大型儀器設(shè)備購置論證報(bào)告

1、大型儀器設(shè)備購置論證報(bào)告儀器設(shè)備名稱交直流電源項(xiàng)目名稱物理學(xué)（一流學(xué)科）項(xiàng)目負(fù)責(zé)人高先龍?zhí)畋砣掌?017.09.26實(shí)驗(yàn)室管理處制填表說明1單價(jià) 10 萬元及以上儀器設(shè)備的申購均需填寫此表，并與申購計(jì)劃一起上報(bào)有關(guān)部門。2所在學(xué)院（部門）組織 37 人單數(shù)技術(shù)專家進(jìn)行論證，并通知項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)管理、設(shè)備管理等部門參加論證。 申請(qǐng)單一來源采購的需 3 人以上單數(shù)非本校專家參加論證； 未列入全省統(tǒng)一論證進(jìn)口產(chǎn)品范圍的進(jìn)口產(chǎn)品需 5 人以上單數(shù)非本校專家參加論證。3論證會(huì)由專家組組長(zhǎng)主持，主要程序?yàn)椋荷曩徣藞?bào)告、現(xiàn)場(chǎng)考察、專家質(zhì)詢與討論、專家組形成論證意見并簽名。4專家論證同意，經(jīng)學(xué)院（部門） 、項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)

2、管理部門簽字并蓋章后，報(bào)本科教學(xué)部（實(shí)驗(yàn)室管理處）網(wǎng)上公示一周無異議后實(shí)施。5此表一式1 份（如設(shè)備為進(jìn)口設(shè)備，請(qǐng)?zhí)峤? 份）。中文設(shè)備名稱英文規(guī)格型號(hào)交直流電源AC an dDC p owers ou r c e申購數(shù)量購置經(jīng)費(fèi)來源主要技術(shù)指標(biāo)與功能人民幣39.5萬1現(xiàn)行單價(jià)美元物理學(xué)（一流學(xué)科）運(yùn)行經(jīng)費(fèi)來源物理學(xué)（一流學(xué)科）設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)系統(tǒng)總體要求：1.1 要求系統(tǒng)具備4 個(gè) SMU單元；個(gè) SMU單元為中功率單元，需保證單個(gè)中功率SMU能夠?qū)崿F(xiàn)：最大提供和可測(cè)的電流為 100mA，電流測(cè)量精度優(yōu)于 100fA ，最大提供和可測(cè)電壓為 100V，電壓測(cè)量精度 100 V，電壓設(shè)定分辨率

3、 5 V；個(gè) SMU單元為高功率單元，需保證單個(gè)高功率SMU能夠?qū)崿F(xiàn)：最大提供和可測(cè)電流為 1A，電流測(cè)量分辨率均為 100fA ，最大提供和可測(cè)電壓為 200V，電壓測(cè)量分辨率 100 V，電壓設(shè)定分辨率 5 V，輸出功率 20w 以上；2.1 C-V 測(cè)試技術(shù)指標(biāo)：掃頻頻率范圍至少包含：1KHz-5MHz；偏置電壓大于：±30V通過軟件實(shí)現(xiàn)AC 阻抗測(cè)量，包括電容- 電壓（ C-V）、電容 - 頻率（ C-f ）、電容 - 時(shí)間（ C-t ）等測(cè)試功能，并可自定義其他掃描測(cè)試模式。3. 其他指標(biāo)測(cè)試和 CV測(cè)試能夠自動(dòng)切換；系統(tǒng)擴(kuò)展性：脈沖 I-V 的擴(kuò)展能力；圖形化的測(cè)試軟件，

4、保證軟件的終身免費(fèi)升級(jí)；地點(diǎn)面積輔助設(shè)施配備是否落實(shí)需改建情況用房情況管理和使用技術(shù)人員配備主要用途和適用學(xué)科范圍購置必要性本校是否有同類設(shè)備、數(shù)量及不能共享的理由姓 名職稱專管是否熟練是否或兼管使用過程度需培訓(xùn)黃仕華教授專是熟練否方亮講師專是熟練否按照固態(tài)光電器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)劃，實(shí)驗(yàn)室將重點(diǎn)研發(fā)高壓 LED 、硅基和鈣鈦礦太陽能以及以二維薄膜材料為基礎(chǔ)的薄膜晶體管等新型的半導(dǎo)體材料和器件。因此，為有效開展上述科研工作，用于半導(dǎo)體特性分析的高精度交直流電源系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)相關(guān)測(cè)量的重要設(shè)備，是對(duì)目前在研項(xiàng)目能夠順利開展必不可缺的一環(huán)。該設(shè)備的采購將有助于推動(dòng)現(xiàn)有科研工作的開展，并為今后的發(fā)展奠定

5、了硬件基礎(chǔ)。交直流電源系統(tǒng)用于半導(dǎo)體器件和材料的電學(xué)測(cè)試（ IV 和 CV）和可靠性實(shí)驗(yàn)（如 TDDB，電遷移， HCI 測(cè)試），適用物理、化學(xué)、材料工程等各個(gè)學(xué)科。1. 近年來國家非常重視半導(dǎo)體器件和材料的發(fā)展。交直流電源系統(tǒng)的購置將提升我校研究人員在半導(dǎo)體電學(xué)方面的測(cè)試水平，大大提高測(cè)試精度和測(cè)試范圍，降低測(cè)試的難度，這有助于深化我校在這一領(lǐng)域研究，提升研究層次，更好服務(wù)于一流學(xué)科和重點(diǎn)高校建設(shè)。2. 物理、材料科學(xué)與工程、 光信息科學(xué)與工程等專業(yè)建設(shè)過程中，需要進(jìn)一步加強(qiáng)學(xué)生動(dòng)手能力的培養(yǎng)，提高學(xué)生實(shí)驗(yàn)操作技能，實(shí)驗(yàn)課程體系和實(shí)驗(yàn)室建設(shè)是重要內(nèi)容。交直流電源系統(tǒng)購置將可以更好的開設(shè)半導(dǎo)體

