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文檔簡介

1、OMPLEX卡普萊斯（北京）科技有限公司真空檢漏真空檢漏法檢漏方法工作壓力Pa現(xiàn)象設(shè)備最小可檢漏率Pam3/ s靜態(tài)升壓法抽真空后封閉，壓力上升真空計10-510-6放電管法放電顏色改變放電管10-310-4高頻火花檢漏器法10310-1亮點(diǎn)，放電顏色改變高頻火花檢漏器10-310-4真 空計 法熱傳導(dǎo)真空計法10310-1熱偶或電阻真空計10-6電離真空計法10-210-6電離真空計10-9差動熱傳導(dǎo)真空計法10310-1施用示漏物質(zhì)真空計讀數(shù)變化熱傳導(dǎo)真空計差動組合10-7差動電離真空計法10-210-6電離真空計差動組合-1010有吸附阱的熱傳導(dǎo)真空計法10310-3液氮冷卻活性炭阱，熱

2、傳導(dǎo)計10-7有吸附阱的電離真空計法10-210-6液氮冷卻硅膠阱，冷陰極電離計10-1110-13氫鈀法7X10110-5氫氣通過鈀管進(jìn)入 真空規(guī)，讀數(shù)變化鈀管，電離計10-710-11離子泵檢漏法10-510-7示漏物質(zhì)使離子流變化離子泵10-910-12鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法10 10-1輸岀儀表讀數(shù)變化鹵素檢漏儀10-710-9氯質(zhì)譜檢漏儀法10-2輸岀儀表讀數(shù)及聲響頻率變化氦質(zhì)譜檢漏儀10-1210-14質(zhì) 譜計 法射頻質(zhì)譜計法10-210-4施用示漏物質(zhì)輸出儀表讀數(shù)變化射頻質(zhì)譜計10-610-11回旋質(zhì)譜計法10-310-7回旋質(zhì)譜計10-710-12四極濾質(zhì)器10-110-4四極濾質(zhì)

3、器10-1010-11其它檢漏法檢漏方法工作條件現(xiàn)象設(shè)備靈敏度Pam3/s備注熒光法熒光材料，有機(jī)溶劑熒光材料發(fā)光紫外線光源10-910-11放射性同位素背壓法放射性氣體，背壓抽真空計數(shù)器輸出信號背壓室，閃爍計數(shù)器-1210背壓數(shù)小時電子管慢性漏氣 的加速測定法背壓室充氬氣，電子管可為電離規(guī)儀表讀數(shù)變化背壓室，測量電路10-910-11背壓數(shù)小時COMPLEX (BEIJING) TECHNOLOGY CO,.LTD.OMPLEX卡普萊斯（北京）科技有限公司氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法背壓室充氦氣抽真空儀表讀數(shù)及聲響頻率變化背壓室，氦質(zhì)譜檢漏儀一些方法的靈敏度和檢測漏率公式及注意事項列表7。各種示漏氣體的值示于表8。真空計檢漏法中示漏氣體的靈敏度置換系數(shù)和最小可讀壓力 Pa 分別列于表 9 和表 10。在用離子泵法檢漏時，氧氣和二氧化碳的R= -0.5，氦氣和氫氣的 R= 0.5。OMPL

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