LDMCF-75+35使用說(shuō)明書(shū).doc

LDMCF75/35全自動(dòng)輔助加熱型脈沖離子氮化爐使用說(shuō)明書(shū)武漢安德熱處理設(shè)備有限公司武 漢 安 德 熱 處 理 設(shè) 備 有 限 公 司使用設(shè)備前請(qǐng)務(wù)必仔細(xì)閱讀本說(shuō)明書(shū)一 簡(jiǎn)介該設(shè)備主要用于機(jī)械零件的離子氮化、離子氮碳共滲(軟氮化)等離子化學(xué)熱處理工藝，使機(jī)械零件表面改性，獲得所需要的機(jī)械性能和物理化學(xué)性能。離子氮化是一種可以顯著提高鋼鐵零件表面硬度、耐磨損、耐疲勞和耐腐蝕的化學(xué)熱處理工藝。它具有滲速快，滲層性能好，工藝變形小以及耗氣，耗電少等特點(diǎn)，是無(wú)污染，無(wú)公害的理想工藝。在國(guó)內(nèi)外得到了廣泛的重視，離子氮化工藝應(yīng)用范圍在不斷擴(kuò)大，如機(jī)床和工具制造、機(jī)車(chē)車(chē)輛、模具、動(dòng)力設(shè)備制造、塑料機(jī)械、輕紡機(jī)械及鈦合金零件等均在不同程度上使用了該技術(shù)，離子氮化設(shè)備在我國(guó)已成為熱處理工部的常規(guī)設(shè)備。將欲處理零件置于真空爐體內(nèi)，往爐內(nèi)充以稀薄的含氮?dú)怏w。零件接離子電源陰極，爐體接陽(yáng)極，陰陽(yáng)極間接數(shù)百伏脈沖直流電壓。在真空條件下，由于電場(chǎng)作用，爐內(nèi)稀薄氣體被電離，氮離子定向撞擊陰極，零件表面產(chǎn)生輝光放電并被加熱。在一定氣氛和一定溫度下，零件表面復(fù)合、吸收氮原子，形成高濃度的含氮層并向心部擴(kuò)散，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，得到所需要的氮化層。二 離子氮化工藝對(duì)設(shè)備的要求2.1.真空度設(shè)備的真空爐體必須具有良好的密封性能,通過(guò)真空獲得系統(tǒng)，能夠得到工藝所需要的真空度。2.2.電絕緣零件(陰極)對(duì)陽(yáng)極必須有良好的電絕緣，以保證工藝正常進(jìn)行和設(shè)備安全。2.3.良好的滅弧性能在得到穩(wěn)定的輝光放電前，零件表面不可避免地要產(chǎn)生弧光放電，就是輝光穩(wěn)定后，也有輝光向弧光轉(zhuǎn)變的情況。而弧光放電的特點(diǎn)是低電壓、大電流放電，這就要求設(shè)備具有良好的滅弧性能，不至損壞零件和設(shè)備。2.4水冷卻循環(huán)冷卻水由電動(dòng)水閥+電接點(diǎn)水溫表等完成自動(dòng)通斷。真空爐體必須有循環(huán)水冷卻，以免溫度過(guò)高橡膠密封件受熱損壞。2.5隔熱保溫真空爐體必須安裝有隔熱屏，一是為了節(jié)約電能，二是減少零件因熱量散發(fā)而造成的溫度不均勻。三 輔助加熱型脈沖離子氮化設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)供電電源： 三相380V、50HZ輝光脈沖頻率： 1KHz輝光占空比： 1085%輝光輸出直流電壓： 01000V連續(xù)可調(diào)輝光最大輸出峰值電流： 150 A輝光最大輸出平均電流： 75 A輔助加熱電壓： 0110V連續(xù)可調(diào)輔助加熱電流： 0160A連續(xù)可調(diào)控溫精度： 1（穩(wěn)態(tài)）控壓精度： 1Pa（穩(wěn)態(tài)）極限真空度： 6.67Pa壓升率： 0.133Pa/min最大氮化工件面積： 7.5 m2 最大氮化工件重量： 1000Kg最高使用溫度: 650四 脈沖離子氮化設(shè)備組成離子滲氮設(shè)備(見(jiàn)圖1)由真空爐體，真空獲得系統(tǒng)，測(cè)溫系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，輔助加熱電源和LDMC型離子電源組成(LDMC型離子電源另作介紹)。4.1.真空爐體設(shè)備的真空爐體分井式（零件吊掛）、罩式（零件堆放）和綜合式三種供用戶選購(gòu)。真空爐體是進(jìn)行滲氮工藝的重要部分。真空爐體由爐頂蓋，爐體，爐底盤(pán)構(gòu)成。為了保護(hù)密封件不因高溫變形而影響密封性能，爐體均設(shè)計(jì)為夾層，夾層間充以流動(dòng)的冷卻水。