生產(chǎn)單晶硅制備及其應(yīng)用工藝技術(shù)

1、01805741.1    單晶硅晶片及單晶硅的制造方法 2   01806781.6    絕緣體上的單晶硅(SOI)材料的制造方法 3   02111781.0    分離單晶硅堝底料中石英的工藝 4   03112137.3    單晶硅襯底上可動微機(jī)械結(jié)構(gòu)單片集成的制作方法 5   02802101.0    直徑300mm及300mm以上的單晶硅晶片及其制造

2、方法 6   96120692.6    抑制長的大直徑單晶硅生長條紋的直拉生長裝置 7   87103486    摻金、摻鉑單晶硅互換熱敏電阻及其制作方法 8   88108387.9    單晶硅的制造方法和設(shè)備 9   89103289.4    一種單晶硅壓力傳感器制造方法及其結(jié)構(gòu) 10   90100791.9    單晶硅生產(chǎn)裝置 1

3、1   90102475.9    制造單晶硅的設(shè)備 12   91102921.4    單晶硅直徑測定法及其設(shè)備 13   91102922.2    單晶硅直徑控制法及其設(shè)備 14   91102924.9    單晶硅生產(chǎn)設(shè)備 15   91102923.0    單晶硅生產(chǎn)設(shè)備 16   91102532.4 

4、;   單晶硅生產(chǎn)設(shè)備 17   91102343.7    制造單晶硅的裝置 18   95119376.7    單晶硅上大面積(100)取向的金剛石膜的生長方法 19   96102527.1    單晶硅錠及其制造方法 20   97113523.1    提拉單晶硅的裝置 21   97120661.9    直拉生長

5、單晶硅期間實(shí)時監(jiān)測和控制氧的一氧化硅探針 22   97121626.6    雙電極單晶硅電容加速度傳感器及其制造方法 23   98100416.4    通過控制拉速分布制造單晶硅錠和晶片的方法及其產(chǎn)品 24   98116827.2    單晶硅納米晶立方氮化硼薄膜類PN結(jié)及其制作方法 25   97113737.4    低濃度鈣雜質(zhì)的石墨支撐容器及其在制造單晶硅中的應(yīng)用 26 

6、;  98121350.2    單晶硅片抗機(jī)械力的提高 27   98807859.7    生長富空位單晶硅的熱屏蔽組件和方法 28   98807993.3    用于單晶硅生長的非Dash縮頸法 29   99801049.9    形成單晶硅層的方法和制造半導(dǎo)體器件的方法 30   99812088.X    熱退火后的低缺陷密度單晶硅 31

7、60;  99811709.9    從低缺陷密度的單晶硅上制備硅絕緣體結(jié)構(gòu) 32   01131737.X    標(biāo)定單晶硅晶圓晶向的方法 33   00812335.7    制備具有均勻熱過程的單晶硅的方法 34   02111221.5    單晶硅片襯底的磁控濺射鐵膜合成二硫化鐵的制備方法 35   200710133581.6    單晶硅高效復(fù)

8、合切割方法及其切割系統(tǒng) 36   200710047776.9    新型鋁背發(fā)射結(jié)N型單晶硅太陽電池 37   200710180002.3    過渡金屬多重?fù)诫s負(fù)溫度系數(shù)單晶硅熱敏電阻 38   200710185125.6    單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池 39   200710185126.0    單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池 40 

9、0; 200710185123.7    單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池 41    200710185124.1     單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池  42    200710157175.3     超聲波清洗單晶硅片方法及其裝置  43    200710151631.3     使用金屬污染及熱處理

10、識別單晶硅中的晶體缺陷區(qū)的方法  44    200610162854.5     可反射出色域的電極結(jié)構(gòu)以及單晶硅面板與顯示裝置  45    200580050178.6     單晶硅的生長方法  46    200710018889.6     單晶硅薄膜及其組件的制備方法  47    20071019280

11、3.1     單晶硅棒制造方法和單晶硅棒結(jié)構(gòu)  48    200710063644.5     提高單晶硅太陽能電池減反射膜質(zhì)量的方法  49    200810060274.4     改善半導(dǎo)體單晶硅研磨硅片平行度的方法及其裝置  50    85100591     非線性磁場中單晶硅拉制方法及其裝置

