OGS制程工藝講解(共42頁).ppt

1、 OGS制程工藝講解 品質(zhì)部：董伍祥時間：2021年4月211 1、目錄1 鍍膜原理2 2、目錄2 鍍膜管控點及異常3 3、目錄3 黃光工藝流程4 4、目錄4 黃光管控點及異常5、目錄5 檢驗儀器介紹鍍膜原理鍍膜原理 鍍膜管控點鍍膜前清洗：1、主要管控鍍膜前產(chǎn)品的尺寸、規(guī)格是否與制令工單相符，以及清洗后產(chǎn)品的潔凈度是否滿足生產(chǎn)要求?？刂票O(jiān)督的要點：清洗液是否要測濃度、清洗機臺的速度、以及烘烤的溫度，主要依據(jù)?鍍膜前清洗工藝參數(shù)?與實際的點檢表是否相符。一旦發(fā)現(xiàn)實際參數(shù)設(shè)定與?鍍膜前清洗工藝參數(shù)?不符、立即通知當(dāng)站的負責(zé)人、及QC組組長。并及時跟蹤結(jié)果、直至確認正常。注：a、IPQC在巡檢過程中

2、一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 鍍膜管控點鍍膜百級作業(yè)區(qū)：1、主要管控鍍膜百級取放產(chǎn)品的作業(yè)手法、以及產(chǎn)品的分類情況與鍍膜后產(chǎn)品的外觀效果是否滿足生產(chǎn)要求。一旦發(fā)現(xiàn)不符、立即通知當(dāng)站的負責(zé)人、及QC組組長。并及時跟蹤結(jié)果、直至確認正常。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 鍍膜管控點鍍膜控制機臺： 1、主要管控鍍膜工藝參數(shù)是否與實際設(shè)定的工藝參數(shù)相符。IPQC巡檢/首檢記錄主要依據(jù)產(chǎn)線工藝參數(shù)點檢表與?鍍膜

3、工藝參數(shù)?相符、一旦發(fā)現(xiàn)實際參數(shù)設(shè)定與?鍍膜工藝參數(shù)?不符、立即通知當(dāng)站的負責(zé)人、及QC組組長。并及時跟蹤結(jié)果、直至確認正常。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。黃光工藝流程黃光工藝流程ITO鍍膜來料清洗鍍膜來料清洗 涂布涂布 光膠曝光顯影蝕刻脫膜 黃光管控點涂布前清洗：1、 去除玻璃外表的臟污、油污等，使玻璃外表潔凈，以保證后續(xù)光阻的涂布效果及結(jié)合力。主要控制清洗液的濃度以及清洗機的速度。主要檢測方法，達應(yīng)筆，滿足要求繼續(xù)生產(chǎn)，一旦不符要求從洗。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立

4、即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點涂布前清洗烘烤：1、主要烘干玻璃外表殘留的水漬，使玻璃外表潔凈度更高從而滿足于生產(chǎn)要求注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點涂布光膠：1、在玻璃ITO面均勻的涂布上一層感光物質(zhì)光阻。光阻是利用材料光化學(xué)反響進行圖形轉(zhuǎn)移的媒體，有正性光阻與負性光阻之分，正性光阻經(jīng)過紫外曝光后，被曝光的區(qū)域發(fā)生光分解，或降解反響，使性質(zhì)發(fā)生變化優(yōu)先溶解于正性顯影液中，未被曝光的局部那么被保

5、存形成正型圖形。負性光阻的性質(zhì)正好相反，是未曝光的局部溶解于負性顯影液中。2、我司目前采用的是正性光阻，為了能保證圖形的穩(wěn)定性，所用的光阻必須能抗強酸的腐蝕。3、主要控制涂布膜厚度一般為1.12.3um，膜層均勻性。4、主要異常：涂布針孔、涂布箭影 黃光管控點涂布后烘烤：1、將光阻中的大局部有機溶劑烘烤，使原本液態(tài)的光阻固化。2、主要控制的參數(shù)：軟烤時間、軟烤溫度、3、主要異常：玻璃受熱不均勻、使光阻局部過烤或烘烤缺乏，造成后續(xù)顯影不凈，或顯影過顯。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃

6、光管控點曝光：1此步驟是黃光制程中的關(guān)鍵所在，通過曝光，是受到光照的局部光阻溶解于顯影溶液的速度異于未曝光的那局部光阻，從而到達轉(zhuǎn)移光罩圖形的過程。2、主要控制參數(shù)：曝光能量、曝光臺面溫度、曝光間距。3、主要異常：曝光偏移、固定光膠殘留、過曝。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點顯影檢驗：1、檢查顯影圖形、檢驗儀器顯微鏡，2、主要檢驗：顯影不凈、過顯、導(dǎo)致的短路、開路注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品