各密封面(槽)經(jīng)過(guò)機(jī)械加工加裝密封圈密封。爐體內(nèi)部設(shè)有輻射屏。根據(jù)處理工件的要求，爐頂蓋，爐底盤(pán)和爐體上分別有陰極輸電、熱電偶、供氣、抽氣、測(cè)壓、觀察窗等裝置。4.1.1.陰極輸電裝置陰極輸電裝置（見(jiàn)圖2）的作用是將陰極導(dǎo)入爐內(nèi)與陰極盤(pán)相接。陰極應(yīng)與爐殼絕緣，采用聚四氟乙烯和電木與爐體隔離，同時(shí)保證陰極輸電裝置與爐體的真空密封性。吊掛陰極由用戶選定。陰極輸電裝置是爐體關(guān)鍵部位，氣隙要合理，絕緣要可靠。氣隙的深度為1520mm，寬度為1mm左右。圖1 離子氮化爐設(shè)備構(gòu)成4.1.2.觀察窗爐體上設(shè)置有2個(gè)觀察窗，以便觀察爐體內(nèi)工作情況。4.2.真空獲得系統(tǒng)真空獲得系統(tǒng)由機(jī)械真空泵、真空電磁閥、蝶閥、真空管道等組成，通過(guò)真空管道與爐體相接。機(jī)械真空泵使用前，需水冷的先應(yīng)通冷卻水。機(jī)械泵油應(yīng)加至視窗的油標(biāo)線位置。電動(dòng)機(jī)皮帶輪應(yīng)按正確的方向旋轉(zhuǎn)。真空電磁閥安裝在機(jī)械真空泵上，同接一個(gè)電源，泵的開(kāi)啟和停止直接控制電磁閥的開(kāi)通和關(guān)閉。泵開(kāi)啟時(shí)，閥門(mén)打開(kāi)，接通抽氣管道；泵停止時(shí)，不僅閥門(mén)關(guān)閉，同時(shí)電磁閥充氣口打開(kāi)向泵內(nèi)充氣，防止真空泵返油污染真空系統(tǒng)。設(shè)備真空管路上配有蝶閥，可調(diào)節(jié)氣體抽量。設(shè)備配有電容薄膜式真空計(jì)，用以測(cè)量爐內(nèi)氣壓，在進(jìn)氨工作時(shí)，數(shù)顯壓力指示值。圖2 陰極輸電裝置圖3 測(cè)溫系統(tǒng)4.3.測(cè)溫系統(tǒng)測(cè)溫系統(tǒng)由測(cè)溫儀表和鎧裝熱電偶組成。鎧裝熱電偶與離子電源陰陽(yáng)極絕緣，鎧裝熱電偶頂端與零件距離一般為1520mm左右，放置位置應(yīng)根據(jù)實(shí)際零件，經(jīng)試驗(yàn)后確定。具體結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖3所示。4.4.供氣系統(tǒng)供氣系統(tǒng)由氨瓶、減壓器、質(zhì)量流量計(jì)、輸氣管道等組成。氨瓶的液氨必須經(jīng)過(guò)減壓閥減壓后方可使用。流量計(jì)是調(diào)節(jié)氣源流量和氣壓的重要部件，要求密封性能好，調(diào)節(jié)靈活，輸送氣源管道盡量短為好。設(shè)備配有兩只5L質(zhì)量流量流量計(jì)，一只為氨氣流量計(jì)，一只為滲碳?xì)饬髁坑?jì)，兩種氣體經(jīng)過(guò)流量計(jì)按比例混合后通入爐內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)氮碳共滲(軟氮化)工藝。 4.5.輔助加熱系統(tǒng)輔助加熱系統(tǒng)由輔助加熱電源，電阻帶，絕緣瓷片，電極桿等組成。輔助加熱電源采用電流負(fù)反饋型三相交流控壓（雙向可控硅原邊交流調(diào)壓），具有可靠的短路，過(guò)流保護(hù)功能。加熱電阻帶采用三角形連結(jié)。五 LDMC型脈沖離子電源的組成LDMC型脈沖離子電源主要由整流電路、濾波電路、斬波電路、動(dòng)作控制電路等組成。51整流電路整流電路包括整流變壓器、三型全控整流電路、阻容吸收、續(xù)流二極管、LD4A型集成控制觸發(fā)器等部分。5.1.1.整流變壓器整流變壓器B1容量為90KVA，原邊為380V，付邊兩組365V，按Y0Y6、Y12接法。該變壓器對(duì)交流供電和直流脈沖輸出有隔離作用，同時(shí)能減小電網(wǎng)與整流電路的干擾，阻止高頻諧波電流流入電網(wǎng)。5.1.2.三相全控整流電路為了降低可控硅的耐壓要求，改善整流電路的紋波，減小對(duì)電網(wǎng)的影響，采用兩組三相全控橋式整流電路的串聯(lián)。它其有利用率高、功率因素好、脈動(dòng)小、控制比較靈活等優(yōu)點(diǎn)。5.1.3.阻容吸收在整流變壓器原邊突然接通或切斷時(shí)，變壓器付邊由電阻R1R6及電容C1C6組成的吸收電路能抑制此時(shí)產(chǎn)生的振蕩電壓。