ISO14644-3檢測方法

1、國際標(biāo)準(zhǔn)INTERNATIONALSTANDARDISO14644-3第一版2005-12-15潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 3 部分： .檢測方法Reference numberISO 14644-3:2005(E)Copyright International Organization for StandardizationProvided by IHS under license with ISONo reproduction or networking permitted without license from IHS36潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 3 部分：檢測方法目次前言引言1 范圍2 引

2、用標(biāo)準(zhǔn)3 術(shù)語與定義3.1概述3.2空氣懸浮粒子測量3.3空氣過濾器與系統(tǒng)3.4氣流3.5靜電測量3.6測量儀器與測量條件3.7占用狀態(tài)4 檢測方法4.1潔凈室檢測4.2原理5 檢測報告附件 A （資料）各種檢測的選擇和實(shí)施順序附件 B（資料）檢測方法附件 C（資料）檢測儀器文獻(xiàn)（略）37前言國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）為全球各國標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO 成員）的聯(lián)合會，國際標(biāo)準(zhǔn)的編寫工作由其下的各技術(shù)委員會進(jìn)行。ISO 的各個成員組織若對技術(shù)委員會的某個課題感興趣，它就有權(quán)參加該技術(shù)委員會的工作。國際上凡與ISO 保持聯(lián)系的政府的或是非政府組織，均可參與此項(xiàng)工作。ISO 在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化的各項(xiàng)事宜中，

3、與國際電氣技術(shù)委員會（ IEC ）進(jìn)行緊密合作。國際標(biāo)準(zhǔn)草案是按照ISO/IEC 指導(dǎo)條例第2 部分的法則制定的。技術(shù)委員會的主要任務(wù)是制定國際標(biāo)準(zhǔn)。 國際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會認(rèn)可后送各會員團(tuán)體進(jìn)行傳閱， 以待表決。 至少需要 75%投票的會員團(tuán)體投贊成票才可將草案作為國際標(biāo)準(zhǔn)頒布。ISO 14644 的這一部分中可能有些內(nèi)容會涉及到專利權(quán)。ISO 不對識別任何或全部這類專利權(quán)負(fù)責(zé)。ISO 14644-3 是由 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 技術(shù)委員會ISO/TC 209 編寫的。ISO 14644 在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 的總標(biāo)題下包含下述各部分： 第 1 部分： 空氣潔凈度分級 第 2 部分：

4、證明一直符合 ISO 14644-1 的檢測和監(jiān)測技術(shù)條件 第 3 部分： 檢測方法 第 4 部分： 設(shè)計(jì)、建造和啟動 第 5 部分： 運(yùn)行 第 7 部分： 隔離裝置（潔凈風(fēng)罩、手套箱、隔離器、微環(huán)境） 第 8 部分： 空氣分子污染分級正在編寫的部分有： 第 6 部分：詞匯38引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境須將空氣懸浮粒子控制在合適的水平，以完成相關(guān)的、 對污染敏感的活動。 下述行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均受益于對空氣懸浮污染物的控制：航天、微電子、 制藥、醫(yī)療器械、食品和醫(yī)療。本部分 ISO 14644 說明的檢測方法， 可用于說明ISO 14644 其它部分中所述的潔凈室的特性。注：本部分ISO 1464

5、4 并未包括所有潔凈室參數(shù)的檢測方法。ISO/TC 209 編制的其他文件中討論了有特定產(chǎn)品或工藝的潔凈室和潔凈區(qū)的其他參數(shù)進(jìn)行檢測時所使用的方法和儀器（例如ISO 14698 中對活物質(zhì)的控制和測量方法，ISO 14644-4 中的潔凈室功能性檢測，ISO 14644-7 中的隔離裝置檢測） 。此外還可以考慮其他的適用標(biāo)準(zhǔn)。本部分 ISO 14644 中的陳述參照了 ASTM ，CEN ，DIN ，IEST ，JACA ， JIS 和 SEMI 等標(biāo)準(zhǔn)。39潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第 3 部分：檢測方法注意本部分ISO 14644 的應(yīng)用可能涉及有害的材料、作業(yè)和設(shè)備。本部分ISO 14644未

6、提及所有與其使用有關(guān)的安全性問題。因此，使用本標(biāo)準(zhǔn)時， 客戶應(yīng)負(fù)責(zé)制定適當(dāng)?shù)陌踩托l(wèi)生準(zhǔn)則，及在使用前確定規(guī)程性限制的適用性。1 范圍本部分ISO 14644 規(guī)定了指定級別的空氣懸浮微粒潔凈度的檢測方法和測定潔凈室和潔凈區(qū)性能特性的檢測方法。這種特性檢測可用在3 種狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）下的、單向流和非單向流這兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)。檢測方法中有檢測儀器和檢測方法方面的建議。如果潔凈室和潔凈區(qū)的類型影響到檢測方法，則有其他檢測方法的建議。 其中的某些檢測，則建議了幾種不同的方法和儀器，以便適合于不同的最終使用要求。如果客戶與建造商一致同意的話， 可以使用本部分的ISO 14644中未包括

