各種真空泵的應(yīng)用

1、目錄1爪型干式真空泵11.1 爪型干式真空泵概述11.2 爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)11.3 爪型干式真空泵的特點(diǎn)21.4 爪型干式真空泵的應(yīng)用32. 水環(huán)式真空泵42.1 水環(huán)式真空泵的基本類型42.2 水環(huán)式真空泵的特點(diǎn)42.3 水環(huán)真空泵的應(yīng)用52.4 水環(huán)式真空泵的選擇要點(diǎn)63. 干式螺桿真空泵83.1 真空泵特征83.2 螺桿式干式真空泵的應(yīng)用84. 往復(fù)式真空泵104.1 W型往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)組成：114.2 W型往復(fù)式真空泵的應(yīng)用114.3 往復(fù)式真空泵選型須知115水噴射真空泵125.1 水噴射真空泵原理與用途125.2 水噴射真空泵結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)125.3 噴射式泵的種類135.4 噴

2、射泵的應(yīng)用146. 旋片式真空泵166.1 旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)說明166.2 旋片式真空泵的特點(diǎn)及適用范圍176.3 旋片式真空泵的應(yīng)用176.4 旋片式真空泵的使用186.5 性能特點(diǎn)186.6 旋片式真空泵的使用特點(diǎn)187滑閥式真空泵207.1 滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)207.2 滑閥真空泵的應(yīng)用范圍218羅茨真空泵238.1 羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)形式238.2 泵的傳動(dòng)方式238.3 羅茨泵的特征248.4 羅茨真空泵的應(yīng)用249. 擴(kuò)散泵259.1 性能參數(shù)259.2 擴(kuò)散泵的應(yīng)用范圍269.3 影響油擴(kuò)散泵性能的因素2610. 分子泵2710.1 工作條件2710.2 分子泵特點(diǎn)2810.

3、3 其他常見應(yīng)用2811. 鈦升華泵2911.1 簡(jiǎn)介2911.2 鈦升華泵的特性3111.3 影響因素3111.4 鈦升華泵的應(yīng)用3111.5 使用要求3111.6 其他不得不看的真空泵選型策略3212. 真空泵最佳工作范圍332各種真空泵的應(yīng)用1爪型干式真空泵1.1 爪型干式真空泵概述爪型干式真空泵利用連接在兩軸上的成對(duì)的爪型轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間以及轉(zhuǎn)子與隔板之間進(jìn)行有間隙、無摩擦的嚙合所形成的密閉腔的容積大小變化來完成吸排氣過程。1.2 爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)，一般采用多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式，組成多級(jí)爪型干式真空泵。如圖所示，四級(jí)泵腔依次串

4、聯(lián)，每級(jí)泵腔內(nèi)各有一對(duì)共軛嚙合，做同步反向運(yùn)動(dòng)的爪型轉(zhuǎn)子。四級(jí)泵腔中的第一級(jí)泵腔為吸氣級(jí)，其吸氣容積比后面三級(jí)大，形成級(jí)間壓縮。四對(duì)轉(zhuǎn)子裝在二根平行軸上，軸由上下兩端軸承支撐，泵腔級(jí)與級(jí)之間有隔板，隔板上有吸排氣通道。電動(dòng)機(jī)倒立安裝，經(jīng)過渡齒輪將動(dòng)力傳遞到轉(zhuǎn)子軸上，轉(zhuǎn)子軸由一對(duì)同步時(shí)限齒輪帶動(dòng)及調(diào)整和固定轉(zhuǎn)子的相位。轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)部留有微小縫隙，轉(zhuǎn)子懸浮于泵腔使得過流部分無任何實(shí)質(zhì)性接觸摩擦，也不需要潤(rùn)滑，這就保證了爪泵可以長(zhǎng)期穩(wěn)定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長(zhǎng)。1.3 爪型干式真空泵的特點(diǎn)（1） 泵腔內(nèi)不含油類等任何介質(zhì)、清潔抽空，對(duì)環(huán)境無污染；（2）真空度高，可達(dá)3Pa；（

5、3） 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于操作和維護(hù)，運(yùn)行成本低；（4）能在較高壓力下長(zhǎng)期連續(xù)工作，噪聲?。唬?） 能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體(例如水蒸氣、有機(jī)氣體等)；（6） 能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達(dá)10-105；（7）轉(zhuǎn)子對(duì)懸浮在泵腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子對(duì)間，轉(zhuǎn)子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用 壽命長(zhǎng)。1.4 爪型干式真空泵的應(yīng)用（1）石化行業(yè)： 能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等。能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等。能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等。防腐系列能抽除強(qiáng)酸性氣體：如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。（2）醫(yī)藥行業(yè)：結(jié)晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭

6、、聚合、真空蒸發(fā)、負(fù)壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質(zhì)、環(huán)氧乙烷消毒等。（3）食品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。（4）科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負(fù)壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風(fēng)洞試驗(yàn)、真空環(huán)境模擬等。（5）電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。（6）航天航空：釬焊、真空鍍膜、電子束焊、風(fēng)洞試驗(yàn)、空間環(huán)境模擬等。（7）冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。（8）核工業(yè)：零泄露爪泵可抽除UF6氣體。（9）其它行業(yè)：中央空調(diào)、室內(nèi)真空、污水處理、鋰電池制造等。332. 水環(huán)式真空泵2.1 水環(huán)式真空泵

7、的基本類型水環(huán)泵按不同結(jié)構(gòu)可分成如下幾種類型：（1）單級(jí)單作用水環(huán)泵：?jiǎn)渭?jí)是指只有一個(gè)葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。（2）單級(jí)雙作用水環(huán)泵：?jiǎn)渭?jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。在相同的抽速條件下，雙作用水環(huán)泵比單作用水環(huán)泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對(duì)稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高，但極限真空較低。（3） 雙級(jí)水環(huán)泵：雙級(jí)水環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的水環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的

