TCEMIA-半導(dǎo)體用正膠顯影液編制說(shuō)明.docx

1、CEMIA團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體用正膠顯影液（征求意見(jiàn)稿）編制說(shuō)明1工作簡(jiǎn)況1.1任務(wù)來(lái)源半導(dǎo)體集成電路制造用光刻工藝中的顯影制程的質(zhì)量是決定半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)品最終良率的主要因素之一，四甲基氫氧化鉉顯影液（下稱半導(dǎo)體用正膠顯影液）是廣泛使用于該過(guò)程的產(chǎn)品。國(guó)內(nèi)外芯片產(chǎn)能的不斷擴(kuò)張，對(duì)大規(guī)模和高精細(xì)化的要求不斷提高，導(dǎo)致所有相關(guān)濕化學(xué)品，尤其是半導(dǎo)體用正膠顯影液的品質(zhì)要求和用量都不斷提高。然而國(guó)內(nèi)尚未有針對(duì)該應(yīng)用領(lǐng)域的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)存在，半導(dǎo)體用顯影液的質(zhì)量考評(píng)和生產(chǎn)監(jiān)測(cè)主要以具體應(yīng)用客戶的產(chǎn)線標(biāo)準(zhǔn)和生產(chǎn)廠商的生產(chǎn)條件為參考。行業(yè)內(nèi)、企業(yè)間形成統(tǒng)一的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)迫在眉睫。根據(jù)中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)于2019年8月5

2、日（中電材協(xié)2019第13號(hào)）文下達(dá)的2019年度CEMIA首批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃（計(jì)劃編號(hào)：CEMIA2019-1-001）,杭州格林達(dá)電了材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱杭州格林達(dá)）作為半導(dǎo)體用正膠顯影液團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的牽頭單位，承擔(dān)了本標(biāo)準(zhǔn)的起草和編制任務(wù)。參與標(biāo)準(zhǔn)起草的單位還有：無(wú)錫三開(kāi)高純化工有限公司和滄州信聯(lián)化工有限公司等。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口。1.2目前已完成工作1.2.1調(diào)研杭州格林達(dá)于2019年1月開(kāi)始收集國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體用正膠顯影液相關(guān)技術(shù)資料并進(jìn)行對(duì)比分析，總結(jié)杭州格林達(dá)長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)電子化學(xué)品，尤其是四甲基氫氧化鉉的實(shí)際技術(shù)和產(chǎn)品質(zhì)量狀況，了解國(guó)內(nèi)外相關(guān)行業(yè)技術(shù)情況，為制

3、定標(biāo)準(zhǔn)打下了良好基礎(chǔ)。1.2.2標(biāo)準(zhǔn)啟動(dòng)會(huì)2019年2月杭州格林達(dá)組織本公司相關(guān)技術(shù)、生產(chǎn)、質(zhì)量及銷售人員召開(kāi)了本標(biāo)準(zhǔn)的啟動(dòng)會(huì)議，標(biāo)準(zhǔn)啟動(dòng)會(huì)上相關(guān)人員介紹了半導(dǎo)體用正膠顯影液的國(guó)內(nèi)外狀況、行業(yè)發(fā)展動(dòng)向,技術(shù)、質(zhì)量和生產(chǎn)人員介紹了半導(dǎo)體用正膠顯影液的產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)及其一般檢測(cè)方法等。會(huì)10設(shè)立標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施過(guò)渡期的理由：根據(jù)國(guó)家經(jīng)濟(jì)、技術(shù)政策需要和該強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)涉及的產(chǎn)品的技術(shù)改造難度等因素，提出標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施日期的建議。本標(biāo)準(zhǔn)為非強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)。11代替或廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議。本標(biāo)準(zhǔn)為首次制定。12其他主要內(nèi)容的解釋和其他需要說(shuō)明的事項(xiàng)。無(wú)議最終確定了本標(biāo)準(zhǔn)中編寫(xiě)確定的項(xiàng)目有：產(chǎn)品外觀、化學(xué)成分、色度、顆粒數(shù)

