無塵室等級標(biāo)準(zhǔn)3頁

1、半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進(jìn)行，集成電路制造的工廠動(dòng)輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因?yàn)樾枰粋€(gè)無塵室。 所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金

2、屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。 依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2

3、µm或更大下，密度不大于75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。 為保持無塵室的潔凈度，進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義： 塵粒數(shù)立方英 級數(shù) 0.1m 0.2m 0.3m 0.4m 0.5m 1 35 7.5 3 1 N/A 10 350 75 30 10 N/A 100 N/A 7

4、50 300 100 N/A 1000 N/A N/A N/A 1000 7 10000 N/A N/A N/A 10000 70 100000 N/A N/A N/A 100000 700 4.1 環(huán)境介紹及溫溼度條件: 4.1.1 無塵室是以美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)做為分級的規(guī)範(fàn)，外層無塵室,內(nèi)層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um微粒為100K級。 4.1.2 無塵室溫度規(guī)定22±2，濕度規(guī)定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現(xiàn)場單位負(fù)責(zé)更換記錄紙和保存資料.其精確度由品保部定期校驗(yàn). 4.1.3 無塵室內(nèi)部保持正壓,出風(fēng)口

5、風(fēng)速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進(jìn)入無塵室. 4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft 100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,5um微粒不大於700顆/ ft 4.1 環(huán)境介紹及溫溼度條件: 4.1.1 無塵室是以美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)做為分級的規(guī)範(fàn)，外層無塵室,內(nèi)層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um微粒為100K級。 4.1.2 無塵室溫度規(guī)定22±2，濕度規(guī)定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現(xiàn)場單位負(fù)責(zé)更換記錄紙和保存資料.其精

6、確度由品保部定期校驗(yàn). 4.1.3 無塵室內(nèi)部保持正壓,出風(fēng)口風(fēng)速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進(jìn)入無塵室. 4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft 100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,5um微粒不大於700顆/ ft 4.3 操作注意事項(xiàng)： 4.3.1 人員進(jìn)入無塵室，一律穿著連身式無塵衣，並換無塵鞋。 4.3.2 無塵衣穿著一律在更衣室進(jìn)行。 4.3.3 嚴(yán)禁操作人員戴戒指、手錶等手飾.。 4.3.4 在無塵室內(nèi)嚴(yán)禁脫掉無塵衣，或捲起衣袖，脫帽。 4.3.6 無塵室作業(yè)人員接觸pcb時(shí)一律佩帶手套,每週一四更換,作業(yè)過程中如有損壞或污染立即更換。 4.4 進(jìn)出物的管制及要求: 4.4.1 嚴(yán)禁攜帶食物、飲料及私入紙類進(jìn)入無塵室。 4.4.2 基板的拿取，操作人員要戴無塵手套。 4.4.3 自冷藏室取出的乾膜置於