鍍膜作業(yè)基礎(chǔ)培訓(xùn) 1.

1、第 13 頁 共 13 頁鍍膜作業(yè)基礎(chǔ)培訓(xùn)（一）各位同行：晚上好，大家是同行，有機會把自己的鍍膜的一些理解與大家交流，很高興，希望對大家的工作有所幫助。我的理解可能有不準(zhǔn)確的地方，不完全的地方，希望大家諒解。我也還在不斷的學(xué)習(xí)，我們共同提高吧。今天講的內(nèi)容如果是正確的，希望大家在今后的工作中做好，可能大部分事項我們已經(jīng)在做了，那就把他做得更好、更完善。鍍膜開機作業(yè)員職責(zé)1、 職業(yè)道德 工序特點： 鍍膜在光學(xué)加工中的地位，技術(shù)含量高、產(chǎn)品附加值高、投入大、作業(yè)責(zé)任大、衡量企業(yè)技術(shù)水平的標(biāo)志； 后工程，加工的產(chǎn)品已經(jīng)凝聚了前工程工友的勞動 與前后工程的關(guān)聯(lián)大 產(chǎn)品的要求越來越高 協(xié)同的工作職業(yè)要求

2、： 協(xié)作的精神 尊重他人勞動成果 熟練的技術(shù)（無止境的提升） 認(rèn)真負(fù)責(zé)（責(zé)任較大）做好每一件事 規(guī)章制度（包括專門的一些規(guī)定）遵守 程式數(shù)據(jù)、工藝數(shù)據(jù)的執(zhí)行（作業(yè)員不允許改動）職業(yè)道德： 不允許以情緒波動影響工作 嚴(yán)格遵守作業(yè)規(guī)范 技術(shù)保密的遵守 愛護設(shè)備，善待設(shè)備 創(chuàng)造條件方便他人工作。2、 鍍膜機開機作業(yè)員的開機確認(rèn)事項（關(guān)門前）分類確認(rèn)內(nèi)容確認(rèn)要求程式類1程式名與機種的對應(yīng)1。確認(rèn)機種與程式的對應(yīng)，2。確認(rèn)可否同罩（在幾個部番一起鍍的時候）2程式中膜系數(shù)據(jù)的核對1。確認(rèn)膜系數(shù)據(jù)是否有變動（變動的原因及變動責(zé)任人、變動結(jié)果）2。確認(rèn)上一次本機臺用本程序的時間及分光結(jié)果3表格登記按實際作業(yè)，

3、表格記錄膜料類1膜料與程式中的規(guī)定吻合1。確認(rèn)是否按程式要求準(zhǔn)備膜料（有時一種膜料有幾個坩堝）2。膜料的品名、廠家、規(guī)格（有時一種膜料有若干個規(guī)格）2膜料與規(guī)定坩堝號的吻合確認(rèn)膜料是否放在規(guī)定的坩堝位3膜料的料況確認(rèn)（污染、平整、中心、確認(rèn)塊狀膜料的料平整、中心；確認(rèn)顆粒料的無污染和添加料的準(zhǔn)確。鏡片類1鏡片部番確認(rèn)同罩的若干機種部番是否可以同罩，與規(guī)定的程式名是否吻合2鏡片面別確認(rèn)是否是規(guī)定的面別3鏡片狀況確認(rèn)正要被鍍的面是未鍍面4傘片擺放確認(rèn)傘片是否已經(jīng)放平整，是否需要調(diào)整5套環(huán)擺放確認(rèn)各套環(huán)是否到位，平整機臺類1旋轉(zhuǎn)架確認(rèn)旋轉(zhuǎn)是否平穩(wěn)2蒸發(fā)源1。確認(rèn)是否需要換燈絲（舟），2。確認(rèn)上一次使