在可控硅陰陽(yáng)極兩端由電阻R7R12、R14R19電容C7C12、C14C19組成保護(hù)電路。能保證可控硅換向和抑制可控硅積蓄效應(yīng)產(chǎn)生的電壓。5.1.4.續(xù)流二極管整流輸出電路有電抗負(fù)載，續(xù)流二極管ZP1、ZP2能保證可控硅不受較大的反向電壓和可控硅在電壓過(guò)零時(shí)能關(guān)斷。5.1.5.LD4B型集成觸發(fā)控制器“LD4B型集成觸發(fā)控制器”完成對(duì)三相全控整電路的觸發(fā)和電壓反饋控制，確保輸出電壓的穩(wěn)定。該控制器面板中的“電源A、B、C”為工作電源指示燈，綠燈亮?xí)r表示三相電源正常。“觸發(fā)A+、B+、C+、A-、B-、C-”為觸發(fā)脈沖指示燈，紅燈亮?xí)r表示A+、B+、C+、A-、B-、C-各相可控硅的觸發(fā)脈沖正常。正常工作時(shí)，這六個(gè)觸發(fā)指示燈應(yīng)同時(shí)點(diǎn)亮或同時(shí)點(diǎn)熄滅。 “移相指示”指示可控硅的導(dǎo)通角的大小，“移相指示”全熄滅時(shí)可控硅不觸發(fā)，觸發(fā)指示燈熄滅，此時(shí)輸出電壓為零，“移相指示”全點(diǎn)亮?xí)r可控硅的導(dǎo)通角最大，觸發(fā)指示燈點(diǎn)亮，此時(shí)輸出電壓最大（約1000V左右，具體大小與三相電源電壓有關(guān)）?！坝|發(fā)給定”電位器用來(lái)調(diào)整輸出電壓的大小，逆時(shí)針旋到底時(shí)輸出電壓為零，此時(shí)該電位器左側(cè)的“回零”指示燈點(diǎn)亮，順時(shí)針旋到底時(shí)輸出電壓最大。“暫停/正?！遍_(kāi)關(guān)處于“正?！蔽恢脮r(shí)輸出電壓由“觸發(fā)給定”電位器調(diào)整，處于“暫?！蔽恢脮r(shí)輸出電壓為零，輝光熄滅，該開(kāi)關(guān)主要用于目測(cè)工件溫度?！皟?nèi)控/外控”開(kāi)關(guān)無(wú)作用。5.2.濾波電路濾波電路由電抗器L1、L2和蓄能電容C21、C22組成，該電路能確保對(duì)斬波電路的供電紋波小、電壓平滑。5.3.斬波電路斬波電路是LDMC型脈沖離子電源的核心，主要由斬波器和“LDMC3型脈沖電源控制器”構(gòu)成。5.3.1斬波器斬波器由兩只大功率、高反壓的IGBT串聯(lián)而成，每只IGBT都有由電阻、電容及快速二極管構(gòu)成的保護(hù)電路，此電路通過(guò)抑制IGBT的電流變化率完成對(duì)IGBT的保護(hù)。斬波器電路上配置了二極管放電電路，可減小IGBT關(guān)斷時(shí)因回路電感而產(chǎn)生的反向電壓，實(shí)現(xiàn)對(duì)IGBT的保護(hù)。市場(chǎng)上IGBT器件的耐壓不夠高，一般采用兩只IGBT串聯(lián)方式。我公司生產(chǎn)斬波器電路采用獨(dú)特的IGBT串聯(lián)方式，從根本上避免了由于兩只IGBT不同時(shí)導(dǎo)通而造成的IGBT過(guò)壓擊穿。5.3.2LDMC3型脈沖電源控制器“LDMC3型脈沖電源控制器”完成對(duì)斬波電路的控制，包括過(guò)電流檢測(cè)保護(hù)、平均電流控制和爐內(nèi)弧光保護(hù)和IGBT門(mén)極控制信號(hào)的控制。該觸發(fā)控制器面板中的“電源指示”為工作電源指示燈，綠燈亮?xí)r表示工作電源正常?！胺逯惦娏鳌北碇甘疽粋€(gè)周期中IGBT導(dǎo)通期間的電流?！罢伎毡取北碇甘菊伎毡鹊拇笮。ㄕ伎毡鹊亩x為：一個(gè)周期中高電平的持續(xù)時(shí)間與周期時(shí)間的比例）?！罢伎毡冉o定”電位器調(diào)節(jié)占空比的大小，正常工作時(shí)占空比應(yīng)在10%-85%之間變化?！皟?nèi)控/外控”選擇開(kāi)關(guān)選擇占空比的控制方式，當(dāng)該開(kāi)關(guān)處于“內(nèi)控”位置時(shí)占空比由“占空比給定”電位器調(diào)節(jié)，當(dāng)該開(kāi)關(guān)處于“外控”位置時(shí)占空比由溫度控制儀表根據(jù)溫度的偏差自動(dòng)控制（但此時(shí)占空比的最大值由“占空比給定”電位器給定）。 “過(guò)流”指示燈亮?xí)r表示設(shè)備存在瞬間的過(guò)流，此時(shí)電源處于自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)。“弧源”指示燈亮?xí)r表示設(shè)備存在打弧的現(xiàn)象，此時(shí)電源處于自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)?！俺瑴亍敝甘緹袅?xí)r表示爐內(nèi)工件的溫度高于設(shè)定溫度于允許范圍之外，此時(shí)電源自動(dòng)將占空比減小，以減小輝光電流，工件的溫度會(huì)降低，以此實(shí)現(xiàn)超溫控制。“過(guò)壓降” 指示燈亮?xí)r表示出現(xiàn)IGBT導(dǎo)通時(shí)其飽和壓降超過(guò)正常只值，此時(shí)電源處于自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)。一般IGBT導(dǎo)通時(shí)其飽和壓降比較低，約3V左右（與器件有關(guān)系），在導(dǎo)通電流比較大時(shí)，其飽和壓降會(huì)升高?！氨Ｗo(hù)”指示燈亮?xí)r，表示某些元件或線路的故障造成兩只IGBT工作不平衡，電源處于自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)，此保護(hù)不能自動(dòng)退出，需按下”復(fù)位”鍵才能退出。“LDMC3型脈沖電源控制器”能在爐內(nèi)出現(xiàn)弧光放電時(shí)有效滅弧，很好地保護(hù)工件和電器元件；即使出現(xiàn)陰陽(yáng)短路時(shí)也能有效保護(hù)。為了限制輝光電流不超過(guò)額定允許值，該控制器中的平均電流控制電路能將最大輸出電流限制在額定允許值。為了較好地控制氮化過(guò)程中工件的溫度，“LDMC3型脈沖電源控制器”內(nèi)設(shè)計(jì)了雙重溫控電路。當(dāng)控制器面板上的“儀表/手動(dòng)”開(kāi)關(guān)置于“儀表”位時(shí)，由溫度控制儀表經(jīng)PID調(diào)節(jié)輸出的420mA信號(hào)控制占空比大?。ǖ藭r(shí)占空比的最大值由“占空比給定”電位器給定），改變輝光電流大小，從而實(shí)現(xiàn)溫度的閉環(huán)自動(dòng)控制。當(dāng)控制器面板上的“儀表/手動(dòng)”開(kāi)關(guān)置于“手動(dòng)”位時(shí)，面板上的“占空比給定”旋鈕控制占空比大小，改變輝光電流大小，從而實(shí)現(xiàn)溫度的人工控制。無(wú)論控制器面板上的“儀表/手動(dòng)”開(kāi)關(guān)置于何位，溫度控制儀表輸出的超溫報(bào)警開(kāi)關(guān)信號(hào)（超溫時(shí)信號(hào)接通），能啟動(dòng)“LDMC3型脈沖電源控制器”中的超溫控制電路，此時(shí)“超溫”指示燈點(diǎn)亮，占空比在原基礎(chǔ)上下降約80%，輝光電流也同步下降，迫使工件溫度下降；計(jì)算機(jī)輸出的超溫報(bào)警開(kāi)關(guān)信號(hào)消失后，占空比又恢復(fù)到原來(lái)的大小，輝光電流也恢復(fù)到原來(lái)的大小，迫使工件溫度上升，由此實(shí)現(xiàn)溫度的另一種控制。5.4.限流電路為了限制IGBT導(dǎo)通后電流的上升率和出現(xiàn)弧光、陰陽(yáng)極短路時(shí)有充分的檢測(cè)時(shí)間，在回路中設(shè)計(jì)了限流空芯電感。為了減少因出現(xiàn)弧光時(shí)的過(guò)流保護(hù)，在回路中設(shè)計(jì)了電阻值很小的限流電阻。因其阻值很小，因此就更節(jié)能。5.5.動(dòng)作控制該設(shè)備中的高壓?jiǎn)ⅰ⑼?，輔助加熱啟、停，真空泵啟、停，斬波啟、停，電動(dòng)蝶閥通斷，聲光報(bào)警等動(dòng)作的操作及控制由專用的PLC動(dòng)作控制程序完成。該動(dòng)作控制程序能實(shí)現(xiàn)各動(dòng)作的自鎖、互鎖。具體操作見(jiàn)全自動(dòng)脈沖離子電源計(jì)算機(jī)操作說(shuō)明5.7.