4、、甲醇、陰離子雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)含量等。1.2.3起草標(biāo)準(zhǔn)草案2019年6月，杭州格林達(dá)起草了本標(biāo)準(zhǔn)草案，并組織本單位及相關(guān)單位技術(shù)人員對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了討論。根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研及實(shí)際情況分析，會(huì)議確定了本標(biāo)準(zhǔn)草案中編寫(xiě)的項(xiàng)目有半導(dǎo)體用正膠顯影液的產(chǎn)品外觀、化學(xué)成分、色度、顆粒數(shù)、甲醇、陰離子雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)含量等共計(jì)20余項(xiàng)。1.2.4進(jìn)行驗(yàn)證試驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)工作組收集了行業(yè)內(nèi)若干主要半導(dǎo)體用正膠顯影液供應(yīng)商在下游客戶端的應(yīng)用產(chǎn)品，采用本標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的方法進(jìn)行該產(chǎn)品所有相關(guān)指標(biāo)的驗(yàn)證。1.2.5標(biāo)準(zhǔn)討論稿標(biāo)準(zhǔn)工作組于2019年11月完成標(biāo)準(zhǔn)討論稿，2019年11月中電材協(xié)組織相關(guān)技術(shù)人員對(duì)本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部討論稿進(jìn)行評(píng)

5、審，評(píng)審確定本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的范圍、產(chǎn)品的具體技術(shù)要求及其具體檢驗(yàn)方法、產(chǎn)品的檢驗(yàn)規(guī)則，以及參考的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容。1.3后續(xù)工作計(jì)劃標(biāo)準(zhǔn)工作組計(jì)劃于2021年12月完成征求意見(jiàn)稿，2022年1月完成送審稿，2022年2月完成報(bào)批稿。1.4標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及其所做的工作表1標(biāo)準(zhǔn)工作組姓名單位主要工作組長(zhǎng)邢攸美杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司組織協(xié)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)工作、起草制定、聯(lián)絡(luò)意見(jiàn)征集組員李瀟逸杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研、收集、討論、匯總，標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)筆李盈盈杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持陳東良杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持胡濤杭州格林達(dá)電

6、子材料股份有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持顧峻無(wú)錫三開(kāi)高純化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持徐文干無(wú)錫二開(kāi)高純化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持孫煒滄州信聯(lián)化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持劉新雨滄州信聯(lián)化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持周利超杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證張之鈞杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證李林佳杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證余紅剛杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證倪蕓嵐杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證陳海剛杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證楊小平杭州

7、格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證王小眉杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證姚藝融無(wú)錫三開(kāi)高純化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持劉為波無(wú)錫二開(kāi)高純化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持翁雪平無(wú)錫三開(kāi)高純化工有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持2標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容1編制原則本標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格遵照GB/T1.1-2020標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則，GB/T1.2-2020«標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第2部分：以ISO/IEC標(biāo)準(zhǔn)化文件為基礎(chǔ)的標(biāo)準(zhǔn)化文件起草規(guī)則的有關(guān)規(guī)定起草。2.2標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容2.2.1范圍（1）本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用正膠顯影液

8、的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、分類、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。2.2.2術(shù)語(yǔ)和定義（3）本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。2.2.3縮略語(yǔ)（4）下列縮略語(yǔ)適用于本文件。PFA：四氟乙烯一全氟烷氧基乙烯基醍共聚物，又稱過(guò)氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。2.2.4分類（5）按照四甲基氫氧化鉉的含量進(jìn)行分類，可分為c-a（四甲基氫氧化鉉含量20.00%的半導(dǎo)體用正膠顯影液），c.b（四甲基氫氧化鉉含量W5%的半導(dǎo)體用正膠顯影液）。2.2.5外觀及其檢驗(yàn)（6.1）半導(dǎo)體用正膠顯影液的外觀將能夠從直觀角度對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行初步鑒定，根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半

9、導(dǎo)體用正膠顯影液的外觀為無(wú)色透明液體，并采用于50mL具塞比色管中，加入樣品，在自然光或日光燈下目測(cè)的方法進(jìn)行外觀檢測(cè)。2.2.6主要化學(xué)成分及其檢驗(yàn)（6.2）半導(dǎo)體用正膠顯影液需要達(dá)到高純?cè)噭┑幕A(chǔ)要求，根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定c-a中主要化學(xué)成分四甲基氫氧化鉉的含量應(yīng)控制在a±0.10%的范圍內(nèi)，c-b中主要化學(xué)成分四甲基氫氧化鉉的含量應(yīng)控制在b±0.003%的范圍內(nèi)。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11636的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)半導(dǎo)體用正膠顯影液中四甲基氫氧化鉉的含量。2.2.7色度及其檢驗(yàn)（6.3）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)