12、0; 51    85100856     制備單晶硅片表面完整層的新途徑  52    02281654.2     一種直拉法生長單晶硅用硅籽晶夾持器  53    89213391.0     區(qū)熔單晶爐單晶硅棒夾持機(jī)構(gòu)  54    93200611.6     單晶硅太陽電池微電

13、機(jī)風(fēng)扇涼帽  55    96236137.2     單晶硅片各向異性腐蝕夾具  56    95224595.7     用于制備薄膜的單晶硅輻射式加熱器  57    97239008.1     單晶硅爐傳動軸用磁性液體密封裝置  58    00224737.2    

14、 單晶硅襯底雙面拋光片  59    00225900.1     單晶硅爐傳動軸用磁性流體密封裝置  60    01265431.0     低氧碳單晶硅復(fù)投料自卸機(jī)構(gòu)  61   200720039053.X    一種單晶硅太陽能電池絨面腐蝕槽 62   200720192576.8    超聲波清洗單晶硅片裝置 63&

15、#160;  200410092027.4    一種鋅摻雜的負(fù)溫度系數(shù)單晶硅熱敏電阻 64   200310116749.4    一種錳摻雜的負(fù)溫度系數(shù)單晶硅熱敏電阻 65   200410096670.4    具有均勻空位缺陷的單晶硅錠和晶片及其制備方法和設(shè)備 66   03808958.0    單晶硅的制造方法及單晶硅以及硅晶片 67   03810538.1 &#

16、160;  單晶硅晶片及外延片以及單晶硅的制造方法 68   200510023460.7    單晶硅片表面制備巰基硅烷-稀土納米復(fù)合薄膜的方法 69   200510023461.1    單晶硅片表面制備磺酸基硅烷-稀土納米復(fù)合薄膜的方法 70   03818379.X    提拉單晶硅用石英玻璃坩堝和制造該坩堝的方法 71   200510062693.8    涂覆有金屬電鍍層

17、的單晶硅基片和垂直磁記錄介質(zhì) 72   200510059736.7    直拉單晶硅用砷摻雜劑及其制造方法以及使用該摻雜劑的單晶硅的制造方法 73   03159798.X    單晶硅及SOI基板、半導(dǎo)體裝置及其制造方法、顯示裝置 74   03132132.1    平板單晶硅表面的改性方法 75   01821381.2    用于制備低鐵污染單晶硅的裝置和方法 76  

18、; 01819895.3    用于控制空位為主的單晶硅熱過程的方法 77   02131185.4    一種直拉法生長單晶硅用硅籽晶夾持器 78   02804207.7    用于制備具有改善的柵氧化層完整性的單晶硅的方法 79   02155236.3    單晶硅太陽能電池的表面結(jié)構(gòu)及其制作方法 80   200310123043.0    硅片和生產(chǎn)單晶硅

19、的方法 81    200410001382.6     單晶硅膜的制造方法  82    200310108926.4     單晶硅基片表面自組裝稀土納米膜的制備方法  83    200310124860.8     通過控制拉速分布制造單晶硅錠和晶片的方法及其產(chǎn)品  84    200510112207.9 &

20、#160;   單晶硅片表面自組裝聚電解質(zhì)-稀土納米薄膜的制備方法  85    200610004057.4     一種生產(chǎn)硅鐵、硅鈣和單晶硅的原料的加工方法  86    200510068987.1     單晶硅液晶顯示面板的驅(qū)動系統(tǒng)與方法  87    200510011753.3     單一軸向排布的單晶硅納米線陣列制備方

21、法  88    200410042603.4     單晶硅微機(jī)械加工的電容式麥克風(fēng)及其制造方法  89    200510050335.5     用于納米光子技術(shù)的單晶硅納米膜的制備方法  90    200510027350.8     單晶硅片表面制備巰基硅烷-稀土自潤滑復(fù)合薄膜的方法  91    2005

22、10027349.5     單晶硅片表面制備磺酸基硅烷-稀土納米復(fù)合薄膜的方法  92    200510098526.9     納米晶硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池及其制備方法  93    200380108637.2     利用坩堝旋轉(zhuǎn)以控制溫度梯度的制備單晶硅的方法  94    200410088609.5   &#

