無塵室管理規(guī)定

1、目錄1.0無塵車間管理的目的2.0無塵車間管理的原則3.0適用范圍4.0術(shù)語5.0管理程序51無塵室施工管理制度52無塵室潔凈度定期檢測制度/ 測量標準53無塵室人員管理制度54無塵室潔凈服管理制度55無塵室物流 / 潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理制度56無塵室清潔、清掃和滅菌管理57無塵室潔凈室安全管理6.0版本更改記錄1 0 無塵車間管理的目的半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、安全生產(chǎn)，必須對潔凈室的環(huán) 境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過程等進行控制。2 0 無塵車間管理的原則2.1進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)

2、的設(shè)備、管線的維護管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。2.2操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動和動作；室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。2.3嚴格各類設(shè)備、設(shè)施的維護管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具（工裝夾具）等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。2.4清掃、滅菌管理，對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。2.5潔

3、凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。3 0 適用范圍半導(dǎo)體公司所有潔凈生產(chǎn)區(qū)及潔凈輔助間（ 包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關(guān)生活用室等） 、車間內(nèi)管理區(qū)（包括部分辦公、值班、管理和體息室等） 和將來新建、改建、擴建的潔凈廠房及其輔助用房。4 0術(shù)語潔凈生產(chǎn)區(qū)是潔凈廠房的主要部分，對潔凈級別有明確規(guī)定的區(qū)域。潔凈輔助間是潔凈廠房不可缺少的必備房間。潔凈輔助間對潔凈廠房的平面關(guān)系密切，對潔凈廠房的建造帶來影響和投產(chǎn)后能否滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要以及能否可靠地防止生產(chǎn)過程的污染或交叉污染至關(guān)重

4、要。管理區(qū)是潔凈廠房內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)過程的生產(chǎn)管理、技術(shù)管理用房和必要的操作人員的休息、福利用房。設(shè)備區(qū)即凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力系統(tǒng)等用房，是潔凈廠房的重要組成部分。5 0 管理程序5 1 無塵車間潔凈室施工管理制度5 11 背景5 11 1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。5 11 2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。5 11 3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本

5、制度規(guī)定的原則進行管理。5 12 責(zé)任與義務(wù)5 12 1 所有承包商有責(zé)任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責(zé)任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。5 12 2 承包商負責(zé)執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設(shè)區(qū)域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責(zé)提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責(zé)提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。5 12 3 承包商建造區(qū)域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進行培訓(xùn)，并維護被允許在此區(qū)域工作的人員身份認定和管理。5

6、 12 4 開始階段，承包商應(yīng)在每個入口處安排人員（除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。5 12 5 重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。5 13 草案細則潔凈室草案分為三部分，每一部分對應(yīng)施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場地帶入臟物。5 13 1 第一部分第一部分主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現(xiàn)場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應(yīng)該保持適當(dāng)?shù)母蓛簟，F(xiàn)場安全規(guī)則必須時刻遵守。所有設(shè)備和材

7、料必須從一個入口進入施工現(xiàn)場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。施工現(xiàn)場內(nèi)不允許吃東西，吸煙，喝酒。每班結(jié)束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品。總之，整個施工現(xiàn)場每天必須保持干凈。5 13 2 第二部分第二部分主要針對直到gridlineB西邊潔凈區(qū)域的內(nèi)墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應(yīng)商如果要進入潔凈區(qū)域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設(shè)備和材料的入口是經(jīng)過威世半司管理人員同意的。導(dǎo)體 （西安 ） 有限公gridlines 1和 2 之間的通向成品倉庫的外門。gridlines15 和 16 之間的通向原料倉庫的外門。其它入口必須經(jīng)過潔凈工程承包商的書

8、面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預(yù)留區(qū)域。進如潔凈區(qū)域之前，材料和設(shè)備不允許有臟物或由掉下，并且應(yīng)該用干凈的干布擦拭干凈。任何可能會造成污染的活動必須必須提前經(jīng)過潔凈工程承包商的批準。這包括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預(yù)防污染。裝好的地板必須用PVC 板包裝保護。第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。第二部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域必須每天吸塵。5 13 3 第三部分第三部分主要針對直到生產(chǎn)車間全部建成。氣體鼓風(fēng)機將持續(xù)運行以維護房間的壓力要求。進入的工人穿鞋套和工作服。所有進入潔凈區(qū)域的材料，工具和設(shè)備要用IPA