8、抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。（4）大氣水環(huán)泵：大氣水環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)水環(huán)泵的機(jī)組。水環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。2.2 水環(huán)式真空泵的特點(diǎn)（1）水環(huán)泵和其它類型的機(jī)械真空泵相比有以下優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。操作簡(jiǎn)單，維修方便。結(jié)構(gòu)緊湊，泵一般與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，轉(zhuǎn)數(shù)較高。用較小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得較大的排氣量。泵腔內(nèi)沒有金屬摩擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間密封可直接由水封來完成。泵腔內(nèi)壓縮氣體過程溫度變化很小，可認(rèn)為是等溫壓縮，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體及氣水混合物。（2

9、）水環(huán)泵缺點(diǎn)：效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低。這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。總的說來，由于水環(huán)泵具有等溫壓縮和用水作封液，可以抽除易燃、易爆及腐蝕性氣體，還可以抽除含有灰塵和水分的氣體等突出優(yōu)點(diǎn)，所以得到了廣泛的應(yīng)用。2.3 水環(huán)真空泵的應(yīng)用（1）在電力行業(yè)中的應(yīng)用：冷凝器抽真空、真空吸水、煙氣脫硫、飛灰輸送、渦輪機(jī)密封管排氣、真空排氣、排出地?zé)釟?。?）在石油化工行業(yè)中的應(yīng)用：氣體回收、氣體回收、燃?xì)馍龎骸?qiáng)化的石油回收、氣體收集、原油穩(wěn)定化、原油真空蒸餾、排氣壓縮、蒸汽回收/氣體升壓、過濾/除臘、尾氣回收、聚酯生產(chǎn)、PVC生產(chǎn)、包裝

10、、循環(huán)氣壓縮、變壓吸附(PSA)、生產(chǎn)、乙炔與氫氣等易燃易爆氣體壓縮、原油減壓蒸餾中的塔頂真空系統(tǒng)、真空結(jié)晶與干燥、真空過濾、各種物料的真空輸送。（3）在制行業(yè)中的應(yīng)用：干燥 (托盤、旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)、錐形和冷凍干燥器)、再生產(chǎn)/反應(yīng)堆干燥、蒸餾、除氣、晶化/汽化、加注和/或材料轉(zhuǎn)移。（4）在紙漿和紙張生產(chǎn)中的應(yīng)用：黑液蒸發(fā)、粗漿洗漿機(jī)、石灰泥漿和過濾器、沉淀物過濾器、真空脫水機(jī)、原料和白水除氣系統(tǒng)、調(diào)漿箱壓縮機(jī)、吸水箱、伏輥、吸移輥和傳遞輥、真空壓榨、毛布吸水箱、防吹箱。（5）在塑料行業(yè)中的應(yīng)用：擠出機(jī)除氣、定型臺(tái) (剖面)、EPS 發(fā)泡、干燥、氣動(dòng)輸送裝置、氯乙烯氣體抽取和壓縮。（6）在器械中的

11、應(yīng)用：蒸汽滅菌、呼吸裝置、氣褥、防護(hù)服、牙科儀、中央真空系統(tǒng)。（7）在環(huán)保行業(yè)中的應(yīng)用：廢水處理、沼氣壓縮、真空加水、廢水凈化/活性污泥箱氧化、魚塘通風(fēng)、垃圾產(chǎn)生氣體回收(生物氣體)、沼氣回收 (生物氣體)、廢物處理機(jī)。（8）在食品和飲料行業(yè)中的應(yīng)用：鮭魚清潔機(jī)、礦泉水除氣、色拉油及脂肪除臭、茶葉和調(diào)味品殺菌、香腸火腿生產(chǎn)、煙草制品濕化、真空蒸發(fā)器。（9）在包裝行業(yè)中的應(yīng)用：給包裝袋充氣，以充填貨物、采用抽氣方式帶開袋子、運(yùn)輸包裝材料和產(chǎn)品、貼附標(biāo)簽及包裝帶有膠水的物品、采用真空機(jī)械手抬高紙板箱，并對(duì)其進(jìn)行組裝、真空包裝和換氣包裝(MAP)、PET容器生產(chǎn)、塑料顆粒的干燥、塑料顆粒的輸送、擠出

12、機(jī)除氣、噴射模塑、注塑件的脫膜及處理、注塑件的干燥、瓶體吹塑、等離子處理，以設(shè)置隔離層、瓶體氣動(dòng)輸送、充填與灌裝 、貼標(biāo)簽、包裝和制模、回收。（10）在木材加工行業(yè)中的應(yīng)用：保持與抓舉、木材干燥、木材保存、原木浸漬。（11）在海運(yùn)行業(yè)中的應(yīng)用：冷凝器排氣、中央真空抽水、船用低壓空氣壓縮機(jī)、渦輪機(jī)密封管排氣。（12）在設(shè)施處理中的應(yīng)用：烘干地板、水路管防腐保護(hù)、中央真空清潔系統(tǒng)。（13）在冶金行業(yè)中的應(yīng)用：鋼鐵除氣。（14）在制糖工業(yè)中的應(yīng)用：制備CO2、污物過濾、在蒸發(fā)器與真空吸盤中的應(yīng)用。2.4 水環(huán)式真空泵的選擇要點(diǎn)（1）水環(huán)式真空泵類型的確定水環(huán)式真空泵的類型主要由所抽介質(zhì)、工作所需的氣

13、量、真空度或排氣壓力而定。水環(huán)式真空泵正常工作以后需要注意的有兩點(diǎn)：盡可能要求所選真空泵的真空度要求在高效區(qū)間內(nèi)，也就是在臨界所需真空度或臨界所需排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，這樣才能保證真空泵能夠按照需要的條件和要求正常工作。 應(yīng)避免在真空泵最大真空度或最大排氣壓力范圍附近運(yùn)行。在這個(gè)區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，容易使真空泵產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯現(xiàn)象是真空泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。過大的汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零部件的損壞，以致于真空泵無法正常工作。由此可以看出，當(dāng)真空泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可以優(yōu)先在單級(jí)

