對(duì)制造過程數(shù)據(jù)的分析

1、對(duì)制造過程數(shù)據(jù)的分析1、對(duì)于半導(dǎo)體制造過程數(shù)據(jù)的分類根據(jù)數(shù)據(jù)來源分類：1）生產(chǎn)過程數(shù)據(jù)：產(chǎn)品在整條生產(chǎn)線上的加工操作過程或過程單元相關(guān)的數(shù)據(jù)工件加工時(shí)間、產(chǎn)量指標(biāo)、每個(gè)加工步驟的操作信息等2）資源數(shù)據(jù)：物理設(shè)備及生產(chǎn)環(huán)境相關(guān)的數(shù)據(jù)系統(tǒng)資源、用戶資源、通用資源3）市場(chǎng)數(shù)據(jù)：外圍環(huán)境因素，如市場(chǎng)、客戶等相關(guān)的數(shù)據(jù)產(chǎn)品需求量、所需產(chǎn)品種類、交貨時(shí)間等根據(jù)數(shù)據(jù)用途分類：1）篩選數(shù)據(jù)：用于信息數(shù)據(jù)清洗的數(shù)據(jù)。屬于生產(chǎn)過程前依據(jù)設(shè)備條件、生產(chǎn)產(chǎn)品種類固定確定的數(shù)據(jù)集合。主要包含制造過程中的各種物理?xiàng)l件約束:a) 工藝約束（工藝流程約束）：目前對(duì)于數(shù)據(jù)預(yù)處理的應(yīng)用未知，可以用于最后調(diào)度方案的刪減。b) 系統(tǒng)

2、資源約束（設(shè)備約束、輔料約束、人員約束）：主要是通過約束找出產(chǎn)品生產(chǎn)數(shù)據(jù)的與實(shí)際生產(chǎn)部分矛盾數(shù)據(jù)，這類矛盾原因基本上是由于傳感器等測(cè)量設(shè)備出現(xiàn)偏差導(dǎo)致的，對(duì)其進(jìn)行刪除處理。c) 系統(tǒng)性能指標(biāo)約束：這類約束包含在產(chǎn)品生產(chǎn)數(shù)據(jù)中。d) 設(shè)備的常規(guī)物理量約束：包含數(shù)據(jù)類型自身的物理量特性，常規(guī)的物理規(guī)律，和唯一性、聯(lián)系性、空值規(guī)則。2）信息數(shù)據(jù)：用于進(jìn)行數(shù)據(jù)分析獲取其中知識(shí)的數(shù)據(jù)。包括緩沖區(qū)內(nèi)信息，產(chǎn)品數(shù)據(jù)如WIP數(shù)量、晶圓所含芯片數(shù)量等，設(shè)備數(shù)據(jù)如運(yùn)行時(shí)間、損壞時(shí)間、空閑時(shí)間等，加工過程數(shù)據(jù)如加工時(shí)間、產(chǎn)量。3）結(jié)論修正數(shù)據(jù)：對(duì)得到若干調(diào)度方案進(jìn)行分析處理的數(shù)據(jù)。包含工藝流程約束等數(shù)據(jù)，對(duì)調(diào)度方案

3、進(jìn)行物理可能性的篩選。作業(yè)車間調(diào)度流程圖流水車間調(diào)度一、 工藝設(shè)備產(chǎn)生的數(shù)據(jù)（一）實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)1、 將要進(jìn)入緩沖區(qū)工件種類A12、 將要進(jìn)入緩沖區(qū)工件數(shù)量A23、 工件進(jìn)入緩沖區(qū)的時(shí)間A34、 緩沖區(qū)工件種類及其排序A45、 緩沖區(qū)工件數(shù)量A56、 緩沖區(qū)每個(gè)工件等待時(shí)間A67、 緩沖區(qū)每類工件/總工件平均等待時(shí)間A78、 工件開始加工時(shí)間A89、 正在加工工件數(shù)量（單片加工、串行批量加工、單卡并行批量加工、多卡并行批量加工）A910、每個(gè)工件加工時(shí)間A1011、同類工件平均加工時(shí)間A1112、即將離開設(shè)備工件數(shù)A1213、加工完成工件離開時(shí)間A1314、設(shè)備整定時(shí)間A1415、設(shè)備狀況A15（二）短期指標(biāo)1、設(shè)備利用率2、硅片移動(dòng)速度3、工件合格率（指通過單一設(shè)備的合格率）4、設(shè)備狀況5、（三）長(zhǎng)期指標(biāo)1、設(shè)備利用率2、硅片平均移動(dòng)速度3、工件合格水平4、設(shè)備平均故障時(shí)間5、設(shè)備運(yùn)行時(shí)間6、設(shè)備空閑時(shí)間7、設(shè)備故障類型及對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度二、 調(diào)度產(chǎn)生的數(shù)據(jù)（一）短期數(shù)據(jù)1、投料工件種類及其數(shù)量2、投料時(shí)間2、工件原始加工流程3、返工流程4、設(shè)備上工件加工序列5、設(shè)備上工件加工時(shí)間7、工藝更改8、客戶需求變化 9、設(shè)備整體狀況（二）長(zhǎng)期數(shù)據(jù)1、單一工件基本加工流程2、重入加工流程3、設(shè)備整體狀況4、加工瓶頸設(shè)備三、 性能指標(biāo)1、成品率2、在制品數(shù)量3、設(shè)備利用率4、平