10、體用正膠顯影液的色度應(yīng)不大于5Hazen單位（Pt-Co色號(hào)）。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)GB/T3143檢驗(yàn)半導(dǎo)體用正膠顯影液的色度。2.2.8顆粒數(shù)及其檢驗(yàn)（6.4）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體用正膠顯影液c-a中顆粒直徑0.5|im的顆粒數(shù)應(yīng)不大于10pcs/mL,顆粒直徑0.2im的顆粒數(shù)應(yīng)不大于100pcs/mL；c-b中顆粒直徑NO.5pm的顆粒數(shù)應(yīng)不大于10pcs/mL,顆粒直徑±0.2pm的顆粒數(shù)應(yīng)不大于50pcs/mLo具體顆粒數(shù)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商和客戶協(xié)商決定。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11638檢驗(yàn)半導(dǎo)體用正膠顯影液的顆粒數(shù)。2.2.9甲醇含量及其檢測(cè)

11、（6.5）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體用正膠顯影液c-a中甲醇含量40pg/g,c-b中甲醇含量10pg/go本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11634檢驗(yàn)半導(dǎo)體用正膠顯影液的甲醇含量。2.2.10陰離子雜質(zhì)含量及其檢驗(yàn)（6.6）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體用正膠顯影液ca中碳酸根含量50（dg/g,氯離子含量0.1pg/g；c-bW碳酸根含量20|jg/g,氯離子含量W0.1Mg/go具體陰離子雜質(zhì)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商和客戶協(xié)商決定。本標(biāo)準(zhǔn)碳酸根的檢測(cè)方法依據(jù)SJ/T11635的規(guī)定進(jìn)行，氯離子的檢測(cè)方法根據(jù)GB/T34672的規(guī)定進(jìn)行。2.

12、2.11金屬雜質(zhì)含量及其檢驗(yàn)（6.7）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體用正膠顯影液c-a中金屬雜質(zhì)含量應(yīng)不大于0.5ng/g；c-b中金屬雜質(zhì)含量應(yīng)不大于0.1ng/g。具體金屬雜質(zhì)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商與客戶協(xié)商決定本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11508-2015中5.6的規(guī)定檢驗(yàn)半導(dǎo)體用正膠顯影液的金屬雜質(zhì)含量。2. 2.12表面張力及其檢驗(yàn)（6.8）半導(dǎo)體用正膠顯影液需要達(dá)到高純?cè)噭┑幕A(chǔ)要求,根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定c-b的表面張力范圍根據(jù)供貨商與客戶協(xié)商而定。表面張力的檢測(cè)推薦采用GB/T5549中所述的方法進(jìn)行檢測(cè)。3主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）

13、的分析、綜述報(bào)告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證、預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果1主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）的分析、綜述報(bào)告本標(biāo)準(zhǔn)各項(xiàng)指標(biāo)是根據(jù)市場(chǎng)供需情況總結(jié)出來(lái)的，并結(jié)合了從行業(yè)內(nèi)各相關(guān)企業(yè)收集獲得的技術(shù)資料，完全可以滿足半導(dǎo)體用正膠顯影液的應(yīng)用要求。主要對(duì)半導(dǎo)體用正膠顯影液的產(chǎn)品外觀、化學(xué)成分、色度、顆粒數(shù)、甲醇、陰離子雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)含量等指標(biāo)進(jìn)行了試驗(yàn)。收集行業(yè)內(nèi)主要半導(dǎo)體用正膠顯影液供應(yīng)商在下游客戶端的應(yīng)用產(chǎn)品，采用本標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的方法進(jìn)行該產(chǎn)品所有相關(guān)指標(biāo)的檢驗(yàn)結(jié)果如下:表2半導(dǎo)體用正膠顯影液樣品的檢驗(yàn)結(jié)果（c-a）項(xiàng)目指標(biāo)#1#2#3#4#5#6#7#8四甲基氫氧化鉉，仞（wt%）25.00土0.1024.9824.98

14、25.0025.0225.0225.0024.9925.02色度/Hazen單位（Pt-Co色號(hào)）<5<5<5<5<5<5<5<5<5顆粒(>0.5gm)/(pcs/mL)<107.42.78.98.15.93.59.11.7顆粒(20.2pm)/(pcs/mL)<10032.243.924.427.318.147.62.742.0甲醇(CH3OH),G3/(Mg/g)<405.5120.6222.7525.0627.778.4339.764.44碳酸根(CO32-),w/(pg/g)<5013.6517.54