脈沖離子電源的配線脈沖離子氮化設(shè)備配置LDMC-75脈沖離子電源，供電電源使用25mm2銅芯線，地線使用6mm2銅芯線，整流變壓器初級(jí)使用25mm2銅芯線，整流變壓器次級(jí)使用16mm2銅芯線，爐體A和爐體B陰陽(yáng)極使用16mm2銅芯線。六 輔助加熱電源的組成輔助加熱電源主要由交流調(diào)壓電路、隔離變壓器、控制電路等組成。6.1.電路說(shuō)明可控硅KP31KP36構(gòu)成交流調(diào)壓電路，R50C50- R53C53回路用于可控硅的過(guò)電壓保護(hù)?；魻栯娏鱾鞲衅鱈a、Lb、Lc檢測(cè)電流，送控制電路板完成恒流控制。隔離變壓器完成隔離、降壓、升流的作用。控制電路板是輔助加熱電源的控制核心。電流通過(guò)霍爾傳感器反饋到控制電路板，確保加熱電流恒定在目標(biāo)值上。6.2.操作說(shuō)明當(dāng)“加熱控制方式”開(kāi)關(guān)處于“手動(dòng)”位置時(shí)，加熱電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制，調(diào)節(jié)旋鈕加熱電流可從0160A平滑可調(diào)（具體最大電流受電網(wǎng)電壓和加熱元件電阻偏差的影響）。當(dāng)“加熱控制方式”開(kāi)關(guān)處于“自動(dòng)”位置時(shí)，加熱電流由計(jì)算機(jī)輸出的信號(hào)控制，但最大電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制。由于控制電路有加熱停止時(shí)自動(dòng)停止可控硅工作的保護(hù)電路和緩啟動(dòng)電路，按“加熱啟動(dòng)”按鈕啟動(dòng)加熱電源時(shí)，“加熱電流給定”旋鈕不在最小位也不會(huì)產(chǎn)生啟動(dòng)沖擊電流，不會(huì)出現(xiàn)沖擊電流造成的過(guò)電流跳閘的現(xiàn)象。出現(xiàn)加熱元件局部短路時(shí)，由于恒流控制的作用，電壓加熱會(huì)下降，加熱電流出現(xiàn)某相上升、另兩相下降但總電流不會(huì)上升的現(xiàn)象，此加熱電源不會(huì)產(chǎn)生過(guò)流保護(hù)，加熱電源能繼續(xù)工作。因?yàn)槌霈F(xiàn)嚴(yán)重的短路和器件故障時(shí)，會(huì)出現(xiàn)過(guò)電流現(xiàn)象，會(huì)出現(xiàn)過(guò)電流保護(hù)，此時(shí)“加熱過(guò)流指示”燈點(diǎn)亮，加熱電源停止工作，報(bào)警器會(huì)啟動(dòng)。此后即使過(guò)電流現(xiàn)象現(xiàn)象消失，“加熱過(guò)流指示”仍繼續(xù)點(diǎn)亮，直到人工按“加熱過(guò)流復(fù)位”按鈕后“加熱過(guò)流指示”才熄滅，此時(shí)才能重新啟動(dòng)加熱電源。6.3. 輔助加熱電源的配線加熱變壓器初級(jí)使用16mm2銅芯線，加熱變壓器次級(jí)使用50mm2銅芯線，爐體加熱電極連線使用50mm2銅芯線。七 可編程序控制器（PLC）及計(jì)算機(jī)系統(tǒng)7.1. 可編程序控制器包括三菱FX1N-40MR型可編程序控制器、模擬量輸入單元FX2N-2AD、模擬量輸出單元FX2N-2DA，模擬量輸出單元FX2N-4DA。模擬量輸入單元FX2N-2AD用于將溫度、壓力等模擬量輸入到可編程序控制器，再通過(guò)串口送到計(jì)算機(jī)，由計(jì)算機(jī)完成運(yùn)算控制。模擬量輸出單元FX2N-4DA，F(xiàn)X2N-2DA，將計(jì)算機(jī)運(yùn)算后的控制量變成流量、電壓、占空比，輔助加熱等模擬量，實(shí)現(xiàn)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)物理量的控制?？删幊绦蚩刂破魇强刂坪诵?。7.2. 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)由研祥工控機(jī)，MCGS組態(tài)軟件等組成。具體操作見(jiàn)全自動(dòng)脈沖離子電源計(jì)算機(jī)操作說(shuō)明八 脈沖離子氮化設(shè)備的操作8.1. 控制方式該控制系統(tǒng)共有兩種控制方式：手動(dòng)控制方式，半自動(dòng)控制方式、計(jì)算機(jī)控制方式（全自動(dòng)）。8.2.