9、 和水的混合物擦拭。在第三部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域每天要用有過濾裝置的洗塵設(shè)備吸塵。5 14 潔凈安裝必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。各類部件如節(jié)氣閘，擴散體在進入施工現(xiàn)場時應(yīng)潔凈并且拆掉包裝。內(nèi)部表面應(yīng)該用IPA 和水的混合物擦拭。潔凈安裝過程中，必須密切關(guān)注所采取的潔凈措施的可靠程度，對于隔離圍護設(shè)施一定要作到及時發(fā)現(xiàn)、立即糾正。5 15最后潔凈潔凈區(qū)域的所有安裝完成后，要進行最后潔凈。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應(yīng)從上到下，最后是地面。最后潔凈完成后，gridli neB東邊通過的區(qū)域?qū)⑹俏ㄒ贿M入潔凈室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。最后潔凈完成

10、后，任何進入的人都必須通過威世半導(dǎo)體（ 西安 ）有限公司現(xiàn)場經(jīng)理的批準。設(shè)備、物品進入潔凈室規(guī)定5 2無塵車間潔凈度定期檢測制度/測量標準為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對潔凈室內(nèi)的潔凈度進行檢測。檢測測試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區(qū)域進行一次檢測檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度檔通報給各部門。的潔凈度記錄圖表電子各潔凈區(qū)域潔凈級別標準：按照半導(dǎo)體公司能源管理標準要求執(zhí)行。區(qū)域、系統(tǒng)名稱潔凈等級標準相當(dāng)于 ISO 級別等效于 GB 級別K-1 系統(tǒng) 劃片區(qū)域靜態(tài) 1

11、萬級K-1 系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10 萬級 CLASS 7CLASS 8 CLASS 7CLASS 8K-2 系統(tǒng) 包封區(qū)域 靜態(tài) 30萬級CLASS 8 3 CLASS 83K-3 系統(tǒng) 搪錫區(qū)域 靜態(tài) 30萬級CLASS 8 3 CLASS 83K-4 系統(tǒng)測試區(qū)域靜態(tài) 30萬級CLASS 83 CLASS83K-8 系統(tǒng)電鍍區(qū)域靜態(tài) 30萬級CLASS 83 CLASS83現(xiàn)有其他空調(diào)系統(tǒng)舒適性空調(diào)系統(tǒng)，無潔凈要求NotApplicable NotApplicable潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理

12、維護，如，空氣過濾器、空調(diào)機、局部凈化設(shè)備、冷凍機及水泵、純水設(shè)備、配電設(shè)備、安全報警設(shè)施等）執(zhí)行威世半導(dǎo)體 （西安）有限公司廠務(wù)部相關(guān)SOP 文件。參考文件FSD-SOP-01FSD-SOP-4-1FSD-SOP-4-2FSD-SOP-4-3FSD-SOP-4-4FSD-SOP-06 FSD-SOP-07FSD-SOP-08 FSD-SOP-12FSD-SOP-13FSD-SOP-20 ATD1210C JVP1301C供電操作指導(dǎo)書及規(guī)范制度 AHU 系統(tǒng)操作指導(dǎo)書洗氣塔操作指導(dǎo)書鍋爐操作指導(dǎo)書制冷機操作指導(dǎo)書廠務(wù)部安全操作規(guī)程設(shè)備維護保養(yǎng)流程消防系統(tǒng)操作指導(dǎo)書廠務(wù)部運行管理制度市政動力能

13、源中斷緊急應(yīng)變計劃廠務(wù)核心機組應(yīng)急切換操作指導(dǎo)書能源管理標準公共設(shè)施管理規(guī)定5 3 潔凈室人員管理制度5 31 潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責(zé)、潔凈室人員的準入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。5 32 人員凈化與進入在潔凈廠房內(nèi)眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動，會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。對于高級別潔凈區(qū)域，應(yīng)嚴格控制進入人員數(shù)量，并規(guī)范進行二次更衣。要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。為保持潔凈室空氣潔凈度，應(yīng)盡量減少進入潔凈室

