第9章微電子概論寄生參數(shù)_第1頁
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文檔簡介

Capacitance is everywhere. overlapcapacitanceintrinsic capacitance(a parallel plate capacitor)Cgs(fringing)Cgd(fringing)SDGonoffonoffinput signal of Ginput signal of AASDGIIIIIIIVbig size MOSsplit into four partssimple mode 2 21overshoot外延埋層CMOS反相器剖面圖上圖是典型的版圖結(jié)構(gòu)，左邊是N-well PMOS加N+ well contact，右邊是P-sbu NMOS加P+sub contact，中間就是guard ring，當(dāng)然well contact、psub contact也是保護(hù)的一部分，只不過沒有畫成環(huán)狀而已，不能忽略。 右邊是P-sbu NMOS加P+sub contact，中間就是guard ring 左邊是N-well PMOS加N+ well contact，采用保護(hù)環(huán)的反相器剖面圖N阱CMOS工藝閂鎖效應(yīng)版圖布局設(shè)計(jì)預(yù)防措施俯視示意圖E發(fā)射區(qū)發(fā)射區(qū)基區(qū)基區(qū)集電區(qū)集電區(qū)Em1Em2PNP晶體管晶體管電場分布電場分布THE E

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