鑄錠爐操作手冊_圖文

1、鑄錠爐操作手冊寧夏日晶電子科技有限公司NINGXIA RIJING ELECTRONIC TECHNOLOGY CO.,LTD 目錄1 安全 . 3 1.1 本地代碼和標(biāo)準(zhǔn) . . 3 1.2 安全符號 . 3 1.3 安全保護(hù)措施 . . 3 1.3.1 設(shè)備危險說明 . . 4 1.3.2 高壓保護(hù)說明 . . 4 1.3.3 壓縮空氣保護(hù)說明 . 41.3.4 鎖定裝置 . . 52 系統(tǒng)概述 . 5 2.1 介紹 . 52.2 操作原理 . 53 控制系統(tǒng)硬件組成 . . 6 3.1 控制箱 . 6 3.2 操作臺 . 6 3.2.1 PC機(jī)和顯示屏 . 6 3.2.2 系統(tǒng)啟動、停止

2、按鈕 . 6 3.2.3 緊急停止按鈕 . . 6 3.2.4 腔體、保溫體升降 . 63.2.5 警示燈、旋轉(zhuǎn)報警燈、音樂報警器 . 64 系統(tǒng)操作界面介紹 . . 7 4.1 前提條件 . 7 4.2 操作說明 . 7 4.2.1 菜單構(gòu)成 . . 74.2.2 畫面詳細(xì)說明 . . 95 操作說明 . 345.1 概述 . 34 5.2 裝料 . 34 5.3 進(jìn)爐前檢查 . . 35 5.3.1 熱場檢查 . . 35 5.3.2 真空泵及水路檢查 . 36 5.4 爐子操作、運(yùn)行 . . 36 5.4.1 狀態(tài)檢查 . . 36 5.4.2 程序開始 . . 375.4.3 自動運(yùn)行

3、 . . 386 爐子操作安全防護(hù) . . 40 6.1 下爐體升降 . . 40 6.2 硅錠出爐 . 40 6.3 坩堝護(hù)板 . 41 6.4 斷水保護(hù) . 41 6.5 硅液溢流保護(hù) . . 416.6 真空泵出現(xiàn)問題 . . 417 報警處理方法 . 41 7.1 正常報警 . 41 7.1.1 熔化結(jié)束報警 . . 41 7.1.2 透頂完成報警 . . 錯誤!未定義書簽。 7.1.3 長角結(jié)束報警 . . 41 7.2 異常報警 . 421 安全1.1 本地代碼和標(biāo)準(zhǔn)每一個客戶都有責(zé)任保證設(shè)計, 設(shè)施的布置 /連接和工藝流程狀況符合本地代碼和標(biāo)準(zhǔn)。1.2 安全符號這本手冊里的下列安

4、全符合著重強(qiáng)調(diào)了特別的信息或者警告了潛在的危險。 用戶有責(zé)任 將這些含義告訴操作、維修和安裝人員,且讓他們充分理解。每一個符合右邊的概述說明了 危險或警告的嚴(yán)重性。用這些安全符號描述和代替符號右邊的所有語句信息或者一部分信息。 下面列出了本手 冊涉及到的安全說明和安全符合清單。危險 說明危險,如果不注意避免會導(dǎo)致死亡或者嚴(yán)重的傷害。警告 說明有潛在的危險,如果不注意避免會導(dǎo)致嚴(yán)重的傷害。注意 說明有危險,如果不注意避免會導(dǎo)致中等程度的傷害。聲明 保護(hù)人員或者財產(chǎn)的聲明。1.3 安全保護(hù)措施 1.3.1 設(shè)備危險說明注意:設(shè)備危險包括多個壓力點(diǎn),高壓和裝卸期間暴露在外很熱的接線端子。該設(shè)備有 安

5、全內(nèi)鎖裝置和危險警告符號,以保護(hù)操作工的人生安全。警告:不要觸碰沒有護(hù)欄的設(shè)備。警告:不要企圖忽略任何安全內(nèi)鎖裝置。當(dāng)門和安全護(hù)欄沒有位于正確位置時,這些內(nèi) 鎖裝置能避免自動操作。1.3.2 高壓保護(hù)說明仔細(xì)閱讀操作指南,預(yù)防遭到潛在和致命的點(diǎn)擊傷害,防止設(shè)備遭到意外損害。特別需 強(qiáng)調(diào)的是,自急停情況下,不要單獨(dú)一個人工作,必須協(xié)同另外的操作人員一起工作。 當(dāng)你在周圍有通電導(dǎo)線的場所或者有高壓設(shè)備的地方工作時, 穿上橡膠底的鞋子或者運(yùn) 動鞋。絕緣地板比金屬地板或者裸露的水泥地面絕緣性好,但這是由實(shí)際情況決定的。一塊 橡膠墊是很好的絕緣體,但一塊毯子無聊多厚都不是很好的絕緣體。戴上防護(hù)眼鏡較大的

6、,有塑料透鏡的眼鏡或者護(hù)目鏡。不要帶任何珠寶或者其它飾品以防意外的接觸電路和接通導(dǎo)體電流, 或者卡進(jìn)旋轉(zhuǎn)部件 里。絕不能沒有事先檢查就自己猜想任何事情!不能企圖走捷徑!1.3.3 壓縮空氣保護(hù)說明突然的強(qiáng)大氣壓或者飛濺碎片會損傷操作人員的眼睛或耳膜。壓縮空氣攜帶而出的飛濺顆粒能傷害操作人員或損壞設(shè)備。用戶應(yīng)該雇傭會正確使用壓縮空氣的職員。更換附屬裝置前或者不用壓縮空氣時必須斷開壓縮空氣系統(tǒng)。1.3.4 鎖定裝置在維護(hù)、檢修、操作和相關(guān)的活動期間,應(yīng)該保護(hù)人員不受意外接通 /啟動設(shè)備或者釋 放存儲的能量而造成的傷害。注意:當(dāng)維護(hù)、維修、操作鑄錠爐和其它相關(guān)活動時,用戶必須使用相應(yīng)的鎖定裝置。 鎖

7、定裝置能保證潛在的危險狀態(tài)下,幾乎不需要人員做任何動作,利用鎖定能量隔離裝置就 可以避免危險。如果沒有鎖定裝置,就必須先斷開設(shè)備或者機(jī)器以免意外地接通電源或者釋 放存儲的能量。在設(shè)備上貼有一個顯著的警告標(biāo)志(例如一個標(biāo)簽 ,以警告人員不要操作已經(jīng)斷開電 源的設(shè)備。用戶代表必須精通鎖定功能的所有知識且保證手下的所有員工都理解鎖定過程且 能正確地執(zhí)行鎖定操作。用戶定期檢查電源控制程序(至少每年一次 ,以便正確地遵守控制 過程和定期檢查。員工應(yīng)掌握鎖定的所有知識且按照要求鎖定。2 系統(tǒng)概述2.1 介紹本手冊介紹了如何操作 NXRJ-MC500鑄錠爐。用戶必須仔細(xì)閱讀和理解這些知識才能高 效地使用爐子