23、160; 一種單晶硅拋光片熱處理工藝  95    200610024981.9     單晶硅片表面氨基硅烷-稀土納米薄膜的制備方法  96    200610024980.4     單晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土納米薄膜的制備方法  97    200610026855.7     單晶硅片表面自潔性二氧化鈦納米薄膜的制備方法  98 

24、;   200610010099.9     對稱結(jié)構(gòu)雙級解耦單晶硅微機(jī)械陀螺儀  99    200610054245.8     p型單晶硅片的表面處理方法  100    200610054246.2     n型單晶硅片的表面處理方法  101   200610043184.5    單晶硅拉制爐及多晶硅冶煉爐

25、用炭/炭隔熱屏的制備方法 102   200610043185.X    單晶硅拉制爐及多晶硅冶煉爐用炭/炭加熱器的制備方法 103   200610106431.1    摻雜單晶硅硅化電熔絲及其形成方法 104   200610043186.4    單晶硅拉制爐用熱場炭/炭坩堝的制備方法 105   200610043187.9    單晶硅拉制爐用熱場炭/炭導(dǎo)流筒的制備方法 106

26、0;  200610099146.1    單晶硅錠和硅片、及其生長裝置和方法 107   200510092880.0    單片單晶硅微機(jī)械加工的電容式壓力傳感器 108   200510092319.2    反射式單晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影裝置 109   200610048750.1    一種在單晶硅基底表面直接制備Cr-Si硅化物電阻薄膜的方法 110   20

27、0510094904.6    單晶硅切方機(jī)構(gòu) 111   200510111453.2    制作單晶硅太陽電池絨面的方法 112   200510111455.1    單晶硅太陽電池絨面的制備方法 113   200510136041.4    單晶硅制備中稀土鑭系基合金吸氣劑提純氬氣與氬氣回收工藝 114   200610149906.5    生產(chǎn)單晶硅的方

28、法 115   200610105331.7    基于霍夫變換的直拉單晶硅棒直徑的測量方法 116   200610105332.1    直拉法單晶硅生長過程中的熔體液面位置檢測方法 117   200710037043.7    在單晶硅片表面制備碳納米管復(fù)合薄膜的方法 118   200710037045.6    單晶硅片表面磷酸基硅烷-碳納米管復(fù)合薄膜的制備方法 119 &#

29、160; 200710017915.3    單晶硅拉制爐用炭/炭保溫罩的制備方法 120   200610080114.7    反射式單晶硅液晶面板 121   200580006256.2    用于單晶硅連續(xù)生長的系統(tǒng) 122   200710040549.3    單晶硅太陽能電池化學(xué)蝕刻、清洗、干燥的方法和它的一體化處理機(jī) 123   200710023967.1  

30、;  一種單晶硅太陽能電池絨面腐蝕槽 124   200610028783.X    形成納米單晶硅的方法和非揮發(fā)性半導(dǎo)體存儲器制造方法 125   200610029378.X    單晶硅切割廢液的處理回收方法 126   200710106433.5    單晶硅的培育工藝中溶液的液面位置監(jiān)視裝置 127   200810101680.0    單晶硅橫向微型MEMS皮拉尼計及其制

31、備方法 128   200810060641.0    一種低彎曲薄片單晶硅太陽電池?zé)Y(jié)工藝 129   200810083479.4    單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池 130   200810023591.9    單晶硅或炭基單晶硅電極電解氧化處理有機(jī)化工污水方法 131   200810011318.4    單晶硅片水基清洗劑 132   200710

32、064876.2    一種雙穩(wěn)態(tài)單晶硅梁射頻微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān) 133   200710064879.6    一種靜電推拉式單晶硅梁射頻微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān) 134   200810090977.1    單晶硅太陽能電池的制造方法及單晶硅太陽能電池 135   200810111608.6    單晶硅爐傳動裝置 136   200810020206.5    單晶硅太陽