7、質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點顯影：1、將正性光阻的被曝光的那局部光阻快速溶解于顯影液中，未曝光的那局部光阻溶解速度緩慢，從而通過控制顯影時間，可以顯現(xiàn)出光罩上的圖行。顯影液一般為堿性，使用時一般為弱堿。2主要控制參數(shù)：顯影傳導(dǎo)速度，顯影液濃度，3、主要異常：顯影不凈、過顯、注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點顯影后烘烤：1、使經(jīng)過顯影后的玻璃外表光阻固化，從而使圖行穩(wěn)定2、主要控制參數(shù)：烘烤溫度，烘烤時間、IR烘烤速度注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開

8、啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點蝕刻：1、用強酸鹽酸將玻璃中未受光阻保護的那局部ITO腐蝕，留下所需要的圖形的過程2、主要控制參數(shù)：蝕刻液濃度、蝕刻傳導(dǎo)速度、噴淋壓力。3、主要異常：蝕刻不凈、ITO過蝕、以及由涂布異常而引起的蝕刻異常。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 黃光管控點脫模：1、強堿主要作用將玻璃外表未被曝光的光阻進行除去的過程。2、主要控制參數(shù)：剝膜傳導(dǎo)速度、剝膜液濃度、3、主要異常：剝膜不凈。光阻

9、回粘、剝膜液殘留。注：a、IPQC在巡檢過程中一旦發(fā)現(xiàn)異常立即開啟品質(zhì)異常單，并跟蹤致結(jié)果確認正常。 b、首檢3次不合格立即開啟品質(zhì)異常單并跟蹤致結(jié)果確認正常。 檢驗儀器圖解達應(yīng)筆：1、達應(yīng)筆介紹：達因筆,又名外表張力測試筆、電暈處理筆、及塑料薄膜外表張力檢測筆。是薄膜外表電暈度達因的測試工具，專門用于測定薄膜受電暈處理后的效果。2、使用方法：使外表張力測試筆垂直于玻璃平面,加上適當(dāng)?shù)膲毫?在玻璃外表上畫一條線.應(yīng)用外表張力測試筆，能夠很容易的分析出不同固體的外表能、親水性、潤濕度等微小變化，如果第一次測試就收縮成水珠球狀，那么換上數(shù)值更小的測試筆進行第二次測試，直到外表濕為止。這種方法能準(zhǔn)確

10、測出基材的外表張力、外表濕力并判定工作前基材外表因素是否符合要求以便調(diào)整到工作所需。3圖示：如右圖： 檢驗儀器圖解電子數(shù)顯千分尺：1、使用方法：以微分套筒的基準(zhǔn)線為基準(zhǔn)讀取左邊固定套筒刻度值，再以固定套筒基準(zhǔn)線讀取微分套筒刻度線上與基準(zhǔn)線對齊的刻度，即為微分套筒刻度值，將固定套筒刻度值與微分套筒刻度值相加，即為測量值。2、我司主要應(yīng)用于產(chǎn)品的厚度測量， 檢驗儀器圖解塞規(guī)：1、介紹：由一組具有不同厚度級差的薄鋼片組成的量規(guī)見圖。塞尺用于測量間隙尺寸。在檢驗被測尺寸是否合格時，可以用通此法判斷，也可由檢驗者根據(jù)塞尺與被測外表配合的松緊程度來判斷。塞尺一般用不銹鋼制造，最薄的為0.02毫米，最厚的為

11、3毫米。自0.020.1毫米間，各鋼片厚度級差為0.01毫米；自0.11毫米間，各鋼片的厚度級差一般為0.05毫米；自1毫米以上，鋼片的厚度級差為1毫米。除了公制以外，也有英制的塞尺2、 定義：塞尺又稱測微片或厚薄規(guī)，是用于檢驗間隙的測量器具之一， 橫截面為直角三角形,在斜邊上有刻度,利用銳角正弦直接將短邊的長度表示在斜邊上,這樣就可以直接讀出縫的大小了。 塞尺使用前必須先去除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時可用一片或數(shù)片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測量時動作要輕，不允許硬插。也不允許測量溫度較高的零件。3、使用方法：(1)用干凈的布將塞尺測量外表擦拭干凈，不能在塞尺沾有油污或金屬屑末的情況

12、下進行測量，否那么將影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。(2)將塞尺插入被測間隙中，來回拉動塞尺，感到稍有阻力，說明該間隙值接近塞尺上所標(biāo)出的數(shù)值；如果拉動時阻力過大或過小，那么說明該間隙值小于或大于塞尺上所標(biāo)出的數(shù)值。(3)進行間隙的測量和調(diào)整時，先選擇符合間隙規(guī)定的塞尺插入被測間隙中，然后一邊調(diào)整，一邊拉動塞尺，直到感覺稍有阻力時擰緊鎖緊螺母，此時塞尺所標(biāo)出的數(shù)值即為被測間隙值。 檢驗儀器圖解游標(biāo)卡尺：1使用前應(yīng)將游標(biāo)卡尺擦干凈，然后拉動尺框，沿尺身滑動應(yīng)靈活、平穩(wěn)，不得時緊時松或卡住現(xiàn)象。用緊固螺釘固定尺框身讀數(shù)不應(yīng)發(fā)生變化。2檢查零位。輕輕推動尺框，使兩測量爪的測量面合攏，檢查兩測量面接觸情況，不得

