MOCVD材料生長等重大裝備項目

1、中國科學院半導體研究所MOCVD材料生長等重大裝備項目一、技術簡介MOCVD （Metal Organic Chemical Vapor Deposition）設備，即金屬有機物化學氣相沉積設備，是化合物半導體外延材料研究和生產(chǎn)的關鍵設備，特別適合化合物半導體功能結構材料的規(guī)?；I(yè)生產(chǎn)，是其它半導體設備所無法替代的核心半導體設備，是當今世界上生產(chǎn)半導體光電器件和微波器件材料的主要手段，是當今信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展、國防高新技術突破不可缺少的戰(zhàn)略性高技術半導體設備?！熬盼濉逼陂g，中科院半導體所設計研制了一臺適合GaN材料生長的MOCVD研究型設備。這是國內研制的第一臺氮化鎵光電子材料外延設備，為水平反應

2、室，一次可外延生長一片2英寸外延片。用這臺設備，中科院半導體所在國內率先開展了氮化鎵藍光LED的研究工作。“十五”期間，半導體所在國家“863”計劃等項目的支持下，又系統(tǒng)地開展了MOCVD生長室、原料輸運、電路控制等方面的設計與技術研究工作，成功研制出了具有自主知識產(chǎn)權的可一次生長3片2英寸外延片的研發(fā)型MOCVD設備樣機，實現(xiàn)了襯底機座的公轉/自傳獨立調節(jié)、具有低成本的新型原料配送結構等功能，并生產(chǎn)出性能優(yōu)良的氮化鎵基材料。目前具有新穎結構設計、具有獨立自主知識產(chǎn)權的新型6片型MOCVD系統(tǒng)原型機即將研制成功并投入使用，為國產(chǎn)化MOCVD設備的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展奠定了堅實基礎。二、市場前景據(jù)測算，當

3、前隨著MOCVD設備在半導體制造業(yè)中的廣泛應用，全世界每年對MOCVD設備約有300臺的市場需求，其中GaN-MOCVD設備每年至少需求120臺。我國“十一五”期間約需新增LED芯片產(chǎn)能96億只/年，需新增MOCVD設備至少50臺（按19片機規(guī)模），設備投入將達到8000- 10000萬美元規(guī)模，甚至突破1億美元。目前世界上MOCVD設備制造商主要有兩家：德國AIXTRON公司(英國THOMAS SWAN公司已被AIXTRON公司收購)和美國 VEECO公司（并購美國EMCORE公司）。目前國內有外延和芯片生產(chǎn)企業(yè)20多家，這些企業(yè)已累計引進30多臺MOCVD，總投資在4000萬美元

4、左右，主要購買德國 AIXTRON和美國EMCORE兩家供應商的MOCVD設備，以6片和9片機型居多，每臺設備的價格在100萬美元左右。近期已有企業(yè)開始引進國外19片、21片或24片機型等先進的MOCVD設備。三，應用領域MOCVD設備作為氮化鎵、砷化鎵、磷化銦等化合物半導體外延材料研究和生產(chǎn)的重要技術手段，特別是作為工業(yè)化生產(chǎn)的設備，它的高質量、穩(wěn)定性、重復性及規(guī)?；瞧渌陌雽w材料生長設備所無法替代的。它的高質量、穩(wěn)定性、重復性及多功能性越來越為人們所重視。它是當今世界上生產(chǎn)半導體光電器件和微波器件材料的主要手段，如激光器、探測器、發(fā)光二極管、高效太陽能電池、光電陰極等光電子產(chǎn)業(yè)不可缺少的設備。四、效益分析制造一臺6片機型MOCVD系統(tǒng)，需材料費440萬元（關鍵部件采用進口件），加工費20萬元，勞務費30萬元，其它雜費10萬元，成本共計500萬元。銷售按650萬元/臺，稅前利潤150萬元，每年暫按3臺的銷量，稅前利潤可達450萬元。MOCVD系統(tǒng)的銷量將會隨著產(chǎn)品信譽度的提高而增加，由于本項目擁有MOCVD關鍵技術的自主知識產(chǎn)權，該產(chǎn)品不僅可以在國內銷售，還可以出口國際市場。08年6月08年4月08年8月08年10月08年12月電氣系統(tǒng)安裝調試控制系統(tǒng)安裝調試反應室安裝調試