8、和避免故障。2.2 操作原理MC500鑄錠爐能生產(chǎn)較大尺寸的, 優(yōu)質(zhì)的多晶硅錠 (用于光伏工業(yè)領(lǐng)域 。 鑄錠爐的生產(chǎn) 量很大,能在 60個小時左右能生產(chǎn)出 450-500kg 的硅錠。在長晶期間,只有一個部件在運(yùn)動,這樣的設(shè)計極大地簡化了操作,減小了操作的復(fù)雜 性。尤其降低一些消耗件(例如加熱器、隔熱層元件的成本,從而降低了爐子長期運(yùn)行的 成本。內(nèi)涂 Si3N4涂層的坩堝內(nèi)裝入多晶硅料后,放在熱交換塊上,關(guān)閉爐子抽真空,接通 加熱器電源熔化硅料。坩堝的四邊和頂部都有加熱器,這些都安裝在隔熱層內(nèi)。隔熱層的豎 直邊能上下移動,以便能暴露出熱交換塊的邊緣,使熱量輻射到水冷的下爐壁上。坩堝底部 的熱量

9、通過熱交換塊的傳導(dǎo)和輻射,使坩堝內(nèi)的熔硅周圍形成豎直的溫度梯度。這個梯度使坩堝內(nèi)的熔硅從底部向頂部開始長晶。當(dāng)所有的熔硅都結(jié)晶后,在程序的控制下,硅錠需要 經(jīng)過退火、冷卻處理以免破裂且能將(晶格位移降到最小限度。3 控制系統(tǒng)硬件組成3.1 控制箱控制箱內(nèi)安裝有:PLC 、伺服驅(qū)動器、斷路器、繼電器、開關(guān)電源、 A/D轉(zhuǎn)換模塊、水 流量控制器、 HUB 、變頻器、等元器件,以確保機(jī)器的控制和正常運(yùn)行。3.2 操作臺3.2.1 PC機(jī)和顯示屏本機(jī)器使用高配置的工控機(jī),速度快、可靠性程度高。3.2.2 系統(tǒng)啟動、停止按鈕系統(tǒng)啟動 : 系統(tǒng)進(jìn)入工作狀態(tài)。系統(tǒng)停止:按下此按鈕、兩電機(jī)失電。3.2.3 緊

10、急停止按鈕當(dāng)遇到突發(fā)事件時,操作者可按下此按鈕,機(jī)器將停止任何動作,進(jìn)入急停狀態(tài)。本機(jī) 器共有 4個緊急停止按鈕,分別放在支架的立柱上(2個 、操作臺的操作面板上,當(dāng)遇到突 發(fā)事件時,操作者可按其中的任何一個,機(jī)器將停止任何動作。3.2.4 腔體、保溫體升降操作臺上有四個按鈕:“腔體上升” 、 “腔體下降” 、 “保溫體上升” 、 “保溫下降” 。這四個按 鈕可在設(shè)備調(diào)試、加裝多晶料時使用,來代替觸摸屏,方便、快捷。3.2.5 警示燈、旋轉(zhuǎn)報警燈、音樂報警器(1警示燈此燈上有三種顏色,綠、黃、紅,綠燈表示設(shè)備正常工作,黃燈表示設(shè)備有報警,設(shè) 備可以工作,但需要處理, 紅燈表示設(shè)備正處于故障狀態(tài)

11、,需要維修和調(diào)試。(2旋轉(zhuǎn)報警燈當(dāng)遇到重大事故,如:漏液等,此燈將會亮,并且發(fā)出刺耳的警報聲,此時,操作人 員和車間內(nèi)其他人員需要迅速撤離到安全的地方。(3音樂報警器設(shè)備出現(xiàn)報警 (或需要提示操作者 時, 音樂報警器播放事先設(shè)定的音樂 (共有八種音樂, 每種音樂對應(yīng)一類報警 ,音樂 1:重故障 音樂 2:輕故障 音樂 3:程序自動開始 音樂 4:狀態(tài)檢查開始 音樂 5:程序結(jié)束 音樂 6:工序移動 音樂 7:一般故障 音樂 8:漏夜報警4 系統(tǒng)操作界面介紹4.1 前提條件系統(tǒng)畫面操作運(yùn)用時使用的硬件以及開發(fā)環(huán)境,是以滿足下列條件為前提而作成的。 移動 OS :MS WindowsXP Prof

12、essional(中文版 畫面 :1280 * 960 像素, 256色以上可顯示 開發(fā)環(huán)境 :MS VisualStudio2005 VisualBasic4.2 操作說明4.2.1 菜單構(gòu)成(1 畫面構(gòu)成電腦畫面構(gòu)成如下圖: (2 數(shù)據(jù)構(gòu)成電腦數(shù)據(jù)構(gòu)成如下圖: 4.2.2 畫面詳細(xì)說明 (1 顯示部分1 底部字幕區(qū) PLC-PC 通信狀態(tài) ONLINE:通信中 (綠色 OFFLINE :通信切斷 (紅色 裝置狀態(tài) 動力 OFFPWR OFF :動力 OFF 狀態(tài) (紅色 手動 MANUAL :可手動操作的狀態(tài) (淺綠色 原點(diǎn)復(fù)位 HOME :原點(diǎn)復(fù)位中 (橙色 暫時停止 PAUSE :通信

13、 (黃色 自動 AUTO :通信 (綠色 當(dāng)前帳戶等級 一般 Regular :帳戶權(quán)限低 主管 Master:帳戶權(quán)限中 開發(fā) Developer :帳戶權(quán)限高 版本信息 顯示系統(tǒng)的版本信息。 時刻顯示 顯示現(xiàn)在系統(tǒng)日期、星期、時間。2右邊主導(dǎo)航區(qū)域(主控命令 電腦畫面切換。 相對于打開的畫面,導(dǎo)航按鈕用淺綠色顯示。 3頂部一直顯示區(qū)域 設(shè)備 LOG 、裝置 ID 。 自動運(yùn)行時的批號 ID 、工藝文件名。 運(yùn)行模式、步號、剩余時間、總的運(yùn)行經(jīng)過時間。 停止蜂鳴器和報警,在所有畫面中,都可以進(jìn)行此操作。 在監(jiān)控 /手動窗口中,手動狀態(tài)下可以對各泵、閥、保溫體、腔體、加熱器等進(jìn)行操作。 自動狀

