人造石英晶體常用的包裹體抽樣程序

1、附錄 A（資料性附錄）常用的包裹體抽樣程序A.1全體積計(jì)數(shù)檢驗(yàn)法當(dāng)應(yīng)用中包裹體密度的控制最為重要時(shí)，制造商和用戶均使用此方法。每塊晶體應(yīng)按照包裹體計(jì)數(shù)的方法進(jìn)行檢查， 但要對(duì)所有可用部位進(jìn)行檢查。應(yīng)當(dāng)注意，晶體的 X軸高度大于顯微鏡的焦距時(shí)，應(yīng)在需要的高度范圍內(nèi)移動(dòng)聚焦，對(duì)晶體掃描觀察，以確保計(jì)數(shù)時(shí)不漏掉包裹體。記錄晶體可用體積中各類尺寸范圍的包裹體數(shù)量，然后計(jì)算。包裹體密度的計(jì)算方法是：將包裹按尺寸大小分類，分別計(jì)數(shù)，然后除以可用體積。利用計(jì)算出的每塊包裹體密度數(shù)據(jù)組，按照用戶的要求對(duì)每塊晶體進(jìn)行分級(jí)。A.2商品Y 棒的抽樣 方法1制造商和用戶均使用本方法對(duì)成批Y棒進(jìn)行分級(jí)。每 50公斤石英

2、抽取 1個(gè)或多個(gè) Y棒樣本。如果要求更高或更低的置信度水平時(shí)，可以抽取更多或更少的樣本。但推薦每批最少抽取3個(gè)樣本。如果是制造商進(jìn)行檢驗(yàn)，樣品應(yīng)該分別從高壓釜的上、 中、下三個(gè)部位并距高壓釜壁的不同距離處抽取。如果是用戶進(jìn)行檢驗(yàn)，且不是同一批次，樣本應(yīng)當(dāng)隨機(jī)抽取。樣本應(yīng)按照包裹體計(jì)數(shù)檢驗(yàn)法進(jìn)行檢驗(yàn)。在每個(gè)樣本上選取6個(gè)小區(qū)，對(duì)各小區(qū)分類記錄包裹體的數(shù)量和尺寸等級(jí)，并計(jì)算這6個(gè)小區(qū)的總體積。包裹體密度的計(jì)算方法是：6個(gè)小區(qū)的包裹體按各尺寸等級(jí)分別統(tǒng)計(jì)總數(shù)，再分別除以 6個(gè)小區(qū)的總體積。棒材批的接收/ 拒收判據(jù)應(yīng)與使用的抽樣水平相適合。A.3商品Y 棒的抽樣 方法2此方法適用于用戶對(duì)大批量Y棒進(jìn)行

3、進(jìn)貨檢驗(yàn)。從一批 Y棒中隨機(jī)抽取20支，按包裹體計(jì)數(shù)法進(jìn)行檢驗(yàn)。只是要在棒材的全部可用長(zhǎng)度檢查， 并僅對(duì)顯微鏡焦距深度內(nèi)的部分進(jìn)行檢驗(yàn)。用戶應(yīng)對(duì)元器件關(guān)鍵區(qū)域（例如：電極面積）的 X向高度與顯微鏡的焦距深度進(jìn)行比較，以判斷此方法的適用性。若檢驗(yàn)不到的X高度不太大，則用顯微鏡聚焦檢驗(yàn)的樣本有充分的代表性，可認(rèn)為是合理的樣本。記錄各類尺寸等級(jí)內(nèi)的包裹體總數(shù)R。用下式（ A.1 ）計(jì)算每支棒的平均體積V ：式中：Z 棒材沿 Z軸的平均尺寸，單位為毫米 (mm)；S 籽晶的寬度，單位為毫米(mm)；Y 棒材沿 Y軸的可用長(zhǎng)度，單位為毫米(mm)；D 顯微鏡的焦距深度，單位為毫米(mm)。Z 是通過(guò)測(cè)量

4、每支棒材沿 Z軸的最小和最大尺寸，并對(duì)全部 40個(gè)測(cè)量值求算術(shù)平均值而確定的。每立方厘米的包裹體數(shù)量（）由下式（A.2 ）計(jì)算：R（A.2 ）V棒材批的接收/ 拒收判據(jù)由檢查水平S3， AQL 1.0 （見 GB/T 2828.1）來(lái)確定。A.4 100%晶體檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)樣品比較法此方法被制造商廣泛應(yīng)用于：一個(gè)生產(chǎn)批內(nèi)棒材的包裹體密度不同，有合格范圍內(nèi)也有合格范圍外的；或要求對(duì)棒材挑選分級(jí)。依次目檢每塊晶體，并在包裹體密度最大的一個(gè)區(qū)域打標(biāo)記。然后將其與一套已知包裹體密度的標(biāo)準(zhǔn)樣品作比較。這套標(biāo)準(zhǔn)樣品可以通過(guò)實(shí)際測(cè)量得到，包裹體密度采用的包裹體計(jì)數(shù)法確定；也可以用晶體照片作為比照樣品。當(dāng)晶體明顯地處于某一級(jí)別的范圍內(nèi)時(shí)，判定晶體屬于該級(jí)別。當(dāng)包裹體密度在某一極限值附近， 不能明確判定時(shí)，可以將晶體分級(jí)在較高包裹體密度的級(jí)別上，也可以采用前述的包裹體計(jì)數(shù)法更精確地確定包裹體密度級(jí)別