14、人員帶入的污染物。所有進人潔凈室的人員必須嚴格地按規(guī)定程序進行人身凈化。個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應(yīng)的脫衣順序脫衣，放在規(guī)定的衣柜內(nèi)。進入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內(nèi)，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。若公司后期發(fā)展需要更高潔凈級別要求的潔凈區(qū)域（指高于ISO Class7級別）進入前，需要設(shè)置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。凡是交叉污染的媒介，要經(jīng)常洗滌。不要用手觸及高凈化產(chǎn)品和高凈化包裝材料等。要按規(guī)定戴手套和指套。5 33潔凈室工作人員須知5.3.3.1進入

15、潔凈室的人員應(yīng)嚴格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈室內(nèi)必須按規(guī)定著衣、戴帽、換鞋。5.3.3.2進入潔凈級別 1 萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域，必須至少經(jīng)過二次更衣?？上葟囊淮胃率疫M入，進行更鞋、脫外衣、換潔凈服、戴口罩、帽子（或潔凈頭套）后，經(jīng)過走廊進入二次更衣室，進行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子，確認更換完畢后，進入風(fēng)淋室進行風(fēng)淋后，才能進入萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域。嚴禁不通過風(fēng)淋而直接走旁通門進入潔凈室。旁通門只允許人員出到潔凈間外以及發(fā)生緊急情況時的進出。風(fēng)淋室使用須知A.風(fēng)淋室是工作人員進入凈化區(qū)域前進行人身凈化的專用設(shè)備，它能將人體表面吸附

16、著的塵埃用高速氣流吹去，使工作人員不帶污染源進入凈化區(qū)域，并能使凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域起到氣閘作用。B. 風(fēng)淋室設(shè)定和狀態(tài)：風(fēng)淋室在投入使用前必須完成調(diào)試和設(shè)定，使之保持自動風(fēng)淋狀態(tài)。C. 風(fēng)淋室使用使用者無需按任何鍵即可開門進入風(fēng)淋室內(nèi)，人數(shù)每次限定三人,把門關(guān)好即可自動風(fēng)淋, 風(fēng)淋時旋轉(zhuǎn)身體360 度, 等 待風(fēng)機停止工作以后蜂鳴響，內(nèi)門開鎖，用戶出風(fēng)淋室。按“照明開”鍵即可打開室內(nèi)照明燈。風(fēng)淋室的微電腦對所做設(shè)定有記憶功能, 關(guān)閉風(fēng)淋室電源再次打開電源時風(fēng)淋室處于上次操作的最后設(shè)定狀態(tài)。禁止一線使用者對設(shè)備的數(shù)值設(shè)定進行更改，數(shù)據(jù)更改必須由專業(yè)的管理人員進行。禁止使用者野蠻對風(fēng)淋室的門（紅

17、外電控鎖）強行推拉而損壞設(shè)備。風(fēng)淋設(shè)備若因使用不當(dāng)而損壞，使用部門應(yīng)據(jù)實反映損壞原因，并立即報修。一線員工在使用過程中發(fā)現(xiàn)狀態(tài)異常，應(yīng)立即通知主管部門進行處理；并停止使用風(fēng)淋室。D. 風(fēng)淋室正常 / 異常狀態(tài)的界定：1.風(fēng)淋室正常初始化自檢：打開電源操作面板LED 數(shù)碼顯示時間點亮，同時電腦控制器做一次檢測，二門是否關(guān)閉，有門開著則等待關(guān)門，如果二門都關(guān)閉則自動進入正常工作狀態(tài)。2.正常工作狀態(tài)如果系統(tǒng)處于不工作狀態(tài)：按電源開關(guān)鍵使系統(tǒng)處于工作狀態(tài)，LED被點亮。按照明開/關(guān)則風(fēng)淋室燈被點亮或熄滅，人員可根據(jù)需要循環(huán)選擇。系統(tǒng)處于正常等待工作狀態(tài)時，風(fēng)淋室的兩扇門處于關(guān)閉未鎖狀態(tài)。3. 異常狀

