力傳感器,小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器(續(xù)),呼吸、透析和注射泵設(shè)備中用的壓力傳感器,p1進氣管,p2進氣管,固態(tài)壓力傳感器,小型壓阻式固態(tài)壓力傳感器(續(xù)),表壓壓力傳感器,p1進氣管,投入式液位計,投入式液位傳感器(液位計)是基于所測液體靜壓與該液體的高度成比例的原理。,投入式液位計外形(續(xù)),壓阻式
16、固態(tài)壓力傳感器,光柱 顯示器,橡膠 背壓管,投入式液位傳感器 投入式液位傳感器安裝方便,適應(yīng)于深度為 幾米 至 幾十米,且混有 大 量 污物、雜質(zhì)的水或其他液體的液位測量。,電阻應(yīng)變儀,下圖所示的靜態(tài)應(yīng)變儀測量范圍:19999; 分辨率: 1;電橋電壓:直流2.5V; 應(yīng)變片:120或其他阻值; 測量點數(shù):8/16點;,電阻應(yīng)變儀(續(xù)),右圖所示的靜動態(tài) 應(yīng)變儀技術(shù)指標(biāo): 量程:110000 頻率范圍:0-150kHz 平衡方式:手動 精度:0.3% 零點飄移:- /:0.1- /24小時:0.5 靈敏度變化:- /:0.05%- /24小時:0.3% 信噪比:52dB,(參考東方振動和噪聲技
17、術(shù)研究所資料),材料應(yīng)變的測量,斜拉橋上的斜拉繩應(yīng)變測試,第三節(jié) 熱電阻式溫度傳感器,熱電阻傳感器,分類:,金屬熱電阻=熱電阻,半導(dǎo)體熱電阻=熱敏電阻,熱電阻傳感器-利用導(dǎo)體或半導(dǎo)體的電阻值隨溫度變化而變的物理現(xiàn)象進行溫度檢測。,一、熱電阻:溫度升高,金屬內(nèi)部原子晶格的振動加劇,從而使金屬內(nèi)部的自由電子通過金屬導(dǎo)體時的阻礙增大,宏觀上表現(xiàn)出電阻率變大,電阻值增加,我們稱其為正溫度系數(shù),即電阻值與溫度的變化趨勢相同。,取一只 100W/220V 燈泡,用萬用表測量其電阻值,可以發(fā)現(xiàn)其冷態(tài)阻值只有幾十歐姆,而計算得到的額定熱態(tài)電阻值應(yīng)為484 。,作為測溫用的熱電阻應(yīng)該具有一下特性: (1)電阻-
18、溫度變化具有良好的線性關(guān)系; (2)電阻溫度系數(shù)大,便于精確測量; 表示電阻當(dāng)溫度改變1度時,電阻值的相對變化 (3)電阻率(是用來表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量。某種材料制成的長1米、橫截面積是1平方毫米的在常溫下(20時)導(dǎo)線的電阻,叫做這種材料的電阻率 )高,熱容量小,反應(yīng)速度快; 系統(tǒng)在某一過程中,溫度升高(或降低)1所吸收(或放出)的熱量 (4)在測量范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的物理和化學(xué)性質(zhì)。 (5)材料質(zhì)量要純,復(fù)現(xiàn)性好,價格便宜。 在不同測量條件下,如不同的方法,不同的觀測者,在不同的檢測環(huán)境對同一被檢測的量進行檢測時,其測量結(jié)果一致的程度。,(一)鉑(Pt)電阻,鉑易于提純,物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)
19、定,電阻率較大,能耐較高溫度,所以鉑熱電阻在溫度傳感器中得到了廣泛應(yīng)用。 鉑熱電阻的特性方程: 在0650的溫度范圍內(nèi): 在-2000的溫度范圍內(nèi):,Rt和R0分別為t和0時鉑電阻值; A、 B和C為常數(shù)。,目前我國規(guī)定工業(yè)用鉑熱電阻有R0=10和R0=100兩種, 它們的分度號分別為Pt10和Pt100, 其中以Pt100為常用。 不同分度號有相應(yīng)分度表, 即Rt-t 的關(guān)系表。 實際測量中, 只要測得熱電阻的阻值Rt, 便可從分度表上查出對應(yīng)的溫度值。,鉑熱電阻Pt100分度表,薄膜型及普通型鉑熱電阻,小型鉑熱電阻,防爆型鉑熱電阻,鉑電阻溫度顯示、變送器,(二)銅電阻 由于鉑是貴重金屬,