4、用是否正?；蛞呀?jīng)作了調(diào)整，3。確認(rèn)是否已經(jīng)打掃干凈，4。確認(rèn)膜料已經(jīng)裝好，坩堝落位準(zhǔn)確3離子源1。確認(rèn)離子源是否已經(jīng)打掃，2。確認(rèn)離子源上次使用是否正常，如有異常是否排除，3。確認(rèn)離子源燈絲是否需要更換。4晶片和監(jiān)控片1。確認(rèn)晶控片的有效性，2。確認(rèn)新晶片的有效性，3。確認(rèn)監(jiān)控片的有效性，4。確認(rèn)監(jiān)控片光路的良好。3鍍膜開機作業(yè)員監(jiān)控規(guī)定（一般規(guī)定）1、鍍膜開機作業(yè)員在開機作業(yè)中必須對機臺運行情況全面監(jiān)控2、各機臺的各項監(jiān)控數(shù)據(jù)，參照各機臺的作業(yè)指導(dǎo)實施。3、監(jiān)控內(nèi)容及處理對策階段監(jiān)控內(nèi)容判斷依據(jù)處理對策記錄抽真空泵的運行、真空閥門的切換（在規(guī)定真空度到達后自動切換）時間：是否在規(guī)定的時間內(nèi)完

5、成個閥門的切換如果沒有在規(guī)定時間內(nèi)切換閥門，真空抽速有問題，請帶班和修機員處理記錄故障現(xiàn)象和故障時間真空指示（觀察儀表）低真空顯示和高真空顯示是否正常，如果高真空顯示異常，在規(guī)定時間沒有達到規(guī)定的真空度，請帶班、修機員確認(rèn)原因解決加熱加熱管工作狀況（電流表）觀察各路加熱電流表的工作狀況，（下加熱系統(tǒng)可以直接觀察加熱燈光的工作狀況）如果二（多）路電流顯示很不平衡，在溫度沒有到達時其中有一路（多路）沒有工作電流顯示，表示加熱異常。如果加熱頻繁跳閘，也是有問題。提報帶班、修機員處理。記錄故障現(xiàn)象和故障時間溫度顯示是否到達預(yù)定溫度后進入保溫如果恒溫后，溫度還在上升，加熱器有問題，停止加熱，提報處理恒溫

6、時間設(shè)定進入保溫后計時器工作是否正常保溫后，計時器沒有工作，后續(xù)工作不能執(zhí)行，機組信號處理系統(tǒng)有問題，須提報處理設(shè)定時間的執(zhí)行加熱系統(tǒng)是否按設(shè)定在執(zhí)行如果保溫后，溫度還在上升，加熱器有問題，提報處理離子轟擊離子源工作狀況燈絲是否工作，陽極、陰極的電壓電流是否可調(diào)節(jié)如有問題，可以關(guān)閉，重啟，還是有問題時，關(guān)閉力資源，提報帶班、修機員、工程師處理記錄故障現(xiàn)象和處理過程、時間流量計、氣體充入工作狀況是否充入規(guī)定的氣體、氣體的流量是否正確、流量計的工作是否正常離子轟擊時的真空度充入氣體后的真空度是否正常預(yù)溶膜料的預(yù)溶膜料是否飛濺，如果飛濺嚴(yán)重可能膜料有問題。通報帶班、工程師對膜料作出判斷，（是繼續(xù)還是

7、退出換膜料）記錄現(xiàn)象及處理方法充氧狀況規(guī)定充氧預(yù)熔的膜料，是否有氧氣充入及時調(diào)整，如有困難，報告帶班處理電子槍（蒸發(fā)源）工作狀況光斑是否合適、掃描是否合適及時調(diào)整預(yù)熔后料況預(yù)溶后的料況是否良好如果有問題，補充預(yù)熔，盡量彌補做好記錄預(yù)熔檢查檢查是否應(yīng)該預(yù)熔的膜料都預(yù)熔了如有遺漏，及時彌補做好記錄蒸 鍍程式核對程式與所鍍鏡片的對應(yīng)，再次確認(rèn)程式數(shù)據(jù)如果程式有誤，暫停執(zhí)行，再次請帶班和技術(shù)員確認(rèn)后再執(zhí)行。做好記錄膜料坩堝料況觀察坩堝位的準(zhǔn)確性和初始料況如果坩堝位有誤，請技術(shù)員確認(rèn)后臨時從膜系設(shè)置中更改；如果料況不好，可通過再次預(yù)熔調(diào)整或在蒸鍍中調(diào)整電子束光斑位置和掃描做好記錄蒸發(fā)速率電子槍工作狀況觀