7、的方法。 替代方法不一定會提供等效的測量結(jié)果。本部分 ISO 14644 不適用對潔凈室或隔離裝置內(nèi)產(chǎn)品或工藝進(jìn)行的測量。2 引用標(biāo)準(zhǔn)下列引用標(biāo)準(zhǔn)對本文件的使用是不可或缺的。 標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)， 只有該引用的版本適用。沒標(biāo)有日期的引用標(biāo)準(zhǔn)，則其最新版本的規(guī)范性文件（包括任何修正版）適用。ISO 7726:1998 ，熱環(huán)境人機(jī)工程學(xué) -物理量測量儀ISO 14644-1:1999 ， 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 -第 1部分：空氣潔凈度分級ISO 14644-2:2000 ， 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 -第2部分：證明一直符合 ISO1 4644-1 的檢測和監(jiān)測技術(shù)條件ISO 14644-4:200

8、1 ， 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 -第 4部分：設(shè)計(jì)、建造和啟動3 術(shù)語和定義本部分 ISO 14644 采用的術(shù)語和定義如下。403.1普通3.1.1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可最大限度減少房間內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子，房間內(nèi)溫度、濕度和壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。ISO 14644-1:1992, 2.1.13.1.2潔凈區(qū)clean zone空氣懸浮粒子濃度受控的專門空間，其建造和使用方式可最大限度減少區(qū)內(nèi)進(jìn)入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子，區(qū)內(nèi)溫度、濕度和壓力等其他相關(guān)參數(shù)按要求受控。注：潔凈區(qū)可以是開放式的也可以是封閉式的，可以位于或不在潔凈室內(nèi)。

9、ISO 14644-1:1992, 2.1.23.1.3潔凈室設(shè)施installation帶有全部維護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理系統(tǒng)、服務(wù)設(shè)施、公用設(shè)施的潔凈室或潔凈區(qū)。ISO 14644-1:1992, 2.1.33.1.4隔離裝置separative device采用構(gòu)造和動力學(xué)方法在確定的容積內(nèi)外創(chuàng)建可靠隔離水平的設(shè)備。注：某些產(chǎn)業(yè)用隔離裝置有：層流罩（潔凈工作臺）、隔離密封空間、手套箱、隔離器、微環(huán)境。3.2空氣懸浮粒子測量3.2.1氣溶膠發(fā)生器aerosol generator能以加熱、液壓、氣動、超聲波音頻、靜電等方式生成濃度恒定、粒徑范圍適當(dāng)（例如 0.05 m 至 2 m）的微粒物質(zhì)的儀器

10、。3.2.2空氣懸浮粒子airborne particle懸浮在空氣中的、粒徑從1 納米到 100 微米的活的或非活的固態(tài)或液態(tài)粒子。注 1：針對 ISO 14644-3。分級方面見 2.103。注 2：摘自 ISO 14644-3:2005, 3.2.2 。3.2.3數(shù)量中徑 count median particle diameter（CMD ）根據(jù)粒子數(shù)量得出的粒徑中值。注：粒徑中值即一半的粒子粒徑小于數(shù)量中值，一半的粒子粒徑大于數(shù)量中值。3.2.4大粒子 macroparticle當(dāng)量直徑大于 5 m 的粒子。ISO 14644-1:1992, 2.2.63.2.5M 描述符 M de

11、scriptor規(guī)定的或測得的每立方米空氣中大粒子的濃度，以所用測量方法特性確定的當(dāng)量直徑表示。注： M 描述符可以作為采樣點(diǎn)平均濃度的上限（或按照潔凈室或潔凈區(qū)中采樣點(diǎn)的數(shù)量作為置信41上限）。不能使用M 描述符規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但M 描述符既可單獨(dú)引述，也可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述。ISO 14644-1:1992, 2.3.23.2.6質(zhì)量中徑mass median particle diameter （ MMD ）根據(jù)粒子質(zhì)量得出的粒子直徑中值。注：質(zhì)量中徑即全部粒子質(zhì)量的一半小于質(zhì)量中徑，另一半大于質(zhì)量中徑。3.2.7粒子濃度particle concentration單位

12、空氣體積中粒子的個數(shù)。ISO 14644-1:1992, 2.2.33.2.8粒徑particle size在指定的粒子尺寸測定儀上，有相當(dāng)于被測粒子的響應(yīng)的球體的直徑。注：光散射離散粒子計(jì)數(shù)器在粒子計(jì)數(shù)中使用的則是當(dāng)量光學(xué)直徑。ISO 14644-1:1992, 2.2.23.2.9粒徑分布particle size distribution粒子濃度的累積分布，它是粒徑的函數(shù)。ISO 14644-1:1992, 2.2.43.2.10 檢測氣溶膠test aerosol具有已知濃度與受控的粒徑分布的固體和（或）液體粒子的氣態(tài)懸浮物。3.2.11 U 描述符U descriptor每立方米空氣