33、能電池表面處理用的制絨劑及其制造方法 137   200810040645.2    混合圖形化單晶硅的絕緣層上鍺結(jié)構(gòu)、方法及應(yīng)用 138   200810079251.8    單晶硅制備爐石英堝增容加料裝置 139   200810042332.0    磁場下制備單晶硅太陽能電池絨面的方法 140   200680051077.5    單晶硅晶片的制造方法 141  

34、200680051311.4    單晶硅晶片的制造方法 142   200810145905.2    單晶硅的提拉方法 143   200810213369.5    超凈工作臺及單晶硅用原料的制造方法 144   200810072970.7    單晶硅正溫度系數(shù)片式熱敏電阻器及其制備方法 145   200810072972.6    金和鎳摻雜單晶硅片式負(fù)

35、溫度系數(shù)熱敏電阻及其制備方法 146   200810171923.8    一種摻鎵單晶硅太陽電池及其制造方法 147   200810122228.2    一種基于單晶硅片檢測紅外光譜儀穩(wěn)定性的方法 148   200810170672.1    一種單晶硅片制絨的方法 149   200810234626.3    一種單晶硅加料裝置 150   20081020081

36、1.0    一種在單晶硅片表面制備ZrO2復(fù)合薄膜的方法 151   200810122243.7    一種制備單晶硅絨面的堿腐蝕溶液及方法 152   200810163097.2    單晶硅太陽電池的制絨方法 153   200810163098.7    單晶硅太陽電池絨面的制備方法 154   200810162544.2    一種單晶硅棒的生產(chǎn)工藝及

37、設(shè)備 155   200810240275.7    基于單晶硅PN結(jié)的非制冷紅外探測器陣列及其制備方法 156   200810220602.2    透光單晶硅太陽電池的制造方法 157   200780017871.2    具有單晶硅電極的電容性微機(jī)電傳感器 158   200780020983.3    單晶硅片的COP產(chǎn)生原因的判定方法 159   20078002

38、1544.4    單晶硅片的COP評價方法 160   200810183113.4    太陽能級6寸單晶硅片切割工藝方法 161   200910001026.7    單晶硅薄膜太陽電池 162   200780024275.7    單晶硅的制造系統(tǒng)及使用該系統(tǒng)的單晶硅的制造方法 163   200910009001.1    單晶硅襯底多結(jié)太陽電池 164

39、   200910095528.0    一種太陽能級單晶硅棒的拋光處理方法 165   200910024890.9    一種制造摻鎵單晶硅太陽能電池的磷擴(kuò)散方法 166   200910048384.3    一種機(jī)床刀具用單晶硅片表面涂層Si3N4復(fù)合薄膜的方法 167   200910097597.5    一種在單晶硅太陽能電池表面上蝕刻絨面的方法 168   20

40、0910026142.4    利用含雜質(zhì)硅材料制備高純度單晶硅棒的方法及其裝置 169   200910048383.9    一種在單晶硅片表面制備Si3N4復(fù)合薄膜的方法 170   200780044557.3    具有逆碳分布的低缺陷碳替代單晶硅層 171   200780037848.X    非易失性電荷俘獲存儲器件的單晶硅制造工藝 172   200910059272.8

41、0;   一種基于摩擦誘導(dǎo)構(gòu)造單晶硅表面納米凸起結(jié)構(gòu)的加工方法 173   200910049740.3    單晶硅基片表面自組裝磺酸基硅烷-二氧化鈦復(fù)合膜的制備方法 174   200910097219.7    單晶硅摻雜劑的生產(chǎn)工藝 175   200910008161.4    單晶硅半導(dǎo)體晶片及其制造方法 176   200910085898.6    一種用于單晶

42、硅絨面制備的腐蝕液及單晶硅絨面的制備方法 177   200910145260.7    單晶硅薄膜組件的制備方法 178   200810220041.6    一種激光精密加工單晶硅的方法 179   200910099495.7    一種單晶硅片的清洗方法 180   200810123639.3    太陽能級6英吋無位錯單晶硅的制備方法 181   20091009

43、9989.5    摻氮的定向凝固鑄造單晶硅及其制備方法 182   200910099991.2    摻鍺的定向凝固鑄造單晶硅及其制備方法 183   200910099990.8    在氮?dú)庀妈T造氮濃度可控的摻氮單晶硅的方法 184   200910099992.7    在氮?dú)庀氯诨嗑Ч柚苽鋼降T造單晶硅的方法 185   200910088732.X   