8、察電子槍工作狀況，（掃描、束斑形狀大小、功率調(diào)整）如有異常，須及時調(diào)整，調(diào)整困難時請帶班幫助膜厚監(jiān)控觀察蒸發(fā)速率的穩(wěn)定狀況，到達預(yù)定厚度時是否停止蒸鍍?nèi)绻_到預(yù)定厚度時，沒有及時停鍍，應(yīng)立即手動停鍍，檢查原因，請帶班確認(rèn)解決。做好記錄（真正原因、處理方法）真空度觀察蒸鍍中，真空度有無異常真空變異大，故障發(fā)生，停止蒸鍍，請修機員檢查修真空系統(tǒng)記錄當(dāng)前蒸鍍數(shù)據(jù)（層、料、已鍍厚度），故障現(xiàn)象，故障時間充氧狀況需要充氧的膜料，進氧量（流量顯示或真空度）是否正常如果進氧異常（沒有充氧或進氧過大）應(yīng)暫停蒸鍍，提報帶班（技術(shù)員）確認(rèn)處理鍍后恒溫時間確認(rèn)是否按時間設(shè)置恒溫如果加熱中途停止，手動繼續(xù)，如有困難請

9、帶班幫助，并檢查原因排除做好記錄（真正原因、處理方法）4、鍍膜機開機作業(yè)常見作業(yè)過失預(yù)防表作業(yè)過失項過失危害防止對策1用錯程式，沒有按規(guī)定調(diào)用程式，沒有針對機種選用程式分光不良真空室關(guān)門前，認(rèn)真核對程式、核對程式數(shù)據(jù)，如有疑問必須在相關(guān)擔(dān)當(dāng)確認(rèn)后進行下步作業(yè)2膜料搞混，加錯膜料，特別是Al2O3SiO2MgF2膜料容易搞混 分光不良，崩料、斑孔膜料標(biāo)示鮮明，帶班每日確認(rèn)，作業(yè)員加料時認(rèn)真核對3添加膜料時不注意造成膜料參雜分光不良，崩料、斑孔加膜料時，不要幾種膜料一起加，加料前，確認(rèn)坩堝的料況（不參雜、沒污染）4添加膜料時，膜料不平整傘差大，分光不良檢查料況，保證料面平整5更換膜料時，坩堝沒清潔

10、參雜、崩料、斑孔坩堝檢查確認(rèn)后，添加膜料6膜料坩堝位置放錯分光不良、崩料、斑孔核對、檢查確認(rèn)7真空室清潔沒做或做得不好真空抽速降低、揚灰造成鏡片灰點按規(guī)定做好真空室的小清潔（每傘）一般清潔（更換部分護板）、大清潔（全部護板更換等）8蒸發(fā)源清潔不好或沒有清潔電子槍打火、膜料參雜、分光不良、損傷鏡片、損傷蒸發(fā)源認(rèn)真做好每傘之間的蒸發(fā)源清潔（坩堝周圍、坩堝蓋板、燈絲處等）9蒸發(fā)源擋板沒換擋板掉渣、膜料參雜、斑孔關(guān)門前確認(rèn)10蒸發(fā)源擋板不干凈擋板掉渣、膜料參雜、斑孔更換時確認(rèn)11蒸發(fā)源擋板沒放斑孔、分光不良關(guān)門前確認(rèn)13新晶片安裝后沒有確認(rèn)是否良好可能造成晶片故障，分光不良更換晶片時檢查確認(rèn)14沒有確

