ISO14644-1潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國(guó)際實(shí)用標(biāo)準(zhǔn)

1、實(shí)用文案潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644前言ISO為全球各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體（ISO會(huì)員團(tuán)體）的聯(lián)合會(huì)。其國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會(huì)執(zhí)行。每個(gè)會(huì)員團(tuán)體若對(duì)技術(shù)委員會(huì)的某一課題感興趣，均有權(quán)作為此技術(shù)委員會(huì)的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國(guó)際組織，無(wú)論是政府的還是非政府的組織，同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國(guó)際電氣技術(shù)委員會(huì)（IEC）在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會(huì)認(rèn)可后送各會(huì)員團(tuán)體進(jìn)行傳閱，以待表決。草案作為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要 75%的會(huì)員團(tuán)體投贊成票。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1由ISO/TC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會(huì)提出。ISO 14

2、644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標(biāo)題下，由下述各部分組成：第1部分：空氣潔凈度等級(jí)劃分第2部分：為認(rèn)證與ISO 14644-1 連續(xù)的相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)要求第3部分：計(jì)量和測(cè)試方法第4部分：設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)第5部分：運(yùn)行第6部分：術(shù)語(yǔ)和定義第7部分：增強(qiáng)的潔凈裝置用戶應(yīng)注意，第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。如果從工作計(jì)劃中刪除了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫(xiě)。附錄B和C為ISO 14644的組成部分，附錄 A、D、E和F僅作資料用。標(biāo)準(zhǔn)實(shí)用文案引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級(jí)別，以確保完成對(duì)污染敏感的有關(guān)活動(dòng)。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣

3、中懸浮污染物的控制：航天、微電子、醫(yī)藥、 醫(yī)療器械、食品和保健品。ISO 14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別，以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序，而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法。為劃分等級(jí)，ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí)。ISO 14644的本部分為潔凈室和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。除懸浮粒子潔凈度之外，還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在ISO/TC209技術(shù)委員會(huì)

4、制定的其它國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)論述。在某些情況下，有關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會(huì)規(guī)定動(dòng)作一些補(bǔ)充的政策或限制。這就可能要求對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試程序作適當(dāng)?shù)男薷?。?biāo)準(zhǔn)實(shí)用文案潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境一第1部分：空氣潔凈度的分級(jí)1范圍ISO 14644的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣 潔凈度的等級(jí)。只有在 0.1 m-5 m的閾值（低于閾值）粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群 體才可供分級(jí)用。ISO 14644的本部分不包含 0.1師-5師規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級(jí)。超微粒子（V 0.1師）和大粒子（ 5師）可分別以U描述符和M描述符來(lái)量化粒子群體。ISO 14644的本部分不能用于表征懸浮粒

5、子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。注 粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測(cè)的，并且是隨著時(shí)間而變化的。2定義下述定義適用于ISO 14644的本部分2.1通則2. 1. 1潔凈室：空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引 入、產(chǎn)生和滯留粒子，室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。2. 1. 2潔凈區(qū)：懸浮粒子濃度受控的限定空間?？臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引 入、產(chǎn)生和滯留粒子，空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。注：該區(qū)可以是開(kāi)放式或是密閉式，可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。2. 1. 3設(shè)施:潔凈室或一個(gè)或多個(gè)潔

6、凈區(qū)，連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動(dòng)力和 公用設(shè)施。2. 1. 4分級(jí):適用于一個(gè)的懸浮粒子潔凈度等級(jí)（或規(guī)定或確定該等級(jí)的過(guò)程），以ISO等級(jí)N來(lái)表示，它表示所考慮的粒彳5的最大允許濃度（以 pc/m3 空氣計(jì)）。注1 此濃度用3.2中的公式（1）確定。注2 按照本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級(jí)，限定在 ISO 1級(jí)至ISO 9級(jí)。注3 適用于按本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)的粒徑（低閾值）范圍限于0.1 m-5 m。分級(jí)范圍之外的閾值粒徑之空氣 潔凈度可以用 U或M描述符（見(jiàn)2.3.1或2.3.2 ）來(lái)說(shuō)明和規(guī)定 （但不是分級(jí)）。注4 ISO分級(jí)可以規(guī)定中間等級(jí)號(hào)，用最小允許遞增值0.1,規(guī)定為自ISO 1.1

7、至8.9級(jí)。注5 等級(jí)可以按3種占用狀態(tài)（見(jiàn)2.4）規(guī)定或?qū)崿F(xiàn)。2.2 懸浮粒子2. 2. 1粒子:用于空氣潔凈度分級(jí)的固體或液體物，其粒徑閾值（低限）范圍在 0.1 m-5科 m,并呈累積分布。2. 2. 2粒徑：由給定的粒徑測(cè)定儀響應(yīng)出（與被測(cè)粒子作出的響應(yīng)當(dāng)量）的球體的直徑。注離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器使用當(dāng)量光學(xué)直徑。2. 2. 3粒子濃度：?jiǎn)挝惑w積空氣中的單個(gè)粒子數(shù)。2. 2. 4粒徑分布：作為粒徑函數(shù)的粒子濃度之累積分布。2. 2. 5超微粒子：當(dāng)量直徑小于 0.1 m的粒子。2. 2. 6大粒子：當(dāng)量直徑大于 5師 的粒子2. 2. 7纖維:長(zhǎng)寬比等于或大于 10的粒子。2.3 描

