激光干涉儀發(fā)展史

1、 一概述SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。二.激光干涉儀發(fā)展史 現(xiàn)代激光干涉技術(shù)是在人類(lèi)關(guān)于光學(xué)的幾乎全部知識(shí)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。激光與普通光源相比，具有一些獨(dú)特的性質(zhì)：?jiǎn)紊院?、相干性好、方向性?qiáng)、亮度高。激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克

2、爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量，廣泛應(yīng)用于各領(lǐng)域，已經(jīng)成為人類(lèi)認(rèn)知世界的重要工具。1604年開(kāi)普勒（JKepler）寫(xiě)出光學(xué)著作，指出光的強(qiáng)度和到達(dá)光源距離的平方成反比。并于1611年出版折射光學(xué)。1801年托馬斯楊（Thomas Young）用雙狹縫實(shí)驗(yàn)演示了光的干涉現(xiàn)象，即著名的楊氏雙縫實(shí)驗(yàn)。1881年邁克爾遜（AlbertAMichelson）設(shè)計(jì)了著名的實(shí)驗(yàn)來(lái)測(cè)量“以太”漂移。當(dāng)然沒(méi)測(cè)到漂移，由此導(dǎo)致“以太”說(shuō)的破滅和相對(duì)論的誕生。它首次用于干涉儀，以鎘紅譜線與國(guó)際米原器作對(duì)比。正是由于他的工作導(dǎo)致后來(lái)用光的波長(zhǎng)定義“米”。由于他在精密光學(xué)儀器、光譜和計(jì)量領(lǐng)域的研究工作于1907年

3、獲得諾貝爾獎(jiǎng)。 邁克爾遜激光干涉儀原理圖1960年Maiman研制成功第一臺(tái)紅寶石激光器，從此開(kāi)始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時(shí)代。從此，激光干涉測(cè)量被廣泛地用于長(zhǎng)度、角度、微觀形貌、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，并和微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)集成，成為現(xiàn)代干涉儀。1982年GBinning和HRohrer研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎(jiǎng)。從此開(kāi)始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進(jìn)的新時(shí)代。由于激光具有極好的時(shí)間相干性，自問(wèn)世以來(lái)，已研制出多種激光干涉儀：?jiǎn)晤l激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀、法布里-珀羅（F-P）干涉儀、X射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計(jì)

4、量領(lǐng)域中最成功的應(yīng)用之一。利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測(cè)量，具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)的特點(diǎn)，已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。 激光干涉儀機(jī)床檢測(cè)應(yīng)用中圖儀器推出的 SJ6000激光干涉儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)。線性測(cè)長(zhǎng)精度：0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。三.激光干涉儀應(yīng)用1、在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用SJ6000激光干涉儀可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置 10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀

5、檢測(cè)機(jī)床各項(xiàng)誤差并進(jìn)行修正是傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機(jī)床的加工精度的關(guān)鍵措施。 數(shù)控機(jī)床軸定位精度、重復(fù)定位精度的檢測(cè)2、在三坐標(biāo)檢測(cè)中的應(yīng)用SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的位移精度、直線度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對(duì)加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)各結(jié)構(gòu)件由于高速運(yùn)行產(chǎn)生機(jī)構(gòu)變形，導(dǎo)致的動(dòng)態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行靜態(tài)誤差、動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量和補(bǔ)償，對(duì)提升測(cè)量精度具有重要意義。三坐標(biāo)線性精度、垂直度的檢測(cè)3、在位移傳感器中的應(yīng)用 利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高，是位移傳感器實(shí)現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。傳感器線性精度的測(cè)量4、與其他鏡組配合的應(yīng)用SJ6000激光干涉儀與不同