金屬密封氣缸摩擦特性及低速摩擦研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

1、金屬密封氣缸摩擦特性及低速摩擦研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢摘 要氣缸簡單的說就是引導活塞在其中進行直線往復運動的圓筒形技術機件，它具有制造成本低、穩(wěn)定性高以及燃料消耗少等優(yōu)勢，其種類包括：單作用氣缸、雙作用氣缸以及膜片式氣缸和沖擊式氣缸，其中，單作用式氣缸是僅一端有活塞桿，從活塞兩側生產(chǎn)氣壓，氣壓推動活塞產(chǎn)生推力伸出，考彈簧或自重返回；而雙作用氣缸主要就是用膜片代替活塞，只在一個方向輸出力，用彈簧復位，它的密封性能好，但行程短；而沖擊氣缸主要就是一種新型的元件，它能夠吧壓縮氣體的壓力轉換為活塞高速運動的動能，進而引起活塞運動。近年來，各種大型工業(yè)的高速發(fā)展，特別是在半導體、瓷器以及玻璃等行業(yè)中，機械零件

2、的加工和磨削，需要非常慢的低速驅動，這也就是要求氣動執(zhí)行元件氣缸等保持低速摩擦1。新型金屬密封氣缸采用間隙密封原理,大大減小了氣缸的摩擦力。對于這種新型氣缸目前還沒有對其摩擦力進行研究,因此需要對摩擦力進行測試,從而獲得摩擦力特性的基本數(shù)據(jù),為實際工程應用提供技術參考。另外,由于摩擦力特性的改善,研究采用金屬密封氣缸組成的位置伺服系統(tǒng),對提高氣動伺服系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性有著重要意義2。關鍵詞：氣缸；氣動技術；低速摩擦；金屬密封氣缸；摩擦力測量1 緒論摩擦力是氣動伺服系統(tǒng)難以獲得滿意的穩(wěn)態(tài)位置精度的影響因素之一,由于摩擦力的存在,系統(tǒng)易出現(xiàn)爬行運動一。目前氣缸所采用的密封大致分為兩類：動密封和靜密

3、封。缸筒和缸蓋等固定部分所需的密封稱為靜密封,而活塞在缸筒里作往復運動及旋轉所需的密封稱為動密封。流體的動密封主要分成接觸式、非接觸式、組合式和封閉式等四大類。氣缸的摩擦力就是由動密封產(chǎn)生的,目前在氣缸密封技術方面普遍采用的是接觸式密封,如形圈和唇形圈等橡膠彈性密封圈。這種密封方式使得氣缸在運動時,活塞和氣缸壁之間不可避免地會產(chǎn)生較大的摩擦力。間隙密封屬于非接觸密封的一種,又叫硬質密封,是指依靠密封零件之間的配合間隙來保證相鄰通道的密封,間隙密封對零件的配合尺寸和制造精度要求高,對材質的要求高。它的原理是當流體流經(jīng)間隙很小的流道時會產(chǎn)生一個較大的氣阻,從而以保證很小的泄漏損失來達到密封的目的,

4、因此也被稱為“流動密封”3,應用非接觸間隙密封最突出的優(yōu)點是摩擦損耗小。新型金屬密封氣缸正是利用了這樣的密封原理,因此可以從根本上減小氣缸摩擦力的產(chǎn)生,提高氣缸的運動性能。由于爬行現(xiàn)象4嚴重影響了氣缸運動平穩(wěn)性，實際使用過程中，在滿足氣缸低速運動的前提下，常常將氣缸平穩(wěn)運動的最小運行速度設定得較高，從而保證氣缸一定不會出現(xiàn)爬行。而實際上，當氣缸在這個設定的最小運行速度之下的速度范圍內(nèi)工作時，也有可能達到平穩(wěn)運動狀態(tài)。也就是說，設定的保證氣缸不出現(xiàn)爬行的工作范圍比氣缸實際的正常工作范圍小。因此可以說，由于低速爬行現(xiàn)象的存在，縮小了氣缸的正常工作范圍。要消除氣缸低速運動過程中的爬行現(xiàn)象是不可能的，