18、態(tài)：噴嘴出現(xiàn)微弱風(fēng)速、門不能正常關(guān)閉或開啟、電源操作面板無顯示。.2 進出風(fēng)淋室流程機理：進入：當(dāng)外門（紅外電控鎖）被打開時，內(nèi)門（紅外電控鎖）自動閉鎖。如果用戶進入風(fēng)淋室，經(jīng)過紅外探頭，風(fēng)機將自動工作一定時間，此時內(nèi)外門均閉鎖，風(fēng)機停止工作以后蜂鳴響，內(nèi)門開鎖，用戶出風(fēng)淋室。開門、關(guān)門整個過程結(jié)束。退出：當(dāng)內(nèi)門被打開時外門自動閉鎖，用戶關(guān)門后，則內(nèi)外門均開鎖，用戶可以從任意門出風(fēng)淋室。開門、關(guān)門，整個過程結(jié)束。作業(yè)人員在潔凈室內(nèi)工作時，動作要輕。嚴格執(zhí)行操作規(guī)程，不允許跑跳、打鬧及喊叫，不作不必要的動作，不作易發(fā)塵和大幅度的動作。作業(yè)人員在潔凈室內(nèi)工作時，盡量避免人員聚集現(xiàn)象。若個別工位無特

19、殊協(xié)作需求，其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。5.3.3.6為不干擾氣流，在作業(yè)區(qū)上游側(cè)不應(yīng)放物品，生產(chǎn)操作一般應(yīng)在潔凈工作臺或氣流的上游進行。5.3.3.7不允許將與生產(chǎn)無關(guān)和容易產(chǎn)塵的物品帶入潔凈室，嚴禁在潔凈室內(nèi)吸煙、飲食和進行非生產(chǎn)性活動。5.3.3.8患有以下幾種疾病的員工是不宜進入潔凈室的：呼吸系統(tǒng)疾?。ㄈ鐕乐氐母忻翱人缘龋颊叱藭鞑ゲ【?、病毒外，還會因咳嗽而產(chǎn)生大量的污濁顆粒混入潔凈的空氣中）、皮膚疾?。ㄈ缑黠@脫皮、掉皮屑的皮炎等）；針對上述情形若采取了可靠的額外人凈措施時是可以進入潔凈室的。5 34 潔凈室人員退出時應(yīng)注意的事項5.3.4

20、.1為了防止再次進入和往返作業(yè)對潔凈室造成交叉污染按規(guī)定的順序退出潔凈室。5.3.4.2潔凈室人員在作業(yè)中途和作業(yè)完畢在退出到更衣區(qū)之前不得脫掉潔凈工作服，進入更衣室先脫潔凈室用鞋，放在規(guī)定的場所。5.3.4.3必要時脫鞋前洗手，脫鞋后再摘掉帽子，放在規(guī)定處。5.3.4.4脫潔凈工作服時不要觸及地板、桌子和其他物品，對于潔凈服一般由下至上脫（由下至上是指先脫鞋、再脫衣、再去除帽子和口罩），用衣架掛在規(guī)定的處所。5.346退出脫去潔凈工作服以后，若需再進潔凈室時，仍需按進入潔凈室的順序進行人凈。10K 及其以下級別潔凈室時不需要經(jīng)過空氣吹淋。直接走旁通門退出10K潔凈室是允許的。不能穿潔凈工作服

21、上廁所及進入動力設(shè)備間、倉庫等非潔凈區(qū)域。5 4潔凈服管理制度 潔凈服的管理包括：潔凈服采購和制作（含材料選擇 ）、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。5 41潔凈服采購和制作5.4.1.1潔凈服必須選用由專業(yè)廠家制作的合格產(chǎn)品。5.4.1.2潔凈服必須滿足工藝對潔凈/防靜電等的全部要求。5 42潔凈工作服使用管理基本原則5.4.2.1人員進入潔凈室首先由個人潔凈工作服專用柜或收納處取出潔凈工作服，若潔凈工作服尚未開封，需仔細切開包裝拿出服裝，不沾帶包裝料碎屑。5.4.2.2穿衣時，不要使衣服觸及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和褲腿下擺，姿勢要保持直立，按從上至下順序穿衣戴帽T 穿衣（分