14、態(tài)下可以監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行時的狀態(tài)。在屏幕上顯示了進(jìn)氣閥的設(shè)定值和實(shí)測值,出氣閥 的設(shè)定值和實(shí)測值,爐內(nèi)壓力的設(shè)定值和實(shí)測值,總的和分支路水流量的實(shí)測值,水壓、水 溫的實(shí)測值,隔熱籠的目標(biāo)位置和實(shí)際位置,瞬時電壓、電流、功率、控制方式(溫度控制 方式或功率控制方式以及各自的設(shè)定值和實(shí)測值,還有 PM2、 PM1的實(shí)測溫度值。爐體圖片 上還顯示了真空泵、氣閥的開關(guān)狀態(tài)灰色表示關(guān)閉,綠色表示打開,保溫體的位置以及 加熱器的狀態(tài) (加熱器接通電源時,圖標(biāo)顯示為紅色 。 1自動運(yùn)行監(jiān)控 APC 控制 該窗口顯示了出氣 APC 控制閥開度的設(shè)定值(只有在進(jìn)氣控制時顯示 、實(shí)測值。 MFC 控制 該窗口顯示了進(jìn)

15、氣 MFC 控制閥開度的設(shè)定值(只有在出氣控制時顯示 、實(shí)測值。 壓力控制 該窗口顯示了爐內(nèi)壓力的設(shè)定值和實(shí)測值。 當(dāng)爐內(nèi)壓力 >133Pa(1Tor時, 由高壓力計 (粗 測 顯示。當(dāng)爐內(nèi)壓力 <133Pa時,則由低壓力計 (精測 顯示。高壓力計前加一手閥,則表示 在自動運(yùn)行氣體模式下,壓力計出現(xiàn)故障情況下,可以對壓力計進(jìn)行更換,保證爐子正常運(yùn) 行。 水流量、水壓、水溫 在這兩窗口中顯示了水路的水流量值、進(jìn)出水壓力、溫度,操作人員可以隨時監(jiān)控循環(huán) 冷卻水的各項(xiàng)工藝指標(biāo),確認(rèn)是否在正常設(shè)定范圍內(nèi)。 加熱器該窗口中顯示了加熱電源的平均設(shè)定功率、平均功率、電壓、電流、加熱器的實(shí)時電阻值

16、以及當(dāng)前運(yùn)行當(dāng)前所處的控制模式 (功率或溫度 。當(dāng)硅液溢流時,漏液指示會顯示紅色,正常運(yùn)行時為綠色。 保溫體位置該窗口顯示了保溫體的設(shè)定位置和當(dāng)前的實(shí)際位置,保溫體 +-限位表示上下限位,當(dāng)碰到限位時,指示燈顏色顯示為灰色, 離開現(xiàn)實(shí)為紅色。自動運(yùn)行時,保溫體離開零點(diǎn)時,指示燈顯示為紅色。保溫體三根絲杠上都分別裝有上下限位。 腔體鎖腔體的 +-限位表示上下限位, 四個鎖限位分別裝在四個掛鉤上。 當(dāng) 鎖碰到限位時, 則指示燈顯示為紅色, 反之為灰色。 升降限位觸碰到時, 顯示灰色,反之為紅色。自動運(yùn)行時,下限位和四個鎖的指示為紅色, 上限位為灰色。 溫度顯示自動運(yùn)行時,當(dāng)處于功率控制時,設(shè)定值顯

17、示為 0,溫度控制時,設(shè)定值顯示當(dāng)前步驟的溫度設(shè)定值。在窗口中可以觀察 PM2、 PM1的實(shí)測值。2 手動操作 泵、閥門操作右圖窗口中黃色指示的泵、閥門,當(dāng)點(diǎn)擊對應(yīng)的圖標(biāo),會出現(xiàn)如下操作窗口: 點(diǎn)擊運(yùn)行、停止、退出來完成操作。 運(yùn)行時圖標(biāo)會變?yōu)榫G色,停止時,圖標(biāo)為灰色。 APC 比例閥操作 點(diǎn)擊 APC 圖標(biāo),會彈出此窗口,點(diǎn)擊選擇的按鈕顯示綠色。選擇位置按鈕進(jìn)行 APC 開度 設(shè)定,在設(shè)定值輸入數(shù)值,按打開, APC 打開到設(shè)定位置,關(guān)閉時顯示值為 0。進(jìn)行位置設(shè)定 時,按保持, APC 一直會保持到設(shè)定的開度,按打開、關(guān)閉無效;按解除,則可以打開和關(guān) 閉。 APC 壓力設(shè)定時,設(shè)定一爐壓值

18、,則 APC 會根據(jù)進(jìn)氣值做 PID 控制,來穩(wěn)定爐內(nèi)的壓力 值。 MFC 操作 在此窗口中輸入需要設(shè)定的值,按運(yùn)行、停止來控制 MFC 的流量。 保溫體升降 點(diǎn)擊黃色按鈕“保溫體” ,彈出此窗口。當(dāng)按上升下降時,保溫體在距下限位 5mm ,距上 限位 30mm 時以低速升降,中間行程以高速升降。更改高低速值,在設(shè)定值上輸入數(shù)值,長按 “速度變更”按鈕即可。在位置上有實(shí)時的高度和位置顯示。為了安全期間,升降按鈕為點(diǎn) 動按鈕。在隔熱籠調(diào)整“零點(diǎn)”時,需進(jìn)入開發(fā)或主管賬戶,點(diǎn)擊出現(xiàn)的“調(diào)整”按鈕,系統(tǒng)會 彈出以下窗口: 經(jīng)確認(rèn)當(dāng)隔熱籠降到最低點(diǎn)時,在伺服電機(jī)位置設(shè)定值上輸入“ 0”,按“位置設(shè)定

19、伺 服電機(jī)” 按鈕, 則顯示值歸 0。 行程設(shè)置上輸入保溫體升降行程的最大值, 點(diǎn)擊 “行程設(shè)定” , 則顯示值上即顯示新設(shè)定的行程值。在此畫面升降操作時,可以全程對升降高、低速的設(shè)定和選擇。點(diǎn)擊“退出”關(guān)閉此畫面,點(diǎn)擊“手動”則進(jìn)入保溫體升降畫面。在開發(fā)賬戶中, “保溫體”右側(cè)會出現(xiàn) “保溫體制動器” , 點(diǎn)擊此按鈕, 會彈出以下窗口: 此窗口可以整體或單獨(dú)打開、關(guān)閉抱閘,調(diào)試人員,可以進(jìn)入此窗口進(jìn)行判斷抱閘的工 作情況。在一般和主管賬戶中此按鈕不顯示。 腔體升降 在腔體操作中,升降按鈕也為點(diǎn)動,當(dāng)碰到上下減速接近開關(guān)時,升降速度由高速變?yōu)?低速,到達(dá)停止接近開關(guān)時,升降停止。同樣,在開發(fā)賬