14、泵中選取。如果對(duì)真空度或排氣壓力要求較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可選用羅茨水環(huán)真空機(jī)組作為抽真空裝置。根據(jù)系統(tǒng)所需要的抽氣量正確選擇真空泵如果選定了真空泵或者真空機(jī)組的類型之后，還需要要根據(jù)系統(tǒng)所需的抽氣量來選用正確的型號(hào)。各種型式的水環(huán)式真空泵，其特點(diǎn)如下，以供能夠正確的了解：3. 干式螺桿真空泵干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。3.1 真空泵特征（1）可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它

15、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠，壽命長(zhǎng)。（2）操作維護(hù)方便。（3）動(dòng)力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。（4）適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。（5）多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。3.2 螺桿式干式真空泵的應(yīng)用螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回

16、收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應(yīng)用范圍極為廣泛。具體如下：具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對(duì)獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。 具體應(yīng)用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。紡織、冶金等行業(yè) 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵， 具體應(yīng)用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。一類

17、是以半導(dǎo)體行業(yè)為代表，要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個(gè)等級(jí)。清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣;中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應(yīng)氣體，但無固體顆粒物;惡劣條件下的抽氣，抽除化學(xué)反應(yīng)物(有毒甚至致癌)及固體顆粒物。另一類是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空

18、蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。4. 往復(fù)式真空泵往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵),屬于低真空獲得設(shè)備之一，往復(fù)式真空泵通過連桿曲軸機(jī)構(gòu)在曲軸箱內(nèi)運(yùn)動(dòng)使活塞在氣缸中作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，周期性地改變吸排氣腔的容積，并依靠吸排氣閥的作用完成吸排氣動(dòng)作，從而獲得真空。它的極限壓力一般在13302660P 往復(fù)式真空泵(簡(jiǎn)稱往復(fù)泵)又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵;與水環(huán)式真空泵相比，

19、效率稍高。這類泵的主要缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)較大等。其在很多場(chǎng)合可由液環(huán)式真空泵所取代。往復(fù)式真空泵它的抽速范圍比較大，從50L/S到600L/S，適用于石油、化工、醫(yī)藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業(yè)中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業(yè)等方面的抽除氣體。往復(fù)式真空泵不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器，作輸送泵用。往復(fù)式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體，這種真空泵的抽氣速率較大，真空度較高。故在化工廠中廣泛應(yīng)用。但其結(jié)

20、構(gòu)復(fù)雜，維修量大。W型往復(fù)式真空泵，是獲得粗真空的主要設(shè)備之一，它用于從密閉容器中或反應(yīng)鍋中抽除真空或其它氣體，它不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆?；曳鄣臍怏w。4.1 W型往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)組成：W型往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)由兩個(gè)主要部分組成：（1）W型往復(fù)式真空泵機(jī)械傳動(dòng)部分和氣體流通部分。機(jī)械傳動(dòng)部分整個(gè)結(jié)構(gòu)原件裝在一個(gè)封閉的機(jī)體內(nèi)，曲軸被支承在機(jī)體兩旁的圓錐滾子軸承中。（2）W型往復(fù)式真空泵曲軸一端裝有一個(gè)大帶輪，以驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部分。連桿把曲軸的軸頸和十字頭連接起來?；钊麠U的一端旋入十字頭的螺孔中，另一端裝在活塞的錐孔并以螺母固定之。（3）W型往復(fù)式真空泵電動(dòng)機(jī)和裝在軸上的小帶輪通過三角膠帶帶

21、動(dòng)曲軸旋轉(zhuǎn)，這樣通過連桿和十字頭的作用，使活塞在氣缸中作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。（4）W型往復(fù)式真空泵連桿曲軸機(jī)構(gòu)在機(jī)體內(nèi)運(yùn)動(dòng)時(shí)，使油池中的潤(rùn)滑油飛濺以潤(rùn)滑軸承、曲軸頸、十字頭和滑道等磨擦表面。為了便于檢查和維修傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，機(jī)體兩側(cè)和后面裝有可拆卸的門蓋，在后蓋上裝有油窗以批示機(jī)體內(nèi)油池的油面高度4.2 W型往復(fù)式真空泵的應(yīng)用w型往復(fù)式真空泵已被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)部門，例如化工或食品工業(yè)中的真空蒸餾、蒸發(fā)、結(jié)晶、干燥和過濾，真空冶金工業(yè)中的除氣，電氣工業(yè)上的浸滲等。不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對(duì)金屬有腐蝕性的、與泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個(gè)容器輸送到另一個(gè)容器，作輸

22、送泵用。所以化工、制藥行業(yè)選型要謹(jǐn)慎。4.3 往復(fù)式真空泵選型須知往復(fù)式真空泵產(chǎn)品名稱與型號(hào)，往復(fù)式真空泵管道口徑，往復(fù)式真空泵使用揚(yáng)程(m)，往復(fù)式真空泵電機(jī)功率(KW)，往復(fù)式真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)速(r/min)，往復(fù)式真空泵電壓V，往復(fù)式真空泵使用的吸程(m)，往復(fù)式真空泵使用的介質(zhì)名稱、比重、粘度、腐蝕性、毒性。5水噴射真空泵5.1 水噴射真空泵原理與用途水噴射真空泵是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種有效能的機(jī)械裝置。它是利用一定壓力的水流通過對(duì)稱均布成一定側(cè)斜度的噴出。聚合在一個(gè)焦點(diǎn)上，由于噴射水流速度較高，于是周圍形成負(fù)壓使器室內(nèi)產(chǎn)生真空、另外由于二次蒸汽與噴射水流直接接觸，進(jìn)行熱交換，絕