44、; 一種絨面單晶硅太陽能電池及其制備方法和制備系統(tǒng) 186   200910181549.4    一種降低絨面單晶硅片表面反射率的方法 187   200810124161.6    太陽能單晶硅切片工藝 188   200810126810.6    單晶硅液晶元件及其與線路板的組裝結(jié)構(gòu) 189   200910181550.7    一種用于單晶硅絨面制備的碳酸鹽和苛性堿的混合溶液 190&

45、#160;  200910139507.4    二氧化硅玻璃坩堝和用二氧化硅玻璃坩堝提拉單晶硅的方法 191   200880006135.1    單晶硅芯片的制造方法 192   200910091826.2    一種制備單晶硅絨面的腐蝕液及方法 193   200910091827.7    一種制備單晶硅絨面的方法 194   200910183007.0 

46、0;  制備單晶硅絨面的方法 195   200910152753.3    一種低表面反射率的單晶硅太陽電池絨面制作工藝 196   200910182714.8    一種改進(jìn)型單晶硅棒切斷機(jī) 197   200910182715.2    一種改進(jìn)的用于單晶硅棒的夾持機(jī)構(gòu) 198   200910182701.0    一種單晶硅棒切方工藝 199   2009

47、10196144.8    在單晶硅基片表面制備Co3O4復(fù)合薄膜的方法及用途 200   200910187632.2    用于單晶硅片化學(xué)機(jī)械拋光的拋光液 201   200910172897.5    單晶硅半導(dǎo)體晶片及其制造方法 202   200910197094.5    單晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe復(fù)合薄膜的制備方法 203   200910035633.5 

48、0;  一種用于單晶硅絨面制備的正磷酸鹽和苛性堿的混合溶液 204   200880022738.0    重?fù)诫s的單晶硅襯底中的氧沉淀的抑制 205   201010186977.9    非晶硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池鋁背電場制備方法 206   201010205614.5    嵌入式單晶硅腔體的六邊形硅膜壓阻式壓力傳感器及方法 207   200910057250.8    形

49、成交替的P型和N型單晶硅結(jié)構(gòu)的方法 208   200910057253.1    提升SONOS數(shù)據(jù)保持能力的單晶硅無損傷隧穿窗口集成方法 209   200910027873.0    一種大直徑低氧碳太陽能單晶硅片的制備方法 210   201010259895.2    光伏用單晶硅的摻雜方法 211   200910099022.7    一種單晶硅太陽能電池的絨面制作方法 212

50、60;  201010232677.X    單晶硅棒線開方夾具 213   200910035634.X    一種用于單晶硅絨面制備的添加劑 214   200910100178.2    CZ單晶硅生產(chǎn)中吊肩后摻硼磷母合金摻雜方法 215   200910182605.6    單晶硅太陽電池絨面上pn結(jié)雜質(zhì)濃度分布的測量方法 216   200910311756.7 &

51、#160;  一種多工位單晶硅方形棒平面磨削裝置 217   200910309453.1    低純度單晶硅太陽能電池的制造方法 218   200910309461.6    一種低純度單晶硅太陽能電池的制造方法 219   200910157192.6    一種用于制備單晶硅絨面的酸腐蝕溶液及其使用方法 220   200810107257.1    高純多晶硅棒作為供料棒在單晶

52、硅區(qū)域熔煉法中的應(yīng)用以及制備方法 221   200910175320.X    有效控制單晶硅中碳含量的方法 222   200810046405.3    指狀交叉背電極單晶硅太陽電池在聚光應(yīng)用中的封裝結(jié)構(gòu) 223   200810204590.4    一種單晶硅的磨面滾圓磨削方法 224   200810239837.6    用于單晶硅生長過程控制的智能PID控制方法及其系統(tǒng) 225&#

53、160;  200910197123.8    一種在單晶硅片表面制備Co3O4復(fù)合薄膜的方法 226   200810240302.0    一種太陽能電池單晶硅片的界面鈍化方法 227   200910263714.0    具有單晶硅在硅化物上的集成電路組件及其制造方法 228   200910096021.7    單晶硅堝底料中石英的分離工藝 229   20101010430