20、在一些測量精度要求不高且溫度較低的場合, 可采用銅熱電阻測溫, 測量范圍-50+150。 銅熱電阻在測量范圍內(nèi)電阻值與溫度的關(guān)系: R0為0時電阻值,為溫度為0 時的電阻溫度系數(shù),銅熱電組的有兩種分度號 Cu50(R0=50)和Cu100(R0=100)。,銅電阻絲,骨架,銅引出線,汽車用水溫傳感器及水溫表,銅熱電阻,銅熱電阻線性較好,測溫范圍小,價格便宜, 但易氧化, 不適宜在腐蝕性介質(zhì)或高溫下工作。 鉑熱電阻線性好,測溫范圍較大,不宜氧化,在腐蝕性介質(zhì)或較高溫度下可以工作,但價格昂貴。,表2-2 熱電阻的主要技術(shù)性能,熱電阻的外形結(jié)構(gòu),接線盒,熱電阻,固定螺紋,引線方式有兩線制、 三線制和
21、四線制, 兩線制引線電阻對測量影響大, 精度低。三線制可以減小連接導(dǎo)線的電阻因溫度變化所引起的測量誤差。 四線制可以完全消除誤差。工業(yè)上多采用三線制,而四線制則常用于標(biāo)準(zhǔn)鉑熱電阻的引出線上。,分類: 根據(jù)電阻值的溫度特性分為:負(fù)溫度系數(shù)(negative temperature coefficient, NTC)和正溫度系數(shù)(positive temperature coefficient , PTC)之分。 NTC又可分為兩大類: 第一類用于測量溫度,它的電阻值與溫度之間呈嚴(yán)格的負(fù)指數(shù)關(guān)系; 第二類為突變型(CTR)。當(dāng)溫度上升到某臨界點時,其電阻值突然下降 。常作為控溫報警器。 根據(jù)結(jié)構(gòu)分
22、為:珠狀、柱狀、片狀、薄膜狀等形式。,珠狀,柱狀,片狀,二、熱敏電阻:利用半導(dǎo)體制成的敏感元件,特點是電阻率隨溫度變化顯著。,下圖所示的四根曲線分別為哪一種熱敏電阻?,圖各種熱敏電阻的特性曲線 1突變型NTC 2負(fù)指數(shù)型NTC 3線性型PTC 4突變型PTC,熱敏電阻優(yōu)點: 電阻溫度系數(shù)大,靈敏度高,熱慣性小,反應(yīng)速度快,體積小,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,壽命長,易于遠距離測量。(由于熱接點具有一定的熱容量,熱接點從介質(zhì)中吸熱量后,加熱自身、使溫度提高到穩(wěn)定值需要一定的時間。即熱接點的溫度變化,在時間上總是滯后于被測介質(zhì)的溫度變化。熱電偶的這種現(xiàn)象稱為熱慣性。 ) 熱敏電阻缺點:電阻隨溫度變化曲線為
23、非線性,且同一型號電阻的產(chǎn)品特性參數(shù)有較大差別,難于互相代換。,熱敏電阻外形,MF12型 NTC熱敏電阻,聚脂塑料封裝熱敏電阻,其他形式的熱敏電阻,玻璃封裝 NTC熱敏電阻,MF58 型熱敏電阻,帶安裝孔的熱敏電阻,大功率PTC熱敏電阻,貼片式NTC熱敏電阻,MF58型(珠形)高精度負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻,MF5A-3型熱敏電阻,(參考深圳科蓬達電子有限公司資料),KPD/MF5E薄膜系列NTC熱敏電阻, 應(yīng)用在電腦、打印機、家用電器等,非標(biāo)熱敏電阻,熱敏電阻溫度面板表,熱敏電阻,LCD顯示屏,熱敏電阻體溫表,熱敏電阻用于CPU的溫度測量,(參考小熊在線公司資料),熱敏電阻用于電熱水器的溫度控制,
24、二、熱電阻式傳感器的應(yīng)用:有兩種形式,一種是將熱敏元件與被測物體相接觸,它們之間經(jīng)過熱交換后達到熱平衡時熱敏元件的電阻值反應(yīng)了被測物體的溫度;一種是將流過恒定電流的熱敏元件置于被測氣體或液體等介質(zhì)中,介質(zhì)中的某些參數(shù)將影響熱敏元件與介質(zhì)之間的熱交換和熱平衡,利用這一原理達到測量介質(zhì)的某些參數(shù)的目的。,引線方式為:三線制式,(三) 熱 敏 電 阻 點 溫 計,熱敏電阻適合做點溫計,因為其體積小,響應(yīng)速度快,選擇量程,使電流計滿量程,(四)熱敏電阻熱保護,(五) 熱 敏 電 阻 液 位 傳 感 器,(六)熱敏電阻濕度傳感器:利用濕度與大氣導(dǎo)熱率之間的關(guān)系作為測量原理的,現(xiàn)已用于空調(diào)機濕度控制,或制