5、我們只能在了解其規(guī)律的基礎上，順應它意即；通過設定合適的工作參數(shù)，使氣缸在一定工作范圍內(nèi)避免出現(xiàn)爬行，從而保證氣缸在正常工作范圍內(nèi)平穩(wěn)運動然而，影響氣缸運動狀態(tài)的因素很多，如氣缸結構、氣缸所用密封圈和潤滑脂的種類、使用壓力、負載質量、溫度等。工況條件變化，氣缸的運動狀態(tài)會隨之發(fā)生變化。那么，到底在怎樣的工況條件下氣缸不出現(xiàn)爬行，如何事先預測爬行出現(xiàn)從而避開爬行區(qū)，確定氣缸正常工作范圍，這是氣缸設計和使用過程中一個國內(nèi)外長期尚未解決的問題。目前在氣缸低速爬行研究中，大都是采用試驗嘗試法，即首先通過大量的試驗實測出某一具體型號氣缸低速平穩(wěn)運動的最低無爬行速度(即出現(xiàn)爬行的臨界平均速度)，然后通過調

6、整使用壓力等工作參數(shù)使氣缸的運行速度高于最低無爬行速度，從而達到氣缸平穩(wěn)運動的使用要求。該方法既耗時又費力，并且，由于氣缸爬行與負載、環(huán)境溫度等因素有關，當負載或環(huán)境溫度發(fā)生變化時，即便氣缸運動速度高于最低無爬行速度，也有可能出現(xiàn)爬行現(xiàn)象也就是說，僅依據(jù)最低無爬行速度不能保證氣缸在任一工況參數(shù)下都不會出現(xiàn)爬行。由此可見，如何正確分析各個因素對氣缸低速爬行的影響程度，找出正確判定氣缸是否出現(xiàn)爬行的方法，采取有效措施避免爬行現(xiàn)象仍然是氣缸低速運動研究和應用中的一個難點因此，需要一種判定方法，在設計系統(tǒng)時通過氣缸結構參數(shù)和驅動條件就能夠事先預測氣缸是否會出現(xiàn)爬行如果能夠得到包含使用壓力、運動速度、負

7、載等多個工況參數(shù)的氣缸爬行判定式，將對氣動系統(tǒng)工作參數(shù)的合理選擇，避免爬行現(xiàn)象具有重要的參考價值；另一方面，對于元件的優(yōu)化設計，擴大氣缸正常工作范圍具有重要的指導意義。2 金屬密封氣缸簡介氣缸性能5受多方面因素的影響,其中氣缸的密封性能及摩擦力是影響氣缸性能的重要因素。氣缸密封在起到防止氣體泄漏作用的同時,直接影響了氣缸摩擦力的大小。氣缸密封目前廣泛采用的是彈性密封圈密封。在這種密封形式下,低的空氣泄漏量要求與低的摩擦力要求及長的使用壽命要求是相互抵觸的。作用在氣缸上的摩擦力包括靜摩擦力和動摩擦力。靜摩擦力發(fā)生在活塞運動的瞬間,它的大小直接決定氣缸的最低起動壓力。起動后的動摩擦力隨運動速度呈非

8、線性變化規(guī)律,其特性不穩(wěn)定。尤其在低速運動時,由于氣缸摩擦力的影響,氣缸容易出現(xiàn)“爬行”現(xiàn)象,嚴重影響氣缸運動的平穩(wěn)性,給氣缸的精確定位帶來很大的困難。由于摩擦力對氣缸特性的突出影響,如何降低氣缸密封導致的摩擦力,己經(jīng)成為改進氣缸密封的重要研究方向。2.1 傳統(tǒng)低摩擦氣缸與金屬密封低摩擦圖2.1 傳統(tǒng)低摩擦氣缸結構圖圖2.2 金屬間隙密封氣缸的結構圖金屬密封氣缸的特點有（1）摩擦力小,在的低壓力下也可驅動。壽命長,可往復運行億次以上。（2）驅動速度在訂以上低速范圍內(nèi)可實現(xiàn)平穩(wěn)及等速運動。（3）因摩擦力小且穩(wěn)定,可控制左右的輸出力。（4）使用高速高頻型氣缸,能夠實現(xiàn)在而的高速驅動,在短行程的場合