8、述符2. 3. 1 U描述符：測(cè)得或規(guī)定的粒子濃度，即含超微粒子的濃度以pc/m3空氣計(jì).注 U描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限（或置信上限，取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目）不能用U描述符來(lái)定義且懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級(jí)一起引用。2. 3. 2M描述符：測(cè)得或規(guī)定的每 m3空氣中大粒子的濃度，以作為所用測(cè)試方法特性的當(dāng)量直徑來(lái)表示。注 M描述符可認(rèn)為是采樣點(diǎn)平均值的上限（或置信上限，取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點(diǎn)數(shù)目）不能用M描述符來(lái)定義懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但可以單獨(dú)引用或與懸浮粒子潔凈度等級(jí)一起引用。2.4占用狀態(tài)2. 4. 1空態(tài):設(shè)

9、施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料或人員在場(chǎng)。2. 4. 2靜態(tài):設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并以用戶和供應(yīng)商同意的方式運(yùn)行，但沒(méi)有人員在場(chǎng)。2. 4. 3動(dòng)態(tài):設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場(chǎng)，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作。表1潔凈室及潔凈區(qū)選列的懸浮粒子潔凈度等級(jí)ISO等級(jí)序數(shù)（N）大于或等于表中被考慮的粒徑的最大濃度限值 （pc/m3空氣濃度限值按3.2中的公式計(jì)算）0.1師0.2師0.3師0.5師1師5師ISO Class 1102ISO Class 210024104ISO Class 31 000237102358ISO Class 410 0002

10、3701 02035283ISO Class 5100 00023 70010 2003 52083229ISO Class 61 000000237 000102 00035 2008 320293ISO Class 7352 00083 2002 930ISO Class 83 520 000832 00029 300ISO Class 935 2000008 320 000293 000注：由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性，幫要求用三個(gè)有效的數(shù)據(jù)來(lái)確定濃度等級(jí)水平。2.5 角色2. 5. 1用戶：負(fù)責(zé)規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)的要求的組織或其代理。3. 5. 2供應(yīng)商：被聘用來(lái)滿足規(guī)定的潔凈室或潔凈區(qū)

11、的要求的組織。4. 等級(jí)3. 1占用狀態(tài)：潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)空氣的粒子潔凈度應(yīng)按“空態(tài)”、“靜態(tài)”和“動(dòng)態(tài)”三種占用狀態(tài)中的一種或三種（見(jiàn) 2.4）進(jìn)行定義。注 應(yīng)認(rèn)識(shí)到“空態(tài)”適用于新建成的或新發(fā)行的潔凈室或潔凈區(qū)。對(duì)“空態(tài)”的測(cè)試完成后，即應(yīng)進(jìn)一步測(cè)試“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”或兩種狀態(tài)。3. 2等級(jí)級(jí)別：空氣中懸浮粒子潔凈度以等級(jí)序數(shù)N命名。各種被考慮粒徑 D的粒子Cn的最大允許濃度用下述公式確定:式中，Cn 一大于或等于被考慮粒徑的粒子最大允許濃度（ pc/m3空氣）。Cn以有效數(shù)為3 位四舍五入到最靠近的整數(shù)。N ISO等級(jí)級(jí)別，最大不超過(guò) 9。ISO等級(jí)級(jí)別N之間的中間數(shù)可以按 0.1為最小

12、 允許遞增值進(jìn)行規(guī)定。D 一以微米（m）計(jì)的被選粒徑。0.1 為一常數(shù)，表示以微米（科 m）計(jì)的量綱。表1表示的是被選擇的懸浮粒子潔凈度等級(jí)和大于或等于表中所考慮粒徑的粒子之相應(yīng) 濃度限值。圖A.1 （見(jiàn)附錄A）以圖解形式表示出所選的等級(jí)。在有爭(zhēng)議的情況下，從公式（1 ）中得到的濃度Cn應(yīng)作為標(biāo)準(zhǔn)值。3 . 3 命名潔凈室或潔凈區(qū)的懸浮粒子潔凈度的命名應(yīng)包括：a) 等級(jí)級(jí)別，以“ ISO Class N”表示：b) 分組時(shí)的占用狀態(tài)：c) 按分級(jí)公式(1)測(cè)定的被考慮粒徑，各被考慮粒徑的閾值均在0.1 m-5 m的范圍內(nèi)。命名實(shí)例：ISO Class 4：動(dòng)態(tài)：被考慮粒徑： 0.2 m (23

