《薄膜原理與技術(shù)》

1、薄膜原理與技術(shù)課程編號(hào)：OPT04038課程名稱：薄膜原理與技術(shù)學(xué)分：1.5 學(xué)時(shí):24 先修課程：物理光學(xué)、應(yīng)用光學(xué)一、目的與任務(wù)本課程是一門專業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)課，適合于光學(xué)各專業(yè)。本課程的目的是通過(guò)光學(xué)薄膜原理與技術(shù)的學(xué)習(xí)，培養(yǎng)學(xué)生薄膜系統(tǒng)的計(jì)算、設(shè)計(jì)能力，了解薄膜系統(tǒng)的制備技術(shù)。本課程的任務(wù)是（1）光學(xué)薄膜特性計(jì)算，包括光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)理論以及膜系的普遍定理；（2）常用光學(xué)薄膜器件，如反射鏡、分光鏡、截止濾光片和帶通濾光片；（3）薄膜制備技術(shù)，包括制備薄膜設(shè)備、材料、方法與監(jiān)控；（4）薄膜材料及性質(zhì)，包括薄膜的光學(xué)性質(zhì)測(cè)量、力學(xué)性質(zhì)檢測(cè)等。（5）介紹薄膜技術(shù)領(lǐng)域中的一些前沿研究課題。學(xué)生通過(guò)這門

2、課的學(xué)習(xí)應(yīng)該熟悉薄膜原理、特性、制備與檢測(cè)以及薄膜領(lǐng)域的最新進(jìn)展。二、教學(xué)內(nèi)容及學(xué)時(shí)分配（24學(xué)時(shí)）第一章 光學(xué)薄膜特性的理論計(jì)算（6學(xué)時(shí)）1. 單色平面電磁波2. 平面電磁波在單一界面的反射和折射3. 光學(xué)薄膜特性的理論計(jì)算第二章 光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)理論（2學(xué)時(shí)）1.矢量作圖法2.有效界面法3.對(duì)稱膜系的等效層第三章 光學(xué)薄膜系統(tǒng)的設(shè)計(jì)（8學(xué)時(shí)）1.減反射膜2.高反射膜性3.分束鏡4.干涉截止濾光片5.帶通濾光片6薄膜設(shè)計(jì)軟件使用（Filmaster）第四章 薄膜制備技術(shù)（4學(xué)時(shí)）1.真空淀積工藝2.光學(xué)薄膜材料3.薄膜厚度監(jiān)控技術(shù)4.膜層厚度的均勻性第五章 制備條件對(duì)薄膜微觀結(jié)構(gòu)和成分的影響（

3、4學(xué)時(shí)）1.薄膜的形成過(guò)程2.薄膜的微觀結(jié)構(gòu)3.薄膜成分4.微觀結(jié)構(gòu)和成分對(duì)薄膜特性的影響三、考核與成績(jī)?cè)u(píng)定考核： 大作業(yè)。成績(jī)?cè)u(píng)定：大作業(yè)占70%，平時(shí)作業(yè)及日常考核質(zhì)疑等占30%，按百分制給出最終成績(jī)。四、大綱說(shuō)明1. 本大綱是根據(jù)我校電子科學(xué)與技術(shù)（光電子）、光電信息科學(xué)與工程、光電信息工程專業(yè)培養(yǎng)計(jì)劃及其知識(shí)結(jié)構(gòu)要求，并適當(dāng)考慮專業(yè)特色而制定的。2. 在保證基本教學(xué)要求的前提下，教師可以根據(jù)實(shí)際情況，對(duì)內(nèi)容進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整和刪節(jié)。3. 本大綱適合光電類相關(guān)專業(yè)。五、教材、參考書(shū)選用教材： 唐晉發(fā) 顧培夫 劉旭.現(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)M.浙江大學(xué)出版社,2006.參考書(shū)：1 盧進(jìn)軍 劉衛(wèi)國(guó).光學(xué)

4、薄膜技術(shù)M.西安工大學(xué)出版社，2005.2 唐晉發(fā) 顧培夫 劉旭.現(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)M.浙江大學(xué)出版社,2006.3 林永昌 盧維強(qiáng). 光學(xué)薄膜原理M.國(guó)防工業(yè)出版社,1990. 編寫教師： 蔣玉蓉責(zé)任教授簽字：教學(xué)院長(zhǎng)簽字：英文課程介紹Modern Optical Thin Film TechnologyCourse Code: OPT04038Course Name: Modern Optical Thin Film TechnologyClass Hour: 24Credit: 1.5Course Description: The objective of this course is t

5、o familiarize students with theoretical design and fabrication techniques of optical thin film. Students will be able to design appropriate thin film structures for different demands and choose appropriate fabrication methods according to material characteristic. The main contents of the course are

6、as follows: 1. Theoretical calculation of optical thin film; 2. Design theory of optical thin film ; 3. Systemic design of optical thin film; 4. Fabrication techniques of optical thin film; 5. Microstructure and component of optical thin film. If time permits, I will give a brief introduction to the measurement technique of optical thin film, such as optical constant measurement. Application and progress of modern optical thin film will be covered. One of the goals of the cou