9、,可實現(xiàn)50次/秒的連續(xù)往復驅動。（6）由于采用金屬間隙密封,存在微小的泄露,但在實際運用中并無太大影響。2.2氣缸摩擦力研究現(xiàn)狀一般的摩擦力6的公式為： （2.1）其中，為摩擦力，為工作壓力，為摩擦因素，為氣缸活塞面積。圖2.3 Stribeck摩擦力-速度曲線2.3摩擦力測量圖2.4 摩擦力測量實驗裝置這種實驗方法存在著弊端。兩壓力傳感器裝在氣缸的出氣腔口,由于氣體的流動和可壓縮性的影響,不能真正反應出活塞兩端面處的壓力大小有這種裝置只能測試運動速度大于臨界爬行速度情形下的摩擦力,對于已經(jīng)產(chǎn)生爬行現(xiàn)象的情況下就無能為力了,其測試范圍很是有限,不能對低速運動特性進行實驗研究。所以在本課題當中

10、利用直接測試摩擦力的方法進行測試,利用外界的伺服電機驅動系統(tǒng)來帶動氣缸運動的方法來進行摩擦力的測試。整個實驗臺包括驅動部分、被測部分、連接部分、傳感部分以及數(shù)據(jù)采集部分。圖2.5 摩擦測試實驗臺原理圖整個實驗過程的工作過程為:山伺服電機2、伺服控制器1、減速器3組成的電動伺服驅動系統(tǒng)作為主動件,帶動電動絲桿缸9產(chǎn)生往復運動以及進行速度控制,利用連接部件把絲桿缸和被測試氣缸連接起來,在絲桿缸和被測氣缸之間裝上拉壓力傳感器4來測試摩擦力的大小。整個實驗臺的連接剛性很大,電動驅動系統(tǒng)能提供非常低速的驅動,所以能夠測試低速時候的摩擦力大小。只要改變伺服電機的驅動速度,就可以測試不同速度下氣缸的摩擦力大

11、小。而且測試實驗臺已經(jīng)標準化,可以對各種型號的氣缸進行摩擦力測試實驗。3 氣缸低速爬行氣缸在低速運動時，由于氣缸摩擦阻力和氣體可壓縮性的影響，常常會出現(xiàn)時走時?；驎r快時慢的交替運動，這種速度不均勻的斷續(xù)現(xiàn)象稱為“爬行”。要消除氣缸低速運動過程中的爬行現(xiàn)象是不可能的，我們只能在了解其規(guī)律的基礎上，順應它意即；通過設定合適的工作參數(shù)，使氣缸在一定工作范圍內(nèi)避免出現(xiàn)爬行，從而保證氣缸在正常工作范圍內(nèi)平穩(wěn)運動然而，影響氣缸運動狀態(tài)的因素很多，如氣缸結構、氣缸所用密封圈和潤滑脂的種類、使用壓力、負載質量、溫度等。工況條件變化，氣缸的運動狀態(tài)會隨之發(fā)生變化。那么，到底在怎樣的工況條件下氣缸不出現(xiàn)爬行，如何

12、事先預測爬行出現(xiàn)從而避開爬行區(qū)，確定氣缸正常工作范圍，這是氣缸設計和使用過程中一個國內(nèi)外長期尚未解決的問題。3.1爬行概述摩擦是在正壓力作用下，相互接觸的兩個物體受切向外力的影響而發(fā)生相對滑動，或有相對滑動的趨勢時，在接觸表面上產(chǎn)生抵抗滑動的阻力的一種自然現(xiàn)象。摩擦產(chǎn)生在兩個物體的接觸面上，不管物體的表面研磨得多么光滑，從微觀來看，其表面仍然是凹凸不平的。圖3.1 兩物體接觸表面兩物體表面接觸實際上僅僅是極少數(shù)的幾個尖峰相接觸，這些接觸點之和稱為實際接觸面積，由于實際接觸面積很小，使得單位面積上的壓力非常大，接觸點將產(chǎn)生塑性變形，以致接觸點發(fā)生粘著。當兩物體發(fā)生相對運動時，粘著點被剪斷，剪斷所