13、中測出的或規(guī)定的粒子包括超微粒子濃度。注：可將 U 描述符作為采樣點(diǎn)平均值上限（或作為置信上限，依潔凈室或潔凈區(qū)測量時所用的采樣點(diǎn)數(shù)量確定） 。不能用 U 描述符規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨(dú)引述。ISO 14644-1:1992, 2.3.13.2.12 超微粒子ultrafine particle當(dāng)量直徑小于0.1 m 的粒子。ISO 14644-1:1992 ， 2.2.53.3空氣過濾器與系統(tǒng)3.3.1氣溶膠檢測aerosol challenge用檢測氣溶膠對過濾器或已安裝在位的過濾器系統(tǒng)進(jìn)行檢測。3.3.2規(guī)定滲漏designated leak

14、客戶與建造商商定的最大允許穿透限值。 用離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)對潔凈室設(shè)施進(jìn)行掃描時可檢測到的滲漏。3.3.3稀釋系統(tǒng)dilution system按已知容積比將進(jìn)入的氣溶膠與無粒子空氣混合以降低氣溶膠濃度的系統(tǒng)。3.3.4過濾器系統(tǒng)filter system由過濾器、框架及其他支撐裝置或外殼所組成的系統(tǒng)。423.3.5終端過濾器final filter處在于空氣進(jìn)入潔凈室前終端位置上的過濾器。3.3.6安裝就位的過濾器系統(tǒng)installed filter system安裝在天花板、墻壁、風(fēng)管或設(shè)備上的過濾器系統(tǒng)。3.3.7過濾器安裝后檢漏installed filter system

15、leakage test為確認(rèn)過濾器安裝良好、沒有向潔凈室設(shè)施的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。3.3.8滲漏 leak （過濾器系統(tǒng)）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風(fēng)向濃度超過預(yù)期值。3.3.9掃描 scanning用氣溶膠光度計(jì)或離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣管、采取重疊的行程移過規(guī)定的檢測）區(qū)、以發(fā)現(xiàn)過濾器滲漏的方法。3.3.10“標(biāo)準(zhǔn)”滲漏率standard leak penetration離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)的采樣管停留在滲漏處以標(biāo)準(zhǔn)采樣流量測得的滲漏率。注：穿透率是過濾器下風(fēng)向粒子濃度與上風(fēng)向濃度之比。3.4氣流3.4.1換氣次數(shù)air exchange r

16、ate單位時間的換氣率，以單位時間送入空氣的體積除以空間的體積計(jì)算。3.4.2平均風(fēng)量 average air flow rate單位時間通過的平均空氣容積，可據(jù)此確定潔凈室或潔凈區(qū)的換氣次數(shù)。注：風(fēng)量以每小時立方米表示（ m3/h）。3.4.3測量平面measuring plane用來檢測或測量風(fēng)速等性能參數(shù)的橫斷面。3.4.4非單向流non-unidirectional airflow送入潔凈區(qū)的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與區(qū)內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。ISO14644-2:2001, 3.63.4.5送風(fēng)量supply airflow rate在單位時間內(nèi)從風(fēng)管或從終端過濾器送入潔凈室設(shè)施的風(fēng)量。3.

17、4.6總風(fēng)量total air flow rate在單位時間里通過潔凈室設(shè)施的斷面的風(fēng)量。3.4.7單向流unidirectional airflow通過潔凈區(qū)整個斷面的、風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。注：這種氣流可定向清除潔凈區(qū)的粒子。43ISO 14644-2:2001, 3.113.4.8氣流均勻性uniformity of airflow單向流各點(diǎn)的風(fēng)速讀數(shù)處在規(guī)定的平均風(fēng)速偏差率內(nèi)。3.5靜電測量3.5.1放電時間discharge time絕緣的導(dǎo)電監(jiān)測板的電壓降至原（正的或負(fù)的）充電電壓所需的時間。3.5.2補(bǔ)償電壓offset voltage把未充電的絕緣導(dǎo)電板置于電離空氣中時

18、其上積累的電壓。3.5.3靜電耗散特性static-dissipative property以傳導(dǎo)或其它機(jī)理將工作表面或產(chǎn)品表面的靜電荷降至額定零電荷或特定值的能力。3.5.4表面電壓電平surface voltage level用儀器測出的工作表面或產(chǎn)品表面的（正的或負(fù)的）靜電電壓電平。3.6測量儀器和測量條件3.6.1氣溶膠光度計(jì)aerosol photometer利用前散射光室測量空氣懸浮粒子質(zhì)量濃度的光散射測量儀。3.6.2非等動力采樣anisokinetic sampling采樣管入口處采樣平均風(fēng)速與該位置的單向流的平均風(fēng)速顯著不同的采樣狀況。3.6.3撞擊采樣器impact sam

19、pler令空氣或氣體撞擊固體表面來采集其所攜粒子的裝置。注：每個后續(xù)的采集器表面接觸的氣溶膠流的飛行速度比前一個采集器表面快，由此可采集到比前個表面更小的粒子。3.6.4凝聚核計(jì)數(shù)器condensation nucleus counter （ CNC）用凝聚方法使超微粒子增大并用光學(xué)計(jì)數(shù)法進(jìn)行計(jì)數(shù)的儀器。3.6.5計(jì)數(shù)效率counting efficiency給定粒徑范圍內(nèi)所讀出的粒子濃度與實(shí)際粒子濃度之比。3.6.6差動遷移率分析儀differential mobility analyzer （ DMA ）根據(jù)粒子的電遷移率測量粒徑分布的儀器。3.6.7擴(kuò)散元件diffusion batte

