柔性非晶硅太陽(yáng)能電池的制備中期答辯

1、柔性非晶硅柔性非晶硅太陽(yáng)能電池的制備太陽(yáng)能電池的制備材科1001 臧冬冬指導(dǎo)教師：馮曉東目錄目錄v 背景意義背景意義v 制備方法制備方法v 實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v 結(jié)果與討論結(jié)果與討論v 下階段實(shí)驗(yàn)內(nèi)容下階段實(shí)驗(yàn)內(nèi)容背景意義背景意義v 非晶硅太陽(yáng)能電池在室內(nèi)弱光下也能發(fā)電，已被廣泛用于非晶硅太陽(yáng)能電池在室內(nèi)弱光下也能發(fā)電，已被廣泛用于鐘表，顯示牌等不直接接受光照的場(chǎng)合下鐘表，顯示牌等不直接接受光照的場(chǎng)合下非晶硅熒光燈非晶硅電子表制備方法制備方法研究分析挑選合適的柔性襯底材料研究分析襯底材料的性能，制定相應(yīng)的電池器件結(jié)構(gòu)在襯底材料上制備鋁底電極，優(yōu)化其工藝參數(shù) 分別研究各層非晶硅薄膜的制備工藝磁控濺

2、射鍍膜機(jī)鍍ITO薄膜，為電池前電極基于上述步驟，制備完整電池樣品，測(cè)試其性能。TCO（ITO）P層層I層層N層層ZnOAl電極電極不銹鋼襯底不銹鋼襯底實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v 清洗不銹鋼基板清洗不銹鋼基板實(shí)驗(yàn)室所用超聲波清洗器無(wú)水乙醇去離子水無(wú)水乙醇實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v 鍍鍍Al/ZnO背電極背電極磁控濺射鍍膜機(jī)放樣品抽真空通氬氣鍍膜實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v PIN層的制備層的制備PEVCD實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v PIN層的制備層的制備 RF-PECVD真空腔室結(jié)構(gòu)圖 RF-PECVD泵與閥門(mén)A機(jī)械泵，B分子泵1、3電磁閥，2旁抽閥，4插板閥，5氣體注入總閥，6大氣注入閥實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v PIN層的制備層的制

3、備實(shí)驗(yàn)所用氣體實(shí)驗(yàn)所用氣體 鍍N層：PH3摻雜鍍I層：H2，SiH4鍍P層：BF3摻雜反應(yīng)氣體：H2，SiH4實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v 鍍鍍ITO前電極前電極 放樣品抽真空通氬氣，氧氣加射頻電源鍍膜實(shí)驗(yàn)所用氬氣，氧氣實(shí)驗(yàn)部分實(shí)驗(yàn)部分v 沉積參數(shù)沉積參數(shù)序號(hào)序號(hào)流程流程氣體氣體流量流量(s)壓力（壓力（pa)時(shí)間（時(shí)間（s)功率（功率（w)溫度（度）溫度（度）1Al電極Ar183.810-11200402002ZnOAr183.810-11200402003N1層PH30.615012030300H280SIH4124I1層H280150180030200SIH4125H2輝光H28015060302

4、006P1層H21201006030200SIH412BF32.47I T O 高阻層Ar183.810-112020200O223.810-1120202008ITO層Ar183.810-12400202009空 氣 破真空測(cè)試測(cè)試部分部分v 太陽(yáng)光模擬器太陽(yáng)光模擬器測(cè)試電池開(kāi)路電壓，短路電流，電流密度，電池效率，填充因子等各項(xiàng)參數(shù)太陽(yáng)光模擬器結(jié)果與討論結(jié)果與討論v 結(jié)果結(jié)果電池IV曲線(xiàn)圖器件面55mm2結(jié)果與討論結(jié)果與討論v 電池各項(xiàng)參數(shù)電池各項(xiàng)參數(shù)Voc VIsc（A）Fill FactorEfficiency*100%R at VocR at Isc 0.374926250.00127

5、56931.68900.87180.448007462.893 分析：電池各項(xiàng)參數(shù)偏低，特別是短路電流?？紤]為PECVD所鍍的非晶硅薄膜質(zhì)量差，缺陷多的原因。下階段實(shí)驗(yàn)內(nèi)容下階段實(shí)驗(yàn)內(nèi)容v 經(jīng)過(guò)上一階段試驗(yàn)，我們了解了柔性非晶硅太陽(yáng)能電池的經(jīng)過(guò)上一階段試驗(yàn)，我們了解了柔性非晶硅太陽(yáng)能電池的制備方法，能夠通過(guò)實(shí)驗(yàn)設(shè)備制備出太陽(yáng)能電池的樣品制備方法，能夠通過(guò)實(shí)驗(yàn)設(shè)備制備出太陽(yáng)能電池的樣品v 由于制備出的太陽(yáng)能電池各項(xiàng)參數(shù)偏低，所以在下一階段由于制備出的太陽(yáng)能電池各項(xiàng)參數(shù)偏低，所以在下一階段實(shí)驗(yàn)中，我們將實(shí)驗(yàn)中，我們將著重著重通過(guò)規(guī)范操作步驟，優(yōu)化工藝參數(shù)，通過(guò)規(guī)范操作步驟，優(yōu)化工藝參數(shù)，制備出各項(xiàng)參數(shù)較理想的電池樣品。制備出各項(xiàng)參數(shù)較理想的電池樣品。謝謝欣賞謝謝欣賞基板清洗