e7操作作業(yè)指導(dǎo)書-----熱場清理-包裹-安裝.ppt

1、單晶爐操作作業(yè)指導(dǎo)書,-熱場清理，包裹，安裝,編制： 審核： 日期：,A熱場清理,1.石墨件必須在指定的清理室進行清洗，準備好清洗用品(吸塵刷、無塵紙、吸塵管、研磨布、磨光機、潔凈小車等)戴好手套、防塵口罩。清洗好清洗臺及周圍環(huán)境。 2.依次用吸塵刷清洗各類石墨件及碳氈直至確認無污物，吸附揮發(fā)物較多的溝槽及接口等部位，要用研磨布認真打磨后再吸塵清洗。 3.注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅，有異常及時更換和處理。 4.操作時要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。 5.清理完畢的石墨件放到潔凈不銹鋼小車上。禁止疊加，移動不銹鋼小車要穩(wěn)當。 6.清洗后垃圾放入垃圾指定處，清洗好清洗臺及周圍環(huán)境.,1.進入

2、潔凈的石墨房穿戴好潔凈工作服、鞋，準備好一次性潔凈手套、袖套、防塵口罩。 2.準備好直尺，鋼卷尺，克絲鉗，刀具，鉬絲，吸塵刷，切割碳氈的模具及清理干凈的不銹鋼小車 3.將PVC板平鋪在地板上，用吸塵刷將表面清理干凈，再將石墨碳氈打開鋪在PVC板上，如圖1，2,B熱場包裹,4.用鋼卷尺測量石墨件的高度h（決定碳氈的寬度）和外徑d，并根據(jù)外徑計算石墨碳氈的總長L（例如中保溫筒碳氈7層/L=7*d）如圖3 5.再根據(jù)測量的數(shù)據(jù)，用鋼卷尺和直尺切割石墨碳氈如圖4，5，6 6.將保溫筒水平放置于PVC板上，將石墨碳氈一端立起，先繞過保溫筒一圈，下端與保溫筒下沿保持齊平，轉(zhuǎn)動保溫筒，將碳氈逐層緊繞在保溫筒

3、上，如圖7，8（上中下保溫筒碳氈層數(shù)比例為6：7：6）,7.用克絲鉗和鉬絲將裹好的碳氈捆扎，定型。如圖9 8.用刀具將中保溫筒測溫孔及下保溫筒排氣孔對應(yīng)的碳氈切除。如圖10 9.檢查碳氈上下沿是否齊平，多余部分用刀具逐層切割，要求上下沿切割面水平，保證上中下保溫筒卡口到位且碳氈間不留縫隙。如圖11，12，13，14,10用切割碳氈的模具分別將上下保溫蓋間碳氈，上下壓片間碳氈，爐底碳氈，導(dǎo)流筒內(nèi)碳氈切割完整，如圖15，16，17，18（層數(shù)分別為1，2，5，1） 11.用吸塵刷將包裹好的上中下保溫筒碳氈及切割好的保溫碳氈表面清理干凈，再有序放置在不銹鋼小車上。如圖19 12.工具，模具等放回指定

4、位置，清理好現(xiàn)場及周圍環(huán)境,a.石墨大件安裝（1次/4爐）。 1.用不銹鋼小車將清理完畢的石墨大件平穩(wěn)移到單晶爐側(cè)邊。 2.依次裝好石墨電極爐底碳氈爐底壓片下保溫罩兩側(cè)排氣管爐底上壓片下碳氈爐底上壓片堝桿護套電極護套石英護套。 3.石墨電極上下接觸面要墊一層石墨紙，并檢查接觸面是否平整，防止打火。 4.裝入下保溫筒，再將排氣管與下爐筒兩邊排氣孔對正,C熱場安裝,4.將清理后的加熱器裝好，擰上石墨螺絲，要擰緊，防止引起打火，并蓋上石墨螺絲蓋。 5.將清理后的中保溫罩裝好，卡口到位。并校正與加熱器的間距，要均勻一致，否則需調(diào)整好。 6.打開液壓泵，升起爐筒至上限，用沾有酒精的無塵紙擦洗下爐筒上下的結(jié)合部，同時轉(zhuǎn)動爐筒到適當位置。 7.下降爐筒降到位后，校對測溫孔，防止測光信號過小無法溫度自控。 8.安裝熱電錐，將其及對應(yīng)的密封及玻璃按原次序裝好。 9.將清理后的上保溫罩裝好，并卡口接到位。,b 石墨小件安裝 1.用專用工具裝好堝桿。要擰緊堝桿螺絲，檢查托桿是否晃動，防止長晶時液面晃動。 2.打開堝轉(zhuǎn)及堝快速升降，檢查有無卡滯現(xiàn)象 3.依次裝好堝托、三瓣堝，安裝時要確認堝桿、堝底、三