22、體潔凈服先上衣后褲子）T 穿鞋，必要時須設(shè)置專用的穿衣臺。戴兜帽和帽子時要把頭發(fā)全部遮住，頭部緊緊地包在兜帽內(nèi)。若不穿潔凈鞋而采取代用鞋套的臨時措施，穿鞋套時要把褲腿下擺緊緊地裹在鞋套內(nèi)。在不違反潔服使用管理基本原則前提下，生產(chǎn)線可細化出實用的和可操作性強的具體規(guī)定。5 43 潔凈服的清洗規(guī)定潔凈服的清洗若采取外協(xié)形式，清洗公司應(yīng)選取經(jīng)考察合格的專業(yè)清洗公司。5.4.3.2潔凈服的清洗液不得對潔凈服的性能有影響；潔凈服的面料清洗后不允許有脫絲、掉渣。5.4.3.3清洗后的衣物防靜電織物性能不應(yīng)被破壞，若被破壞，應(yīng)及時報廢或降級使用，降級使用應(yīng)有明顯標記且禁止在有防靜電要求的區(qū)域內(nèi)使用。5.4.

23、3.4清洗完成的潔凈服應(yīng)進行可靠包裝后運送及存放，避免與外界的交叉污染。5 5 潔凈室物流/潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理制度5 51 物流管理包括：進入潔凈室的物料準入制度，物料的清理和清掃規(guī)定、廢棄物管理制度等。為防止污染物帶入潔凈室（區(qū)），所有送入潔凈室（區(qū)）的各種物料、原輔料、設(shè)備、工器具包裝材料等均需按要求進行外包裝清理、吹凈，有效地清除外表面的微粒。5.5.1.2在潔凈廠房內(nèi)根據(jù)空氣潔凈度等級、產(chǎn)品生產(chǎn)的要求設(shè)置必要的物料凈化設(shè)施，包括外包裝清理室，氣閘室或傳遞窗 （柜 ）等。5.5.1.3物料在外包裝清理室拆除外包裝、裝入潔凈容器內(nèi)或當(dāng)外包裝不能拆除時，對其擦拭清除塵土或采用其他清除污

24、染物的方式對設(shè)備、容器工具進行清潔處理，并使清理前后的物料以一定標志予以區(qū)別。5.5.1.4潔凈區(qū)域的專用周轉(zhuǎn)小車、周轉(zhuǎn)盒必須有清晰的標志，與非潔凈周轉(zhuǎn)小車有明顯的區(qū)分標識，禁止混用。5.5.1.5對清理外包裝后的物料應(yīng)經(jīng)過氣閘室或傳遞窗（柜 ）才能進入潔凈室 （區(qū)），氣閘室或傳遞窗（柜）的作用與人員凈化用氣閘室相似，用于保持潔凈室的空氣潔凈度和潔凈室內(nèi)必須的壓力。5.5.1.6傳遞窗 （ 柜 ）應(yīng)滿足如下要求。兩側(cè)門上設(shè)窗，能看見內(nèi)部和兩側(cè)；確保兩側(cè)門不能同時開啟（可通過兩側(cè)門上設(shè)連鎖裝置或通過嚴格管理來實現(xiàn)） ；傳遞窗內(nèi)尺寸可適應(yīng)搬運物料的大小及重量，氣密性好并有必要的強度；根據(jù)用途的不同

25、可設(shè)置室內(nèi)燈、殺菌設(shè)施。5 52 潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理包括：設(shè)備及工器具的搬入管理，清掃和清潔規(guī)定，設(shè)備及工器具的退出管理等。工藝設(shè)備進入潔凈區(qū)域前，應(yīng)事先明確運輸路線，清除設(shè)備運輸通道上的障礙物，包括對活動潔凈圍護板的拆卸，并作好隔離防護措施，盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境；若設(shè)備搬入可能對生產(chǎn)造成污染，應(yīng)提前安排局部停產(chǎn)配合設(shè)備搬入。隔離防護的設(shè)施必須確保嚴密可靠，能夠有效控制污染物的擴散，并注意監(jiān)控其完好狀態(tài)，若有破損，及時修補使嚴密完好。設(shè)備進入潔凈區(qū)域前，必須先在緩沖區(qū)（或緩沖地帶）進行徹底的清潔和擦拭。在進行設(shè)備、材料搬運的過程中，要嚴格進行潔凈控制，設(shè)備進車間前注意在潔凈緩沖區(qū)

