真空泵的選擇方法

1、半導(dǎo)體及新能源行業(yè)真空泵的選擇方法一：如何選用？   1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。    2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華

2、泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。    3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。    4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣

3、壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。    5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。    6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。   

4、; 7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。    8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。     9、真空泵的價格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。 水環(huán)式真空泵的選擇 一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。 泵工作時，需要注意以下兩個方面： 盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。應(yīng)避免在最大真空度或

5、最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。 二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵 

6、初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照廠商的設(shè)備參數(shù)真空計算公式。 面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集如下，以利于選型     真空泵一覽表名稱型 號抽氣速率 L/s極限真空Pa配用功率kW旋片真空泵2X(Z)型旋片式真空泵0.5706´ 10-20.555.5XD、X單級旋片真空泵2.81502´ 10-20.3715X型單級旋片真空泵301506411往復(fù)真空泵W型往復(fù)真空泵323002000430556005.545羅茨真空泵ZJ

7、型羅茨真空泵3050005´ 10-20.75557030001.130滑閥真空泵H型滑閥真空泵860011.155706007.5552H型滑閥真空泵81500.1415液環(huán)真空泵2BE1、CBF水環(huán)式真空泵2450 m3/min3.3 1037.57102BE1型雙級水環(huán)式真空泵5320 m3/min113802BV 型水環(huán)式真空泵0.38.3 m3/min0.81152SK型雙級水環(huán)式真空泵0.430 m3/min3.5 1032.255S、SK型水環(huán)式真空泵0.6725 m3/min(3.54)´ 1031.555SK型水環(huán)式真空泵0.4120 m3/min(815

8、)´   1031.1185SZ、SK型水環(huán)式真空泵1.527 m3/min(514)´   1035.575SK、2YK型水環(huán)式真空泵5280 m3/min10422380FSK型水環(huán)式真空泵39 m3/min(514)´   1037.522 YL型液環(huán)式真空泵525 m3/min9´ 10430132真 空 泵機(jī)組JZJ型羅茨、旋片真空泵機(jī)組301200(15)´ 1021.326JZJ1型羅茨、旋片真空泵機(jī)組701200(510)´ 1024.322.5JZJS型羅茨、水環(huán)真空

9、泵機(jī)組7060025650739.5JZJ1S型羅茨、水環(huán)真空泵機(jī)組1506009.724.7JZJH型羅茨、滑閥真空泵機(jī)組300120010111.5262BW4型水環(huán)真空泵成套機(jī)組1095 m3/min10345185真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算？                          我們經(jīng)常接到電話，一些用戶詢問，真空表讀數(shù)所反映

10、的究竟是多少Pa。能不能用直觀的數(shù)字來顯示？  （1） 真空表上 “0”表示正一個大氣壓,“-0.1”表示絕對真空。真空表上的指示值不表示真空度的絕對值，只表示了真空度的相對值。  真空度的換算； 根據(jù)本表的刻度示值范圍，真空度的絕對值與相對值可用下式換算：  P=1×105（1-/0.1） P - 真空度的絕對值（Pa）    - 真空表的刻度示值絕對值 例一：表的示值為O，則P=1×105（1-O/0.1）=1×105 Pa = 1個大氣壓  例二：表的示值為0.1，則P=1×105（1-0.1/0.1）=0 Pa為絕對真空。      (絕對真空是不存在的) 例三：表的示值為0.08，則P=1×105（1-0.08/0.1）= 2×104Pa   本產(chǎn)品的真空度指標(biāo)值為267Pa，表示本產(chǎn)品在267Pa（表面示值約為0.0997，接近于-0.1）時的低真空度狀態(tài)下仍能保證正常工作。產(chǎn)品的真空度主要取決于配套真空泵的性能。真空度計量單位換算如下