手動(dòng)控制方式將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“內(nèi)控/外控”開(kāi)關(guān)處于“內(nèi)控”位置，此時(shí)輸出電壓由“觸發(fā)給定”電位器調(diào)整，輸出電壓01000V任意可調(diào)，操作人員可根據(jù)升溫速度和保溫工藝不同選擇不同的電壓。將輔助加熱電源的 “加熱控制方式”置于“手動(dòng)”位置，此時(shí)加熱電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制，調(diào)節(jié)旋鈕加熱電流可從0160A平滑可調(diào)，操作人員可根據(jù)升溫速度和保溫工藝不同選擇不同的加熱電流。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內(nèi)控/外控”選擇開(kāi)關(guān)處于“內(nèi)控”位置，占空比由“占空比給定”電位器調(diào)節(jié)，正常工作時(shí)占空比應(yīng)在1085%之間變化。將“流量顯示儀”的開(kāi)關(guān)處于“閥控”位置，此時(shí)質(zhì)量流量控制器的NH3和含C氣流量由面板上的電位器調(diào)整，正常工作時(shí)在05L/Min可調(diào)。8.2.1.清洗零件氮化零件上不可避免帶有油污、泥土、鐵銹等臟物，必須清洗干凈。清洗方法有兩種：一是汽油清洗，零件清洗后自然晾干；二是用金屬清洗劑清洗，清洗后用清水沖洗掉金屬清洗劑殘液，然后將零件烘干或自然晾干，不要將水帶入爐內(nèi)，以免影響爐內(nèi)真空。零件清洗干凈與否影響打弧時(shí)間長(zhǎng)短和工藝能否正常進(jìn)行，請(qǐng)一定注意。8.2.2.裝爐打開(kāi)手動(dòng)放氣閥，往爐內(nèi)充入大氣，待爐內(nèi)外壓力一致后將爐筒吊起，將零件擺放在陰極盤(pán)上。請(qǐng)事先根據(jù)零件的幾何形狀及技術(shù)要求設(shè)計(jì)零件在陰極上放置的方式，注意零件間隙及均勻性。用鋼件屏蔽好零件上的小孔和狹縫，必要時(shí)采用合適的工裝。對(duì)零件不需要氮化的部位用鋼件屏蔽。認(rèn)真選擇熱電偶測(cè)溫位置。裝爐完畢后，關(guān)閉手動(dòng)放氣閥，使真空爐體處于良好的密封狀態(tài)。裝爐時(shí)要切斷電源，千萬(wàn)不要帶電工作。8.2.3.抽真空將爐筒蓋好，接通供電電源，開(kāi)啟“總控”開(kāi)關(guān)，此時(shí)真空儀表、溫度儀表、“LD4B型集成觸發(fā)控制器”、“LDMC3型脈沖電源控制器”應(yīng)有電源指示，“高壓停止”、“真空泵?！薄ⅰ罢婵毡猛！?、“斬波停止”按鈕的紅色指示燈點(diǎn)亮。按下“真空泵啟”按鈕和“真空泵啟” 按鈕，啟動(dòng)真空泵和真空泵，打開(kāi)碟閥，對(duì)爐體抽真空。8.2.4.打弧升溫在此階段可根據(jù)需要選擇輔助加熱電源的電流。1.當(dāng)真空度達(dá)到100 Pa左右時(shí)，將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“觸發(fā)給定”旋鈕左旋到零，此時(shí)其左邊的小紅色發(fā)光二極管被點(diǎn)亮。按“高壓?jiǎn)?dòng)”按鈕接通高壓，緩慢右旋“觸發(fā)給定”旋鈕，電壓應(yīng)01000 V 平滑可調(diào)（此時(shí)應(yīng)確定其“暫停/正常”開(kāi)關(guān)處于“正?！蔽唬?。再次將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“觸發(fā)給定”旋鈕左旋到零。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”旋鈕左旋到最小使占空比為10 %（此時(shí)應(yīng)確定其“儀表/手動(dòng)”開(kāi)關(guān)處于“手動(dòng)”位） ，按“斬波啟動(dòng)” 按鈕，此時(shí)“斬波啟動(dòng)”按鈕的綠色指示燈點(diǎn)亮，電源開(kāi)始工作。緩慢右旋“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“觸發(fā)給定”旋鈕，當(dāng)“電壓表”指示值達(dá)600V左右時(shí)，“LDMC3型脈沖電源控制器”的“峰值電流”儀表指示值加大，此時(shí)爐內(nèi)零件會(huì)出現(xiàn)閃爍的弧光，“電流表”有相應(yīng)指示。