15、34.778.4433.0928.3426.768.26氯離子(C1-),3/(|Jg/g)<0.10.020.000.090.090.030.050.030.06銀(Ag),(ng/g)<0.50.130.330.310.320.110.190.330.16鋁(Al),60/(ng/g)<0.50.290.240.170.410.450.490.380.055$(As),co/(ng/g)<0.50.460.020.210.390.280.390.190.29金(Au),c。/(ng/g)<0.50.430.110.260.020.400.450.130.14硼

16、(B),co/(ng/g)<0.50.190.440.110.170.140.130.350.26根(Ba),co/(ng/g)<0.50.490.250.030.300.080.090.150.04鍍(Be),co/(ng/g)<0.50.130.110.190.110.400.350.180.23錫(Bi),co/(ng/g)<0.50.090.470.040.190.350.190.130.28鈣(Ca),co/(ng/g)<0.50.270.120.220.110.160.140.450.09鎘(Cd),co/(ng/g)<0.50.120.260.

17、090.410.460.160.040.20鉆(Co),co/(ng/g)<0.50.430.360.280.220.270.030.200.47銘(Cr),co/(ng/g)<0.50.500.350.470.200.240.060.270.17銅(Cu),(o/(ng/g)<0.50.140.250.100.370.050.240.050.32銳(Sb),co/(ng/g)<0.50.280.420.470.320.440.340.440.03鐵(Fe),(o/(ng/g)<0.50.060.190.480.080.500.210.340.31鉉(Ga),co

18、/(ng/g)<0.50.360.270.350.280.360.100.370.17汞(Hg),(o/(ng/g)<0.50.340.300.450.060.020.350.250.39錮(In),co/(ng/g)<0.50.120.060.020.470.400.260.460.35鉀(K),co/(ng/g)<0.50.180.140.090.420.240.090.070.01鋰(Li),co/(ng/g)<0.50.010.380.400.320.290.220.440.17鎂(Mg),co/(ng/g)<0.50.300.280.480.230

19、.280.410.460.07車孟(Mn),co/(ng/g)<0.50.110.050.200.380.480.330.090.30鉗(Mo),co/(ng/g)<0.50.330.120.090.320.130.070.030.03鈉(Na),co/(ng/g)<0.50.030.490.040.390.210.100.200.50鐐(Ni),co/(ng/g)<0.50.440.170.460.460.370.220.210.25鉛(Pb),co/(ng/g)<0.50.490.250.460.190.270.300.000.28伯(Pt),co/(ng/g

20、)<0.50.080.350.360.210.080.230.480.29錫(Sn),co/(ng/g)<0.50.270.350.290.480.360.420.130.48車思(Sr),co/(ng/g)<0.50.330.020.370.290.460.230.330.34項(xiàng)目指標(biāo)#1#2#3#4#5#6#7#8鈦(Ti),co/(ng/g)<0.50.090.240.480.360.180.140.080.10機(jī)(V),co/(ng/g)<0.50.350.150.310.020.400.140.050.21鋅(Zn),co/(ng/g)<0.50.

21、370.080.370.310.030.250.430.14表3半導(dǎo)體用正膠顯影液樣品的檢驗(yàn)結(jié)果（c-b）項(xiàng)目指標(biāo)#1#2#3#4#5#6#7#8四甲基氫氧化鉉，cd!（wt%）2.380+0.0032.3772.3782.3792.3772.3772.3762.3802.376色度/Hazen單位（Pt-Co色號(hào)）<5<5<5<5<5<5<5<5<5顆粒(>0.5pm)/(pcs/mL)<104.98.71.20.68.93.63.98.1顆粒(>0.2gm)/(pcs/mL)<5011.822.121.820.6

22、0.825.110.832.5甲醇（CH3OH）,co/（昭/g）<103.985.252.257.035.747.154.659.42碳酸根（CO32-）,（0/（瞄/g）<2010.4513.410.581.1112.1115.23.3113.78氯離子（C1-）,3/（瞄/g）<0.100.040.060.080.090.050.080.05銀(Ag),co/(ng/g)<0.10.020.010.030.020.030.020.000.02鋁(Al),co/(ng/g)<0.10.010.020.030.010.020.020.020.03神(As),0)