20、戶中,右側(cè)出現(xiàn)制動器按鈕,進(jìn)入 此窗口可以對抱閘進(jìn)行操作。 加熱器 點(diǎn)擊“加熱器”按鈕,彈出此窗口。在操作臺上操作需選擇“遠(yuǎn)程” , “本地”操作則是 在電源柜內(nèi)手動設(shè)定功率。選擇“功率” ,設(shè)定功率值后“運(yùn)行” ,則顯示值會按設(shè)定的功率 輸出。當(dāng)選擇“ PM2”時,設(shè)定溫度,則功率會根據(jù)設(shè)定的溫度值做 PID 控制。(3 當(dāng)前工藝 1工藝文件顯示要實(shí)行的配方名稱和以及正在實(shí)行的配方名稱。2工藝信息總步序數(shù)顯示配方中合計的工序數(shù);總計時間顯示配方中合計的時間;經(jīng)過時間顯示正 在實(shí)行的配方,從頭開始的經(jīng)過時間;當(dāng)前步序號顯示正在實(shí)行的配方序號;設(shè)定時間顯示當(dāng)前工序的設(shè)定時間;現(xiàn)在時間顯示當(dāng)前工序

21、運(yùn)行的時間。3各個工序顯示按鈕現(xiàn)在選擇中的按鈕用黃色表示, “全部” 顯示全部工序; “加熱” 只顯示加熱工序; “熔化” 只顯示熔化工序; “長晶”只顯示長晶工序; “退火”只顯示退火工序; “冷卻”只顯示冷卻工 序。4工序狀態(tài)顯示等待尚未實(shí)行的工序狀態(tài)顯示白色;已實(shí)行的工序狀態(tài)顯示灰色;正在運(yùn)行中的工序狀 態(tài)顯示綠色;跳轉(zhuǎn)未實(shí)行的工序狀態(tài)顯示淡藍(lán)色;手動介入更改的工序文字顯示紅色;內(nèi)容 異常的工序狀態(tài)顯示紫紅色。5配方內(nèi)容顯示區(qū)域一個工序內(nèi)的項(xiàng)目內(nèi)容一覽顯示,顯示范圍根據(jù)工序顯示按鈕顯示。已選擇的工序按如 下規(guī)則變化顯示顏色:選擇未實(shí)行的工序時,淡綠色;選擇未實(shí)行以外的工序時,文字顏色 是

22、紫紅色。6畫面命令在畫面命令中可以選擇打開新的文件名,同時可以將當(dāng)前的工藝文件保存到新的文件名 中。(4工藝編輯 1工藝文件顯示要實(shí)行的配方或正在實(shí)行的配方名稱。 2工藝信息總步序數(shù)顯示配方中的合計工序數(shù);總計時間顯示配方中的合計時間。 3各個工序顯示按鈕現(xiàn)在選擇中的按鈕用黃色表示,全部顯示全部工序;加熱、熔化、長晶、退火、冷卻分 別只顯示相對應(yīng)各個階段的工序。 4編輯配方內(nèi)容顯示區(qū)域一個工序內(nèi)的顯示范圍根據(jù)各個工序按鈕選擇,已選擇的工序用淡綠色顯示,雙擊工序 時,顯示工序編輯畫面。5注冊工序中每一工序清單顯示區(qū)域 圖標(biāo)顯示的是每一工序清單,現(xiàn)在選中的黃色按鈕,表示圖標(biāo)以何種方式顯示。 6畫面

23、命令 選擇工藝:顯示編輯配方的選擇對話框。 創(chuàng)建工藝:顯示注冊配方對話框。 另存為工藝:顯示配方保存對話框。 刪除工藝:顯示清除配方對話框。 創(chuàng)建工序:顯示注冊的新工序文件對話框。 刪除工序:顯示刪除工序?qū)υ捒颉?工序編輯畫面 工序文件信息標(biāo)題欄:顯示工序文件名稱?？偛叫驍?shù):工序配方顯示的合計步數(shù)?？倳r間:工序配方顯示的合計時間。 所有工序步驟一覽一覽顯示工序內(nèi)的所有步驟,配方編輯畫面中,顯示范圍依存于雙擊后的工藝文件,選 擇的步驟用淡綠色表示,同時在編輯區(qū)域中,顯示步驟內(nèi)的項(xiàng)目內(nèi)容。 編輯區(qū)域文件名:顯示工序文件名稱。模式:顯示加熱、熔化、長晶、退火、冷卻五種模式。 步序時間:顯示的是從工序

24、開始到此步驟完成的時間。 特殊功能:從以下六種選擇。無:不使用時選擇; 熔化結(jié)束:特定條件下檢知熔化結(jié)束。長晶結(jié)束:特定條件下檢知結(jié)晶結(jié)束。Ar 冷卻結(jié)束:特定條件下檢知?dú)鍤饫鋮s結(jié)束。He 冷卻結(jié)束:特定條件下檢知氦氣冷卻結(jié)束。Helium Mode:使用氦氣時 控制模式:從以下三種選擇。無:不使用時選擇; 功率:監(jiān)視 /設(shè)定電源。 溫度:監(jiān)視 /設(shè)定溫度。 控制類型:從以下兩種選擇。無:不使用時選擇; PID控制:針對加熱器模式實(shí)行 PID 控制。 功率設(shè)定:設(shè)定功率目標(biāo)值。 溫度設(shè)定:設(shè)定溫度目標(biāo)值。 壓力模式:從以下三種進(jìn)行選擇。無:不使用時選擇; 真空:使用真空模式時; 氣體:使用氣體

25、模式時。 壓力控制:從以下三種進(jìn)行選擇。無:不使用時選擇; 進(jìn)氣:針對壓力模式,采用進(jìn)氣控制。出氣:針對壓力模式,采用出氣控制。 MFC 控制設(shè)定:設(shè)定進(jìn)氣 MFC 目標(biāo)值。 壓力設(shè)定:爐內(nèi)壓力目標(biāo)值。 APC 控制設(shè)定:設(shè)定出氣 APC 目標(biāo)值。 保溫體位置:設(shè)定保溫體目標(biāo)位置。 命令:包括配方的保存、編輯、添加、插入、刪除、清除、退出。備注:設(shè)定值為“ 0”時,一覽上顯示“ -” 。8工藝編輯功能 選擇工藝點(diǎn)擊“選擇工藝”顯示對話框。從工藝文件列表中單擊要編輯的配方,并且會在選擇的工藝文件中顯示,按下“打開”按鈕或雙擊要編輯的配方。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。 創(chuàng)建工藝點(diǎn)擊“創(chuàng)