23、大部分的蒸汽凝結(jié)成水，少量未被冷凝的蒸汽與不凝結(jié)的氣體亦由于與高速噴射的水流互相摩擦，混合與擠壓，通過擴(kuò)壓管被排除，使器室內(nèi)形成更高的真空。水力噴射器應(yīng)用極為廣泛，主要用于真空與蒸發(fā)系統(tǒng)，進(jìn)行真空抽水，真空蒸發(fā)、真空過濾、真空結(jié)晶、干燥、脫臭等工藝，是制糖、制藥、化工、食品、制鹽、味精、牛奶、發(fā)酵以及一些輕工、國(guó)防部門廣泛需求的設(shè)備。但目前生產(chǎn)水力噴射器的制造廠較小，品種亦不齊全。采用多噴咀與汽環(huán)(導(dǎo)向盤)等結(jié)構(gòu)。以及用多級(jí)泵進(jìn)水，低位安裝，完善與提高了其工作性能，因此具有一定的先進(jìn)性、是真空冷凝設(shè)備的一種革新。5.2 水噴射真空泵結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)水噴射真空泵由器體、器蓋、噴咀、噴咀座板、導(dǎo)向盤、擴(kuò)壓

24、管及單向閥等部件組成，噴咀用不銹鋼制造，噴咀座板由優(yōu)質(zhì)鋼加工，其余零件則系鑄鐵鑄造，噴咀 采用多噴咀的結(jié)構(gòu)形式，以便得到較大的水-汽接觸面積，有利于熱交換的進(jìn)行，獲得較好的真空效果。噴咀座板加工精密，精度較高，以便噴射水流準(zhǔn)確地聚集在同一的焦點(diǎn)。導(dǎo)向盤用于減慢蒸汽(或空氣)的流速，使蒸氣均勻地導(dǎo)入器室以免噴射水流偏斜，降低抽射效能。水噴射真空泵整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊精密，強(qiáng)度亦較高，用于真空蒸發(fā)系統(tǒng)中，由于能把冷凝器的冷凝作用與與真空泵的抽氣作用合并在一個(gè)設(shè)備中同時(shí) 大大地簡(jiǎn)化了工藝流程，比之原來用真空泵與舊式冷凝器的裝置，可以節(jié)省去真空 空泵、冷凝器、分水器等設(shè)備，并且還有下列優(yōu)點(diǎn)： （1）水力噴

25、射體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。而效能又比較高，耗電量低于真空系統(tǒng)，投資省。（2）操作簡(jiǎn)單維修方便，不用專職人員看管。5.3 噴射式泵的種類噴射式泵屬于流體作用泵，是利用流體流動(dòng)時(shí)能量轉(zhuǎn)化以達(dá)到輸送流的裝置。噴射泵的工作流體可以是水蒸氣、空氣、水和油等。噴射式真空泵又稱為射流真空泵，是利用噴嘴的高速射流來抽除容器中的氣體來獲得真空的，在化工生產(chǎn)上主要用作真空泵，在蒸發(fā)和蒸餾過程中廣泛使用。噴射式泵的工作流體可以是蒸汽，也可以是水，還可以是其他液體或氣體。工作蒸汽在高壓下經(jīng)噴嘴以很高的速度噴出，在噴射過程中，蒸汽的靜壓能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能，因而在吸入口處造成了一個(gè)低壓區(qū)，將所輸送的流體吸人。吸入的流體與蒸汽

26、混合后進(jìn)入擴(kuò)大管，流速逐漸降低，壓強(qiáng)隨之升高，并從壓出口排出。（1）水蒸氣噴射泵水蒸氣噴射泵的工作介質(zhì)為水蒸氣，它是能直接對(duì)大氣排氣的一種射流真空泵。如圖11 15所示，其工作過程分為3個(gè)階段：一是絕熱膨脹階段，即工作蒸汽通過噴嘴絕熱膨脹的過程，工作蒸汽將其壓力能轉(zhuǎn)化為速度能，并以很高的速度噴射出;二是混合階段，即工作蒸汽與被抽氣體進(jìn)行混合并使兩股氣流進(jìn)行能量交換的過程，被抽氣流的速度得到增加，而工作蒸汽將攜帶著被抽氣體進(jìn)到擴(kuò)壓器中;三是壓縮階段，工作蒸汽與被抽氣體一邊繼續(xù)進(jìn)行能量交換.一邊逐漸被壓縮，使動(dòng)能又轉(zhuǎn)化為位能，當(dāng)?shù)竭_(dá)擴(kuò)壓器的喉部完成混合階段并使兩種氣流達(dá)到同一速度，此后再經(jīng)過擴(kuò)散，

27、使速度降低和壓力進(jìn)一步擴(kuò)大，然后將被抽氣體排出噴射器，從而完成蒸汽噴射泵的工作過程。（2）空氣噴射泵空氣噴射泵與水蒸氣噴射泵的工作原理相類似，但其工作介質(zhì)則為壓縮空氣或常壓空氣。根據(jù)工作介質(zhì)是高壓空氣還是常壓空氣，可將其分為一般空氣噴射泵和大氣噴射泵。一般空氣噴射泵因工作介質(zhì)的耗量很大，故必須配備容量大的空氣壓縮機(jī);一般空氣噴射泵.大多數(shù)是以單級(jí)使用的。大氣噴射泵通常以一級(jí)或二至三級(jí)串聯(lián)工作，并常安裝在水環(huán)真空泵的進(jìn)VI而組成高真空機(jī)組，以提高水環(huán)真空泵的極限真空度和擴(kuò)大工作壓力范圍。（3）水噴射真空泵當(dāng)真空度要求不太高時(shí)，可采用一定壓力的水作為工作介質(zhì)的水噴射真空泵。水噴射的速度，通常為15

28、30m/s左右。它雖屬于粗真空裝置.但其具有產(chǎn)生真空和冷凝蒸汽的雙重作用，所以得到廣泛應(yīng)用。水噴射真空泵的工作原理與蒸汽噴射泵相類似，其效率通常在30%以下。5.4 噴射泵的應(yīng)用噴射式真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造容易，沒有運(yùn)動(dòng)部件，不易發(fā)生故障，維修工作量小。能輸高溫的、腐蝕性的以及含有固體顆粒的流體。但其效率較低，一般在25%30%左右。在石油化工生產(chǎn)中，噴射泵不僅用來代替機(jī)械式真空泵，而且還廣泛用于混合器、冷卻器、吸收器等。噴射泵是被廣泛應(yīng)用于輸送，壓縮混合氣體和蒸汽、液體和固體的設(shè)備，氣體或液體常被作為動(dòng)力介質(zhì)。噴射泵用于產(chǎn)生真空是另一個(gè)非常重要的應(yīng)用。噴射泵適用于高溫、高壓、高真空領(lǐng)域，如真空