23、/(ng/g)<0.10.020.010.020.010.020.010.010.03金(Au),co/(ng/g)<0.10.010.000.030.030.010.000.020.03硼(B),(o/(ng/g)<0.10.010.000.030.020.000.000.020.01根(Ba),co/(ng/g)<0.10.010.000.020.020.000.010.010.02鍍(Be),co/(ng/g)<0.10.000.020.030.010.020.020.020.03翎(Bi),co/(ng/g)<0.10.020.030.000.010

24、.010.030.000.02鈣(Ca),co/(ng/g)<0.10.000.030.020.020.040.040.050.02鎘(Cd),co/(ng/g)<0.10.020.030.020.020.000.020.000.02鉆(Co),co/(ng/g)<0.10.020.000.010.020.010.010.010.00銘(Cr),co/(ng/g)<0.10.020.000.020.020.010.010.030.01銅(Cu),co/(ng/g)<0.10.020.020.020.000.010.020.030.02鐐(Sb),co/(ng/g)

25、<0.10.010.000.000.030.020.010.030.01鐵(Fe),co/(ng/g)<0.10.020.050.020.010.010.050.010.01鉉(Ga),co/(ng/g)<0.10.020.020.020.000.000.020.010.00汞(Hg),(o/(ng/g)<0.10.020.020.000.010.020.010.020.01錮(In),co/(ng/g)<0.10.020.020.000.020.010.020.010.02鉀(K),co/(ng/g)<0.10.030.020.020.000.020.02

26、0.020.02鋰(Li),cd/(ng/g)<0.10.030.010.000.020.030.020.020.03鎂(Mg),co/(ng/g)<0.10.020.020.020.000.020.020.000.01鎰(Mn),co/(ng/g)<0.10.020.020.020.030.010.010.000.00項(xiàng)目指標(biāo)#1#2#3#4#5#6#7#8鉗(Mo),co/(ng/g)<0.10.030.000.000.030.020.000.020.00鈉(Na),co/(ng/g)<0.10.020.030.010.010.010.010.010.02鐐(

27、Ni),co/(ng/g)<0.10.010.000.010.030.030.020.020.02鉛(Pb),cd/(ng/g)<0.10.010.020.010.020.010.020.010.02鉗(Pt),co/(ng/g)<0.10.020.010.010.010.000.000.020.01錫(Sn),co/(ng/g)<0.10.030.020.000.020.030.010.000.03車思(Sr),cd/(ng/g)<0.10.010.020.020.010.020.010.000.02鈦(Ti),cd/(ng/g)<0.10.020.020

28、.020.010.030.000.020.01機(jī)(V),co/(ng/g)<0.10.020.030.010.030.000.010.000.01鋅(Zn),co/(ng/g)<0.10.020.030.020.020.000.020.010.02由表2和表3可知，本標(biāo)準(zhǔn)中的主要指標(biāo)在行業(yè)內(nèi)產(chǎn)品中處于平均水平，適合于行業(yè)內(nèi)進(jìn)行推廣，并且符合產(chǎn)品在下游產(chǎn)業(yè)產(chǎn)線內(nèi)的應(yīng)用需求。3.2技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證、預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果根據(jù)國(guó)務(wù)院在中國(guó)制造2025的報(bào)告里提出的要求，到2020年中國(guó)芯片自給率要達(dá)到40%,2025年要達(dá)到50%o由此可推知，到2025年，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占到全世界35%,超過(guò)美國(guó)位列世界第一。與此同時(shí)，工信部則提出了更高要求，即到2025年中國(guó)芯片自給率要達(dá)到70%,占全球49%o然而，根據(jù)中國(guó)海關(guān)總署的統(tǒng)計(jì)結(jié)果，在中國(guó)每年進(jìn)口的工業(yè)品種中，集成電路的規(guī)模遠(yuǎn)超其他品種，2016年總的進(jìn)口金額為2271億美元,占全球市場(chǎng)的70%,是全球芯片需求量最大的國(guó)家,而其中國(guó)產(chǎn)化芯片的自給率還不足8%。為了扶持國(guó)產(chǎn)芯片的發(fā)展，國(guó)家對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)扶持規(guī)模巨大，僅考慮國(guó)家和地方等政策性資金