26、建工藝”顯示對話框。 輸入想要的工藝名,點(diǎn)擊“創(chuàng)建”按鈕。已存在的配方名不可以輸入。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。 另存為工藝點(diǎn)擊“另存為工藝”顯示對話框。將編輯中的工藝文件直接在當(dāng)前工序名中保存時,點(diǎn)擊“保存” ;變更名稱時,在新工序名中輸入新的配方名稱, 點(diǎn)擊 “另存為” 。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。 刪除工藝點(diǎn)擊“刪除工藝”顯示對話框。選擇要從列表中刪除的工藝文件, 名稱在選擇的工藝文件欄中顯示,點(diǎn)擊“刪除”按鈕。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。 清除工序點(diǎn)擊“清除工序” ,編輯中的工藝文件中,所有工序都被清除。 創(chuàng)建工序點(diǎn)擊“創(chuàng)建工序”顯示對話框。點(diǎn)擊各

27、工序顯示按鈕, 列表按不同的工序顯示已有的工序文件。 在新工序名中輸入想要創(chuàng)建的工序文件名稱,輸入完成后,點(diǎn)擊 “創(chuàng)建” 按鈕, 此工序名稱就被追加到工序列表中。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。 刪除工序點(diǎn)擊“刪除工序”顯示對話框。點(diǎn)擊各工序顯示按鈕, 列表按不同的工序顯示已有的工序文件。 全部時, 工序列表可瀏覽所有的工序文件。 從列表中選擇想要刪除的工序文件, 文件名稱在已選擇工序名中顯示,點(diǎn)擊“刪除” ,此文件從工序列表中被刪除。按“取消”或“×”關(guān)閉此畫面。9工序編輯功能 另存為保存工序文件名稱中顯示的文件,保存后展開配方。注意:文件未通過保持,工序步驟就不能確定,不

28、能反映到配方中。 編輯編輯區(qū)域中編輯內(nèi)容后,按“編輯” ,則編輯過的內(nèi)容保存并反映到工序一覽中。 添加工序中最后輸入編輯區(qū)域的工序內(nèi)容,添加到工序步驟一覽最下面處,總工序數(shù)+1。 插入在現(xiàn)在選擇的下一個工序處,插入初始化工序;在插入工序中想輸入內(nèi)容時,要進(jìn)行通 常的工序編輯。備注:初始化步驟中,指配方中什么也不做的步驟。 刪除將現(xiàn)在選擇的步驟,從工序一覽中刪除,工序一覽中總工序數(shù) -1。 清除工序步驟一覽中顯示的工序全部清除;工序步驟一覽中無任何顯示。 退出關(guān)閉工序編輯畫面。 (5系統(tǒng)設(shè)定1控制設(shè)定 工藝控制工藝參數(shù) 狀態(tài)檢查參數(shù) 只有經(jīng)審核的技術(shù)人員可以對以上畫面參數(shù)修改,改變工藝報警觸發(fā)值

29、、狀態(tài)參數(shù)檢查 的過程設(shè)定。決定變更數(shù)據(jù)時,修改過后點(diǎn)擊“保存”按鈕。按下時,保存數(shù)據(jù)到電腦的文 件中,并同時傳送數(shù)據(jù)到 PLC 。 報警檢查 報警檢查主要針對爐體異常情況報警的觸發(fā)值和觸發(fā)時間設(shè)定,技術(shù)人員決定變更數(shù)據(jù) 時,點(diǎn)擊“保存” ,數(shù)據(jù)保存到電腦文件中并同時將數(shù)據(jù)傳送到 PLC 。 冷卻水設(shè)定 此窗口,主要對冷卻水流量的參數(shù)設(shè)置,當(dāng)實(shí)際水流量超出設(shè)定范圍時,會觸發(fā)報警。 只有經(jīng)審核的技術(shù)人員可以對參數(shù)設(shè)定值進(jìn)行更改,當(dāng)決定更改時,點(diǎn)擊“保存” ,更改后的 數(shù)據(jù)保存到電腦的文件中并同時將數(shù)據(jù)傳送到 PLC 。 PID 控制 爐內(nèi)溫度、壓力采用 PID 控制,使其與設(shè)定值一致,達(dá)到穩(wěn)定狀

30、態(tài)。隨意修改 PID 參數(shù) 值,會影響爐子運(yùn)行的穩(wěn)定性。經(jīng)審核的技術(shù)人員需修正參數(shù)時,點(diǎn)擊“保存” ,修正后的數(shù) 據(jù)保存到電腦的文件中并同時將數(shù)據(jù)傳送到 PLC 。在此窗口中,可以對各個階段輸出功率設(shè) 置上、下限值,請注意此限位值會對實(shí)際功率輸出過高或過低時進(jìn)行限制。 極限數(shù)據(jù) 對以上參數(shù)值做更改后,需點(diǎn)擊“保存” 。數(shù)據(jù)會保存到電腦文件中并同時將數(shù)據(jù)傳送到 PLC 。 增益數(shù)據(jù) A/D模塊表示顯示值與設(shè)定值的偏差、 D/A模塊表示設(shè)定值與實(shí)際值的偏差, 增益數(shù)據(jù)用 來修正這些偏差。修正后的數(shù)據(jù)點(diǎn)擊“保存” ,會保存到電腦文件中并同時傳送到 PLC 。 偏差數(shù)據(jù) 當(dāng)顯示值與設(shè)定值的偏差通過增益

31、后,通過修正偏差數(shù)據(jù),使兩個值能基本達(dá)到一致。 修正后的數(shù)據(jù)點(diǎn)擊“保存” ,會保存到電腦文件中并同時傳送到 PLC 。2 I/O監(jiān)控窗口中 IO 地址, X*為輸入信號地址, Y*為輸出信號地址。輸入信號 ON 時, IO 狀態(tài)為 1, 綠色指示亮, 輸入信號 OFF 時, IO 狀態(tài)為 0, 綠色指示滅。 輸出信號 ON 時, IO 狀態(tài)為 1, 綠色指示亮, 輸出信號 OFF 時, IO 狀態(tài)為 0, 綠色指示滅。3系統(tǒng)參數(shù) 應(yīng)用程序參數(shù)裝置 ID :用戶可以對本設(shè)備編號進(jìn)行設(shè)置。趨勢數(shù)據(jù)采樣間隔:用戶可以對趨勢數(shù)據(jù)采樣的時間進(jìn)行設(shè)置。設(shè)置完畢,點(diǎn)擊“保存”按鈕。 日期設(shè)定用戶可以對系統(tǒng)當(dāng)