11、認(rèn)正在使用的晶片是否在有效、靈敏范圍可能因為晶片失效，分光不良關(guān)門前確認(rèn)15沒有確認(rèn)監(jiān)控片是否有效可能因為監(jiān)控片失效，無法監(jiān)控關(guān)門前確認(rèn)16更換新監(jiān)控片時，安放不平整測試光路偏差，分光不良更換新監(jiān)控片后，對光路、膜厚儀數(shù)據(jù)檢查確認(rèn)17上傘時沒有核對鏡片（機種、面別、是否已鍍）可能造成程式不符，分光不良，鍍重等上傘時認(rèn)真確認(rèn)，互相提醒18傘片沒有放平整旋轉(zhuǎn)后，傘片滑落，旋轉(zhuǎn)卡住，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)故障，大量鏡片報廢上傘后互相確認(rèn)，本機開機員擔(dān)當(dāng)責(zé)任19套環(huán)沒有放平整旋轉(zhuǎn)中，套環(huán)滑落，鏡片報廢；卡住旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)故障，大量鏡片報廢上傘后互相確認(rèn)，本機開機員承擔(dān)責(zé)任20沒有檢查確認(rèn)旋轉(zhuǎn)架工作狀況可能由于旋轉(zhuǎn)不

12、轉(zhuǎn)，分光不良，旋轉(zhuǎn)震動，鏡片震落報廢上傘后確認(rèn)，如有疑問，應(yīng)當(dāng)排除后進行下一步工作21清潔工具遺留在真空室真空抽速降低，加熱后工具損壞，可能造成分光不良檢查確認(rèn)習(xí)慣養(yǎng)成，責(zé)任人承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任23真空室作業(yè)時，拿取擺放相應(yīng)真空室部件（含坩堝，電子槍燈絲更換、晶片更換等）時裸手手汗對真空室部件的污染，嚴(yán)重時影響抽速，減少真空部件的壽命，造成接觸不良（如晶片、電子槍燈絲、離子源燈絲）制定相應(yīng)規(guī)定，互相監(jiān)督，習(xí)慣養(yǎng)成，薄形手套配備22真空室關(guān)門時沒有扣上初抽真空時真空抽不動，噪音極大，對真空系統(tǒng)傷害養(yǎng)成扣門習(xí)慣，杜絕偷懶的不規(guī)范作業(yè)，承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任23監(jiān)控不到位（自動鍍膜機）一旦發(fā)生異常，原始狀況不了解，

13、對后期補救、處理帶來很大困難，發(fā)生故障是不能及時中止，造成損失明確制定各機臺監(jiān)控項目，明確規(guī)定確認(rèn)各機臺異常的數(shù)據(jù)、現(xiàn)象判別標(biāo)準(zhǔn)。明確在一旦異常發(fā)生時，應(yīng)該記錄的項目24未按規(guī)定預(yù)熔膜料（沒有預(yù)熔、沒有全部預(yù)熔、預(yù)熔不透）膜料飛濺、鏡片斑孔不良鍍前必須按規(guī)定預(yù)熔膜料，老員工（班長）確認(rèn)新員工的預(yù)熔效果25應(yīng)該充氧預(yù)熔的沒有充氧高折射率氧化物失氧過多短波吸收加大，透射率分光不良作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書明確規(guī)定，各種膜料的各機臺的預(yù)熔方法、注意事項26未按規(guī)定離子轟擊（后配的離子源）影響成膜強度強化作業(yè)規(guī)范27離子源轟擊時擅自更改沖入氣體影響離子源轟擊效果，離子輔助鍍時，未沖入氧氣造成膜料吸收強化作業(yè)規(guī)范，承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任28蒸鍍Mgf2膜料時，加入離子轟擊鏡片發(fā)黃不良強化工藝紀(jì)律29下