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第1章 傳感器理論基礎(chǔ),1.1 傳感器基礎(chǔ) 1.1.1 傳感器的概念 傳感器(Transducer/Sensor)是一種能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用量的器件和裝置。 傳感器就是把非電量轉(zhuǎn)換成電量的裝置。,1,2,2019/7/14,2,1.1.2 傳感器的組成和分類,1傳感器的組成 傳感器是由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件和測(cè)量電路組成,如圖1-1所示。,1.1.2 傳感器的組成與分類,敏感元件(sensing element): 直接感受被測(cè)量的變化,并輸出與被測(cè)量成確定關(guān)系的某一物理量的元件,它是傳感器的核心。 轉(zhuǎn)換元件(transduction element): 將敏感元件輸出的物理量轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測(cè)量電信號(hào)的元件。 測(cè)量電路(measuring circuit): 將轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步轉(zhuǎn)換和處理的部分,如放大、濾波、線性化、補(bǔ)償?shù)龋垣@得更好的品質(zhì)特性,便于后續(xù)電路實(shí)現(xiàn)顯示、記錄、處理及控制等功能。,2019/7/14,3,2019/7/14,4,1.1.2 傳感器的組成和分類,(1)按照其工作原理,傳感器可分為電參數(shù)式(如電阻式、電感式和電容式)傳感器、壓電式傳感器、光電式傳感器及熱電式傳感器等。 (2)按照其被測(cè)量對(duì)象,傳感器可分為力、位移、速度、加速度傳感器等。常見(jiàn)的被測(cè)物理量有機(jī)械量、聲、磁、溫度和光等。 (3)按照其結(jié)構(gòu),傳感器可分為結(jié)構(gòu)型、物性型和復(fù)合型傳感器。物性型傳感器是依靠敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換,如:水銀溫度計(jì)。結(jié)構(gòu)型傳感器是依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換,如:電容式傳感器。,2傳感器的分類,1.1.3 傳感器基本特性,當(dāng)傳感器的輸入信號(hào)是常量,不隨時(shí)間變化時(shí),其輸入輸出關(guān)系特性稱為靜態(tài)特性。 傳感器的基本特性是指系統(tǒng)的輸入與輸出關(guān)系特性,即傳感器系統(tǒng)的輸出信號(hào)y(t)和輸入信號(hào)(被測(cè)量)x(t)之間的關(guān)系,傳感器系統(tǒng)示意圖如下圖所示。,2019/7/14,5,1.1.3 傳感器基本特性,傳感器的靜態(tài)特性: 1. 測(cè)量范圍:傳感器所能測(cè)量到的最小輸入量 與最大輸入量 之間的范圍稱為傳感器的測(cè)量范圍。 2. 量程:傳感器測(cè)量范圍的上限值 與下限值 的代數(shù)差 - 稱為量程。 3. 精度:傳感器的精度是指測(cè)量結(jié)果的可靠程度,是測(cè)量中各類誤差的綜合反映。工程技術(shù)中為簡(jiǎn)化傳感器精度的表示方法,引用了精度等級(jí)的概念。精度等級(jí)以一系列標(biāo)準(zhǔn)百分比數(shù)值分檔表示,代表傳感器測(cè)量的最大允許誤差,即相對(duì)誤差。 4. 靈敏度:靈敏度是指?jìng)鞲衅鬏?出的變化量與引起該變化量的輸入變 化量之比,即 ,如右圖所示。,2019/7/14,6,1.1.3 傳感器基本特性,5. 線性度:指其輸出量與輸入量之間的關(guān)系曲線偏離理想直線的程度。在非線性誤差不太大的情況下,通常采用直線擬合的方法來(lái)線性化。