26、（或臨時緩沖走廊）的相關(guān)清潔工作。尤其注意不得穿潔凈服經(jīng)設(shè)備、材料通道門到戶外，如此經(jīng)過交叉污染過的衣服、鞋套、帽子再次無任何措施又進入潔凈室，會造成潔凈室交叉污染。在設(shè)備、材料搬運期間應(yīng)盡可能避免讓步接受可能出現(xiàn)的環(huán)境擾動，對人員、設(shè)備、材料凈化管制應(yīng)嚴格進行控制。一定要嚴格控制污染物擴散，尤其是交叉污染的現(xiàn)象，否則會有高效過濾器（HEPA ）的污染損失，以及額外的潔凈清理費用。如下圖所示，在潔凈室批準入口處設(shè)置潔凈緩沖/管制間，任何進入潔凈室內(nèi)的物品必須經(jīng)過緩沖間。物品進入潔凈室的流程。室外預(yù)清潔T 傳入緩沖區(qū)T 緩沖區(qū)內(nèi)最終清潔T 傳入潔凈室內(nèi)首先，室外、緩沖間（或臨時緩沖走廊）、潔凈室

27、內(nèi)各有一支搬運組（共三組）候命，這三組人員根據(jù)各自的環(huán)境身著不同的服裝：室外身著普通工作服，緩沖間內(nèi)身著清潔的服裝并穿戴鞋套，潔凈室內(nèi)身著完整的潔凈服，帶有口罩和手套等，這三組人互不能進入其它人的工作區(qū)域。當(dāng)有設(shè)備、物品需要運輸時，首先室外組人員對物品進行預(yù)清潔，然后打開緩沖間室外側(cè)的門（或設(shè)備預(yù)留進出外門）將物品傳入緩沖區(qū)。必須保證，在打開緩沖間室外側(cè)門（或設(shè)備預(yù)留進出外門）時，潔凈室側(cè)的門處于關(guān)閉狀態(tài)。緩沖區(qū)（或臨時緩沖走廊）的那組人員對物品進行最終的清潔，并用干凈的潔凈布檢測合格后，打開潔凈室側(cè)的門，將物品傳入潔凈室內(nèi)。如此才規(guī)范的完成了物品傳送和清潔的過程。5.5.2.8設(shè)備搬入完成并

28、就位后，立即清理設(shè)備區(qū)域的雜物、拆除隔離防護措施、恢復(fù)活動潔凈圍護板，并對設(shè)備搬入?yún)^(qū)域及附近區(qū)域進行徹底的清掃和清潔，使?jié)M足潔凈。5.5.2.9拆除隔離防護措施應(yīng)注意控制避免交叉污染，恢復(fù)活動潔凈圍護板應(yīng)保證圍護結(jié)構(gòu)的密閉性，密封壓條要保證有效密封，膠密縫應(yīng)恢復(fù)嚴密平整。5.5.2.10小型工器具搬入管理需要滿足物流管理要求。5.5.2.11大型工器具搬入管理可參照工藝設(shè)備搬入管理要求執(zhí)行。5.5.2.12設(shè)備本身的清掃和清潔由生產(chǎn)部門及保養(yǎng)部門進行規(guī)定的編制及執(zhí)行，但其可靠性必須滿足潔凈要求。5.5.2.13設(shè)備和大型工器具的退出與搬入管理類似，也應(yīng)事先明確運輸路線，清除設(shè)備運輸通道上的障礙