13、需的力，就是摩擦力。3.2粘著摩擦理論粘著摩擦理論是由Bowden和Tabor等人提出的該理論可歸納為以下三個基本要點：a) 摩擦表面處于塑性接觸狀態(tài)由于實際接觸面積只占表觀接觸面積的很小部分，在載荷作用下峰點接觸處的應力達到受壓的屈服極限而產(chǎn)生塑性變形。此后，接觸點的應力不再改變，只能依靠擴大接觸面積來承受繼續(xù)增加的載荷。b) 滑動摩擦是粘著與滑動交替發(fā)生的躍動過程。由于接觸點的金屬處于塑性流動狀態(tài)，在摩擦中接觸點還可能產(chǎn)生瞬時高溫，因而使得兩金屬產(chǎn)生粘著，粘著結點具有很強的粘著力。隨后在摩擦力作用下，粘著結點被剪切而產(chǎn)生滑動。這樣，滑動摩擦就是粘著結點的形成和剪切交替發(fā)生的過程。c) 摩擦

14、力是粘著效應和犁溝效應產(chǎn)生阻力的總和。粘著理論認為，除了粘著部分外，摩擦力還包括變形的部分(即摩擦時表面上的硬質凸起壓入對方表面并劃出溝槽所需要的力)，它在磨損過程中起重要作用。當摩擦力的粘著部分很小時(如表面潤滑狀況良好、界面上薄膜的強度很低時)，它也可能占有重要地位。3.3氣缸爬行現(xiàn)象的力學模型根據(jù)粘著摩擦理論可以得出，爬行現(xiàn)象的實質是當一物體在滑動面上做低速相對運動時，在移動條件下產(chǎn)生的停止與滑動相交替的現(xiàn)象，是由于摩擦副間的摩擦特性所引起的一種張馳型自激振動，是一種不連續(xù)的振動。描述爬行現(xiàn)象的力學模型如圖3.2所示。圖3.2 爬行現(xiàn)象的力學模型圖3.3 滑塊出現(xiàn)爬行現(xiàn)象時的位移一時間曲

15、線下面以圖3.4所示的單桿雙作用氣缸活塞桿伸出為例分析氣缸爬行現(xiàn)象。圖3.4 單桿雙作用氣缸在圖3.4中，氣源經(jīng)一口向氣缸無桿腔充氣，無桿腔內(nèi)壓力A上升，有桿內(nèi)氣體經(jīng)B口排氣，有桿腔內(nèi)壓力p2下降。氣缸出現(xiàn)爬行現(xiàn)象時的運動過程可分為以下四個階段：(1)初始狀態(tài)，由于氣缸內(nèi)活塞和活塞桿處的靜摩擦力較大，活塞并不運動。(2)當無桿腔內(nèi)壓力上升到使得活塞兩側壓力差所產(chǎn)生的作用力剛好能克服活塞和活塞桿處的靜摩擦力時，活塞開始移動。一旦活塞起動。靜摩擦力降為動摩擦力，因此活塞作加速運動。(3)由于此時無桿腔容積變化增加較大，而供氣流量不足，致使無桿腔中的氣體壓力進一步下降，同時有桿腔中的氣體壓力上升，當

16、活塞兩側壓力差所產(chǎn)生的作用力等于活塞和活塞桿處的摩擦力時，活塞停止加速。(4) 由于慣性，活塞繼續(xù)向前運動，無桿腔中的氣體壓力又進一步下降，當活塞兩側壓力差所產(chǎn)生的作用力小于活塞和活塞桿處的摩擦力時，活塞作減速運動，活塞速度逐漸減小，直至速度為零，活塞運動停止。直到無桿腔內(nèi)壓力再次上升到使得活塞兩側壓力差所產(chǎn)生的作用力能夠克服活塞和活塞桿處的靜摩擦力，活塞重新開始向前運動。這一過程的循環(huán)出現(xiàn)就形成了氣缸的爬行。3.4氣缸爬行現(xiàn)象的影響因素通過分析氣缸的結構和氣壓驅動方式的特點，可以得出爬行現(xiàn)象的產(chǎn)生主要與元件滑動面(活塞密封圈與缸筒和活塞桿密封圈與缸蓋之間)的摩擦力特性(摩擦系數(shù)、接觸面的正壓

