鍍膜作業(yè)基礎(chǔ)培訓(xùn) 1.

1、第 13 頁(yè) 共 13 頁(yè)鍍膜作業(yè)基礎(chǔ)培訓(xùn)（一）各位同行：晚上好，大家是同行，有機(jī)會(huì)把自己的鍍膜的一些理解與大家交流，很高興，希望對(duì)大家的工作有所幫助。我的理解可能有不準(zhǔn)確的地方，不完全的地方，希望大家諒解。我也還在不斷的學(xué)習(xí)，我們共同提高吧。今天講的內(nèi)容如果是正確的，希望大家在今后的工作中做好，可能大部分事項(xiàng)我們已經(jīng)在做了，那就把他做得更好、更完善。鍍膜開(kāi)機(jī)作業(yè)員職責(zé)1、 職業(yè)道德 工序特點(diǎn)： 鍍膜在光學(xué)加工中的地位，技術(shù)含量高、產(chǎn)品附加值高、投入大、作業(yè)責(zé)任大、衡量企業(yè)技術(shù)水平的標(biāo)志； 后工程，加工的產(chǎn)品已經(jīng)凝聚了前工程工友的勞動(dòng) 與前后工程的關(guān)聯(lián)大 產(chǎn)品的要求越來(lái)越高 協(xié)同的工作職業(yè)要求

2、： 協(xié)作的精神 尊重他人勞動(dòng)成果 熟練的技術(shù)（無(wú)止境的提升） 認(rèn)真負(fù)責(zé)（責(zé)任較大）做好每一件事 規(guī)章制度（包括專門的一些規(guī)定）遵守 程式數(shù)據(jù)、工藝數(shù)據(jù)的執(zhí)行（作業(yè)員不允許改動(dòng)）職業(yè)道德： 不允許以情緒波動(dòng)影響工作 嚴(yán)格遵守作業(yè)規(guī)范 技術(shù)保密的遵守 愛(ài)護(hù)設(shè)備，善待設(shè)備 創(chuàng)造條件方便他人工作。2、 鍍膜機(jī)開(kāi)機(jī)作業(yè)員的開(kāi)機(jī)確認(rèn)事項(xiàng)（關(guān)門前）分類確認(rèn)內(nèi)容確認(rèn)要求程式類1程式名與機(jī)種的對(duì)應(yīng)1。確認(rèn)機(jī)種與程式的對(duì)應(yīng)，2。確認(rèn)可否同罩（在幾個(gè)部番一起鍍的時(shí)候）2程式中膜系數(shù)據(jù)的核對(duì)1。確認(rèn)膜系數(shù)據(jù)是否有變動(dòng)（變動(dòng)的原因及變動(dòng)責(zé)任人、變動(dòng)結(jié)果）2。確認(rèn)上一次本機(jī)臺(tái)用本程序的時(shí)間及分光結(jié)果3表格登記按實(shí)際作業(yè)，

3、表格記錄膜料類1膜料與程式中的規(guī)定吻合1。確認(rèn)是否按程式要求準(zhǔn)備膜料（有時(shí)一種膜料有幾個(gè)坩堝）2。膜料的品名、廠家、規(guī)格（有時(shí)一種膜料有若干個(gè)規(guī)格）2膜料與規(guī)定坩堝號(hào)的吻合確認(rèn)膜料是否放在規(guī)定的坩堝位3膜料的料況確認(rèn)（污染、平整、中心、確認(rèn)塊狀膜料的料平整、中心；確認(rèn)顆粒料的無(wú)污染和添加料的準(zhǔn)確。鏡片類1鏡片部番確認(rèn)同罩的若干機(jī)種部番是否可以同罩，與規(guī)定的程式名是否吻合2鏡片面別確認(rèn)是否是規(guī)定的面別3鏡片狀況確認(rèn)正要被鍍的面是未鍍面4傘片擺放確認(rèn)傘片是否已經(jīng)放平整，是否需要調(diào)整5套環(huán)擺放確認(rèn)各套環(huán)是否到位，平整機(jī)臺(tái)類1旋轉(zhuǎn)架確認(rèn)旋轉(zhuǎn)是否平穩(wěn)2蒸發(fā)源1。確認(rèn)是否需要換燈絲（舟），2。確認(rèn)上一次使

