真空鍍膜設備檢漏知識培訓

1、真空鍍膜設備檢漏知識培訓真空鍍膜設備檢漏知識培訓檢漏概念及目的1鍍膜線檢漏區(qū)域2漏點分析及處理方式3一、檢漏概念及目的一、檢漏概念及目的檢漏概念檢漏概念漏率真空檢漏最大容許漏率最小可檢漏率實漏虛漏p 真空檢漏真空檢漏就是檢測真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過程。就是檢測真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過程。p漏氣也叫漏氣也叫實漏實漏，是氣體通過系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側，是氣體通過系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側流到低壓側的現(xiàn)象。的現(xiàn)象。 p虛漏虛漏，是相對實漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、，是相對實漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發(fā)、氣體通過器壁的

2、滲透及系統(tǒng)內死空間中氣解吸、凝結氣體的再蒸發(fā)、氣體通過器壁的滲透及系統(tǒng)內死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。p漏率漏率，即單位時間內流過漏孔，即單位時間內流過漏孔(包括間隙包括間隙)的氣體量。漏率的單位是帕的氣體量。漏率的單位是帕斯卡斯卡立方米秒，記為立方米秒，記為Pam3s。為了方便，有時用帕斯卡。為了方便，有時用帕斯卡升升秒，記為秒，記為PaLs。p最大容許漏率最大容許漏率：于動態(tài)真空系統(tǒng)，只要其平衡壓力能夠達到所要求的：于動態(tài)真空系統(tǒng)，只要其平衡壓力能夠達到所要求的真空度，這時即使存在著漏孔，也可以認為該系統(tǒng)的漏率是容

3、許的，真空度，這時即使存在著漏孔，也可以認為該系統(tǒng)的漏率是容許的，該情況下系統(tǒng)的漏率稱為最大容許漏率。該情況下系統(tǒng)的漏率稱為最大容許漏率。p最小可檢漏率最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的最小值。是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的最小值。 檢漏目的：檢漏目的：檢出漏點進行維修，以提升本底真空，保證膜層性能。一、檢漏概念及目的一、檢漏概念及目的二、鍍膜線檢漏區(qū)域二、鍍膜線檢漏區(qū)域門閥軸座門閥軸座管道接口管道接口泵組接口泵組接口真空規(guī)管接口真空規(guī)管接口光眼接口光眼接口加熱器密封面加熱器密封面箱體接縫箱體接縫箱體門縫箱體門縫陰極及布氣管陰極及布氣管鍍鍍膜膜線線二、鍍膜線檢漏區(qū)域二、鍍膜線檢漏區(qū)域檢漏順序：由上到下！檢漏順序：由上到下！三、漏點分析及處理方式三、漏點分析及處理方式檢漏儀顯示真空度如上升，證明檢漏區(qū)域有漏點檢漏儀顯示真空度如上升，證明檢漏區(qū)域有漏點三、漏點分析及處理方式三、漏點分析及處理方式讀取真空計數(shù)值，確認大漏或抽速故障讀取真空計數(shù)值，確認大漏或抽速故障三、漏點分析及處理方式三、漏點分析及處理方式1、門縫漏氣緊固螺絲、門縫漏氣緊固螺絲2、開門檢查密封圈或清潔、開門檢查密封圈或清潔1、步氣管漏氣緊固螺絲、步氣管漏氣緊固螺絲2、