29、蒸發(fā)、真空干燥、真空制冷、真空蒸餾，還可提升液、堿或含有磨料的懸浮液，也適用于強(qiáng)輻射的特殊環(huán)境。噴射泵在產(chǎn)生真空方面的應(yīng)用：（1）因?yàn)閲娚浔玫亩鄻有裕湟驯粡V泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，例如，化學(xué)反應(yīng)器、排氣系統(tǒng)、水處理設(shè)備、混合槽、儲(chǔ)存槽、廢水處理設(shè)備、加熱系統(tǒng)、加熱供氣系統(tǒng)、電廠、游泳池、鮭廠的供水等。以及不同工業(yè)領(lǐng)域中真空的形成。（2）用水蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)的噴射泵形成真空是一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域。其輸送的高速噴射相當(dāng)于聲速的幾倍，因此噴射泵也能夠輕而易舉地在真空中處理大容量的物質(zhì)。（3）因?yàn)閱渭?jí)噴射泵只能克服極其有限的壓縮比，當(dāng)抽吸壓力低時(shí)，幾個(gè)噴射泵必須串聯(lián)安裝。多級(jí)水蒸汽噴射真空泵的抽吸壓力可以達(dá)到

30、低至0.01mbar。為了冷凝大部分的動(dòng)力水蒸汽并使下一級(jí)的抽吸量減少到最小，一般在兩個(gè)噴射泵中間安置一個(gè)冷凝器。根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)合，采用直接接觸冷凝器或表面冷凝器。（4）在噴射泵中主要以水蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)。在絕大部分工業(yè)中，水蒸汽作為基本的能量被大量地生產(chǎn)，因此非常容易獲得。在動(dòng)力水蒸汽的冷凝過程中，或多或少會(huì)產(chǎn)生廢水。雖然量很小，而且即使把廢水的排放費(fèi)用考慮進(jìn)去，水蒸汽噴射泵仍是最經(jīng)濟(jì)的真空泵，但對(duì)真空噴射泵來說總是有一定的負(fù)面影響。（5）此作為一種選擇，產(chǎn)品蒸汽被愈來愈多地應(yīng)用于噴射泵的操作。例如，溶劑蒸汽、氯苯、甲苯、丁二醇、乙烯、乙二醇、呋喃。（6）在這種情況下，動(dòng)力蒸汽冷凝后再次蒸發(fā)被利

31、用作為動(dòng)力介質(zhì)。由于有機(jī)蒸汽的蒸發(fā)溫度低，在大多數(shù)情況下，這種操作方式比采用水蒸汽運(yùn)行更有利于節(jié)省能源。（7）采用產(chǎn)品蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)的噴射泵的另一重要操作范圍是在工藝物料中不允許混入水。為了獲得最佳的效率，采用產(chǎn)品蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)的噴射泵仍需詳細(xì)的研究。（8）噴射泵的優(yōu)點(diǎn)：就結(jié)構(gòu)和功能而言，這種噴射泵同采用水蒸汽作為動(dòng)力介質(zhì)的真空噴射泵并無大的差別，而且有著相同的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;操作安全可靠，無需保養(yǎng);使用壽命長(zhǎng)，耐磨損;適當(dāng)選材可具耐腐蝕性;所有材料均可制造。另外，由于冷凝液循環(huán)使用，無排放污染。噴射真空泵應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，如下是幾個(gè)重要的應(yīng)用領(lǐng)域：（1）在化工方面GEA噴射泵公司已經(jīng)開

32、發(fā)了組合泵，并已普遍應(yīng)用。這種泵的顯著特點(diǎn)是外形緊湊及雙設(shè)計(jì)構(gòu)造。兩個(gè)平行的泵既能相互獨(dú)立交替操作，也能?同時(shí)操作，因此就可能在不停車的情況下進(jìn)行維修。（2）在化學(xué)工業(yè)中，如果不銹鋼不能滿足耐腐要求，可使用陶瓷/石墨的真空噴射泵來脫除腐蝕性氣體和水蒸汽。噴射泵用陶瓷制成，表面冷凝器由石墨制成。?表面冷凝器由一緊湊的冷凝器組合而成。這種結(jié)構(gòu)有著尺寸小，所需空間少及現(xiàn)場(chǎng)組裝簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。（3）在煉油廠，水蒸汽真空噴射泵同液環(huán)泵組合用于煉油廠的減壓精餾塔系統(tǒng)。這兩種泵的組合保持很低的蒸汽、水和電的消耗。由于能輸送所產(chǎn)生的大量氣體?(在104106m3/h范圍內(nèi))，GEA噴射泵公司的水蒸汽真空噴射泵對(duì)此

33、用途是非常合適的。同時(shí)，運(yùn)行安全可靠，并不易發(fā)生故障。（4）同樣，涉及大體積流的情況是在煉鋼脫氣的真空產(chǎn)生中。為了生產(chǎn)一定品質(zhì)的鋼，一些生鋼的處理過程需在真空下進(jìn)行。這種真空泵必須有兩個(gè)作用。一是?迅速抽空操作容器，以達(dá)到所需的壓力。這意味著真空噴射泵的初始揣吸量必須很大(幾千kg/h)。二是保持低壓的同時(shí)脫除大量惰性氣體(大約相當(dāng)于0.6mbar下，幾百kg/h)。（5）另外，真空噴射泵還用以可食用油脫臭、化學(xué)合成物的聚合物的生產(chǎn)、海水脫鹽、油脫水、食品、飲料和煙草的調(diào)理、紡紗浴的抽吸及其它許多應(yīng)用領(lǐng)域。6. 旋片式真空泵 旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備