20、ry element多級粒徑限制器的單個部件，運(yùn)用擴(kuò)散原理除去氣溶膠氣流中的較小粒子。3.6.8離散粒子計(jì)數(shù)器discrete-particle counter （ DPC ）具有顯示和記錄規(guī)定空氣容積中離散粒子的數(shù)量和尺寸（有尺寸識別功能）的儀器。3.6.9虛計(jì)數(shù)、背景噪聲、假計(jì)數(shù)false count, background noise count, zero count當(dāng)沒有粒子時，離散粒子計(jì)數(shù)器因內(nèi)外無需電信號所產(chǎn)生的計(jì)數(shù)。443.6.10 帶風(fēng)量計(jì)的風(fēng)罩flowhood with flowmeter可將潔凈室設(shè)施的終端過濾器或散流器完全罩住并直接測量其風(fēng)量的裝置。3.6.11 同軸采

21、樣iso-axial sampling采樣管入口氣流的方向與所采單向流的流向相同的采樣條件。3.6.12等動力采樣isokinetic sampling采樣管入口氣流的平均風(fēng)速與該位置上單向流的平均風(fēng)速相等的采樣條件。3.6.13粒徑限制器particle size cutoff device連接在離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器采樣口、可將小于要求的粒子去除的裝置。3.6.14粒徑閾值threshold size為測量大于或等于該粒徑的粒子濃度而選定的最小粒徑。3.6.15飛行時間粒徑測量time-of-flight particle size measurement用粒子飛過兩塊固定平面之間的

22、距離所需的時間測量其空氣動力學(xué)直徑。注：根據(jù)粒子被誘導(dǎo)至與其速度不同的流場中產(chǎn)生速度漂移進(jìn)行測量。3.6.16虛擬沖撞器virtual impactor使粒子用慣性力沖撞理論（虛擬）表面將不同粒徑的粒子分開。注：大粒子可穿過表面進(jìn)入一停滯的空間，而小粒子碰到該表面時則隨主氣流偏轉(zhuǎn)。3.6.17 代測板witness plate當(dāng)一特定表面無法接近或?qū)Π徇\(yùn)太敏感無法直接進(jìn)行測量時、作為被測表面替代件的、有規(guī)定表面積的污染敏感材料。3.7占用狀態(tài)3.7.1空態(tài)全部建成且設(shè)施齊備的潔凈室，其所有動力均接通并在運(yùn)行， 只是沒有生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。ISO 14644-1:1999, 2.4.13.7.

23、2靜態(tài)在全部建成、 設(shè)施齊備的潔凈室中， 已安裝好的生產(chǎn)設(shè)備正在按客戶和建造商商定好的方式運(yùn)行，但場內(nèi)沒有人員。ISO 14644-1:1999, 2.4.23.7.3動態(tài)全部建成、 設(shè)施齊備的潔凈室正在以規(guī)定的模式運(yùn)行，且現(xiàn)場有規(guī)定數(shù)目的人員正以商定的方式工作。ISO 14644-1:1999, 2.4.34 檢測方法4.1潔凈室檢測4.1.1規(guī)定的檢測45對潔凈室設(shè)施分級應(yīng)按照 ISO 14644-1 ，檢測空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)（見表 1），復(fù)檢的時間間隔應(yīng)按照 ISO 14644-2 中的規(guī)定。表 1.潔凈室設(shè)施規(guī)定進(jìn)行的檢測規(guī)定的檢測ISO14644-3:2005 的相應(yīng)內(nèi)容原理方法提及處

24、儀器潔凈度分級懸浮粒子計(jì)數(shù)以及4.2.1B.1C.1ISO 14644-1 與 ISO 14644-2潔凈室和潔凈空氣裝置檢測4.1.2任選檢測項(xiàng)目表 2 中列出了適用于潔凈室設(shè)施的其它檢測項(xiàng)目。這些檢測項(xiàng)目可適用于3 種規(guī)定占用狀態(tài)中的每一種。這些項(xiàng)目可能還不是包羅萬象的，也不是要對全部給定驗(yàn)證項(xiàng)目進(jìn)行檢測。選取哪些檢測項(xiàng)目及其檢測方法，應(yīng)由客戶與建造商議定。這些選定的檢測也可作為設(shè)施日常監(jiān)測計(jì)劃的組成部分重復(fù)實(shí)施（見 ISO 14644-2 ）。檢測項(xiàng)目選擇指南與檢測目錄見附件 A ，檢測方法概述見附件B。附件 B 中的檢測方法只是概述。應(yīng)制定具體的方法以滿足特定的應(yīng)用要求。表 2.潔凈室