13、70pc/m3 ), 1 m (83pc/m3 ) 測(cè)量濃度的被考慮粒徑應(yīng)得到用戶和供應(yīng)商雙方的同意。如果測(cè)量一個(gè)以上的被考慮粒徑，各較大的粒徑(如D2 )應(yīng)至少為下一個(gè)較小粒徑(如D1 )的 1.5 倍。即：D2 > 1.5 X D14 相符性認(rèn)證4. 1原則:通過(guò)執(zhí)行用戶和供應(yīng)商雙方同意的指定的測(cè)試程序，并提供關(guān)于測(cè)試條件和測(cè) 試結(jié)果的規(guī)定文件，認(rèn)證是否符合用戶規(guī)定的空氣潔凈度( ISO class)要求。4. 2測(cè)試:附錄B中給出了認(rèn)證相符性的基準(zhǔn)測(cè)試方法。也可以規(guī)定其它有類(lèi)似準(zhǔn)確性的 方法，如果沒(méi)有就其它方法作出規(guī)定或達(dá)成一致意見(jiàn)，則應(yīng)該用基準(zhǔn)方法。應(yīng)采用經(jīng)過(guò)校舍準(zhǔn)的食品進(jìn)行相符

14、性認(rèn)證測(cè)試。4. 3懸浮粒子濃度限值：按4.2完成測(cè)試后，按附錄 C中的公式計(jì)算平均粒子濃度和95%置信上限(適用情況下)。按公式(C.1)計(jì)算出的平均粒子濃度不應(yīng)超過(guò)用3.2中公式(1)確定的濃度限值，其被考慮粒很應(yīng)符合3.3 c的規(guī)定。此外，如果采樣點(diǎn)數(shù)目至少為2個(gè)，但不超過(guò)9個(gè)，則按C.3計(jì)算的95%置信上限不應(yīng)超過(guò)上面確定的濃度限值。注附錄D中給出等級(jí)計(jì)算的工作實(shí)例。對(duì)于各種被考慮粒徑應(yīng)用相同方法來(lái)測(cè)定，用于認(rèn)證等級(jí)粒子濃度限值具有一致性。4. 4 測(cè)試報(bào)告各潔凈室或潔凈區(qū)的測(cè)試結(jié)果均應(yīng)記錄，應(yīng)以綜合報(bào)告形式提交，并說(shuō)明 是否符合規(guī)定的是浮粒子潔凈度命名等級(jí)。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下述各項(xiàng)內(nèi)容

15、：a) 測(cè)試組織的名稱、地址和進(jìn)行測(cè)試的日期；b) ISO 14644本部分的出版編號(hào)和年代，即 ISO 14644-1 :當(dāng)前版日期；c) 明確標(biāo)明被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的實(shí)際位置(必要時(shí)包括臨近的參照區(qū))及所有采樣點(diǎn)坐標(biāo)的具體標(biāo)注；d) 規(guī)定的對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)命名準(zhǔn)則，包括 ISO等級(jí)、相關(guān)的占用狀態(tài)和被考慮粒 徑；e) 測(cè)試方法的詳細(xì)說(shuō)明，包括與測(cè)試有關(guān)的或偏離測(cè)試方法的特殊條件，及測(cè)試食品合格證和最近的標(biāo)定證書(shū)；f) 測(cè)試結(jié)果，含各采樣點(diǎn)坐標(biāo)的粒子濃度數(shù)據(jù)。注 如果超微粒子或大粒子的濃度已經(jīng)按附錄E的說(shuō)明進(jìn)行了量化，適當(dāng)?shù)馁Y料應(yīng)包含在測(cè)試報(bào)告中。附錄A（資料）表1中等級(jí)的圖解形式【匕正正且

16、一品。-U 、匚 £HJ=U霞：aje心仁七一trECI 如 LUcq-1-4c尸 io Ford產(chǎn)N 8F 6- & < i ? 1 o o o o o o o o o 111 1 1 1 T 1 1Pnrticlo size, Dr in pmpc/m 3 空氣）。Cn表示大于和等于被考慮粒徑的懸浮粒子最大允許濃度（ 注2 N表示規(guī)定的ISO等級(jí)級(jí)別。圖A.1為圖解形式說(shuō)明表1中的空氣潔凈度等級(jí)，僅供演示用。表 1中的ISO待批等 級(jí)在此用線條表示出該等級(jí)的被考慮閾值粒徑的濃度限值，其依據(jù)是用3.2中公式（1）進(jìn)行的計(jì)算。由于線條表示的僅是近似的等級(jí)限值，因此不得用

17、于定義限值。 限值只能按照公式（1）確定。圖示的等級(jí)線不可外推超過(guò)實(shí)心圓符號(hào)。實(shí)心圓符號(hào)是所示各ISO等級(jí)認(rèn)可的最大和最小粒徑限值。等級(jí)線不代表在潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)呈現(xiàn)的實(shí)際粒徑分布。附錄B（標(biāo)準(zhǔn)部分）采用離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器確定微粒潔凈度的等級(jí)B. 1 原理使用離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器確定在指定的采樣點(diǎn)上大于或等于規(guī)定粒徑的懸浮 粒子的濃度。B. 2 儀器要求B. 2. 1粒子計(jì)數(shù)儀離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）是一種光散射裝置，具有顯示或記錄空氣中離散粒子的數(shù)目 和粒徑的能力和粒徑鑒別能力，可檢測(cè)到被測(cè)級(jí)別之適當(dāng)粒徑范圍內(nèi)的總粒子濃度，以及適當(dāng)?shù)牟蓸酉到y(tǒng)。B. 2. 2 儀器標(biāo)定儀器應(yīng)該有有效