4、用是否正常或已經(jīng)作了調(diào)整，3。確認(rèn)是否已經(jīng)打掃干凈，4。確認(rèn)膜料已經(jīng)裝好，坩堝落位準(zhǔn)確3離子源1。確認(rèn)離子源是否已經(jīng)打掃，2。確認(rèn)離子源上次使用是否正常，如有異常是否排除，3。確認(rèn)離子源燈絲是否需要更換。4晶片和監(jiān)控片1。確認(rèn)晶控片的有效性，2。確認(rèn)新晶片的有效性，3。確認(rèn)監(jiān)控片的有效性，4。確認(rèn)監(jiān)控片光路的良好。3鍍膜開(kāi)機(jī)作業(yè)員監(jiān)控規(guī)定（一般規(guī)定）1、鍍膜開(kāi)機(jī)作業(yè)員在開(kāi)機(jī)作業(yè)中必須對(duì)機(jī)臺(tái)運(yùn)行情況全面監(jiān)控2、各機(jī)臺(tái)的各項(xiàng)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，參照各機(jī)臺(tái)的作業(yè)指導(dǎo)實(shí)施。3、監(jiān)控內(nèi)容及處理對(duì)策階段監(jiān)控內(nèi)容判斷依據(jù)處理對(duì)策記錄抽真空泵的運(yùn)行、真空閥門的切換（在規(guī)定真空度到達(dá)后自動(dòng)切換）時(shí)間：是否在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)完

5、成個(gè)閥門的切換如果沒(méi)有在規(guī)定時(shí)間內(nèi)切換閥門，真空抽速有問(wèn)題，請(qǐng)帶班和修機(jī)員處理記錄故障現(xiàn)象和故障時(shí)間真空指示（觀察儀表）低真空顯示和高真空顯示是否正常，如果高真空顯示異常，在規(guī)定時(shí)間沒(méi)有達(dá)到規(guī)定的真空度，請(qǐng)帶班、修機(jī)員確認(rèn)原因解決加熱加熱管工作狀況（電流表）觀察各路加熱電流表的工作狀況，（下加熱系統(tǒng)可以直接觀察加熱燈光的工作狀況）如果二（多）路電流顯示很不平衡，在溫度沒(méi)有到達(dá)時(shí)其中有一路（多路）沒(méi)有工作電流顯示，表示加熱異常。如果加熱頻繁跳閘，也是有問(wèn)題。提報(bào)帶班、修機(jī)員處理。記錄故障現(xiàn)象和故障時(shí)間溫度顯示是否到達(dá)預(yù)定溫度后進(jìn)入保溫如果恒溫后，溫度還在上升，加熱器有問(wèn)題，停止加熱，提報(bào)處理恒溫

6、時(shí)間設(shè)定進(jìn)入保溫后計(jì)時(shí)器工作是否正常保溫后，計(jì)時(shí)器沒(méi)有工作，后續(xù)工作不能執(zhí)行，機(jī)組信號(hào)處理系統(tǒng)有問(wèn)題，須提報(bào)處理設(shè)定時(shí)間的執(zhí)行加熱系統(tǒng)是否按設(shè)定在執(zhí)行如果保溫后，溫度還在上升，加熱器有問(wèn)題，提報(bào)處理離子轟擊離子源工作狀況燈絲是否工作，陽(yáng)極、陰極的電壓電流是否可調(diào)節(jié)如有問(wèn)題，可以關(guān)閉，重啟，還是有問(wèn)題時(shí)，關(guān)閉力資源，提報(bào)帶班、修機(jī)員、工程師處理記錄故障現(xiàn)象和處理過(guò)程、時(shí)間流量計(jì)、氣體充入工作狀況是否充入規(guī)定的氣體、氣體的流量是否正確、流量計(jì)的工作是否正常離子轟擊時(shí)的真空度充入氣體后的真空度是否正常預(yù)溶膜料的預(yù)溶膜料是否飛濺，如果飛濺嚴(yán)重可能膜料有問(wèn)題。通報(bào)帶班、工程師對(duì)膜料作出判斷，（是繼續(xù)還是

7、退出換膜料）記錄現(xiàn)象及處理方法充氧狀況規(guī)定充氧預(yù)熔的膜料，是否有氧氣充入及時(shí)調(diào)整，如有困難，報(bào)告帶班處理電子槍（蒸發(fā)源）工作狀況光斑是否合適、掃描是否合適及時(shí)調(diào)整預(yù)熔后料況預(yù)溶后的料況是否良好如果有問(wèn)題，補(bǔ)充預(yù)熔，盡量彌補(bǔ)做好記錄預(yù)熔檢查檢查是否應(yīng)該預(yù)熔的膜料都預(yù)熔了如有遺漏，及時(shí)彌補(bǔ)做好記錄蒸 鍍程式核對(duì)程式與所鍍鏡片的對(duì)應(yīng)，再次確認(rèn)程式數(shù)據(jù)如果程式有誤，暫停執(zhí)行，再次請(qǐng)帶班和技術(shù)員確認(rèn)后再執(zhí)行。做好記錄膜料坩堝料況觀察坩堝位的準(zhǔn)確性和初始料況如果坩堝位有誤，請(qǐng)技術(shù)員確認(rèn)后臨時(shí)從膜系設(shè)置中更改；如果料況不好，可通過(guò)再次預(yù)熔調(diào)整或在蒸鍍中調(diào)整電子束光斑位置和掃描做好記錄蒸發(fā)速率電子槍工作狀況觀