25、設(shè)施檢測選項(xiàng)檢測選項(xiàng)ISO14644-3:2005 的相應(yīng)內(nèi)容提及處原理方法儀器空氣懸浮超微粒子計(jì)數(shù)4.2.1B.2C.2ISO 14644-1空氣懸浮大粒子計(jì)數(shù)4.2.1B.3C.3ISO 14644-1壓差4.2.2B.4C.4ISO 14644-1 和 ISO 14644-2氣流 a4.2.3B.5C.5ISO 14644-1 和 ISO 14644-2過濾器安裝后的檢漏4.2.4B.6C.6ISO 14644-2氣流方向檢測和目檢4.2.5B.7C.7ISO 14644-2溫度4.2.6B.8C.8ISO 7726濕度4.2.6B.9C.9ISO 7726靜電和電離子器檢測4.2.7B

26、.10C.10粒子沉降4.2.8B.11C.11自凈時間4.2.9B.12C.12ISO 14644-2隔離檢漏4.2.10B.13C.13ISO 14644-1 和 ISO 14644-246a. 這是 ISO 14644-2 規(guī)定的檢測項(xiàng)目。這些檢測項(xiàng)目不是按重要性排列的。檢測項(xiàng)目的順序可依據(jù)文件的具體要求或是由客戶和建造商議定。4.2原理4.2.1空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)這項(xiàng)檢測旨在確定空氣潔凈度，它由下述3 部分組成：a) 分級檢測（見 B.1 ）b) 超微粒子檢測（選項(xiàng)） （見 B.2）c) 大粒子檢測（選項(xiàng)） （見 B.3）b) 項(xiàng)與 c) 項(xiàng)檢測可作為說明性的或者規(guī)定一項(xiàng)具體要求的依據(jù)，

27、但不能用于分級。4.2.2氣流檢測進(jìn)行這項(xiàng)檢測是為了確定非單向流潔凈室內(nèi)的送風(fēng)量以及單向流潔凈室內(nèi)的風(fēng)速分布。一般是測風(fēng)速或者是測風(fēng)量。其結(jié)果只要求用一種方式表示：平均風(fēng)速，平均風(fēng)量或總風(fēng)量。 反過來又可以用總風(fēng)量確定非單向流設(shè)施的換氣量（每小時換氣次數(shù)） 。單向流潔凈室則要確定風(fēng)速。氣流檢測方法見B.4。4.2.3壓差檢測壓差檢測的目的是驗(yàn)證潔凈室系統(tǒng)維持其設(shè)施與其周圍環(huán)境間規(guī)定壓差的能力。壓差檢測是在潔凈室設(shè)施已滿足風(fēng)速或風(fēng)量、送風(fēng)均勻性及其他適用檢測的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)后進(jìn)行的。壓差檢測的詳細(xì)說明見B.5。4.2.4過濾器系統(tǒng)安裝后檢漏這項(xiàng)檢測旨在驗(yàn)證潔凈室設(shè)施不存在旁路滲漏，過濾器不存在缺陷（過

28、濾器介質(zhì)和密封框架上的小眼及其他損傷）與滲漏（過濾器框架和密封墊圈上的旁路滲漏，過濾器安裝架處的滲漏） ，從而確認(rèn)終端高效過濾器安裝良好。這項(xiàng)檢測不檢查系統(tǒng)的效率。這項(xiàng)檢測是這樣進(jìn)行的：在過濾器上風(fēng)向引入檢測氣溶膠，并立即在過濾器的下風(fēng)向?qū)^濾器、 其支撐架進(jìn)行掃描， 或在下風(fēng)向的風(fēng)管中采樣。 B.6 中給出了 2 種不同的檢漏方法。4.2.5氣流方向檢測和目檢這項(xiàng)檢測的目的旨在確定氣流方向或氣流形式都符合設(shè)計(jì)和性能方面的技術(shù)要求。如果有要求，也可確定潔凈室設(shè)施內(nèi)氣流在空間上的特性。檢測方法見B.7 。4.2.6溫度與濕度均勻性檢測這項(xiàng)檢測旨在證明潔凈室空氣處理系統(tǒng)在所測區(qū)域內(nèi)、在客戶規(guī)定的時

29、間段里將空氣的溫度和濕度 （以相對濕度或露點(diǎn)表示）控制在限值以內(nèi)的能力。這些檢測的方法見47B.8 與 B.9。4.2.7靜電和離子發(fā)生器檢測這些檢測旨在評估物體上的靜電電壓、 材料的靜電耗散特性， 在潔凈室設(shè)施中進(jìn)行靜電控制所使用的離子發(fā)生器 （即電離器） 的性能。 靜電檢測旨在評估工作表面和產(chǎn)品表面的靜電電壓， 地面、工作臺頂部的靜電耗散特性等。 離子發(fā)生器檢測旨在評估離子發(fā)生器消除表面靜電的性能。檢測方法見B.10。4.2.8粒子沉降檢測粒子沉降檢測旨在測量從各個方向沉降在表面上的粒子的數(shù)量（數(shù)量或質(zhì)量） 或效果（光散射或區(qū)域復(fù)蓋） 。 B.11 給出了這項(xiàng)檢測的一些方法。4.2.9自凈