32、前的日期、時間進(jìn)行設(shè)置。設(shè)置完畢,點(diǎn)擊“保存”按鈕。 賬戶設(shè)定窗口顯示了當(dāng)前 3個權(quán)限的賬號名稱和密碼,用戶可以根據(jù)需要,設(shè)置新的賬號名稱和 密碼。設(shè)置完畢,點(diǎn)擊“保存”按鈕。備注:用戶設(shè)置輸入數(shù)據(jù)時, 用鼠標(biāo)單擊當(dāng)前欄, 會彈出對應(yīng)的小鍵盤, 如果按 “取消” 后, 可以利用電腦鍵盤, 進(jìn)行編輯; 在一般權(quán)限時, 無法對任何系統(tǒng)參數(shù)進(jìn)行編輯、 修改, 賬戶設(shè)定內(nèi)的當(dāng)前賬號、 密碼和新賬號、 密碼, 只有在開發(fā)權(quán)限下才能顯示和對編輯。4用戶切換點(diǎn)擊 “用戶切換” , 彈出此窗口, 在密碼處輸入賬戶的密碼, 按 “確定” , 彈出另一窗口: 按照賬戶設(shè)定內(nèi)輸入需要進(jìn)入的賬號,點(diǎn)擊確定,系統(tǒng)進(jìn)入到

33、該權(quán)限。 備注:需要經(jīng)過審核的技術(shù)人員,才能將賬戶切換到開發(fā)模式。5退出程序 用戶點(diǎn)擊“退出程序” ,彈出對話框: 軟件信息上顯示了公司 LOG ,系統(tǒng)版本、公司版 權(quán)等, “取消”表示不退出程序,關(guān)閉此窗口。點(diǎn)擊 “退出程序”則用戶退出此操作軟件。(6狀態(tài)檢查 1 保溫體檢查隔熱籠上升到最高位置 300mm ,后降到 0點(diǎn),用以檢驗(yàn)隔熱籠的位置和運(yùn)行是否正常。 上升時,在距上限位 30mm 位置時,從高速將為低速。下降時,在距下限位 1mm 時,速度將為 0.1mm/s,用以尋找 0點(diǎn)。檢查通過時, “”顯示綠色,異常時“×”顯示紅色。2 氬氣開放氬氣開放,應(yīng)確保真空泵打開, AP

34、C 設(shè)定在某一位置(15% 。氬氣充到主參數(shù)表里的設(shè)定 值。檢查通過時, “”顯示綠色,異常時“×”顯示紅色。3 抽真空首先出氣閥打開, APC 開度在 15%開始往下抽;抽到 40KPA 時, APC 開度逐漸增大; 壓力下降到 20KPA 時,出氣閥關(guān)閉,閘板閥打開;抽至 5KPA 時,羅茨泵工作;當(dāng)爐內(nèi)壓力下 降到參數(shù)表里設(shè)定的真空度時,再抽 30分鐘,真空通過。通過時, “”顯示綠色,異常時 “×”顯示紅色。4 腔體檢漏正常狀態(tài)檢查時,在 5分鐘內(nèi),爐內(nèi)壓力上升值小于 0.0008KPA 時,檢漏通過。通過時, “”顯示綠色,異常時“×”顯示紅色。備注:長

35、按“開始”按鈕 2S ,狀態(tài)開始檢查,按“停止”自動檢查停止;對某一項(xiàng)進(jìn)行檢查 時,長按對應(yīng)的按鈕 2S ;當(dāng)自動檢查時,不需要進(jìn)行某一步檢查,進(jìn)入開發(fā)賬戶下,點(diǎn) 擊“調(diào)整” ,變綠,此時,可以強(qiáng)制對某一步“”點(diǎn)亮(必須達(dá)到亮的條件 ,再進(jìn)入其 它賬戶時,此功能將不起作用(綠色不見 。(7曲線日志在輔助導(dǎo)航區(qū)域內(nèi),顯示趨勢曲線圖、系統(tǒng)日志、曲線圖設(shè)置的切換按鈕。1趨勢曲線圖點(diǎn)擊曲線日志,彈出此趨勢圖畫面: 趨勢圖標(biāo)顯示,根據(jù)曲線的顏色設(shè)置,自動更新顯示現(xiàn)在的趨勢數(shù)據(jù)。點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)置”彈出以下窗口: 參數(shù)設(shè)置里可以對趨勢圖的坐標(biāo)比例進(jìn)行選擇, 現(xiàn)在選擇的坐標(biāo)比例按鈕顯示綠色, 可以 有 50%、

36、 75%、 100%、 150%、 200%比例顯示,如果需要輸入其它比例,在“應(yīng)用”上方輸入需 要設(shè)置的比例,點(diǎn)擊“應(yīng)用”即可;更改時間軸的顯示,可以輸入圖表左端想要設(shè)定的實(shí)際, 點(diǎn)擊 “跳轉(zhuǎn)” 即可; 此窗口還顯示了現(xiàn)在各 Y 軸的最大值設(shè)定和正在顯示的圖標(biāo)曲線名稱和線 對應(yīng)的顏色;點(diǎn)擊“關(guān)閉”則關(guān)閉此窗口。2系統(tǒng)日志 日志開始、結(jié)束日期選擇用戶可以選擇顯示的日志開始到結(jié)束的時間, 如果時間只有一天時, 結(jié)束日期可不選擇。 選擇日志瀏覽方式可以從以下 5種日志顯示進(jìn)行瀏覽:操作日志、系統(tǒng)日志、工序日志、用戶日志、全部 日志(前面的 4種日志全部按時間顯示 。 查詢區(qū)域可以根據(jù)視圖區(qū)域內(nèi)的