17、力)和氣體壓縮性有關因此，影響氣缸爬行的主要因素可歸結為：密封、潤滑、使用壓力、負載、系統(tǒng)的剛性和阻尼、表面粗糙度和表面潔凈度、溫度。以下就這些影響因素作具體說明。(1)密封的影響氣缸所采用的密封大致分為兩類：動密封和靜密封。缸筒和缸蓋等固定部分所需的密封為靜密封，活塞在缸筒里作往復運動及旋轉所需的密封稱為動密封。氣缸的摩擦力是由活塞和活塞桿兩處的動密封產(chǎn)生的?；钊c缸筒間的動密封，除了用O形圈和唇形圈外，也有用W形密封，它是把活塞與橡膠硫化成一體的一種密封結構，w形密封是雙向密封，軸向尺寸小活塞桿的密封一般是在缸蓋的溝槽里放置唇形圈和防塵圈，保證活塞桿往復運動的密封和防塵氣缸的密封按照密封原

18、理可以分為壓縮密封和氣壓密封。依靠安裝時的預壓力使密封圈產(chǎn)生彈性變形來達到密封作用的，如O形圈，稱為壓縮密封；靠工作氣壓使密封圈的唇部變形來達到密封作用的，如Y形密封圈，稱為氣壓密封。O形圈摩擦阻力隨著O形圈的預壓縮量增大而急劇增加，也隨停放時間而增加，而且工作時的始動摩擦力往往比動摩擦力大的多，靜動摩擦力的差距很大，很容易產(chǎn)生爬行。Y形密封圈端面的兩個不等長度的唇邊具有單向密封的作用。Y形圈始動摩擦力小，對密封件的磨損有一定的自補償作用，唇部具有存儲潤滑油的作用，安裝尺寸精度和粗糙度相對于0形圈要求較低。低壓下，0形圈由于面壓較高，摩擦力降落特性顯著而易產(chǎn)生爬行；Y形圈的面壓隨壓力提高而增大

19、，雖然密封效果有所提高，但動靜摩擦阻力之差也變大，內(nèi)壓增加，影響橡膠的彈性；并且由于后緣的接觸應力增大，密封圈套將發(fā)生傾翻及唇線伸長，引起爬行。所以在實際中，除了要考慮密封裝置的結構形狀外，還要注意密封材料的選擇。在眾多的密封材料中耐油的丁氰橡膠在氣動元件中應用最普遍。丁氰橡膠具有良好的彈性、緩沖能力，較高的抗拉強度。(2)潤滑的影響氣缸的相對滑動面潤滑條件的好壞，直接影響氣缸的正常工作。因此，要在相對運動的表面間使用潤滑劑，其目的就是為了降低兩接觸表面間的摩擦，減少或者防止磨損，帶走因摩擦而產(chǎn)生的熱，除去摩擦表面上的污垢和磨損產(chǎn)物，保護表面不受腐蝕。氣缸按潤滑方式可以分為給油氣缸和無給油氣缸

20、，給油氣缸使用的工作介質是含油霧的壓縮空氣，對氣缸內(nèi)活塞，缸筒等相對運動部件進行潤滑無給油氣缸使用的壓縮空氣中不含油霧，是靠裝配前預先添加在密封圈內(nèi)的潤滑脂對氣缸運動進行潤滑的?；钊c缸體、導套與活塞桿等均有相對運動，若沒有很好的潤滑容易產(chǎn)生非正常磨損，使氣缸孔徑軸線的直線性降低，產(chǎn)生局部腰鼓形，這樣活塞在氣缸內(nèi)移動時，摩擦阻力時大時小，導致氣缸產(chǎn)生爬行。(3)使用壓力的影響氣缸在不同的使用壓力下，作用在密封圈與氣缸內(nèi)壁、活塞桿之間的壓力會不一樣，同樣會影響摩擦力的大小一方面隨著壓力的增大，使活塞處的密封圈緊貼氣缸內(nèi)壁，同時也使作用面積增大，另外在邊界潤滑狀態(tài)下，使油膜被擠出，這樣就導致了密封

21、圈處的摩擦力增大。在靜止和運動的狀態(tài)下都是如此，所以隨著壓力的增大氣缸的動靜摩擦力都會增大。另一方面，隨著壓力的增大，卻使氣缸，氣管和閥所組成的系統(tǒng)剛性增加，這樣有利于阻止系統(tǒng)產(chǎn)生爬行。(4)負載的影響摩擦力的大小取決于實際接觸面積的大小，法向壓力的增大會使實際接觸面積增大，但在一般接觸情況下，實際接觸面積并不與法向壓力(外載荷)成正比，它要增加的慢些，因此，對于靜摩擦，在一定的條件下，摩擦系數(shù)會因法向壓力的增加而減小。動摩擦由于會有能量的消耗和表面粗糙度的變化，使得摩擦系數(shù)與法向壓力的關系復雜，但在一定的滑動速度范圍內(nèi)，摩擦系數(shù)也是隨著法向載荷的增加而下降的。氣缸在實際運動中，由于外部負載的