18、的標(biāo)定證書(shū)；標(biāo)定的頻率和方法應(yīng)按現(xiàn)行公認(rèn)的規(guī)定執(zhí)行。B. 3 預(yù)測(cè)試條件B. 3. 1 測(cè)試準(zhǔn)備測(cè)試前，應(yīng)按照技術(shù)性能要求認(rèn)證潔凈室或潔凈區(qū)作為一個(gè)運(yùn)行的整體，是完整的、 功能是正常的。預(yù)測(cè)試工作一般包括：a）空氣流量或流速測(cè)試；b）空氣壓差測(cè)試；c）圍護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測(cè)試；d）裝好的過(guò)濾器泄漏測(cè)試。B. 3. 2 預(yù)測(cè)試設(shè)備配置按照制造廠的說(shuō)明書(shū)進(jìn)行設(shè)備配置和儀器的預(yù)測(cè)試標(biāo)定。B. 4 采樣B. 4. 1 確定采樣點(diǎn)位置B. 4. 1. 1按公式（B.1）求出最少的采樣點(diǎn)數(shù)目：凡:6（B.1 ）式中,Nl 一最少采樣點(diǎn)數(shù)（四舍五入為整數(shù)）。A 潔凈室或潔凈區(qū)的面積，以 花計(jì)。注 在水平單向?qū)恿鲿r(shí)，

19、面積 A可以看作是與氣流方向呈垂直流動(dòng)的空氣的截面積。B. 4. 1. 2 要保證采樣點(diǎn)均勻分布于整個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)，并位于工作活動(dòng)的高度。如果用戶規(guī)定增加采樣點(diǎn)，其數(shù)目和位置也應(yīng)作出規(guī)定。注增加的采樣點(diǎn)可認(rèn)為是風(fēng)險(xiǎn)分析的關(guān)鍵。B. 4. 2確定各采樣點(diǎn)的每次采樣量B. 4. 2. 1指定的ISO等級(jí)如最大被考慮粒徑的粒子濃度的限值時(shí)，在每個(gè)采樣點(diǎn)要采集足夠的空氣量，保證能檢測(cè)出至少20個(gè)粒子。每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量 VS用下式確定：1 000(B.2)VS每個(gè)采樣點(diǎn)每次最少采樣量，用升表示（B. 4. 2. 2中的情況除外）cCn, m 為相關(guān)等級(jí)規(guī)定的最大被考慮粒徑之等級(jí)限值（ pc/m

20、3空氣）。20當(dāng)粒子濃度處于該等級(jí)限值時(shí)，可被檢測(cè)到的粒子數(shù)。注：VS值很大時(shí)，需要的采樣時(shí)間可能會(huì)很長(zhǎng)。利用順序采樣程序（見(jiàn)附錄F）既可以減少要求的采樣量，又減少采樣需要的時(shí)間。B. 4. 2. 2 每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2升，采樣時(shí)間最少為 1分鐘。B. 4 . 3 采樣程序B. 4. 3. 1按照廠家說(shuō)明書(shū)和儀表標(biāo)定證書(shū)，調(diào)定粒子計(jì)數(shù)器（B.2.1 ）B. 4. 3. 2采樣探頭的位置應(yīng)插入空氣流。若被采樣的氣質(zhì)方向是未受控的或不可預(yù)計(jì)的 （如非單向流），采樣控頭的入口應(yīng)垂直指向上方。B. 4. 3. 3每個(gè)采樣點(diǎn)，按 B.4.2確定的最小采樣量采樣。B. 4. 3. 4當(dāng)只要求一個(gè)采

21、樣點(diǎn)時(shí)（B.4.1）,則在該點(diǎn)最少進(jìn)行三次采樣（B.4.2）。B. 5 結(jié)果記錄B. 5. 1各采樣點(diǎn)的粒子平均濃度B. 5. 1 . 1把每次采樣測(cè)量的結(jié)果與空氣潔凈度等級(jí)相關(guān)的各個(gè)被考慮粒徑的濃度（3.3）記錄下來(lái)。注 在進(jìn)行95%置信上限的計(jì)算之前，應(yīng) B.6.1的要求。B. 5. 1 . 2當(dāng)只用一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，計(jì)算并記錄各被考慮料徑的采樣數(shù)據(jù)平均值（B. 4.3. 4）。B. 5. 1. 3當(dāng)在一個(gè)采樣點(diǎn)上采集 2次以上采樣時(shí)，按照 C.2中給定的程序，從每次采樣 粒子濃度（B. 5. 1. 1）計(jì)算各采樣點(diǎn)被考慮粒徑的平均粒子濃度，并記錄下結(jié)果。B. 5. 2 計(jì)算95%置信上限（U