6、器件、材料方向的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目和內(nèi)容，解決目前實(shí)踐教學(xué)薄弱的問題，服務(wù)于專業(yè)工程論證和專業(yè)建設(shè)。目前本校有幾臺(tái)功能比較單一的直流電源，但其存在如下問題：測(cè)試端只有兩端，不能實(shí)現(xiàn) 3 端以上復(fù)雜器件的測(cè)試功能；現(xiàn)有設(shè)備的測(cè)試精度較低， 如 2600 系列源表的電壓測(cè)試精度只有 250v；現(xiàn)有設(shè)備沒有 PC端的圖形化的測(cè)試界面，設(shè)定測(cè)試程序困難；暫無集成 IV/CV 測(cè)試功能的成套設(shè)備，急需建設(shè)，建成后共享性好。安 裝 場(chǎng) 地 滿 場(chǎng)地條件滿足需求，安全保護(hù)措施已落實(shí)，不涉及放射源和劇毒品足條件（水、 等危險(xiǎn)性材料。該套系統(tǒng)對(duì)勞動(dòng)保護(hù)沒有特殊要求，所有制度及措電、氣等是否 施按照目前國家法律、學(xué)校制度及

7、實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有管理制度實(shí)施即可。齊全）、安全保護(hù)措施落實(shí)情況、是否涉及放射源物品和劇毒品等危險(xiǎn)性材料國內(nèi)外同類設(shè)備、品牌、規(guī)格、性能、技術(shù)指標(biāo)、目前交直流電源半導(dǎo)體分析系統(tǒng)主要有吉時(shí)利（ Keithley ）儀器公司的4200系列，安捷倫電子的B1500 系列，兩個(gè)系列占據(jù)了國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)以及國內(nèi)高?？蒲性核枨蟮慕^大部分市場(chǎng)份額。國內(nèi)產(chǎn)品這塊無論是交直流電源的精度、范圍和穩(wěn)定性上都有很大的差距，浙江省的統(tǒng)一論證也對(duì)該類產(chǎn)品的國內(nèi)外產(chǎn)品的差距做了說明，因而對(duì)該類設(shè)備的調(diào)查主要針對(duì)國外相關(guān)品牌，其具體的比較如下：Agilent B1500AKeithley 4200-SCS電流測(cè)量分辨率0.1fA0

8、.1fA電流測(cè)量精度0.3%+30fA1%+10fA最大電流1A1A電壓測(cè)量分辨率0.5uV1uV特色、附件、價(jià)格、售后服務(wù)、應(yīng)用電壓測(cè)量精度100uV100uV最大電壓210V200V支持等的比較設(shè)置分辨率100uV/50fA5uv/5pASMU 可擴(kuò)充性最多支持11 個(gè) SMU最多支持8個(gè)SMUC-V 頻率1KHz-5MHz1KHz-10MHzC-V 偏置電壓±25V±30V最小測(cè)量值1uf1uf測(cè)量精度0. 2%0. 38%圖形化軟件測(cè)試界面有有IV/CV 切換有有使用效益預(yù)測(cè)及風(fēng)險(xiǎn)分析開放共享實(shí)施方案和是否同意納入學(xué)校共享平臺(tái)專家論證意見專家組成員儀器可以全自動(dòng)控制

9、，老師和學(xué)生經(jīng)過簡(jiǎn)單培訓(xùn)后可以自如的上機(jī)操作，該設(shè)備的有效利用，對(duì)提升專業(yè)人員的科研水平以及提高學(xué)生培養(yǎng)質(zhì)量方面的促進(jìn)作用是毋庸質(zhì)疑。同時(shí)可以為周邊企業(yè)半導(dǎo)體測(cè)量提供服務(wù)。根據(jù)教學(xué)與科學(xué)研究需要，為充分發(fā)揮設(shè)備價(jià)值，該設(shè)備將積極開展科學(xué)研究和人才培養(yǎng)工作，在設(shè)備正常運(yùn)行的前提下，完全對(duì)校內(nèi)、校外開放共享。開放共享實(shí)施方案：1、在滿足相關(guān)學(xué)科教學(xué)平臺(tái)（或科研團(tuán)隊(duì)、實(shí)驗(yàn)室、課題組等）師生使用需求之外，向?qū)W院內(nèi)及學(xué)校內(nèi)外開放有償使用。2、依據(jù)浙江師范大學(xué)大型儀器設(shè)備開放共享有關(guān)規(guī)定收取設(shè)備使用費(fèi)。3、收費(fèi)數(shù)額依據(jù)儀器設(shè)備折舊費(fèi)、運(yùn)行成本、管理服務(wù)費(fèi)確定。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人簽字：高先龍采購該設(shè)備主要用于微納材料和半導(dǎo)體器件電學(xué)性能的測(cè)試和可靠性實(shí)驗(yàn)。專家組評(píng)定認(rèn)為，該設(shè)備對(duì)于微納材料、半導(dǎo)體器件等的研究和教學(xué)具有采