25、成便攜式絕對濕度表、直讀式露點計、相對濕度計、水分計等,一、氣敏電阻的工作原理 氣敏電阻的材料是金屬氧化物半導(dǎo)體, 當(dāng)被氣體吸附時這些材料的電阻率會發(fā)生變化,利用這個原理可以制成氣敏元件和氣敏傳感器-通過電阻率變化監(jiān)視氣體濃度、成分。 主要用于工業(yè)上天然氣、煤氣、石油化工等部門的易燃、易爆、有毒、有害氣體的監(jiān)測、預(yù)報和自動控制。 氣敏電阻品種繁多,主要有可測量還原性氣體和測量氧氣濃度的兩大類。,第四節(jié) 氣敏電阻,一、還原性氣體傳感器 所謂還原性氣體就是在化學(xué)反應(yīng)中能給出電子,化學(xué)價升高的氣體。還原性氣體多數(shù)屬于可燃性氣體,例如石油蒸氣、酒精蒸氣、甲烷、乙烷、煤氣、天然氣、氫氣等。 測量還原性氣
26、體的氣敏電阻一般是用SnO2、ZnO或Fe2O3等金屬氧化物粉料添加少量鉑催化劑、激活劑及其它添加劑,按一定比例燒結(jié)而成的半導(dǎo)體器件 金屬氧化物半導(dǎo)體分N型半導(dǎo)體(氧化錫、氧化鐵、氧化鋅、氧化鎢等,氧離子缺位,當(dāng)遇到易于失去電子的可燃性氣體時,電子從氣體分子向半導(dǎo)體遷移,半導(dǎo)體的載流濃度增加,電導(dǎo)率增加)和P型半導(dǎo)體(氧化鈷、 氧化鉛、氧化銅、氧化鎳等,陽離子缺位,當(dāng)遇到可燃性氣體時,電導(dǎo)率減?。?氣敏電阻的檢測靈敏度受溫度影響很大,在常溫下輸出信號微弱,升溫后電導(dǎo)率變化明顯。氣敏電阻工作時必須加熱到200300,其目的是加速被測氣體的化學(xué)吸附和電離的過程,并燒去氣敏電阻表面的污物(起清潔作用
27、)。,提高對某些氣體成分的選擇性和靈敏度的方法:(1)滲入微量的鉑、銀、金等元素;(2)使用金屬鹽類催化劑。,氣敏電阻的靈敏度與溫度的關(guān)系 (電導(dǎo)率的變化所引起的負(fù)載上得到的電壓),(一)氧化錫系氣敏電阻 該器件的電導(dǎo)率隨器件本身溫度的升高而增加, 在100300范圍內(nèi)電導(dǎo)率變化很大。,二、常用氣敏電阻,直熱式,旁熱式,旁熱式,(二)氧化鋅系氣敏電阻:屬于N型金屬氧化物半導(dǎo)體,通過摻雜而獲得不同氣體的選擇性,如摻鉑可對異丁烷、丙烷、乙烷等氣體敏感,而摻鈀則對氫、一氧化碳、甲烷、煙霧等有較高的靈敏度。,(三)氧化鐵系氣敏電阻:當(dāng)與還原性氣體接觸時,轉(zhuǎn)化為 四氧化三鐵,電阻率迅速降低,對烷類氣體特
28、別靈敏。,表2-4 幾種國產(chǎn)氣敏電阻的主要特性,在圖中,氣敏電阻在被測氣體濃度較低時有較大的電阻變化,而當(dāng)被測氣體濃度較大時,其電阻率的變化逐漸趨緩,有較大的非線性。 這種特性較適用于氣體的微量檢漏、濃度檢測或超限報警,被廣泛用于煤炭、石油、化工、家居等各種領(lǐng)域。,觀 察 和 分 析,部分氣敏電阻外形,酒精傳感器,酒精傳感器技術(shù)指標(biāo),工作電壓 DC3V(2A5電池);工作電流 120mA; 使用環(huán)境 溫度: 045; 相對濕度:95%RH ;預(yù)熱時間 10秒(初次預(yù)熱18秒);測試時間 8秒;測量范圍 0.001.00mg/L; 報警濃度 0.24mg/L;準(zhǔn)確度 10% F.S,酒后駕車測試儀散件,呼氣管,家庭用煤氣報警器,家庭用液化氣報警器,一氧化碳傳感器,其他氣體傳感器,NH3傳感器,煤礦瓦斯報警器,汽車尾氣分析,有毒氣體傳感器的使用,三、氣敏電阻的應(yīng)用,音頻振蕩器,(二)礦燈瓦斯報警器,檢出瓦斯氣體時,氣敏電阻減小,瓦斯氣體超過設(shè)定點時,V1、V2導(dǎo)通,V3、V4振蕩,繼電器動作,報警燈閃爍。,Q
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