22、CL）的要求B. 5. 2. 1當(dāng)采樣的點(diǎn)多于1個(gè)，少于10個(gè)時(shí)，按照C.3中給定的程序，從所有各點(diǎn) 的平均粒子濃度（B. 5. 1 ）計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差和 95%置信上限。B. 5. 2. 2在采樣點(diǎn)只有1個(gè)，或多于9個(gè)時(shí)，不用計(jì)算95%置信上限。B. 6 整理B. 6. 1 分級(jí)要求如果在各采樣點(diǎn)測(cè)得的粒子濃度平均值及按照B. 5. 2計(jì)算的95%置信上限未超過(guò)按3.2中公式（1）確定的濃度限值，該潔凈室或潔凈區(qū)即被認(rèn)為是達(dá)到了規(guī)定的空氣潔凈度 級(jí)別。如果測(cè)試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度級(jí)別，可增加均勻分布的采樣點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。再次計(jì)算的結(jié)果，包括增加的采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)，判斷確立潔凈度等級(jí)。B.

23、 6. 2 界外值的處理95%置信上限（UCL）計(jì)算結(jié)果可能沒(méi)能滿足規(guī)定的ISO等級(jí)。如果是因?yàn)椋ǔ绦蛏系恼`差或設(shè)備功能不良造成的）測(cè)量差錯(cuò)或（由于空氣異常的潔凈而導(dǎo)致）異常低的粒子濃度，而產(chǎn)生單個(gè)的、非隨機(jī)性的“界外值”，在符合下述條件的情況下，可以把該界外值排除不計(jì)：a）包括所有其余采樣點(diǎn)的計(jì)算是重復(fù)進(jìn)行的；b）計(jì)算中至少保留有 3次測(cè)量值；c）計(jì)算中至多只有1個(gè)測(cè)量值排除在外；d）有誤差的測(cè)量或粒子濃度低的推測(cè)原因由用戶和供應(yīng)商認(rèn)可，并以文件記錄下來(lái)。 注 在采樣點(diǎn)，粒子濃度值的較大差異可能是合理的，甚至是有意造成的， 這取決于待測(cè)潔凈設(shè)施的應(yīng)用性質(zhì)。附錄C（標(biāo)準(zhǔn)部分）粒子濃度數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)

24、處理C. 1 通則:統(tǒng)計(jì)分析只考慮隨機(jī)誤差（缺乏精度），不考慮非隨機(jī)誤差（如，與誤差標(biāo)定有關(guān)的偏差）。_C. 2計(jì)算某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度（。）的算法當(dāng)在一個(gè)采樣點(diǎn)進(jìn)行多次采樣時(shí)，應(yīng)該用公式（C.1）來(lái)確定該點(diǎn)的平均粒子濃度。平均粒子濃度的計(jì)算應(yīng)該在采樣次數(shù)為2次以上的各個(gè)采樣點(diǎn)進(jìn)行。(C1)式中，露一一采樣點(diǎn)i （代表任何位置）的平均粒子濃度Xi, 1至Xi, n每次采樣的粒子濃度n在采樣點(diǎn)i的采樣次數(shù)C. 3 計(jì)算95%置信上限的算法C. 3. 1 通則，本方法只適用于采樣點(diǎn)為1個(gè)以上，10個(gè)以下的情況。在這種情況下,應(yīng)該使用公式（C. 1）的算法和本方法。C. 3. 2 平均值的總均值

25、（?）用公式（C. 2）確定平均值的總（綜合）平均值(C.2)式中，工一一采樣點(diǎn)平均值的總均值工，至“而一一用公式（C. 1）得出的各個(gè)采樣點(diǎn)的平均值m 一采樣點(diǎn)的總數(shù)無(wú)論任何一個(gè)給定的采樣點(diǎn)的樣品數(shù)是多少，所胡單個(gè)采樣點(diǎn)的平均值都等量加權(quán)。C. 3. 3 采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（S）用公式（C. 3）確定采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。（C.3）式中，S 采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差C. 3. 4 總均值的95%置信上限（UCL）用公式（C.4）確定總均值的95%置信上限95% UCL =* ,心(C.4)式中,to.95 表示具有 m-1的自由度分布的95%分布（分布點(diǎn)）。表C.1中給出了 95%置信上

26、限（UCL）的研究t分布系數(shù)（to.95）。另外，統(tǒng)計(jì)計(jì)算機(jī) 程序中的學(xué)生t分布也是合格的。表C.1 95%置信上限（UCL ）的研究t的分布系數(shù)各個(gè)平均值的采樣點(diǎn)數(shù)(m)234567-9t6.32.92.42.12.01.9附錄D（資料部分） 等級(jí)計(jì)算的應(yīng)用實(shí)例D. 1 例 1D. 1. 1被測(cè)的潔凈室面積（A）為80m2。需要確定其在動(dòng)態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮規(guī)定 的懸浮粒子潔凈度等級(jí)。該潔凈室規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)為ISO Class 5 （5級(jí)）。D. 1 . 2規(guī)定了 2個(gè)被考慮粒徑：0.3師（D1）和0.5（D2） 師a）2個(gè)粒徑都在ISO Class 5的粒徑范圍之內(nèi)，（見(jiàn)3.3c和