30、時間進(jìn)行自凈時間檢測旨在測定潔凈室設(shè)施短時間暴露于空氣懸浮粒子源后，是否能夠在有限的時間內(nèi)恢復(fù)到規(guī)定的潔凈度級別。對單向流設(shè)施不推薦這項(xiàng)檢測。其檢測方法見 B.12 。注：使用人工氣溶膠時，應(yīng)避免其殘留物對潔凈室設(shè)施的污染。4.2.10 隔離檢漏這項(xiàng)檢測旨在測定是否有未經(jīng)過濾的空氣通過接合部、縫隙、門道和加壓天花板從潔凈室或潔凈區(qū)外侵入封閉的潔凈室或潔凈區(qū)。其檢測方法見B.13 。5 檢測報告每項(xiàng)檢測結(jié)果應(yīng)記錄在檢測報告中。檢測報告應(yīng)包含下述信息：a) 檢測單位的名稱與地址及檢測日期；b)本部分 ISO 14644 的編號與出版年代，即ISO 14644-3: 當(dāng)前版的日期；c)所測潔凈室或潔

31、凈區(qū)實(shí)際地點(diǎn)的明確標(biāo)識（必要時參照毗鄰區(qū)域），及所有采樣點(diǎn)的座標(biāo)；d) 規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)適用的標(biāo)準(zhǔn)， 包括 ISO 級別、相關(guān)的占用狀態(tài)和所指定的粒徑；e) 所采用的檢測方法的詳細(xì)說明，與檢測有關(guān)的特殊條件或與規(guī)定檢測方法的偏離，及檢測儀器標(biāo)識及其當(dāng)前的校準(zhǔn)證書；f) 檢測結(jié)果，包括附件 B 的相關(guān)條款要求特別報告的數(shù)據(jù)，以及符合指定標(biāo)準(zhǔn)的說明；g) 與附件 B 的條款有關(guān)的、對特定檢測規(guī)定的其他具體要求。48附件 A（資料）各種檢測項(xiàng)目的選擇和實(shí)施順序A.1概述可以使用本部分 ISO 14644 所說明的檢測方法， 證明潔凈室設(shè)施符合客戶規(guī)定的性能標(biāo)準(zhǔn)，或用于定期檢測。在一定程度上可以根據(jù)

32、潔凈室設(shè)施的設(shè)計(jì)、運(yùn)行狀態(tài)、 所要求的認(rèn)證水平等因素選擇檢測項(xiàng)目。應(yīng)該由客戶和建造商事先確定檢測項(xiàng)目實(shí)施順序，萬一潔凈室不符合要求， 所付出的工作量是最少的。A.2檢測目錄表 A.1 是檢測目錄與儀器目錄。檢測順序的細(xì)節(jié)應(yīng)由客戶與建造商議定。表 A.1潔凈設(shè)施檢測項(xiàng)目和實(shí)施順序（建議）選擇檢測檢測方法選擇檢檢測儀器檢測項(xiàng)目檢測儀器備注項(xiàng)目和排序 a參照條款 測儀器 b參照條款空氣懸浮粒子分級計(jì)B.1離散粒子計(jì)數(shù)器（ DPC）C.1數(shù)和測量空氣懸浮微粒子計(jì)數(shù)B.2空氣懸浮大粒子計(jì)數(shù)B.3空氣懸浮大粒子的采B.3.3.2集與計(jì)數(shù)空 氣懸 浮 大 粒 子計(jì) 數(shù)B.3.3.3（無采集）氣流B.4單向流

33、設(shè)施的風(fēng)速測B.4.2.2和量B.4.3凝聚核計(jì)數(shù)器（ CNC ）C.2.1離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）C.2.2粒徑限制器C.2.3C.3顯微鏡觀測采樣濾紙C.3.1串級撞擊器C.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）C.3.3飛行時間粒子測量儀C.3.4C.4熱風(fēng)速計(jì)C.4.1.1超聲波風(fēng)速計(jì)（ 3 維或相當(dāng) 3維） C.4.1.2葉片風(fēng)速計(jì)C.4.1.349非單向流設(shè)施的送風(fēng)風(fēng)速測量過濾器下風(fēng)向總風(fēng)量測量送風(fēng)管風(fēng)量測量壓差測量過濾器安裝后檢漏過濾器系統(tǒng)安裝后檢漏掃描安裝在風(fēng)管或空氣處理機(jī)組上的過濾器之檢測氣流方向和目檢溫度普通溫度綜合溫度濕度靜電與離子發(fā)生器靜電離子發(fā)生器粒子沉降B.4.3.3B.4

34、.3.2B.4.2.5B.5B.6B.6.2和B.6.3B.6.4B.7B.8B.8.2.1B.8.2.2B.9B.10B.10.2.1B.10.2.2B.11皮托管與壓力計(jì)C.4.1.4熱風(fēng)速計(jì)C.4.1.1超聲波風(fēng)速計(jì)（ 3 維或相當(dāng)3 維） C.4.1.2葉片風(fēng)速計(jì)C.4.1.3皮托管與壓力計(jì)C.4.1.4風(fēng)罩式風(fēng)量計(jì)C.4.2.1孔板流速計(jì)C.4.2.2文丘里流量計(jì)C.4.21.3風(fēng)罩式風(fēng)量計(jì)C.4.2.1孔板流速計(jì)C.4.2.2文丘里流量計(jì)C.4.21.3皮托管與壓力計(jì)C.4.1.4電子微壓計(jì)C.5.1斜管壓力計(jì)C.5.2機(jī)械式壓差計(jì)C.5.3C.6線性氣溶膠光度計(jì)C.6.1.1對數(shù)