37、5種項(xiàng)目進(jìn)行選擇,并輸入項(xiàng)目內(nèi)的關(guān)鍵字,點(diǎn)擊“查找”開 始檢索, “返回”視圖區(qū)域則顯示檢索前的狀態(tài)。 視圖區(qū)域顯示了日志的總頁數(shù)和當(dāng)前頁數(shù);對日志的所有項(xiàng)目都有一覽顯示;可以刷新當(dāng)前的 日志顯示;可以進(jìn)行上下翻頁,如果想跳到某一頁,輸入頁碼,點(diǎn)擊“跳轉(zhuǎn)”即可。3曲線圖設(shè)置 圖表線設(shè)定曲線刷新間隔設(shè)置的時間,表示運(yùn)行曲線會間隔設(shè)置的時間自動刷新一次;垂直坐標(biāo)軸 4根 Y 軸中選擇一根作為標(biāo)準(zhǔn)軸,可設(shè)定的圖表數(shù)最大有 13根;數(shù)據(jù)曲線名稱中可以從下拉 菜單中選擇;可視開關(guān)中表示選擇的曲線是否可見, “ ON ”綠色,表示曲線可以顯示, “ OFF ” 灰色,表示曲線無顯示;選擇坐標(biāo)軸中從 4根

38、Y 軸中選擇 1根,作為當(dāng)前設(shè)置曲線對應(yīng)的縱 坐標(biāo);對于曲線的線型、寬度、顏色可以從選擇菜單中對應(yīng)選擇;點(diǎn)擊“保存” ,曲線圖會按 照新設(shè)置的進(jìn)行顯示,點(diǎn)擊“退出” ,關(guān)閉此畫面。 軸設(shè)定點(diǎn)擊 “軸設(shè)置” 彈出此窗口, 共計 X 、 Y1-Y5五根軸。 在此窗口中, 可以分別對軸的單位、 顏色、是否可視進(jìn)行選擇,對軸的上限、下限、最大值、分割值加以設(shè)定。按“保存”按鈕, 保存對軸的設(shè)定, “退出”關(guān)閉此畫面。(8報警“報警”和“停止蜂鳴器”在各操作畫面下,都一直顯示在操作畫面的右上方,當(dāng)有異 常發(fā)生時,報警會根據(jù)不同的異常程度,顯示顏色閃爍。操作者點(diǎn)擊“停止蜂鳴器”可以關(guān) 閉報警音,點(diǎn)擊“報警

39、”可以打開異常狀態(tài)畫面,瀏覽報警情況的詳細(xì)信息。 1報警發(fā)生次數(shù)顯示當(dāng)前發(fā)生總的異常報警個數(shù)。 2異常發(fā)生監(jiān)視顯示現(xiàn)在發(fā)生的異常,顯示方式是年月日時分秒 /報警編號 /報警名稱。報警被解除時, 則從畫面中消除 3報警履歷窗口中, 紅色字體區(qū)域, 表示最近發(fā)生報警的名稱、 編碼、 發(fā)生時間、 部位和清除時間; 下發(fā)顯示的是發(fā)生報警一覽(最大 50個 ,根據(jù)不同的異常程度,顯示顏色變化如下:A. 重故障 (危險度高 :中斷工藝程序,動力 OFF(紅色 B. 輕故障 (危險度中 :工序程序繼續(xù) (紫紅色 C. 報警 (危險度低 :操作提醒 (黃色 5 操作說明5.1 概述 MC450/500型多晶鑄

40、錠爐從狀態(tài)檢查開始到運(yùn)行結(jié)束是工作在全自動模式下的,幾乎不 需要操作人員的干預(yù)。操作人員只需負(fù)責(zé)裝料出爐,爐子正常運(yùn)行,一些熔化、長晶報警的 確認(rèn),參數(shù)和工藝要求是否正確,及一些附屬設(shè)備地運(yùn)行狀況,整個操作過程如圖所示:5.2 裝料裝料是在有準(zhǔn)備的情況下,在無塵的車間內(nèi)進(jìn)行。操作人員小心的把純凈的硅料裝在噴 有氮化硅涂層的坩堝內(nèi),一般坩堝的四周和底部要用碎料或者表面光滑的片料,來保護(hù)坩堝 內(nèi)表面的涂層。 裝料應(yīng)遵循大塊料中間碎料、 片料四邊和底面。 然后用手慢慢鋪平或者擺好, 以防止涂層被破壞。如下圖所示: 碎細(xì)料、表面平整沒有棱角或者片料可以 鋪在坩堝底部防止損傷氮化硅涂層,造成粘堝 或者硅

41、錠裂開。裝料裝爐 硅片貼邊,以免坩堝涂層被損壞 大料之間留有空隙, 防止受熱后膨脹擠壞坩堝,且大料和小料搭配開來裝。 硅料裝好后,用手把硅料檢查一遍,防止加熱過程中從坩堝內(nèi)脫落。5.3 進(jìn)爐前檢查整臺設(shè)備在運(yùn)行之前要進(jìn)行檢查,檢查主要有熱場檢查,水路以及泵組檢查。5.3.1 熱場檢查爐子在運(yùn)行之前要進(jìn)行對熱場的檢查,加熱器的螺母是否松動,隔熱層與加熱器之間的絕緣電阻應(yīng)大于 3K 以上,加熱電極上的陶瓷片是否碎掉,如碎掉應(yīng)立即更換,防止出現(xiàn)熱場短路或打火現(xiàn)象。檢查螺母松緊。如右圖所示 測熱場電阻分析其絕緣性, 阻值必須大于 3K以上。如右圖所示: 檢查陶瓷片, 在檢查過程中一定要注意陶瓷片的顏色

42、以及是否有碎裂的,如有,要及時更換。如右圖所示:5.3.2 真空泵及水路檢查檢查真空泵組的油位是否在油缸顯示鏡 1/3的位置以上,皮帶是否正常進(jìn)出水溫度、壓 力、各支路流量是否正常,相關(guān)檢查之后方可進(jìn)行抽真空。5.4 爐子操作、運(yùn)行5.4.1 狀態(tài)檢查硅料進(jìn)爐后,合上爐體,真空泵預(yù)熱 20分鐘,首先進(jìn)行裝置狀態(tài)檢查。有異常時,先解除異常原因復(fù)原后進(jìn)行裝置狀態(tài)檢查(基本步驟參照 30頁狀態(tài)檢查 。5.4.2 程序開始(1選擇工藝 狀態(tài)檢查完畢全部通過后,在“當(dāng)前工藝”下“選擇工藝” ,如窗口所示,在保存好的工 藝文件中選擇需要運(yùn)行的工藝配方并對配方進(jìn)行檢查確認(rèn)。(2輸入批號 ID條件成熟時顯示工