8、察電子槍工作狀況，（掃描、束斑形狀大小、功率調(diào)整）如有異常，須及時(shí)調(diào)整，調(diào)整困難時(shí)請(qǐng)帶班幫助膜厚監(jiān)控觀察蒸發(fā)速率的穩(wěn)定狀況，到達(dá)預(yù)定厚度時(shí)是否停止蒸鍍?nèi)绻_(dá)到預(yù)定厚度時(shí)，沒(méi)有及時(shí)停鍍，應(yīng)立即手動(dòng)停鍍，檢查原因，請(qǐng)帶班確認(rèn)解決。做好記錄（真正原因、處理方法）真空度觀察蒸鍍中，真空度有無(wú)異常真空變異大，故障發(fā)生，停止蒸鍍，請(qǐng)修機(jī)員檢查修真空系統(tǒng)記錄當(dāng)前蒸鍍數(shù)據(jù)（層、料、已鍍厚度），故障現(xiàn)象，故障時(shí)間充氧狀況需要充氧的膜料，進(jìn)氧量（流量顯示或真空度）是否正常如果進(jìn)氧異常（沒(méi)有充氧或進(jìn)氧過(guò)大）應(yīng)暫停蒸鍍，提報(bào)帶班（技術(shù)員）確認(rèn)處理鍍后恒溫時(shí)間確認(rèn)是否按時(shí)間設(shè)置恒溫如果加熱中途停止，手動(dòng)繼續(xù)，如有困難請(qǐng)

9、帶班幫助，并檢查原因排除做好記錄（真正原因、處理方法）4、鍍膜機(jī)開(kāi)機(jī)作業(yè)常見(jiàn)作業(yè)過(guò)失預(yù)防表作業(yè)過(guò)失項(xiàng)過(guò)失危害防止對(duì)策1用錯(cuò)程式，沒(méi)有按規(guī)定調(diào)用程式，沒(méi)有針對(duì)機(jī)種選用程式分光不良真空室關(guān)門前，認(rèn)真核對(duì)程式、核對(duì)程式數(shù)據(jù)，如有疑問(wèn)必須在相關(guān)擔(dān)當(dāng)確認(rèn)后進(jìn)行下步作業(yè)2膜料搞混，加錯(cuò)膜料，特別是Al2O3SiO2MgF2膜料容易搞混 分光不良，崩料、斑孔膜料標(biāo)示鮮明，帶班每日確認(rèn)，作業(yè)員加料時(shí)認(rèn)真核對(duì)3添加膜料時(shí)不注意造成膜料參雜分光不良，崩料、斑孔加膜料時(shí)，不要幾種膜料一起加，加料前，確認(rèn)坩堝的料況（不參雜、沒(méi)污染）4添加膜料時(shí)，膜料不平整傘差大，分光不良檢查料況，保證料面平整5更換膜料時(shí)，坩堝沒(méi)清潔

10、參雜、崩料、斑孔坩堝檢查確認(rèn)后，添加膜料6膜料坩堝位置放錯(cuò)分光不良、崩料、斑孔核對(duì)、檢查確認(rèn)7真空室清潔沒(méi)做或做得不好真空抽速降低、揚(yáng)灰造成鏡片灰點(diǎn)按規(guī)定做好真空室的小清潔（每傘）一般清潔（更換部分護(hù)板）、大清潔（全部護(hù)板更換等）8蒸發(fā)源清潔不好或沒(méi)有清潔電子槍打火、膜料參雜、分光不良、損傷鏡片、損傷蒸發(fā)源認(rèn)真做好每傘之間的蒸發(fā)源清潔（坩堝周圍、坩堝蓋板、燈絲處等）9蒸發(fā)源擋板沒(méi)換擋板掉渣、膜料參雜、斑孔關(guān)門前確認(rèn)10蒸發(fā)源擋板不干凈擋板掉渣、膜料參雜、斑孔更換時(shí)確認(rèn)11蒸發(fā)源擋板沒(méi)放斑孔、分光不良關(guān)門前確認(rèn)13新晶片安裝后沒(méi)有確認(rèn)是否良好可能造成晶片故障，分光不良更換晶片時(shí)檢查確認(rèn)14沒(méi)有確