35、氣溶膠光度計(jì)C.6.1.2離散粒子計(jì)數(shù)器 (DPC)C.6.2氣溶膠發(fā)生器C.6.3氣溶膠源物質(zhì)C.6.4稀釋系統(tǒng)C.6.5凝聚核計(jì)數(shù)器C.2.1線性氣溶膠光度計(jì)C.6.1.1對數(shù)氣溶膠光度計(jì)C.6.1.2離散粒子計(jì)數(shù)器 (DPC)C.6.2氣溶膠發(fā)生器C.6.3氣溶膠物質(zhì)C.6.4稀釋系統(tǒng)C.6.5凝聚核計(jì)數(shù)器C.2.1示蹤劑C.7.1熱風(fēng)速計(jì)C.7.23 維超聲波風(fēng)速計(jì)C.7.3氣溶膠發(fā)生器C.7.4煙霧發(fā)生器C.7.4C.8玻璃溫度計(jì)C.8.1溫度計(jì)C.8.2電阻溫度計(jì)C.8.3熱敏電阻C.8.4玻璃溫度計(jì)C.8.1溫度計(jì)C.8.2電阻溫度計(jì)C.8.3熱敏電阻C.8.4濕度監(jiān)測器（電容式

36、）C.9.1濕度監(jiān)測器（毛發(fā)式）C.9.2露點(diǎn)傳感器C.9.3測濕計(jì)C.9.4C.10靜電壓計(jì)C.10.1高阻歐姆計(jì)C.10.2充電板監(jiān)測器C.10.3靜電壓計(jì)C.10.1高阻歐姆計(jì)C.10.2充電板監(jiān)測器C.10.3代測板雙目顯微鏡粒子沉降光度計(jì)C.11.150自凈時間B.12隔離檢漏B.13離 散 粒 子 計(jì) 數(shù) 器 法 B.13.2.1(DPC)光度計(jì)法B.13.2.2表面粒子計(jì)數(shù)器粒子發(fā)生器離散粒子計(jì)數(shù)器氣溶膠發(fā)生器稀釋系統(tǒng)離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)氣溶膠發(fā)生器稀釋系統(tǒng)光度計(jì)氣溶膠發(fā)生器C.11.2C.11.3C.12.1C.12.2C.12.3C.13C.13.1C.13.2C.13.

37、3C.13.4C.13.2a 檢測人員可在第 1 列的格中按順序?yàn)樗x的檢測項(xiàng)目編號。b 檢測人員可在第 4 列按所選的檢測方法選擇檢測儀器。附件 B（資料）檢測方法B.1空氣懸浮粒子分級計(jì)數(shù)和測量B.1.1原理這是粒徑為 0.1 m 至 5 m 之間的空氣懸浮粒子濃度測量方法的詳細(xì)說明。測量可在空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)任何一種狀態(tài)下進(jìn)行。按照ISO 14644-1 驗(yàn)證潔凈室設(shè)施的潔凈度級別，或是按照ISO 14644-2 進(jìn)行的定期復(fù)檢，均可采用這些檢測方法。B.1中采用的是 IEST-G-CC1001:1999 的方法。B.1.2檢測方法B.1.2.1概述采樣點(diǎn)的數(shù)量， 位置的選擇， 確定潔凈區(qū)

38、級別， 所需數(shù)據(jù)的量均要符合 ISO 14644-1要求。 B.1 說明了在每個采樣點(diǎn)進(jìn)行空氣采樣的參考方法。其他適當(dāng)?shù)摹?精度相當(dāng)、可提供相應(yīng)數(shù)據(jù)的方法，可在客戶和建造商一致同意下使用。如果沒有就其他方法達(dá)成一致意見，或存在爭議的情況下，應(yīng)采用本附件中的參考方法。注：在需要離散粒子計(jì)數(shù)器（ DPC）檢測潔凈室的詳細(xì)信息或需要離散式計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn)的更多信息的場合，可使用標(biāo)準(zhǔn)方法。B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法在規(guī)定的采樣位置放好離散粒子計(jì)數(shù)器采樣管口，設(shè)定計(jì)數(shù)器流量并按照ISO14644-1 選擇粒徑閾值。應(yīng)能在單向流區(qū)域以接近等動力方式采樣選擇采樣管。采樣管的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速之差不應(yīng)超過

39、20%。如果做不到的話，應(yīng)把采樣管口對著氣流的主方向；在采樣風(fēng)速不受控制或不可預(yù)測（如非單向流）的位置上，采51樣管口方向應(yīng)該垂直向上。采樣管口到離散粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管要盡量短。采樣粒子大于等于 1 m 時，連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造廠家的建議值。由于擴(kuò)散造成的小粒子損失和由于沉降和撞擊造成的大粒子損失說產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于 5%。B.1.3空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)儀如 C.1 所規(guī)定的那樣，離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC ）應(yīng)能夠?qū)αＷ舆M(jìn)行計(jì)數(shù)、計(jì)徑，其粒徑辨別力應(yīng)與待測潔凈室設(shè)施的級別相適。該離散粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)能夠?qū)@些粒徑范圍內(nèi)的粒子加以計(jì)數(shù)并進(jìn)行顯示或記錄。該計(jì)數(shù)器應(yīng)有有效的校準(zhǔn)證書（見C.