這樣,線性度就用輸入-輸出關(guān)系曲線與擬合直線之間最大偏差與滿量程輸出的百分比來(lái)表示。 式中, 為非線性最大誤差(最大偏差); 為滿量程輸出值。 常用的直線擬合方法有理論擬合、端點(diǎn)擬合和端點(diǎn)平移擬合等,如圖1-7所示。采取不同的方法選取擬合直線,可以得到不同的線性度。,2019/7/14,7,1.1.3 傳感器基本特性,2019/7/14,8,1.1.3 傳感器基本特性,2019/7/14,9,6. 分辨率 : 分辨率是指檢測(cè)儀表能夠精確檢測(cè)出被測(cè)量最小變化值的能力。輸入量從某個(gè)任意值緩慢增加,直到可以測(cè)量到輸出的變化為止,此時(shí)的輸入量就是分辨率。它可以用絕對(duì)值,也可以用量程的百分?jǐn)?shù)來(lái)表示。該量說(shuō)明了檢測(cè)儀表響應(yīng)與分辨輸入量微小變化的能力。靈敏度愈高,分辨率愈好。一般模擬式儀表的分辨率規(guī)定為最小刻度分格值的一半。數(shù)字式儀表的分辨率是最后一位的一個(gè)字。,1.1.3 傳感器基本特性,2019/7/14,10,7. 重復(fù)性: 重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐环较蜃魅砍踢B續(xù)多次變動(dòng)時(shí)所得特性曲線間不一致的程度.,1.1.3 傳感器基本特性,2019/7/14,11,8. 遲滯: 遲滯特性表明傳感器在正(輸入量增大)反(輸入量減小)行程中輸出特性曲線不重合的程度,如圖所示為傳感器的遲滯特性特性曲線。,1.1.3 傳感器基本特性,2019/7/14,12,9. 穩(wěn)定性: 穩(wěn)定性表示傳感器在一個(gè)較長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)保持其性能參數(shù)的能力。 10. 漂移: 漂移是指在外界的干 擾下,在一定時(shí)間間隔內(nèi), 傳感器輸出量發(fā)生與輸入 量無(wú)關(guān)的或不需要的變化。 漂移包括零點(diǎn)漂移和靈敏 度漂移等,如圖所示。,1.1.4 傳感器的命名、代號(hào)和圖形符號(hào),2019/7/14,13,傳感器的命名 傳感器的全稱應(yīng)由“主題詞+四級(jí)修飾語(yǔ)”組成,即 主題詞 傳感器 一級(jí)修飾語(yǔ) 被測(cè)量,包括修飾被測(cè)量的定語(yǔ)。 二級(jí)修飾語(yǔ) 轉(zhuǎn)換原理,一般可后綴以“式”字。 三級(jí)修飾語(yǔ) 特征描述,指必須強(qiáng)調(diào)的傳感器結(jié)構(gòu)、性能、材料特征、敏感元件及其他必要的性能特征,一般可后綴以“型”字。 四級(jí)修飾語(yǔ) 主要技術(shù)指標(biāo)(如量程、精度、靈敏度等)。,1.1.4 傳感器的命名、代號(hào)和圖形符號(hào),2019/7/14,14,2傳感器的代號(hào) 一種傳感器的代號(hào)應(yīng)包括以下四部分: a 主稱(傳感器);b 被測(cè)量;c 轉(zhuǎn)換原理;d 序號(hào),如圖所示。,1.1.4 傳感器的命名、代號(hào)和圖形符號(hào),2019/7/14,15,3傳感器的圖形符號(hào) 傳感器的圖形符號(hào)是電氣圖用圖形符號(hào)的一個(gè)組成部分。按GB/T 1447993傳感器圖用圖形符號(hào)規(guī)定,傳感器的圖形符號(hào)由符號(hào)要素正方形和等邊三角形組成,如圖所示。,1.1.5 傳感器的發(fā)展趨勢(shì),2019/7/14,16,(1) 發(fā)現(xiàn)利用新現(xiàn)象、新效應(yīng); (2)開發(fā)新材料; (3)采用高新技術(shù); (4)拓展應(yīng)用領(lǐng)域; (5)提高傳感器的性能; (6)傳感器的微型化與低功耗; (7)傳感器的集成化與多功能化; (8)傳感器的智能化與數(shù)字化; (9)傳感器的網(wǎng)絡(luò)化。