濕法刻蝕長時間停機(jī)復(fù)機(jī)流程

1、RENA濕法刻蝕長時間停機(jī)恢復(fù)操作流程一、目的：1、 針對因意外停機(jī)或者生產(chǎn)不連續(xù)導(dǎo)致長時間停機(jī)制定本流程參與對象：設(shè)備部、生產(chǎn)部、技術(shù)部RENA開機(jī)流程對刻蝕槽、堿槽、酸槽溶液配液是檢查刻蝕槽擋板高度設(shè)備檢查滾輪水平情況是點擊沖洗對刻蝕槽、堿槽、HF槽、水槽進(jìn)行沖洗，清潔是點擊Mannual進(jìn)入手動程序操作是啟動WINTCC程序，輸入用戶名，密碼進(jìn)入工藝操作界面是設(shè)備供電，登陸windows系統(tǒng)是設(shè)備人員確認(rèn)外圍水、電、特氣、酸堿溶液等外圍條件是否就緒二、刻蝕換液流程2.1 更換刻蝕槽藥液2.1.1 主界面依次點擊stopMode Manual停機(jī)并將機(jī)器切換成手動操作模式。主界面2.1.2

2、 點擊Manual進(jìn)入手動換藥界面(程序默認(rèn)為刻蝕槽換藥界面)手動換液界面2.1.4 點擊System draining排去Bath槽和tank槽的藥液。排藥過程用水槍沖洗刻蝕槽槽蓋，滾輪。沖洗好后將槽蓋關(guān)閉。沖洗過程中穿戴好防護(hù)用具，注意安全。2.1.5 待圖標(biāo)顯示Empty(黃色)，點擊PT Filling DI加水清洗。2.1.6 待Prepping cabinet顯示Full DI時，點擊Fill bath將水打入bath槽。2.1.7 待bath槽顯示Full DI時，自動循環(huán)2min清洗（手動計時）。2.1.8 點擊stopSystem draining。待圖標(biāo)顯示Empty(黃色

3、)，排水完畢，清洗結(jié)束。2.1.9 重復(fù)進(jìn)行二次清洗。清洗次數(shù)依據(jù)實際情況調(diào)整，一般為2次。2.1.10 點擊PT Filling Chemie向tank添加藥液。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結(jié)束，確認(rèn)無報警信息后點擊PT Filling Chemie繼續(xù)加藥，由于在加入H2SO4的過程中會放出大量的熱量，所以H2SO4要分幾步完成2.1.11 待Prepping cabinet顯示Full Chemie時，顯示配液完成將溶液打到ETCH bath進(jìn)行混合，完成后打回儲液罐2.2更換堿槽溶液2.2.1 點擊Manual進(jìn)入手動換藥界面(程序默認(rèn)為刻蝕槽換藥界面)2.2

4、.2 點擊F11<<在出現(xiàn)的界面點擊Drivers進(jìn)入滾輪控制界面，依次點擊All conveyorsStart開啟滾輪。點擊F4>>回到刻蝕槽換藥界面。2.2.4 點擊Alkaline進(jìn)入堿槽換藥界面。堿槽操作界面2.2.5 點擊Draining將藥液排掉。2.2.6 待圖標(biāo)顯示Empty（黃色），點擊Filling DI加水清洗。2.2.7 待Alkaline Rinse圖標(biāo)顯示Full DI時，點擊Start circulation打開循環(huán)。循環(huán)2min。清洗次數(shù)依實際情況而定，若清洗多次后水仍呈乳白色，可與設(shè)備人員溝通更換濾芯。2.2.8 點擊StopDrain

5、ing將水排掉，待Alkaline Rinse圖標(biāo)顯示Empty，排水完畢。2.2.9 重復(fù)進(jìn)行第二次清洗。清洗次數(shù)依據(jù)實際情況調(diào)整，一般為2次。2.2.10 點擊Filling Chemie添加藥液。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結(jié)束，確認(rèn)無報警信息后點擊 Filling Chemie繼續(xù)加藥。2.2.11 待顯示Full Chemie時，點擊F11<<Drivers進(jìn)入滾輪控制界面，依次點擊All conveyorsStop關(guān)閉滾輪。2.3 更換酸槽藥液2.3.1 主界面依次點擊stopMode Manual停機(jī)并將機(jī)器切換成手動操作模式、2.3.2 點

6、擊Manual進(jìn)入手動換藥界面(程序默認(rèn)為刻蝕槽換藥界面)2.3.3 點擊F11<<在出現(xiàn)的界面點擊Drivers進(jìn)入滾輪控制界面，依次點擊All conveyorsStart開啟滾輪。點擊F4>>回到刻蝕槽換藥界面。2.3.4 點擊F4>>切換至酸槽換藥界面。酸槽換藥界面2.3.5 點擊Draining將藥液排掉。2.3.6 待Acidic Rinse圖標(biāo)顯示Empty，點擊Filling DI加水清洗。2.3.7 待Acidic Rinse圖標(biāo)顯示Full DI時，表示水已加滿。設(shè)備進(jìn)入自動循環(huán)狀態(tài)。手動計時循環(huán)2min。2.3.8 點擊Draining

7、將水排掉，待Acidic Rinse圖標(biāo)顯示Empty，排水完畢。2.3.9 重復(fù)進(jìn)行第二次清洗。清洗次數(shù)依據(jù)實際情況調(diào)整，一般為2次。2.3.10 點擊Filling chemie加藥。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結(jié)束，確認(rèn)無報警信息后點擊PT Filling Chemie繼續(xù)加藥。2.3.11 待顯示Full Chemie時，點擊F4>>兩次切換到滾輪控制界面，點擊All conveyorsStop關(guān)閉滾輪。2.4 更換水槽的DI 水2.4.1 點擊Manual進(jìn)入手動換藥界面(程序默認(rèn)為刻蝕槽換藥界面)2.4.2點擊F11<<在出現(xiàn)的界面

8、點擊Drivers進(jìn)入滾輪控制界面，依次點擊All conveyorsStart開啟滾輪。點擊F4>>回到刻蝕槽換藥界面。2.4.4 更換DI water時，一般將Rinse1Rinse3中的DI water同時更換。首先分別進(jìn)入Rinse1、Rinse2、Rinse3界面點擊Draining將三個水槽中的水排盡。2.4.5 進(jìn)入Rinse1操作界面，點擊Filling DI，同時將三槽水加滿。2.4.6 待Rinse1中的圖標(biāo)顯示Full DI時，Rinse2和Rinse3中的水亦加滿。分別進(jìn)入Rinse1、Rinse2、Rinse3界面點擊Start Process打開各水槽循

9、環(huán)三、換液周期刻蝕槽設(shè)定藥液壽命為100KG，一般<10KG時可以開始換藥，<2KG時必須開始換藥 酸槽和堿槽藥液壽命相同，均設(shè)定為250小時，一般<5小時必須更換藥液四、設(shè)備開機(jī)1、RENA設(shè)備操作界面顯示全部就緒時，進(jìn)入Manual模式，點擊”Filling bath”由槽向罐填充藥液，開始往刻蝕槽打液。2、按F10返回主界面，點擊“auto modul”自動運行，點擊開始生產(chǎn)，開始運行3、初始配液刻蝕槽溶液的HNO2因子較少，需要多跑假片激活溶液，對于初配液需要累計2000片左右假片來激活藥液，直到溶液顏色出現(xiàn)淡黃色為止，開始跑測試片，刻蝕量正常后開始正常生產(chǎn)。五、設(shè)備關(guān)機(jī)1、點擊異常停止，切換到“moudul manual”à”ma