34、之一。旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。有單級(jí)旋片真空泵和雙級(jí)真空泵兩種。6.1 旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)說明旋片式真空泵是一種容積泵，它借助于旋片在泵腔中連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)將氣體吸入并壓縮，最后由排氣口排出。泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片等組成，轉(zhuǎn)子被偏心地裝入定子腔內(nèi)。轉(zhuǎn)子槽中有兩塊旋片，旋片彈簧置于兩旋片之間。定子上的進(jìn)、排氣口被轉(zhuǎn)子和旋片分離為兩部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片在彈簧張力與本身離心力的共同作用下其端部緊貼于泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)，周期性地將進(jìn)氣口側(cè)的腔內(nèi)容積擴(kuò)大

35、而吸入氣體，同時(shí)逐漸縮小排氣口的容積，將已吸入的氣體壓縮，然后從排氣口排出從而達(dá)到抽氣的目的。6.2 旋片式真空泵的特點(diǎn)及適用范圍（1）特點(diǎn)：真空泵吸氣口安裝有金屬絲網(wǎng)的粗過濾器。能防止固體的外來塵粒吸入泵腔。油分離器內(nèi)安裝有高效油氣分離效果的排氣過渡器。停泵時(shí)，內(nèi)置于吸氣口的吸氣閥使泵與被抽系統(tǒng)隔離，防止油返入被抽系統(tǒng)。泵由空氣冷卻。XD旋片真空泵所有的泵均由直聯(lián)的電動(dòng)機(jī)通過彈性聯(lián)軸器驅(qū)動(dòng)。（2）適用范圍：真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。入口壓力范圍：100Pa100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣

36、體溫度應(yīng)在540之間。真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。一般供應(yīng)的電動(dòng)機(jī)不防爆，如要求防爆或其它特殊要求時(shí)電動(dòng)機(jī)必須符合相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)。6.3 旋片式真空泵的應(yīng)用其工作壓強(qiáng)范圍為101325-1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。 旋片式真空泵是抽除氣體的基本設(shè)備之一，它可單獨(dú)使用，也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高泵連接在一起作為前級(jí)泵使用。（1）旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器內(nèi)的氣體，使該容器獲得一

37、定真空的基本設(shè)備，由于現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高度發(fā)展，旋片真空泵的應(yīng)用遍及各個(gè)科學(xué)領(lǐng)域和各種企業(yè)事業(yè)單位，可供冶金、化工、輕工、石油、醫(yī)療、制藥、印染、電器、電真空、半導(dǎo)體、食品、原子能、紡織等科研機(jī)關(guān)、大專院校、工礦企業(yè)作科研和生產(chǎn)與教學(xué)之用。并廣泛在榨油機(jī)上使用。（2）由于旋片真空泵是用黑色金屬制造，而且比較精密，整個(gè)泵的工作都是聯(lián)系在一起的，所以旋片真空泵不適用于抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對(duì)真空油起化學(xué)作用的各種氣體，也不可做為壓縮機(jī)和輸送泵使用。如有氣鎮(zhèn)裝置的泵，可抽除一定地的可凝汽體。6.4 旋片式真空泵的使用啟動(dòng)前先檢查水冷泵的冷卻水是否接通，當(dāng)環(huán)境溫度較低時(shí)，可用

38、手搬動(dòng)皮帶輪，使泵腔內(nèi)的油排入油箱。然后按動(dòng)電機(jī)按鈕送電，注意電源方向是否接反，泵旋轉(zhuǎn)方向是否正確。檢查真空泵油量是否在油標(biāo)線附近;接通被抽系統(tǒng)閥門時(shí)不要開得太快，防止大量噴油;運(yùn)轉(zhuǎn)中注意有無不正常的噪聲和沖擊聲，注意泵的油溫升高，有局部過熱時(shí)立即停泵，防止卡泵或磨損。停泵一定要從泵入口放大氣(一般購(gòu)買的機(jī)組都有自動(dòng)放閥);斷電后再斷水。6.5 性能特點(diǎn)旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵，當(dāng)采用工作液來進(jìn)行潤(rùn)滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時(shí)，即為通常所稱的迅達(dá)真空泵的旋片真空泵，在性能上有如下特點(diǎn)：（1）體積小、重量輕、噪音低;（2）設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，可抽除少量水

39、蒸氣;（3）極限真空度高;（4）內(nèi)裝強(qiáng)制進(jìn)油，潤(rùn)滑充分，性能可靠;（5）設(shè)有自動(dòng)防返油雙重保險(xiǎn)裝置;（6）保持進(jìn)氣壓強(qiáng)為1.33×10Pa時(shí)仍可連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn);（7）不漏油、不噴油、不污染工作環(huán)境,排氣裝置有專配油霧收集器;（8）可以配備小口徑轉(zhuǎn)換接頭和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的KF接口。6.6 旋片式真空泵的使用特點(diǎn)抽氣速率： 4100L/S (升/秒)極限壓強(qiáng)： 6*10-2Pa (帕)極限真空： 1.3Pa (帕)氣體類型： 常溫?zé)o其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。工作要求： 進(jìn)口壓強(qiáng)在大于6500Pa時(shí)連續(xù)工作時(shí)間，不得超過3分鐘以免噴油引起泵損。工作要求： 進(jìn)口壓強(qiáng)在小于1

40、330pa的條件下，允許長(zhǎng)時(shí)期連續(xù)工作。環(huán)境溫度： 真空泵一般在不低于5的室溫及不高于90%的相對(duì)溫度的環(huán)境內(nèi)使用。7滑閥式真空泵7.1 滑閥式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)滑閥式真空泵是工業(yè)領(lǐng)域常用的一種油封式真空泵。區(qū)別于其他油封式真空泵，它最大的特點(diǎn)是通過滑閥式轉(zhuǎn)子在泵浦內(nèi)做機(jī)械運(yùn)動(dòng)，改變腔體容積來達(dá)到特定的抽氣母的。因此滑閥式真空泵也是一種容積式泵浦。與其他油封式真空泵一樣也可以抽取一般性氣體或含有少量可凝性氣體，在不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用也較為廣泛。與一般旋片式真空泵一樣，滑閥式真空泵也有單級(jí)與雙極之分，當(dāng)然根據(jù)它的結(jié)構(gòu)特征還有立式和臥式兩種不同的結(jié)構(gòu)形式。單級(jí)滑閥式真空泵極限真空值一般可以抽到0.4-