11、認(rèn)正在使用的晶片是否在有效、靈敏范圍可能因?yàn)榫?，分光不良關(guān)門前確認(rèn)15沒(méi)有確認(rèn)監(jiān)控片是否有效可能因?yàn)楸O(jiān)控片失效，無(wú)法監(jiān)控關(guān)門前確認(rèn)16更換新監(jiān)控片時(shí)，安放不平整測(cè)試光路偏差，分光不良更換新監(jiān)控片后，對(duì)光路、膜厚儀數(shù)據(jù)檢查確認(rèn)17上傘時(shí)沒(méi)有核對(duì)鏡片（機(jī)種、面別、是否已鍍）可能造成程式不符，分光不良，鍍重等上傘時(shí)認(rèn)真確認(rèn)，互相提醒18傘片沒(méi)有放平整旋轉(zhuǎn)后，傘片滑落，旋轉(zhuǎn)卡住，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)故障，大量鏡片報(bào)廢上傘后互相確認(rèn)，本機(jī)開(kāi)機(jī)員擔(dān)當(dāng)責(zé)任19套環(huán)沒(méi)有放平整旋轉(zhuǎn)中，套環(huán)滑落，鏡片報(bào)廢；卡住旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)故障，大量鏡片報(bào)廢上傘后互相確認(rèn)，本機(jī)開(kāi)機(jī)員承擔(dān)責(zé)任20沒(méi)有檢查確認(rèn)旋轉(zhuǎn)架工作狀況可能由于旋轉(zhuǎn)不

12、轉(zhuǎn)，分光不良，旋轉(zhuǎn)震動(dòng)，鏡片震落報(bào)廢上傘后確認(rèn)，如有疑問(wèn)，應(yīng)當(dāng)排除后進(jìn)行下一步工作21清潔工具遺留在真空室真空抽速降低，加熱后工具損壞，可能造成分光不良檢查確認(rèn)習(xí)慣養(yǎng)成，責(zé)任人承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任23真空室作業(yè)時(shí)，拿取擺放相應(yīng)真空室部件（含坩堝，電子槍燈絲更換、晶片更換等）時(shí)裸手手汗對(duì)真空室部件的污染，嚴(yán)重時(shí)影響抽速，減少真空部件的壽命，造成接觸不良（如晶片、電子槍燈絲、離子源燈絲）制定相應(yīng)規(guī)定，互相監(jiān)督，習(xí)慣養(yǎng)成，薄形手套配備22真空室關(guān)門時(shí)沒(méi)有扣上初抽真空時(shí)真空抽不動(dòng)，噪音極大，對(duì)真空系統(tǒng)傷害養(yǎng)成扣門習(xí)慣，杜絕偷懶的不規(guī)范作業(yè)，承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任23監(jiān)控不到位（自動(dòng)鍍膜機(jī)）一旦發(fā)生異常，原始狀況不了解，

13、對(duì)后期補(bǔ)救、處理帶來(lái)很大困難，發(fā)生故障是不能及時(shí)中止，造成損失明確制定各機(jī)臺(tái)監(jiān)控項(xiàng)目，明確規(guī)定確認(rèn)各機(jī)臺(tái)異常的數(shù)據(jù)、現(xiàn)象判別標(biāo)準(zhǔn)。明確在一旦異常發(fā)生時(shí)，應(yīng)該記錄的項(xiàng)目24未按規(guī)定預(yù)熔膜料（沒(méi)有預(yù)熔、沒(méi)有全部預(yù)熔、預(yù)熔不透）膜料飛濺、鏡片斑孔不良鍍前必須按規(guī)定預(yù)熔膜料，老員工（班長(zhǎng)）確認(rèn)新員工的預(yù)熔效果25應(yīng)該充氧預(yù)熔的沒(méi)有充氧高折射率氧化物失氧過(guò)多短波吸收加大，透射率分光不良作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書明確規(guī)定，各種膜料的各機(jī)臺(tái)的預(yù)熔方法、注意事項(xiàng)26未按規(guī)定離子轟擊（后配的離子源）影響成膜強(qiáng)度強(qiáng)化作業(yè)規(guī)范27離子源轟擊時(shí)擅自更改沖入氣體影響離子源轟擊效果，離子輔助鍍時(shí)，未沖入氧氣造成膜料吸收強(qiáng)化作業(yè)規(guī)范，承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任28蒸鍍Mgf2膜料時(shí)，加入離子轟擊鏡片發(fā)黃不良強(qiáng)化工藝紀(jì)律29下