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文檔簡介

1、TOC MOCVD Sample purge sys. Sample evaporation Fume Cupboards實驗室級氣體產(chǎn)生器製造自己的氣體就在實驗室 In Laboratory安全保障 Safely有效率控制成本 Cost - Effectively方便 Conveniently分析實驗室氣體的管理現(xiàn)在現(xiàn)在自產(chǎn)氣體的優(yōu)點自產(chǎn)氣體的優(yōu)點滿足超高純度氣體的需求滿足超高純度氣體的需求純度的一致性純度的一致性,baseline 的穩(wěn)定的穩(wěn)定一次裝機一次裝機 - - 沒有管件開路的污染及待機時間浪費沒有管件開路的污染及待機時間浪費提昇實驗分析的靈敏度提昇實驗分析的靈敏度自產(chǎn)氣體的優(yōu)點自產(chǎn)

2、氣體的優(yōu)點省去鋼瓶氣體耗材支出省去鋼瓶氣體耗材支出高純氣體昂貴的不鏽鋼閥、管件高純氣體昂貴的不鏽鋼閥、管件 脫離氣體供應商的掌控脫離氣體供應商的掌控 環(huán)保又便宜的製造原料環(huán)保又便宜的製造原料 一般回收時間約一般回收時間約1-31-3年年氮氣產(chǎn)生器N2O2ArCO2RareO2O2O2O2O2O2N2N2N2N2O2O2O2Pore size 3.0 A O2 molecule 2.9AN2 molecule 3.1A3.0APSAt1t2EXHAUST VALVECOOLINGCOILCOMPRESSEDAIR FILTERN2 FLOWCONTROLCHECKVALVECMSTUBE NIT

3、ROGEN RESERVOIR N2 OUTAIROUT AIRRESERVOIRAIR FLOWCONTROL ACTIVATEDALUMINA COLUMNINLETELECTRONICCONTROLLEREXHAUST VALVECOOLINGCOILCOMPRESSEDAIR FILTERN2 FLOWCONTROLN2 OUTLETCHECKVALVECMSTUBENITROGENRESERVOIR AIRINLETHEATED CATALYSTTHERMOSTATIC HEATER CONTROL甲烷(CH4)0.1ppm流量 100500 cc/minSpecial server

4、 for GCUltra High Purity Gas壓力可達 90psi.Why use hydrogen as carrier gas?DRAINPORTCHECKVALVEWATERTANKSH2OUTLETGAS DRYINGCOLUMNION EXCHANGE MEMBRANENAFIONDRYING TUBEWATER/HYDROGENSEPARATORPRESSUREGAUGEPRESSUREREGULATOROUTLETSOLENOID VALVERELIEF VALVEPRESSURETRANSDUCERDEIONISERBAGSO2 RETURN氣體體積 50cc出口調(diào)壓

5、閥出口調(diào)壓閥Drain port吸濕乾燥管吸濕乾燥管資訊顯示面板資訊顯示面板Comprehensive display氫氣產(chǎn)生器的構造氫氣產(chǎn)生器的構造Water conductivity11 segmentHydrogen outlet flow yield%Water tank levelDigital displaySystem checkAlarmMaintenanceRemote start/stop資訊顯示面板資訊顯示面板 Leak detection outside and inside 出氣CO2含量1ppm使用活性鋁分子篩及壓力交替吸附原理,長效5-10年水含量(7bar)達壓

6、力露點溫度-70C(0.3ppm.Vol)流量1.5 85 l/min使用於TOC,NMR,FT-IR使用分子篩及壓力交替吸附原理,長效5-10年水含量(7bar)達壓力露點 -40C(16ppm.Vol) -70C(0.3ppm.Vol)流量70l300 l/min除CO2空氣產(chǎn)生器乾燥空氣產(chǎn)生器空氣產(chǎn)生器空氣產(chǎn)生器使用於GC,手套箱,AA特色特色高經(jīng)濟效益高經(jīng)濟效益, ,快速回本快速回本溫度保護溫度保護, ,不怕空燒不怕空燒可處理可處理氮氣氮氣, ,氬氣氬氣, ,氦氦氣氣白金觸媒不需更換白金觸媒不需更換THCs 含甲烷(CH4) 0.1ppmCOOLING COIL INLETFILTEROUTLET FILTERHEATED CATALYST 450CZERO AIR OUTLET AIRINLET UHP zero air is produced by passing compres

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