54、3.X    摻鍺重?fù)搅字崩瓎尉Ч杵膬?nèi)吸雜結(jié)構(gòu)制備工藝 230   201010114326.9    太陽能電池用摻鎵銦單晶硅材料及其制備方法 231   201010138362.9    一步法制備單晶硅太陽能電池絨面的方法 232   201010161287.8    單晶硅添加劑制絨液 233   200910080359.3    由硅礦產(chǎn)出單晶硅或多

55、晶硅連續(xù)純化反應(yīng)處理裝置及方法 234   200910127197.4    用于制造單晶硅片絨面的加熱裝置和方法 235   201010187541.1    一種多晶硅或單晶硅用坩堝涂層及其制備方法 236   201010177182.1    表面具有超疏水性納米硅線陣列的單晶硅片及其制備方法 237   201010195095.9    單晶硅片堿性制絨液的添加劑及使用方法 238

56、   201010195103.X    單晶硅片制絨液的添加劑及使用方法 239   201010194517.0    一種太陽能電池單晶硅片的制造方法 240   201010176628.9    一種次單晶硅鑄錠爐的雙腔體隔熱籠 241   201010198142.5    一種準(zhǔn)單晶硅的鑄錠方法 242   200910044001.5  &#

57、160; 改善單晶硅太陽能電池減反射膜特性的方法 243   201010259098.4    一種單晶硅生長爐加熱器節(jié)能支撐腳結(jié)構(gòu) 244   201010280712.5    由單晶硅和多晶硅切割廢料中回收硅和碳化硅的方法 245   201010500429.9    單晶硅爐電源用濾波補(bǔ)償裝置 246   201010284947.1    一種用于生長鑄造單晶硅的坩堝及襯底片 247

58、   201010273954.1    一種降低單晶硅位錯的方法248   200910057624.6    通過對稱折疊梁彈簧解耦的單晶硅MEMS陀螺儀 249   201010235669.0    臺階式頂層單晶硅的絕緣體上硅襯底硅片的加工方法 250   201010226437.9    單晶硅太陽能電池表面微區(qū)可控修飾工藝 251   201010526866.

59、8    一種單晶硅片制絨液及其用于制絨的方法 252   200980107029.7    單晶硅拉晶用石英坩堝及其制造方法 253   201010520649.8    單晶硅腐蝕劑的制備方法、對凸角硅進(jìn)行腐蝕的方法 254   201010238046.9    單晶硅電池片高效制絨專用腐蝕溶液 255   201010540745.9    單晶硅太陽能電

60、池片制絨液 256   03231427.2    雙面光照單晶硅太陽電池 257   200520076510.3    單晶硅切方裝置 258   200520113172.6    反射式單晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影裝置 259   200620002303.8    單晶硅棒切方滾磨機(jī)床 260   200620003851.2  

61、0; 直拉法單晶硅生產(chǎn)用石英坩堝 261   200520110444.7    單晶硅棒切方滾磨機(jī)床 262   200520043749.0    N型基體單晶硅太陽電池 263   200620117810.6    區(qū)熔單晶硅爐 264   200620117812.5    區(qū)熔單晶硅生長爐 265   200620117926.X   

62、 單晶硅爐控制裝置 266   200620117811.0    軟軸單晶硅爐 267   200620047100.0    絲網(wǎng)印刷鋁背發(fā)射結(jié)N型單晶硅太陽電池 268   200620134195.X    一種用于直拉單晶硅制備中的摻雜裝置 269   200820031913.X    單晶硅取錠運(yùn)錠車 270   200820085030.7  

63、;  改善半導(dǎo)體單晶硅研磨硅片平行度的裝置 271   200820080642.7    軟軸單晶硅爐 272   200820080659.2    一種單晶硅爐 273   200820036553.2    大面積超薄型高效率單晶硅雙面照光太陽電池 274   200820109321.5    一種降低單晶硅爐能耗的裝置 275   200820109320.0    一種提高單晶硅爐晶體生長速度的裝置 276   200820109366.2    單晶硅晶體切片厚度控制器 277   200820186444.9