注：“LD4A型集成觸發(fā)控制器”的“觸發(fā)給定”旋鈕回零時(shí)，其左邊的小紅色發(fā)光二極管被點(diǎn)亮，此時(shí)方可按“高壓?jiǎn)?dòng)”、“斬波啟動(dòng)”、“斬波停止”按鈕完成相應(yīng)的操作，否則操作無(wú)效。2根據(jù)爐內(nèi)弧光情況可慢慢加大輸出電壓，當(dāng)輸出電壓達(dá)700V左右時(shí)，可慢慢加大“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”，增加斬波器的占空比，此時(shí)“電流表”的指示會(huì)慢慢加大。當(dāng)爐內(nèi)弧光很少，輝光比較穩(wěn)定，可加大整流輸出電壓和斬波器的占空比，此時(shí)“電流表”指示加大，輝光電流加大。3適當(dāng)?shù)叵驙t體中加入氨氣，此時(shí)應(yīng)先將氨氣減壓閥低壓側(cè)壓力調(diào)整為 0.10.2 MPa， 緩慢調(diào)整質(zhì)量流量控制器面板上的電位器調(diào)整的NH3和含C氣流量，正常工作時(shí)在05L/Min可調(diào)。視輝光穩(wěn)定情況，調(diào)整整流輸出電壓或斬波器的占空比，調(diào)整氨氣流量，以調(diào)整輝光電流，控制升溫速度。爐體溫度高于35，必須開(kāi)通爐體的冷卻水。8.2.5.保溫在此階段可根據(jù)需要選擇輔助加熱電源的電流。零件快到溫時(shí)，要注意監(jiān)視測(cè)溫儀表，并用目測(cè)方法觀察零件溫度，防止零件超溫。目測(cè)觀察工件溫度時(shí)將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”面板上的“暫停/正常”開(kāi)關(guān)置于“暫?！蔽唬藭r(shí)整流電壓自動(dòng)回零，輝光熄滅。觀察工件溫度結(jié)束后，將此開(kāi)關(guān)置到“正?！蔽?，自動(dòng)回到原工藝參數(shù)。當(dāng)零件的溫度接近工藝所需的溫度時(shí)，調(diào)整流量計(jì)的流量(如氮碳共滲等工藝要調(diào)整好進(jìn)氣比例)，調(diào)整真空蝶閥開(kāi)度，控制爐內(nèi)真空度為工藝所需的真空度,調(diào)整整流輸出電壓和斬波器的占空比，控制爐內(nèi)溫度為工藝所需的溫度。根據(jù)零件工藝要求在保溫溫度保溫一定時(shí)間。8.2.6.停爐降溫工件保溫結(jié)束后，請(qǐng)關(guān)閉氨氣罐和流量計(jì)，將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“觸發(fā)給定”旋鈕和“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”旋鈕左旋到最小位置，按“斬波停止”按鈕，按“高壓停止”按鈕，斷開(kāi)高壓。按“輔助加熱停止”按鈕，斷輔助加熱電源。打開(kāi)真空蝶閥，將爐內(nèi)氣壓抽至極限真空，關(guān)碟閥，停真空泵。關(guān)閉總控開(kāi)關(guān)。工件溫度降至200左右，可以關(guān)冷卻水。8.2.7出爐爐溫降至150以下時(shí)，可起吊爐體取出工件。此時(shí)務(wù)必先手動(dòng)打開(kāi)放氣閥，給爐體充入空氣，待爐內(nèi)外壓力一致時(shí)方可起吊起爐體，否則會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重問(wèn)題。8.3.計(jì)算機(jī)控制方式（全自動(dòng)）將“自動(dòng)控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“全自動(dòng)”位置，此時(shí)全部工藝參數(shù)由計(jì)算機(jī)控制。將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“內(nèi)控/外控”開(kāi)關(guān)處于“外控”位置，此時(shí)輸出電壓由計(jì)算機(jī)控制。