41、1.3Pa，雙級(jí)滑閥式真空泵的極限壓力可以抽到6 X 10-2 -10-'Pa的范圍內(nèi)。在實(shí)際工業(yè)應(yīng)用中，超過一般抽速超出150L/S的工藝要求的，通常采用單級(jí)式滑閥真空泵。由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn)，使得這種泵具有能夠長(zhǎng)期在較高壓強(qiáng)和較差的抽氣條件下工作、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，在各個(gè)領(lǐng)域(例如真空冶煉、真空干燥、真空鍍膜、真空浸潰等其他真空作業(yè)領(lǐng)域)都得到了廣泛的應(yīng)用。由于滑閥泵耐用、可靠，能在惡劣的抽氣環(huán)境下工作，因此它可以單.獨(dú)使用，也可作為其他真空泵的前級(jí)泵?；y泵有單級(jí)H型、雙級(jí)2H型：滑閥式真空泵適用于抽吸空氣及其他一般性氣體，當(dāng)使用氣鎮(zhèn)時(shí)，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性氣體(如水蒸汽)。

42、當(dāng)抽吸含氧過高的、有爆炸性的、對(duì)黑色金屬有腐蝕性的、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)的氣體時(shí)，應(yīng)該附加裝置。本型泵可單獨(dú)使用，也可作為擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵等高真空泵的前級(jí)泵，相對(duì)于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，使用壽命長(zhǎng)。該泵在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬試驗(yàn)使用較多?；y真空泵有以下特點(diǎn)：（1）經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)配重，振動(dòng)少，噪聲低。（2）軸承密封室單獨(dú)供油，與泵腔隔開，避免了雜質(zhì)進(jìn)入軸承、密封過早損壞。（3）根據(jù)用戶要求，可附帶副油箱，達(dá)到冷卻真空油分離雜質(zhì)的作用。（4）除老式H-150外，電機(jī)均置于泵的上方，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積少滑閥真空泵參數(shù)：7.2 滑閥真空泵的應(yīng)用范圍廣泛應(yīng)

43、用在航天、航空、原子、石油、化工、制藥、電工、陶瓷、冶煉、新材料、真空熱處理、真空鍍膜等行業(yè)。 滑閥真空機(jī)組具有顯著的節(jié)能效果，真空度高，高真空區(qū)間抽氣量大，可廣泛應(yīng)用于電力工業(yè)的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥;航空模擬試驗(yàn)較理想的真空設(shè)備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應(yīng)加裝過濾裝置。滑閥真空泵的應(yīng)用要點(diǎn)：滑閥泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高"(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環(huán)境下連續(xù)工作，經(jīng)久耐用等突出優(yōu)點(diǎn)，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用

44、隨著真空應(yīng)用范圍越來越廣泛，在真空干燥、真空浸漬、真空脫水、真空冶煉等行業(yè)用滑閥泵抽除氣體都含有大量水蒸汽。如果在真空泵中不能及時(shí)排除，就會(huì)污染真空泵油，造成真空泵抽氣性能降低。盡管在泵上設(shè)置了氣鎮(zhèn)閥，認(rèn)可降低泵的極限真空，用氣鎮(zhèn)方法抽除可凝性氣體，但對(duì)于真空干燥、脫水、煉泥等水蒸汽含量高的抽氣過程來說，用氣鎮(zhèn)方法并不理想，一般有以下方法可試用：（1）滑閥泵與冷凝器配套使用。目前國(guó)內(nèi)多數(shù)廠家采用這一方案。原理是將冷凝器串接在泵與被抽容器之間，把真空工藝設(shè)備中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，從而減少水蒸汽進(jìn)入真空泵中的數(shù)量、降低泵油污染程度。如果適當(dāng)調(diào)節(jié)冷凝器出口閥門流量和充分發(fā)揮真空泵上的氣鎮(zhèn)閥

45、作用，可以取得較好的抽氣效果。（2）變滑閥泵為熱泵。根據(jù)水的物理特性及相圖原理，可將滑閥式真空泵改成熱泵。這樣.可在較高泵腔溫度條件下，抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下：用一套自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)控制器，通過自動(dòng)控制泵的冷卻水流量來達(dá)到控制泵腔溫度的目的。使得在抽氣過程中，泵腔的溫度始終控制在高于水的飽和蒸汽壓溫度，促使被抽氣體中的大量水蒸汽能順利排出。為避免出現(xiàn)由于泵腔內(nèi)溫度較高，泵長(zhǎng)期工作可能會(huì)出現(xiàn)的泵油變稀、真空度下降、運(yùn)轉(zhuǎn)零部件卡死等現(xiàn)象，在設(shè)計(jì)中可采用耐高溫的泵油如(N-62或N-68)和耐高溫軸承.加大運(yùn)轉(zhuǎn)零部件的間隙等。8羅茨真空泵8.1 羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)形式羅茨真空泵的泵體的布置結(jié)

46、構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。目前國(guó)內(nèi)外的羅茨真空泵總體結(jié)構(gòu)大致有三種型式：（1）立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。 （2）臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。（3）泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)

47、復(fù)雜。僅見于國(guó)外產(chǎn)品。8.2 泵的傳動(dòng)方式羅茨真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。另一種是電動(dòng)機(jī)和傳動(dòng)齒輪分別裝在轉(zhuǎn)子兩側(cè)。這種形式使泵的整體結(jié)構(gòu)勻稱，但主動(dòng)軸扭轉(zhuǎn)變形較

