晶圓微觀形貌五步相移算法系統(tǒng)集成系統(tǒng)界面碩士論文

1、晶圓表面微觀形貌檢測系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)及控制物理電子學(xué)， 2010， 碩士【摘要】 晶圓作為加工半導(dǎo)體芯片的主要材料,其質(zhì)量的好壞對信息產(chǎn)業(yè)的影響可謂巨大。因此,對晶圓表面微觀形貌做精密的檢測顯得尤為重要。本文對晶圓表面微觀形貌檢測系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)原理上作了研究工作,對系統(tǒng)采用的表面微觀形貌復(fù)原算法作了簡要概括。在結(jié)合以上兩部分理論基礎(chǔ)上,利用Visual C+6.0程序設(shè)計(jì)平臺,設(shè)計(jì)了系統(tǒng)操作界面,包括系統(tǒng)用戶登錄界面、系統(tǒng)操作員管理界面、系統(tǒng)主控界面以及圖像存儲保存界面,將系統(tǒng)用于晶圓表面微觀形貌檢測過程中所涉及的各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行了自動控制,實(shí)現(xiàn)了用戶友好型的系統(tǒng)操作控制平臺,為系統(tǒng)便捷操作,有效管理作了人

2、性化處理。為了將系統(tǒng)采用的光學(xué)硬件組成部分及軟件控制平臺較好地結(jié)合,便于使用和操作,在考慮各方面條件及要求的前提下,設(shè)計(jì)并制作了系統(tǒng)裝置,做到了裝置布局合理,結(jié)構(gòu)規(guī)范,易于操作和安放。該裝置目前可以對待檢驗(yàn)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測及分析處理。系統(tǒng)通過五步相移算法可以對樣品進(jìn)行檢測工作。利用已完成的該系統(tǒng)的檢測裝置采集了數(shù)組數(shù)據(jù)并進(jìn)行了樣品的相位提取工作,復(fù)原了樣品的微觀形貌。試驗(yàn)檢測結(jié)果表明我們所采用的裝置設(shè)計(jì)合理,算法有效,操作簡單,達(dá)到了預(yù)期的設(shè)計(jì)目的和要求。研究和實(shí)驗(yàn)結(jié)果. 更多還原【Abstract】 Wafer is the main material to manufacture

3、 semiconductor chip, whose quality plays an important role in the field of information. Therefore, precision measurement on the wafer topography is particularly important.In this dissertation, with a thorough research of the theory of detection system for wafer surface microscopic topography togethe

4、r with some analysis work on reconstruction surface algorithm for the system, Ive done some analysis work on the control of the system. The design of the user. 更多還原 【關(guān)鍵詞】 晶圓； 微觀形貌； 五步相移算法； 系統(tǒng)集成； 系統(tǒng)界面； 【Key words】 Wafer； Micro topography； Five-step phase-extraction algorithm； System integration；

5、 System UI； 摘要 3-4 Abstract 4 第1章 緒論 7-13 1.1 課題背景和研究目的 7-8 1.2 系統(tǒng)界面設(shè)計(jì)概述 8-9 1.3 系統(tǒng)需求分析及可行性分析 9-12 1.4 本論文的主要內(nèi)容 12-13 第2章 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)原理 13-17 2.1 表面形貌的微分干涉光學(xué)測量 13-14 2.2 微分相移干涉顯微測量原理 14-15 2.3 干涉圖像處理 15-16 2.4 本章小結(jié) 16-17 第3章 晶圓表面微觀形貌檢測系統(tǒng)界面設(shè)計(jì) 17-28 3.1 引言 17-18 3.2 Visual C+語言簡介 18 3.3 系統(tǒng)界面的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn) 18-25 3.3.

6、1 需求分析及功能設(shè)計(jì) 18-20 3.3.2 系統(tǒng)各界面的具體實(shí)現(xiàn)及效果 20-25 3.4 控件窗口簡介 25-27 3.4.1 CButton 類 26 3.4.2 編輯控件及靜態(tài)控件 26-27 3.5 本章小結(jié) 27-28 第4章 系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫設(shè)計(jì) 28-37 4.1 引言 28-30 4.1.1 數(shù)據(jù)庫的主要特點(diǎn) 28-29 4.1.2 主流數(shù)據(jù)庫簡介 29-30 4.2 晶圓表面微觀形貌檢測系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn) 30-33 4.2.1 Access 的集成開發(fā)環(huán)境 31-32 4.2.2 Access 中表的創(chuàng)建及使用 32-33 4.3 ADO 數(shù)據(jù)庫訪問技術(shù) 33-36 4.4 本章小結(jié) 36-37 第5章 系統(tǒng)集成及檢驗(yàn)結(jié)果 37-49 5.1 晶圓形貌檢測系統(tǒng)集成 37-40 5.1.1 微分剪切干涉光路的調(diào)整 37-39 5.1.2 光路調(diào)整中的輔助方法介紹 39-40 5.2 系統(tǒng)評估版測量儀器的制作 40-43 5