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內(nèi)控/外控”選擇開(kāi)關(guān)處于“外控”位置，此時(shí)占空比由計(jì)算機(jī)輸出的420mA信號(hào)控制，但此時(shí)占空比的最大值由“占空比給定”電位器控制。將“流量控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“自動(dòng)”位置，此時(shí)“質(zhì)量流量控制器”的NH3和含C氣流量由計(jì)算機(jī)控制，正常工作時(shí)在05L/Min可調(diào)。將“輔助加熱控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“自動(dòng)”位置，將“電動(dòng)閥控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“自動(dòng)”位置， 具體操作見(jiàn)全自動(dòng)脈沖離子電源計(jì)算機(jī)操作說(shuō)明8.4.半自動(dòng)控制方式將“自動(dòng)控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“半自動(dòng)”位置，此時(shí)升溫，保溫，升壓，保壓由儀表控制。將“LD4B型集成觸發(fā)控制器”的“內(nèi)控/外控”開(kāi)關(guān)處于“內(nèi)控”位置，此時(shí)輸出電壓由“觸發(fā)給定”旋鈕控制。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內(nèi)控/外控”選擇開(kāi)關(guān)處于“外控”位置，此時(shí)占空比由溫控表輸出的420mA信號(hào)控制，但此時(shí)占空比的最大值由“占空比給定”電位器控制。將“流量控制方式”的開(kāi)關(guān)處于“自動(dòng)”位置，并將“流量顯示儀”的開(kāi)關(guān)處于“閥控”位置，此時(shí)“質(zhì)量流量控制器”的NH3和含C氣流量由壓力儀表控制，正常工作時(shí)在05L/Min可調(diào)。九 注意事項(xiàng)1.操作前務(wù)必使電柜、爐體、真空泵、變壓器可靠接地。2.務(wù)請(qǐng)閱讀所配儀表說(shuō)明書(shū)，按操作程序操作。3.不允許帶電拔下或插入印刷電路板或插件。4.爐體的冷卻水壓力不得小于2/2，冷卻水出水溫度應(yīng)低于50。5.供電電源電壓不能高于額定電壓110%。6.氨氣減壓閥低壓側(cè)壓力不得大于 0.2 Mpa。7.在該設(shè)備使用過(guò)程中，盡可能使用低電壓、大占空比的模式，這更有利于設(shè)備的穩(wěn)定工作。8.起吊爐體時(shí)，務(wù)必先手動(dòng)打開(kāi)放氣閥，給爐體充入空氣，使?fàn)t內(nèi)外壓力一致。9.真空爐體在不繼續(xù)工作時(shí)，請(qǐng)保持爐內(nèi)真空，以減少銹蝕。10.爐體在使用一段時(shí)間后，應(yīng)全面清潔一次隔熱屏內(nèi)側(cè)和底盤(pán)，這有利于延長(zhǎng)真空泵油的使用時(shí)間。真空泵油應(yīng)定期更換。11計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制時(shí)不能將開(kāi)關(guān)撥至手動(dòng)或內(nèi)控，也不要轉(zhuǎn)換到半自動(dòng)控制。12質(zhì)量流量顯示儀上三檔開(kāi)關(guān)，工作時(shí)一定要處于閥控檔。十 報(bào)警動(dòng)作控制系統(tǒng)有多種提示及動(dòng)作，報(bào)警類型可在計(jì)算機(jī)特定的窗口中查尋每種報(bào)警的過(guò)程、結(jié)果和解除方法見(jiàn)下表。報(bào)警的過(guò)程、結(jié)果及解除方法報(bào)警類型動(dòng) 作解除方法缺錯(cuò)相來(lái)自LD-6A觸發(fā)控制器的信號(hào)使繼電器ZJ6動(dòng)作：動(dòng)作控制電路板、輔助加熱控制電路停止工作。所有動(dòng)作停止，按鈕指示燈熄滅。查進(jìn)電源相序及錯(cuò)相情況。查L(zhǎng)D6A觸發(fā)控制器的交流側(cè)保險(xiǎn)管是否損壞。輔助加熱過(guò)流來(lái)自輔助加熱控制電路