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文檔簡介
1、Image pro plus 教程1. 打開圖片:1.1 打開軟件雙擊圖標(biāo),彈出窗口點(diǎn)擊OK就行了。進(jìn)入軟件,會彈出:直接叉掉。1.2 打開圖片點(diǎn)擊工具欄第一的圖標(biāo)“open document”1 / 19選擇圖片:界面變成這樣:2. 設(shè)置標(biāo)尺2.1 設(shè)置標(biāo)尺點(diǎn)擊”Measure”Calibration(標(biāo)度)Spatial,彈出設(shè)置標(biāo)尺的對話框(如下圖)Spatial Calibration。2.2 給標(biāo)尺命名點(diǎn)擊對話框右下角“From resolution”,見上圖,將標(biāo)尺命名為所選圖片的名稱,也可以點(diǎn)擊“Name”右邊的下拉箭頭(見上圖),選擇已有的標(biāo)尺(加入你的SEM圖是5W倍的,而你
2、之前處理過5W倍的圖片,建立過5W倍的標(biāo)尺,那么你就可以在下拉菜單里直接找出那個標(biāo)尺)2.3 設(shè)置標(biāo)尺長度點(diǎn)擊“Image”,出現(xiàn)一個白色的標(biāo)尺,見下圖,和“Scaling”對話框,在“Scaling”對話框內(nèi)輸入1(對應(yīng)圖片的標(biāo)尺是1um,如果你的圖片標(biāo)尺是100nm的話,此處應(yīng)輸入100)鼠標(biāo)右鍵點(diǎn)擊,將標(biāo)尺拖到圖片標(biāo)尺的位置,見下圖。并調(diào)整標(biāo)尺大小,使之與圖片標(biāo)尺一樣大小。在“Scaling”對話框內(nèi)點(diǎn)擊“OK”。回到“Spatial Calibration”對話框。2.4 設(shè)置標(biāo)尺單位下面要設(shè)置標(biāo)尺的單位。因?yàn)槲覀冞x擇的圖片標(biāo)尺是1um,這里我們要選擇um為單位。點(diǎn)擊“Spatial
3、Calibration”對話框里的“Unit”下拉箭頭,出現(xiàn)很多單位,其中um和nm是我們常用的。如果你的標(biāo)尺單位是nm,這里就要選擇nm。如下圖所示:2.5 將標(biāo)尺應(yīng)用到圖片上以上,我們設(shè)置好了標(biāo)尺的長度和標(biāo)尺單位,下面我們將標(biāo)尺應(yīng)用到我們的圖片上面:在“Spatial Calibration”對話框點(diǎn)擊“Apply”,再點(diǎn)擊“Mark”,出現(xiàn)“Spatial Calibration Marker”對話框。如下圖:Style:表示標(biāo)尺樣式,我一般用第一個。Marker length:標(biāo)尺長度,因?yàn)閳D片標(biāo)尺是1um,剛才我們設(shè)置的標(biāo)尺長度也是1um,所以這里標(biāo)尺長度為1。(假如圖片標(biāo)尺為2um
4、,按照之前的步驟我們設(shè)的標(biāo)尺為1um,這里標(biāo)尺長度應(yīng)填2)其他保持默認(rèn)設(shè)置,點(diǎn)擊OK就行了。點(diǎn)擊OK后出現(xiàn)Image Pro plus對話框,及生成的標(biāo)尺(仔細(xì)看,標(biāo)尺可能隱藏在圖片黑色的區(qū)域,鼠標(biāo)拖動標(biāo)尺就可以看到生成的標(biāo)尺了),按照下圖,鼠標(biāo)右鍵拖動形成的標(biāo)尺及數(shù)字至合適的位置點(diǎn)擊Continue,界面又回到“Spatial Calibration”對話框,見下圖,這時,圖片上生成了新的標(biāo)尺(紅色框表示),標(biāo)尺的位置是你之前移動的位置。到此標(biāo)尺設(shè)置好了。我們保持“Spatial Calibration”對話框,不關(guān)閉。3. NPS粒徑,密度,面積測量3.1 測量NPS粒徑接著上面的步驟,找
5、到下圖圈出的工具:“Count and measure objects”點(diǎn)擊“Count and measure objects”工具,出現(xiàn)新的對話框:“Count/Size”對話框選中“Automatic Bright Object”,意思是“自動計(jì)算亮的物體”(因?yàn)槲覀冋盏腟EM,NPS一般是亮的)。3.2 選擇測量參數(shù)下面要選擇我們要測量的參數(shù)(平均粒徑、密度、面積)在“Count/Size”對話框點(diǎn)擊“Measure”Select Measurements,如下圖:出現(xiàn)“select measurements”對話框,在此我們可以選擇我們要測量的參數(shù):點(diǎn)擊OK,回到原來的界面?!癈ou
6、nt/Size”對話框中在點(diǎn)擊Count按鈕,開始計(jì)算。計(jì)算結(jié)果見下圖:我們可以看到:首先,對于該圖片,不適合用該軟件處理,因?yàn)镹PS較密,幾乎大片NPS被看成是一個NPS,計(jì)算結(jié)果出現(xiàn)嚴(yán)重。因此該軟件只適用于NPS不是很多,很密的圖片。另外圖片下方黑色部分是圖片的一些信息,在這里軟件把該部分看作是NPS,對其進(jìn)行了處理。這使得得到的結(jié)果與實(shí)際出現(xiàn)偏差。因此在計(jì)算NPS的時候,我們可以先設(shè)定好標(biāo)尺的長度及單位。然后關(guān)閉圖片(記住不是關(guān)閉軟件,只是叉掉圖片)然后將該圖片裁剪后,再用該軟件打開,接著按照2.5 節(jié)的步驟,將已經(jīng)設(shè)置好的標(biāo)尺應(yīng)用的修改的圖片上。(詳細(xì)步驟見 最后)3.3 導(dǎo)出數(shù)據(jù)點(diǎn)擊“View”查看及輸出結(jié)果:下拉菜單中,Measurement Data是所有測量的數(shù)據(jù),包括面積,密度,所有NPS直徑。Statistics 是對全部數(shù)據(jù)的匯總,包括最大值,最小值,平均值,NPS個數(shù)等。Histogram可以獲得你需要的粒徑分布直方圖。點(diǎn)擊Measurement Data出現(xiàn)如下對話框,顯示所有測量的數(shù)據(jù),單擊Fileexport data可以導(dǎo)出所有數(shù)據(jù),這個數(shù)據(jù)是excel格式的,你需要
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