,2019/7/14,17,1.2.1 檢測(cè)技術(shù) 檢測(cè)技術(shù)是以研究檢測(cè)系統(tǒng)中的信息提取、信息轉(zhuǎn)換以及 信息處理的理論與技術(shù)為主要內(nèi)容的一門應(yīng)用技術(shù)學(xué)科。檢測(cè)技術(shù)主要研究被測(cè)量的測(cè)量原理、測(cè)量方法、檢測(cè)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理等方面的內(nèi)容。不同性質(zhì)的被測(cè)量要采用不同的原理去測(cè)量,測(cè)量同一性質(zhì)的被測(cè)量也可采用不同測(cè)量原理。,1.2 檢測(cè)技術(shù)理論基礎(chǔ),2019/7/14,18,1.2.2 測(cè)量方法 1) 直接測(cè)量、間接測(cè)量和組合測(cè)量 (又稱聯(lián)立測(cè)量)。經(jīng)過(guò)求解聯(lián)立方程組,才能得到被測(cè)物理量的最后結(jié)果,則稱這樣的測(cè)量為組合測(cè)量。 2) 偏差式測(cè)量、零位式測(cè)量與微差式測(cè)量 3) 等精度測(cè)量與非等精度測(cè)量 4) 靜態(tài)測(cè)量與動(dòng)態(tài)測(cè)量,1.2檢測(cè)技術(shù)理論基礎(chǔ),2019/7/14,19,1.2. 3 檢測(cè)系統(tǒng) 檢測(cè)系統(tǒng)是由被測(cè)對(duì)象、傳感器、數(shù)據(jù)傳輸環(huán)節(jié)、數(shù)據(jù)處理環(huán)節(jié)和數(shù)據(jù)顯示環(huán)節(jié)構(gòu)成,,1.2檢測(cè)技術(shù)理論基礎(chǔ),2019/7/14,20,1.2. 3 檢測(cè)系統(tǒng) 檢測(cè)系統(tǒng)又分:開環(huán)檢測(cè)系統(tǒng)與閉環(huán)檢測(cè)系統(tǒng),1.2檢測(cè)技術(shù)理論基礎(chǔ),2019/7/14,21,1.2. 4 測(cè)量誤差及數(shù)據(jù)處理 測(cè)量誤差 在檢測(cè)過(guò)程中,被測(cè)對(duì)象、檢測(cè)系統(tǒng)、檢測(cè)方法和檢測(cè)人員都會(huì)受到各種變動(dòng)因素的影響。而對(duì)被測(cè)量的轉(zhuǎn)換,有時(shí)也會(huì)改變被測(cè)對(duì)象原有的狀態(tài)。這就造成了檢測(cè)結(jié)果和被測(cè)量的客觀真值之間存在一定的差別,這個(gè)差值稱為測(cè)量誤差。簡(jiǎn)言之,測(cè)量誤差就是測(cè)量值與真實(shí)值之間的差值,它反映了測(cè)量的精度。測(cè)量誤差的主要來(lái)源可以概括為工具誤差、環(huán)境誤差、方法誤差和人員誤差等。,1.2檢測(cè)技術(shù)理論基礎(chǔ),2019/7/14,22,1.2. 4 測(cè)量誤差及數(shù)據(jù)處理 測(cè)量數(shù)據(jù)的估計(jì)和處理 1) 隨機(jī)誤差的評(píng)價(jià)指標(biāo) (1) 算術(shù)平均值。在實(shí)際測(cè)量時(shí),真值A(chǔ)一般無(wú)法得到??梢宰C明,隨著測(cè)量次數(shù)的增多,算術(shù)平均值越來(lái)越接近真值,當(dāng)無(wú)限大時(shí),測(cè)量值的算術(shù)平均值就是真值。 (2)標(biāo)準(zhǔn)誤差(又稱均方根誤差)。算術(shù)平均值是反映隨機(jī)誤差的分布中心,而標(biāo)準(zhǔn)誤差則反映隨機(jī)誤差的分布范圍。標(biāo)準(zhǔn)誤差越大,測(cè)量數(shù)據(jù)的分散范圍也越大,標(biāo)準(zhǔn)誤差可以描述測(cè)量數(shù)據(jù)和測(cè)量結(jié)果的精度,是評(píng)價(jià)隨機(jī)誤差的重要指
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