40、1的說明）。B.1.4檢測報告對潔凈室設(shè)施分級或?qū)ζ溥M(jìn)行檢測， 應(yīng)根據(jù)客戶與建造商的一致意見， 將下述的信息與數(shù)據(jù)及第 5 條的檢測報告，記錄在案：a) 離散粒子計(jì)數(shù)器的背景噪聲計(jì)數(shù)；b) 測量類型：分級或監(jiān)測；c) 潔凈室設(shè)施的潔凈度級別；d) 粒徑范圍和計(jì)數(shù)；e) 離散粒子計(jì)數(shù)器采樣管口的采樣流量與通過傳感腔的空氣流量；f) 采樣位置；g) 分級采樣規(guī)約或監(jiān)測采樣計(jì)劃；h) 占用狀態(tài)；i) 與測量有關(guān)的其它數(shù)據(jù)。B.2空氣懸浮超微粒子計(jì)數(shù)B.2.1原理B.2.1.1概述本方法對粒徑閾值小于0.1 m 的空氣懸浮粒子濃度的檢測做了詳細(xì)規(guī)定；該濃度以 U 描述符表示。 B.2中給出的方法取自I

41、EST-G-CC1001:1999 。該項(xiàng)測量可在潔凈室或潔凈區(qū) 3 種規(guī)定占用狀態(tài)下中的任何一種實(shí)施。按照 ISO 14644-1:1999 附件E 確定潔凈室設(shè)施的超微粒子濃度，或是按照ISO 14644-2:2000 進(jìn)行的定期測量，應(yīng)按本方法實(shí)施。B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測量 U 描述符所用系統(tǒng)的計(jì)數(shù)效率應(yīng)處在圖B.1 的陰影之內(nèi)。這個可接受性能區(qū)中心對應(yīng)設(shè)定的超微粒徑（顯示為粒徑“U”）粒子的計(jì)數(shù)效率為 50%。超微粒徑52容差 10%，在圖 B.1 中顯示為粒徑1.1U 和 0.9U。對粒徑大于和小于 10%粒徑容差粒子的最小和最大可接受計(jì)數(shù)效率，其依據(jù)的是計(jì)算出的擴(kuò)散元件的透過率。

42、該擴(kuò)散元件對粒徑大于規(guī)定超微粒徑10%的粒子有至少40%的透過率，對粒徑小于規(guī)定超微粒徑 10%的粒子有至少 60%的透過率。如果離散粒子計(jì)數(shù)器（ DPC）或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器（CNC）的計(jì)數(shù)效率曲線處于圖B.1 陰影的右邊，則不能用其測量或檢驗(yàn)U 描述符。如果其曲線處于陰影的左邊，則可以用 B.2.1.2 中說明的粒徑限制器使曲線改變減小其計(jì)數(shù)效率。在這種情況下，被修改了的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為未修改的計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器分?jǐn)?shù)透過率的乘積。圖中： X ：粒徑（m）Y ：計(jì)數(shù)效率（ %）0.5U0.9UU1.1U5U例： U = 0.020.0100.0180.

43、020.0220.1例： U = 0.030.0150.0270.030.0330.15例： U = 0.050.0250.0450.050.0550.25圖 B.1 所選儀器計(jì)數(shù)效率的可接受區(qū)B.2.1.3 粒徑限制器為達(dá)到測量或驗(yàn)證U 描述符所需的計(jì)數(shù)效率，可將離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器 （其計(jì)數(shù)效率曲線處在圖B.1 陰影的左邊） 的采樣管口安裝一粒徑限制器。修改計(jì)數(shù)器、 采樣管口與粒徑限制器的聯(lián)合計(jì)數(shù)效率曲線，使之處在圖B.1 要求的陰影內(nèi)。粒徑限制器將小于規(guī)定粒徑的粒子清除，以規(guī)定的、可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限53制器有各種各樣的大小和配置，只要它們具有所要求得透過率即可接受。合適的粒徑限制器配有擴(kuò)散元件和虛擬撞擊器。透過率是粒子物理特性、限制器構(gòu)造和容積流量的函數(shù)。使用粒徑限制器要小心：它們只能用于規(guī)定的流量，安裝時要防靜電累積。要保證粒徑限制器良好地接地，以便使電荷累積達(dá)到最小。B.2.2超微粒子計(jì)數(shù)方法架設(shè)好離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器的采樣管（入口）（需要時裝好粒徑限制器）。按照 ISO 14644-1 附件 B 或 ISO 14644-2 在每個采樣點(diǎn)按規(guī)定的流量采樣并進(jìn)行重復(fù)測量。 采樣流量小、 采樣管長可引起超微粒子明顯的散射