27、表1） :0.1 m <0.3 m,0.5 m < 5（imb）被考慮的二個(gè)粒徑是否符合粒徑比要求，D2 A1.5 X D1 （見(jiàn)3.3c） :0.5師（1.5 X 0.3師=0.45 師），是符合的。D. 1 . 3按照公式（1 ）計(jì)算最大允許懸浮粒子濃度R.3 師（D1）的粒子Cl'deus,（D.1）四舍五入為10200pc/m3R.5師（D2）的粒子(D.2)四舍五入為3520 pc/m3D. 1 . 4 采樣點(diǎn)數(shù)按公式（B.1）計(jì)算（見(jiàn)B.4.1.1 ）Ml - M - 380 - 3r94 (rounded to 9)(D.3)因此，最少采樣點(diǎn)數(shù)為 9個(gè)。由于采

28、樣點(diǎn)數(shù)少于 10,按附錄C計(jì)算95%置信上限是適 用的。標(biāo)準(zhǔn)D. 1 . 5:單次采樣量 Vs以升計(jì)，按公式（B.2）計(jì)算（見(jiàn)B.4.2.1 ）205547x I （1）0（D.4）=5鄭） litres結(jié)果大于2L,選擇的采樣量為28L/min的采樣儀器（離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器通用的流 量）這一選擇的依據(jù)是:a） Vs 2L（見(jiàn) B4.2.2）b） Cn.m 20pc/m3（見(jiàn) B.4.2.1）c）采樣時(shí)間1分鐘（見(jiàn)B.4.2.2）D. 1 . 6在各采樣點(diǎn)，只取一次采樣量（28升）（B.4.2.1 ）。5.1.1 ）。采樣點(diǎn)粒子數(shù)（ 0.3 m）1245218535945678D. 1

29、. 7 按原始數(shù)據(jù)（D .采樣點(diǎn)1234567891061641962262241951 . 6）計(jì)算粒子 pc/m3 , XiXi R.3 師875066072107378658577000807180006964測(cè)量中得到的計(jì)數(shù)記錄如下（B粒子數(shù)（ 0.5師）2124072225233719Xi >0.5 刈750857025078689382113216790.3師和0.5師計(jì)算出的濃度值均低于 D. 1. 3中確定的限值，滿足了等級(jí)的第一 部分（B. 6.1）要求，因此可以按附錄 C進(jìn)彳T 95%的置信上限的計(jì)算。 D. 1 . 8按公式（C. 1）計(jì)算平均濃度（見(jiàn) C. 2）是

30、不適用的，因?yàn)椴杉牧渴菃未尾蓸恿? 代表各個(gè)點(diǎn)的平均粒子濃度。平均值的總均值要按公式（C. 2）計(jì)算（見(jiàn)C. 3.2）。R.3 m的粒子：750 4 6 607 + 2 107 + 3 706 1=-+5 857 + 7 000 + 8 071 + 8 000936 964)=E X 57 142=6 349,1 round ed to 6 349 parti cl es/m:- (D.5)四舍五入為6349 pc/m3R.5 m的粒子：1 j750 T 857 + 0 + 250 4 786、 式4893 4 821+1 321 + 679 ；=-x 6 357g(D.6)C.3.3 )。

31、=706,3 rounded to 706 particles/m3四舍五入為706 pc/m3D. 1 . 9 按公式（C.3）計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差（見(jiàn)R.3 pm的粒子：(8 750-6 349)2 . (6 607- 6 349/r (2 107- 6(3736-6349尸,(5 857- 6 349產(chǎn)，(7 OOfr 6 349J2 ,(8 071- 6 349產(chǎn)，(8 00B 5 349J2 ,(6 93 6 349產(chǎn)(D.7)=-x 3713co73=4 641 259r1四舍五入為4641259s = 74'&41'259(D.8)=21544四舍五

32、入為 2154 pc/m3R.5 m的粒子:(75。-706產(chǎn) t (857- 7C6)27仍已 05。706產(chǎn) r(7&6- 706廣(89* 706)2 ,(321- 706汽(1 324 706產(chǎn) "679- 705y=J x 1 164 657=145 502,1四舍五入為145582s = V145'582=381 £四舍五入為 382pc/m3D. 1. 10按公式(C.4)計(jì)算95%置信上限(UCL)(見(jiàn)C.3.4) 取自表C.1中的分布系數(shù)=1.9。/ 2154195% UCL (>0d3 gm) = 6 349 + 1田 =7 71

