【計量標準】JJG661-2004平面等傾干涉儀.pdf

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程 JJG6612004 平 面 等 傾 干 涉 儀 FlatnessInterferometerwithIsoclinicCircleFringe 2004-09-21發(fā)布 2005-03-21實施 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗 檢 疫 總 局 發(fā) 布 中 華 人 民 共 和 國 國 家 計 量 檢 定 規(guī) 程 平 面 等 傾 干 涉 儀 JJG6612004 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布 * 中 國 質(zhì) 檢 出 版 社 出 版 發(fā) 行 北京市朝陽區(qū)和平里西街甲 號 2 (100013)北京市西城區(qū)復外三里河北街 號 16 (100045) 網(wǎng)址 : 服務(wù)熱線 年 月第 版 2005 2 1 * 書號 :155026J-1857 版權(quán)專有 侵權(quán)必究 JJG6612004 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程 JJG6612004 VerificationReulationofFlatness 代替 JJG6611990 g InterferometerwithIsoclinicCircleFringe 本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局于 年 月 日批準 并自 2004 09 21 , 年 月 日施行2005 03 21 。 歸 口 單 位:全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會 起 草 單 位:中國測試技術(shù)研究院 本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會負責解釋 JJG6612004本規(guī)程起草人: 冉 慶 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 陳永康 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 張成悌 中國測試技術(shù)研究院 ( ) 曹 箭 中國測試技術(shù)研究院 ( ) JJG6612004 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻2 (1) 概述3 (1) 計量性能要求4 (1) 測微目鏡的示值誤差極差及回程誤差4.1 (1) 工作臺移動的直線度4.2 (2) 工作臺移動的示值誤差及回程誤差4.3 (2) 鋼球支架的工作性能4.4 (2) 標準干涉環(huán)直徑測量的標準偏差4.5 (2) 干涉環(huán)小數(shù)干涉級測量的重復性4.6 (2) 通用技術(shù)要求5 (3) 外觀5.1 (3) 各部分相互作用5.2 (3) 計量器具控制6 (3) 檢定條件6.1 (3) 檢定項目6.2 (4) 檢定方法6.3 (4) 檢定結(jié)果的處理6.4 (6)附錄 等傾干涉儀測量平面度測量結(jié)果的不確定度評定 A (7)附錄 檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式 B (10) JJG6612004 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程1 范圍 本規(guī)程適用于平面等傾干涉儀的首次檢定 后續(xù)檢定和使用中的檢驗 、 。2 引用文獻 通用計量術(shù)語及定義 JJF10011998 測量不確定度評定與表示 JJF10591999 測量儀器特性評定 JJF10942002 使用本規(guī)程時 應(yīng)注意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 平面等傾干涉儀是一種用于平面量值傳遞的標準計量器具 主要用于檢定尺寸較大 ,的平晶 各種尺寸的長平晶和標準平尺等的平面度 、 。 儀器工作原理如圖 所示 1 。 圖 工作原理圖 1 平晶 球支承 平晶 半 反射鏡 測微鼓輪 觀察者 目鏡組 1 ;2 ;3 ;4 ( ) ;5 ;6 ;7 ; 分劃板 成像物鏡 半 反光鏡 聚光物鏡 光