13、有明顯漏光現(xiàn)象，并且表盤指針指向“0，同時，檢查尺身與尺框是否在零刻度線對齊。3測量時，用手慢慢推動和拉動尺框，使量爪與被測零件外表輕輕接觸，然后輕輕晃動游標(biāo)卡尺，使其接觸良好。使用游標(biāo)卡尺時因沒有測力機構(gòu)，全憑操作者手感掌握，不得用力過大，以免影響測量精度。4測量外形尺寸時，應(yīng)先將游表卡尺活動量爪張開，使工件能自由地放入兩量爪之間，然后將固定量爪貼靠在工作外表上,用手移動尺框，使活動量爪緊密貼在工件外表上。注意：1.測量時工件兩端面與量爪不得傾斜。2.測量時,不得使用量爪間的距離小于工件尺寸,而強制將量爪卡到零件上。5測量內(nèi)徑尺寸時，應(yīng)將兩刀口內(nèi)量爪分開且距離小于被測尺寸，放入被測孔內(nèi)后再移

14、動尺框內(nèi)量爪使其在工件內(nèi)外表緊密接觸，即可以在卡尺進行讀數(shù)。注意：游標(biāo)卡尺測量爪應(yīng)測在工件兩端孔的直徑位置處，且不得歪斜。6游標(biāo)卡尺量爪測量面有多種形狀。測量時，應(yīng)根據(jù)被測零件的形狀正確選用。如測量長和外形尺寸，那么應(yīng)選用外量爪測量；如測內(nèi)徑，應(yīng)選用內(nèi)量爪測量；如測深度，那么應(yīng)選用深度尺來測量。7讀數(shù)時，帶表游標(biāo)卡尺應(yīng)水平拿著，使視線正對刻度線外表，然后按讀數(shù)方法仔細辯認指示位置，以便讀出，以免因視線不正，造成讀數(shù)誤差。 檢驗儀器圖解四探針：1、適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試2、我司應(yīng)用于鍍膜后產(chǎn)品的方阻測試 檢驗儀器圖解透光率測試儀：1、主要用于鍍膜前后產(chǎn)品的透

15、光率測試2、IQC、OQC來料/出貨產(chǎn)品透光率測試。 檢驗儀器圖解落球沖擊試驗機落球沖擊試驗機 ：落球沖擊試驗機 本機為測電子、電器、家電、塑料、通迅等成品或元件在安裝接過程中遇到碰撞而設(shè)計，從而評估產(chǎn)品結(jié)構(gòu)是否有不良或不夠試驗測試，以一定規(guī)定重量之鋼球，在一定的高度自由落下，打擊試料、元件，來觀察產(chǎn)品受損程度。 檢驗儀器圖解FPC拉力測試儀：1、主要檢驗熱壓后產(chǎn)品的FPC的拉力測試是否滿足生產(chǎn)要求。 檢驗儀器圖解UV能量測試儀：1、主要應(yīng)用于UV機能量測試 檢驗儀器圖解顯微鏡：1、主要檢驗黃光顯影后產(chǎn)品的顯影效果，【短路、斷路】 檢驗儀器圖解2D投影測試儀：1、主要用于IQC來料檢驗產(chǎn)品的尺

16、寸， 檢驗儀器圖解測溫儀：1、主要用于IR溫度測試 檢驗儀器圖解臺面水平測試儀：1、主要用于曝光臺面水平測試。 檢驗儀器圖解酚酞：1、主要用于酸堿點滴測試實驗 檢驗儀器圖解環(huán)測試儀：1、主要用于檢測無塵車間塵埃粒子測試、有力于改善環(huán)境提供有力的數(shù)據(jù)。 檢驗儀器圖解網(wǎng)板張力計：1、主要用于我司網(wǎng)板來料張力測試檢驗 檢驗儀器圖解美工刀、3M600膠帶：1、用于產(chǎn)品附著力測試，主要是在產(chǎn)品上劃百格，拉扯35次，所測的產(chǎn)品無脫落現(xiàn)象那么判定OK，反之NG。 檢驗儀器圖解萬用表：1、用于產(chǎn)品棒阻、導(dǎo)通性測試，以及線路檢測。 檢驗儀器圖解點規(guī)：1、用于產(chǎn)品外觀檢驗，主要使用于產(chǎn)品出現(xiàn)不良時用于比對不良標(biāo)準(zhǔn)，從而更好的判斷產(chǎn)品的處理方式。 檢驗儀器圖解溫濕度測試儀：1、主要檢測無塵車