33、32. 3ounde。to 7 713 pa rticles/m(D.9)(D.10 ).單個(gè)平均值采樣點(diǎn)數(shù) m=9,(D.11)四舍五入為 7713pc/m3/ 382 95%UCL(>as5ni) = 706 +-947,9 rounded io 948 particles/ma (D.12) 四舍五入為 948pc/m3D. 1. 11按B.6.1對(duì)結(jié)果進(jìn)行整理。在 D.1.7中各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等級(jí) 限值。在D.1.10中，計(jì)算出的95%置信上限值同樣低于在 D.1.3中規(guī)定的等級(jí)限值。 因此，該潔凈室的懸浮粒子潔凈度符合要求的級(jí)別。D. 2 實(shí)例2D. 2. 1本

34、示例目的在于證實(shí) 95%UCL的計(jì)算對(duì)結(jié)果的影響。某一潔凈室規(guī)定懸浮粒子潔凈度為 ISO 3級(jí)，動(dòng)態(tài)，采樣點(diǎn)數(shù)定為 5個(gè)。由于采樣點(diǎn) 數(shù)多于1個(gè)，少于10個(gè)，應(yīng)按附錄 C計(jì)算95%置信上限。只考慮一種粒徑(D >0.1 pm )。D. 2 . 2ISO 3級(jí)，粒徑>0.1 m,從表1中取粒子濃度限值：Cn (>0.1 師)=1000 pc/m3D. 2. 3在各采樣點(diǎn)僅單次采樣，按(B.5.1.1 )記錄各點(diǎn)的粒子濃度 Xi pc/m3 ,并記錄如下。采樣點(diǎn)Xi >0.1師19262958393749635214D=0.1 m時(shí)各粒子濃度值小于D.2.2中確定的限值。這

35、個(gè)結(jié)果滿足了等級(jí)的第一部分(B.6.1 ),因此可以按附錄C進(jìn)彳T 95%置信上限的計(jì)算。D. 2. 4平均值的總均值要按公式(C.2)計(jì)算(見(jiàn)C.3.2)。=1尺=耳(926, 958. 937 963 214)-w X 3 996=rounded to &00 particles/m(D.13)D.2 . 5按公式(C.3)計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差(見(jiàn) C.3.3):標(biāo)準(zhǔn)(926 - BOO廣 (9姆文曼00產(chǎn) + (937 - 800)2 + (963 - 800產(chǎn) 4(214 - aoo)2(DU)107 393,5 rounded to 1C7 394=A，'10Z

36、 394 = 327,7rounded to 328 particles/m3(D.15)按公式（C.4）計(jì)算95%置信上限（UCL）（見(jiàn)C.3.4）:單個(gè)平均值 m=5,取自表C.1中的分布系數(shù)t=2.1IB1 108 particle s/m3(D.16)D. 2. 7各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等級(jí)限值（D22）。但是，95%置信上限的計(jì)算表明該潔凈室懸浮粒子潔凈度不符合規(guī)定的級(jí)別。本示例說(shuō)明按95%UCL的計(jì)算結(jié)果，一個(gè)單采樣的界外低粒子濃度（即采樣點(diǎn)5）所造成的影響。由于空氣潔凈度的等級(jí)之不相符性是因采用了95%UCL ,并由一個(gè)單次采樣的低粒子濃度造成，可按照 B.6.2中的程

37、序確定該不相符性是否可以作廢不計(jì)。附錄E（資料部分）對(duì)等級(jí)表粒徑之外的粒子之粒徑和計(jì)數(shù)的考慮E. 1 通則在某些情況下，特別是與具體工藝要求相連的情況下，可以依據(jù)等級(jí)表粒徑范圍之外的粒子群體規(guī)定另外適用的空氣潔凈度級(jí)別。用戶和供應(yīng)商應(yīng)就這類(lèi)粒子的最大允許濃度和選擇驗(yàn)證相符性的測(cè)試方法等問(wèn)題達(dá)成協(xié)議。在E. 2 （U描述符）和E. 3 （M描述符）中給出了關(guān)于測(cè)試方法和規(guī)定的技術(shù)要求形式的考慮。E. 2 小于0.1 m的粒子（超微粒子）的評(píng)價(jià)一一U描述符E. 2. 1 應(yīng)用如果要評(píng)定小于 0.1 m的粒子造成的污染危險(xiǎn)，應(yīng)采用適合于這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和測(cè)量程序。應(yīng)該按照B. 4. 1確定

38、采樣點(diǎn)的數(shù)目，最小采樣量Vs應(yīng)為2L （B.422）E. 2. 2 U描述符的形式U描述符的超微粒子濃度可以單獨(dú)應(yīng)用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充來(lái)應(yīng)用。U描述符用“ U （x;y）”的形式表示，其中，x超微粒子的最大允許濃度（以超微粒子 pc/m3空氣表示）；y以微米計(jì)的粒徑的，用適宜的離散粒子計(jì)數(shù)器對(duì)這種粒子數(shù)計(jì)數(shù)時(shí)，計(jì)數(shù)效率為50%。實(shí)例 如粒徑范圍為皂0.1 m ,最大允許超微粒子的濃度為140000 pc/m3，其標(biāo)識(shí)符為“U（140000 ; 0.1 師）”。注1在IEST-G-CC10021中給出了小于 0.1 m的懸浮粒子濃度測(cè)試方法。注2如果用U描述符作為懸浮粒子潔凈度