48、大。為保證轉(zhuǎn)子在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的間隙均勻，要求軸應(yīng)有足夠的剛度，軸和轉(zhuǎn)子之間的聯(lián)接要緊固(目前已有轉(zhuǎn)子與軸焊或鑄成一體的結(jié)構(gòu))。這種結(jié)構(gòu)拆裝都很方便，所以被廣泛采用。8.3 羅茨泵的特征啟動(dòng)快，耗功少，運(yùn)轉(zhuǎn)保護(hù)費(fèi)用低，抽速大、效力高，對(duì)被抽氣體中所含的大批水蒸汽和灰塵不敏感，在1001帕壓力規(guī)模內(nèi)有較大抽氣速率，能敏捷消除忽然放出的氣體。這個(gè)壓力規(guī)模恰益處于油封式機(jī)械真空泵與分散泵之間。因而，它常被串聯(lián)在分散泵與油封式機(jī)械真空泵之間，用來進(jìn)步兩頭壓力規(guī)模的抽氣量。這時(shí)它又稱為機(jī)械增壓泵。 （1）在較寬的壓力規(guī)模內(nèi)有較大的抽速; （2）轉(zhuǎn)子具備良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)顛簸。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體

49、間均有間隙，不必光滑，摩擦喪失小，可大大下降驅(qū)動(dòng)功率，從而可完成較高轉(zhuǎn)速; （3）泵腔內(nèi)無需用油密封和光滑，可增加油蒸氣對(duì)真空體系的凈化; （4）泵腔內(nèi)無收縮，無排氣閥。構(gòu)造簡(jiǎn)樸、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感; （5）收縮對(duì)比低，對(duì)氫氣抽氣后果差;8.4 羅茨真空泵的應(yīng)用羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時(shí)羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及、食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。轉(zhuǎn)子外表為外形較為龐雜的曲線

50、柱面，加工和檢討對(duì)比艱難。羅茨泵近幾年在海內(nèi)外得到較快的開展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了普遍的運(yùn)用。9. 擴(kuò)散泵9.1 性能參數(shù)通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥?。?）極限真空如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。（2）最大反壓強(qiáng)最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級(jí)泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。（3）抽氣速率擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動(dòng)理論來推算出

51、來。（4）設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑蛴捎跀U(kuò)散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因?yàn)楸帽谕庠O(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會(huì)返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實(shí)驗(yàn)室中要特別注意。如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢澹@樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。9.2 擴(kuò)散泵的應(yīng)用范圍擴(kuò)散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,它們都是利用高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的,所以擴(kuò)散泵具有和水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn)。不同點(diǎn)主要在于擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域,其工作壓強(qiáng)范圍為10-210-6pa。擴(kuò)散泵廣泛用于電子、化工、冶金、機(jī)械、石油及原子能等工業(yè)部門

52、中。9.3 影響油擴(kuò)散泵性能的因素（1）油擴(kuò)散泵的返流。（2）氣體分子的反擴(kuò)散。（3）擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。（4）泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵，目前，擴(kuò)散泵是最廣泛、最主要的獲得高真空的工具之一 。作為前級(jí)泵。高真空擴(kuò)散泵主要由泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等組成。10. 分子泵分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被

53、驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。10.1 工作條件（1）轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)。 （2）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級(jí)泵，一般使用旋片泵作為前級(jí)泵。10.2 分子泵特點(diǎn)油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。

54、脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。10.3 其他常見應(yīng)用（1）分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等；（2）半導(dǎo)體(電子組件、集成電路、柔性太陽(yáng)能電池等；（3）光學(xué)/玻璃(熱保護(hù),增透、反射、光學(xué)濾光膜；（4）鍍膜(表面保護(hù)，裝飾涂料，顯示器，屏幕；（5）真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金；（6）泄漏檢測(cè)(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊；（7）研究實(shí)驗(yàn)(醫(yī)學(xué)核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應(yīng)用和許多更多；（8）燈生產(chǎn)行業(yè)及相關(guān)。11. 鈦升華泵11.1 簡(jiǎn)介鈦升華泵是靠新鮮鈦膜的化學(xué)吸附

55、作用抽氣的真空泵。這種泵具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、抽速大、無油污染、抗輻射和無振動(dòng)噪聲等特點(diǎn)，啟動(dòng)壓力為110-2帕，工作壓力范圍為10-210-8帕，是獲得無油超高真空的重要真空泵。鈦升華泵可有三種類型，一種是單體泵，用法蘭與被抽容器聯(lián)接;另一種是升華器放入被抽容器中，被抽容器壁即為吸氣面;第三種是與其它泵組合，作成組合泵。無論哪種類型，都必須有吸氣面、升華器和控制器三部分。吸氣面主要是泵體或各種殼體，控制器屬于電控，升華器的種類較多，這里介紹幾種升華器的結(jié)構(gòu)。（1）對(duì)升華器的要求：能提供所需要的鈦升華率；鈦升華率易于調(diào)節(jié)，可連續(xù)或間斷地供應(yīng)吸氣劑；鈦升華器本身出氣少或易于去氣；要有足夠的工作壽命，即要

56、有足夠的儲(chǔ)鈦量。（2）電阻加熱式升華器：直接通電加熱鈦絲。常用兩種結(jié)構(gòu)。纏繞鈦絲式升華器：將鈦絲直接纏繞在鎢桿或鉭桿上，鎢桿或鉭桿通電加熱到足夠高的溫度，鈦就不斷升華出來。鈦鉬絲式升華器：這種升華器是將鈦(85%)與鉬(15%)冶煉成合金或?qū)⑩佒苯渝冊(cè)阢f桿上，然后將鈦鉬絲直接通電加熱，使鈦不斷升華。熱傳導(dǎo)加熱式：它是由導(dǎo)熱性能良好的氧化鈹陶瓷為芯，內(nèi)串以錸鎢絲制成的加熱器。陶瓷芯上先繞一層鉬箔，防止鈦與氧化鈹直接接觸起反應(yīng)，避免鈦的加劇消耗。鈦帶纏繞在鉬箔上，它們之間用氧化鉿-甘油漿涂敷。輻射加熱式升華器：這種升華器從結(jié)構(gòu)上將加熱源和升華源分成兩部分。利用放在鈦球內(nèi)的螺旋鎢絲，由電阻加熱作熱源，利用輻射加熱鈦球，使