29、物，包括對活動潔凈圍護板的拆卸，并作好隔離防護措施，盡可能避免破壞潔凈區(qū)域的環(huán)境；若設(shè)備退出可能對生產(chǎn)造成污染，應(yīng)提前安排局部停產(chǎn)配合設(shè)備退出。5.5.2.14設(shè)備和大型工器具退出后，立即清理設(shè)備區(qū)域的雜物、拆除臨時隔離防護措施、恢復(fù)活動潔凈圍護板，并對設(shè)備退出區(qū)域及附近區(qū)域進行徹底的清掃和清潔，使?jié)M足潔凈。5 6 潔凈室清潔、清掃和滅菌管理制度5 61 潔凈車間及潔凈車間走廊清潔操作程序見下表：5 61- （A ）潔凈車間清潔操作程序工具 吸塵器、防靜電塵推、長軟管、小毛刷、簸箕、防靜電塵推布頭、伸縮桿、梯子、防靜電去塵布耗材 防靜電去塵劑、防靜電清潔劑。清潔部位 1、 車間墻；2、門窗、文

30、件柜、地面具體操作方法1、用伸縮桿配合去塵布，自上而下，進行墻體清潔，對污染較重的局部用去塵布沾取少量純防靜電清潔劑擦，用去塵布揩拭干凈。2、用伸縮桿不方便的局部，應(yīng)用梯子按同上的操作方法清潔墻面（如柜子的上方）。3、墻面清潔完畢后，用吸塵器加軟管吸取車間地面的粉塵，吸塵器應(yīng)置車間的走廊上，軟管進車間，吸塵扒頭應(yīng)從左到右，先遠后近的區(qū)域進行吸塵，吸塵的區(qū)域不能有間隔，以免漏吸（換鞋套）。4、吸塵完畢后，用塵推按照吸塵的操作方法進行，局部污染較重的地方應(yīng)用去塵布沾取少量純防靜電去塵劑，用濕去塵布清潔，然后用干防靜電去塵布揩干。5、門窗內(nèi)側(cè)、柜子等附件的清潔用去塵布配合防靜電清潔劑先上后下進行清理

31、。6、整理工具，定期將吸塵器塵袋更換（地點：車間外）。7、車間內(nèi)須回收的廢料放置在防靜電車上，從車間西門運至成品庫門口（通知外圍保潔員接應(yīng)），并分類集中至成品庫內(nèi)。8、車間垃圾具體清理程序見后附文件。備注 以上所用工具及耗材均應(yīng)符合威世公司要求規(guī)定。5.6. 1-（ B ）潔凈車間走廊操作程序工具 防靜電塵推、擦地機、吸水器、長軟管、掃帚、梯子、防靜電去塵布、防靜電塵推布頭耗材 防靜電蠟、防靜電清潔劑、防靜電去塵劑清潔部位 1、墻面；2、門窗；3、消防設(shè)施；4、地面具體操作方法1、 A） 用伸縮桿配合去塵布，自上而下，由左向右，進行墻體清潔，對污染較重的局部用純防靜電清潔劑，用去塵布揩拭干凈。

32、B） 用伸縮桿不方便的局部，應(yīng)用梯子按同上的操作方法清潔墻面；對于石膏墻墻體用吸塵器自上而下吸取浮塵。2、用去潮塵布配合防靜電清潔劑先上后下，由左至右進行清理。3、用無塵布由上側(cè)、外側(cè)及內(nèi)面全部擦拭干凈，整理好消防設(shè)備并檢查有無損壞，完好后把門關(guān)閉；4、用防靜電塵推由一側(cè)，依次推塵清潔。打蠟程序用起蠟水先行起蠟，用吸水機吸凈殘蠟，用清潔拖布脫水后拖凈地面，等地面徹底風(fēng)干，再打防靜電地板蠟（具 體方法和步驟詳見 562 條）。備注 以上所用工具及耗材均應(yīng)符合公司要求規(guī)定。正在清潔的區(qū)域應(yīng)設(shè)置標志牌，且清潔工作不得與威世員工的正常工作沖突。5 62 地面打蠟的方法和程序5 62 1 需要準備的機器和工具、清潔劑：洗地機；吸塵吸水機；拋光機；大面積作業(yè)需配備自動洗地機拖把、蠟拖、拖把扭干器、水推除蠟劑、中性多功能清潔劑除蠟墊（黑色）、清潔墊（紅色、白色）、拋光墊（白色）5 62 2 如果地面已經(jīng)打過蠟，且蠟面已失去光澤或者已經(jīng)磨損出現(xiàn)斑駁和脫落，在打蠟前就需要對潔凈室地面先進行除蠟