22、影響，外部作用力隨行程發(fā)生變化，這就容易造成氣缸運動過程中摩擦力大小的差異，導致爬行產(chǎn)生。(5)系統(tǒng)剛性和阻尼的影響任何一個運動機構從理論上講，都是一個彈性系統(tǒng)，摩擦副也不例外由氣缸等組成的氣動系統(tǒng)本身就構成了一個彈性系統(tǒng)，使得傳動精度難以保證，當其運動速度低予爬行臨界速度時，就可能產(chǎn)生爬行現(xiàn)象。由于壓縮空氣本身就是一個彈性體，極易受壓力變化的影響，從而大大減弱了系統(tǒng)剛性。(6)表面租糙度和表面潔凈度的影響由于摩擦表面間同時具有分子和機械的作用，表面粗糙度對摩擦力具有一定的影響。當表面光滑平整、粗糙度很小時，由于表面間有很高的分子力作用會有很高的摩擦力；隨著表面粗糙度的增加，實際接觸面積減少，

23、摩擦系數(shù)下降，當表面粗糙度機械增大時，由于粗糙凸起的作用增大而使摩擦力增大4q氣缸缸筒內(nèi)壁的粗糙度如果不能滿足要求，會使活塞密封圈與缸筒之間的摩擦系數(shù)增大，導致氣缸起動壓力升高，出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。(7)溫度的影響物體在相對滑動中摩擦表面間的能量損失，大部分以熱的形式散發(fā)出來產(chǎn)生的熱能會使物體表面溫度不斷升高摩擦表面溫度的變化會改變表面的摩擦狀態(tài)。由于溫度的影響，改變了潤滑劑和邊界薄膜的性質，表面間的相互作用的特性也隨之發(fā)生變化。由上述分析可以得出氣缸爬行與各影響因素之間的關系如圖3.5所示。圖3.5 氣缸爬行與影響因素之間的關系4 總結氣缸的低速摩擦特性，不但與壓力的大小、接觸面的粗糙程度以及摩擦

24、相對運動的方向以及物體的重量，坡度等有關，還與氣缸表面潤滑油的多少有關系。保持氣缸的低速摩擦特性，方法方式多樣，可以在氣缸勻速運動的時候，施加一定的壓力讓氣缸運動速度減緩，降低摩擦的速度；同樣，也可以增加接觸表面的粗糙度，進而減緩運動的速度；如果氣缸運動的表面坡度較大，還可以適當降低坡度，進而減緩運動的速度，降低摩擦；同樣，在氣缸表面涂抹潤滑油的時候，也可以適量減少涂抹的量，因為潤滑的好壞決定著氣缸運動的速度，通過減少使用量，從而降低氣缸摩擦的速度，保持低速摩擦。綜上所述，摩擦力是氣動系統(tǒng)中執(zhí)行器件性能的重要因素，其大小以及方向都取決于滑摩擦副的材料以及表面的粗糙度和潤滑條件和受力大小以及坡度

25、等的影響。在氣動系統(tǒng)中，受氣缸摩擦力的影響較大，在氣缸低速運動的時候，表現(xiàn)最為明顯。同時，氣缸的相對滑動面潤滑的好壞，對氣缸的正常工作影響較大，當使用量多時，氣缸運動速度快，然而，適量減少潤滑油使用量，這會使氣缸壓縮空氣壓力能轉換機械能驅動機構作直線往復運動、擺動和旋轉運動，特別是在印刷（張力控制）、半導體（點焊機、芯片研磨）、自動化控制、機器人等方面。因此，在運作過程中，都會有很多摩擦存在，然而，保持低速摩擦，主要是為了降低兩接觸表面的摩擦，使氣缸保持低速摩擦以防止磨損，使摩擦表面溫度降低，保護氣缸表面。參考文獻1 魏蘊衡. 張 文. 劉繼軍. 淺析氣缸的低速摩擦特性. NONGJIA KE

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