39、級(jí)別的補(bǔ)充，超微粒子的濃度（ x）不得小于規(guī) 定的ISO等級(jí)之0.1 m被考慮粒徑適用的粒子濃度限值（ pc/m3 ）。E. 3 大于5 m的粒子（大粒子）的評(píng)價(jià)一一M描述符F. 3. 1 應(yīng)用如果要評(píng)定大于5師 的粒子造成的污染危險(xiǎn)，應(yīng)采用適合于這類(lèi)粒子具體特性的采樣 裝置和測(cè)量程序。懸浮粒子群體中的大粒子主要是在工藝環(huán)境中釋放出的粒子。應(yīng)該根據(jù)具體的應(yīng)用來(lái)確定適用的采樣裝置和測(cè)量程序。 需要考慮的因素有粒子的密度、 形狀、容積和空氣動(dòng)力特性。 還可能需要特殊強(qiáng)調(diào)的在總懸浮粒子中的特殊成份，如纖維。G. 3. 2 M描述符的形式M描述符可以單獨(dú)應(yīng)用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充來(lái)應(yīng)用。

40、M描述符用“M （a; b） ; c”的形式表示，其中，a大粒子的最大允許濃度（以大粒子pc/m3空氣表示）；b的一當(dāng)量直徑（或直徑），與規(guī)定的測(cè)量大粒子的方法相關(guān)（以微米表示）；c的一規(guī)定的測(cè)量方法注1如果采樣的懸浮粒子群體中含有纖維，則可以向M描述符附加一個(gè)單獨(dú)的纖維用描述符，表示形式為 M fiberb; ）:C。例1如果使用測(cè)定粒子空氣動(dòng)力直徑的浮游氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器，粒徑范圍為5 的懸浮粒子的濃度為10000 pc/m3 ,則其標(biāo)識(shí)符為“ M（10000;>5 m）;浮游氣溶膠粒子 計(jì)數(shù)器”。例2如果使用多級(jí)沖擊取樣器，然后再用顯微法測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)，粒徑范圍為10-20 m的懸浮

41、粒子的濃度為 1000 pc/m3 ,則其標(biāo)識(shí)符為“ M（1000;10-20 師）；多級(jí)沖擊 采樣器，然后再用顯微法測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)” 。注2 在IEST-G-CC10032中給出了大于 5師的懸浮粒子濃度的測(cè)試方法。注3如果用M描述符作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充，大粒子的濃度（a）不得大于規(guī)定的ISO等級(jí)之5 dm被考慮粒徑適用的粒子嘗試限值（ pc/m3 ）。附錄F（資料）順序采樣法實(shí)用文案H. 1 背景和局限性I. 1 . 1 背景若采樣的空氣之污染程度顯著大于或小于被考慮粒徑的規(guī)定級(jí)別濃度，采用順序采樣法通?？纱蠓葴p少采樣量和采樣時(shí)間。當(dāng)嘗試接近規(guī)定限值時(shí)，也可實(shí)現(xiàn)一定程度的節(jié)省采樣

42、量和時(shí)間。順序采樣法最適合于空氣潔凈度期望達(dá)到ISO 4級(jí)或更潔凈的環(huán)境。注有關(guān)順序采樣法的進(jìn)一步資料，見(jiàn) IEST-G-CC 10043。 F. 1 . 2局限性(順序采樣法的主要局限性有：)a)此方法僅適用于被考慮粒徑的粒子在規(guī)定等級(jí)或濃度限值時(shí)，每次測(cè)量到20顆粒子的采樣。b ) 每次采樣測(cè)量要求輔助監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)分析，可以用計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)行。c)由于減少了采樣量，粒子濃度的確定不如常規(guī)采樣法精確。F. 2 順序采樣法的依據(jù)此方法基于實(shí)時(shí)累積粒子計(jì)數(shù)與參考計(jì)數(shù)值的對(duì)比。參考數(shù)值由求上下限值的公式得 出：上限值：C=3.96+1.03E(F.1)下限值：C=-3.96+1.03E(F.2)式中，

43、 C為觀察到計(jì)數(shù) E為期望計(jì)數(shù)為了便于比較，在圖F.1圖形的形式，表 F.1以表格的形式提供了參考值。兩種形式均可采用表F.1對(duì)于時(shí)間應(yīng)達(dá)到 C觀察到計(jì)數(shù)值時(shí)的上下限值不合格若觀察到計(jì)數(shù)值C早于期望計(jì)數(shù)值出現(xiàn)合格若觀察到計(jì)數(shù)值C遲于期望計(jì)數(shù)值出現(xiàn)以小數(shù)表示的時(shí)間t觀察到計(jì)數(shù)值以沾上數(shù)表示的時(shí)間t觀察到計(jì)數(shù)值0,001940,192200,050550,240710,099260,289320,147670,337830,196180,386440,244790,434950,2932100,483460,3417110,532070,3902120,580580,4388130,629190,4873140,6676100,5359150,726