43、序開始按鈕,程工序開始條件由以下 5項(xiàng)組成; 腔體鎖定近接開關(guān) 14確認(rèn), 2. 系統(tǒng)無重故障, 3. 系統(tǒng)無輕微故障, 4. 加熱器電源箱準(zhǔn)備好, 5. 加熱器電源箱空氣斷路器 ON 。點(diǎn)擊“工序開始” ,并且輸入當(dāng)前硅錠的批號 ID 。(3監(jiān)控顯示 程序開始時,裝置成 Auto 方式,此窗口為綠色。實(shí)時顯示著當(dāng)前程序運(yùn)行的進(jìn)程。5.4.3 自動運(yùn)行在一切都通過的情況下爐子即可進(jìn)入自動循環(huán)狀態(tài),這一狀態(tài)包括五步,如下圖所示:整個工藝過程如上圖工藝所示,工藝中明確標(biāo)明了各個階段的狀態(tài),還包括真空和氣體 狀態(tài),溫度和功率控制,進(jìn)氣和出氣控制,壓力及隔熱層的位置等。一般爐子正常運(yùn)行的步 數(shù)為加熱,

44、熔化、長晶、退火、冷卻五個階段。(1加熱在加熱第一步首先保溫體下降到最低位置,在整個加熱期間功率從 0KW 逐漸在規(guī)定的時 間內(nèi)升到配方的設(shè)定值,此階段是在功率控制模式下進(jìn)行的,通過功率輸出逐漸增大從而提 升溫度。功率控制模式下,在前幾步,硅料的溫度很低且保溫體的外表面溫度也很低,所以 不會很容易排出內(nèi)部的潮氣。當(dāng)隨著功率的上升和溫度的升高,潮氣會慢慢蒸發(fā)出來,并通 過真空系統(tǒng)帶走。在加熱第 8步時,氬氣打開,爐子由真空模式變?yōu)闅怏w模式,此時羅茨泵 會關(guān)掉,插板閥關(guān)掉,小口徑比例閥和 MFC 打開,通過進(jìn)氣控制,使?fàn)t內(nèi)壓力在規(guī)定的時間 內(nèi)上升到設(shè)定的壓力值。并在之后的過程中,通過出氣控制里維持

45、穩(wěn)定爐內(nèi)的壓力 (60KPA左 右 。(2熔化一旦達(dá)到功率控制和溫度控制的轉(zhuǎn)換溫度(1500 ,將啟動溫度控制模式,此時就 進(jìn)入了熔化第一步。為了使硅料能夠在較短時間內(nèi)熔化,節(jié)省時間,保證坩堝不會因?yàn)闀r間 過長而發(fā)生問題, 在熔化階段會出現(xiàn)爐子運(yùn)行時的最高溫度, 是整個爐子溫度的最高階段, 在 這個階段最高溫度達(dá)到了 1550度,為的就是使硅料全部熔化,該過程大概需要 5個多小時。 熔化階段會觸發(fā)熔化結(jié)束報警,通過功率曲線我們可以直觀的發(fā)現(xiàn)熔化結(jié)束報警,此時也會 彈出報警屏幕,告訴操作人員熔化結(jié)束,操作人員可以到爐頂觀察孔觀察是否熔化結(jié)束,當(dāng) 看到硅液呈規(guī)則的形狀,沒有很大的晃動,說明熔化已經(jīng)

46、結(jié)束,硅料已經(jīng)完全熔化。 加熱 熔化 長晶 退火 冷卻 3長晶料熔化結(jié)束后,降低加熱功率,使石英坩堝的溫度降至 1440以下,然后逐漸提升保 溫體,通過 DS 熱交換塊與周圍形成熱交換,使熔體的溫度自底部開始降低,晶體硅首先在底 部形成,并呈柱狀向上生長,直至晶體生長結(jié)束,該過程大概需要 28小時左右。當(dāng)中間長晶 完成時,熔硅變成固體,高溫計根據(jù)反射率,會出現(xiàn)大幅度的上升,當(dāng)操作人員觀察此種情 況發(fā)生時,應(yīng)從觀察窗口觀察是否已經(jīng)透頂完成,確認(rèn)后,可手動跳入長角步驟。在長晶階 段最后一個步驟里,激活邊角長晶結(jié)束專用功能以探測所有硅料是否已經(jīng)長晶完成。這個子 程序利用功率的變化率,預(yù)測生長結(jié)束的時

47、間。在長晶結(jié)束報警發(fā)生時,操作人員應(yīng)停止報 警音,只至長角步驟時間全部走完。 4退火當(dāng)最后一個硅塊凝固時,從硅錠底部到頂部存在著一個明顯的溫度梯度。這個溫度梯度 在硅錠內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力或極小的應(yīng)力裂紋。在這種狀態(tài)下,如果將硅錠冷卻至室溫,在切割過 程中會看到這些裂紋。 可以增加整個硅錠的穩(wěn)定來消除應(yīng)力, 很容易地將應(yīng)力傳遞到坩堝上。 在退火第一個階段,關(guān)閉保溫體,使硅錠里的溫度均勻,保持退火溫度 1-2小時,以消除長 晶產(chǎn)生的應(yīng)力,然后將爐子轉(zhuǎn)換到功率控制模式。爐子轉(zhuǎn)換到功率控制模式后,功率按一定 曲線減小,這樣在冷卻期間,硅錠頂部和底部的溫度就會更均勻。5冷卻硅錠在爐內(nèi)退火后,通過慢慢減小功率,

48、提升鋼籠,通入氬氣,同時在第三步,腔室壓力逐漸上升,當(dāng)溫度達(dá)到 400度左右時即可出爐。6出爐當(dāng)運(yùn)行到冷卻階段,溫度低于 400°以下時就可以操作人員即可手動進(jìn)入冷卻階段程 序第五步, 此時壓力進(jìn)一步上升, 隔熱層到達(dá)最大位置。 程序正常結(jié)束時裝置變?yōu)槭謩臃绞? 爐內(nèi)壓力為最終的步驟設(shè)定壓力, APC 壓力控制用手動進(jìn)行。爐內(nèi)溫度 TC1下降打開腔體之 前必須手動將爐內(nèi)壓力充到。爐內(nèi)壓力小于大氣壓、不能打開腔體。結(jié)束程序日志可在圖標(biāo)編輯工具里確認(rèn),在 PC 畫面的 FT270_DATASLOGPROCESS中有 Process 數(shù)據(jù)、復(fù)制并取出其數(shù)據(jù),用趨勢曲線來顯示。6 爐子操作安全防護(hù)6.1 下爐體升降爐子在上升下降腔室時,嚴(yán)禁用手扶碰下腔室,防止在下降過程中腔室擺動,影響絲杠 性能,以及對人危險。6.2 硅錠出爐當(dāng)硅錠從爐子內(nèi)拿出時應(yīng)戴防護(hù)眼睛, 防止在急冷情況下, 石英碎片會飛濺入人的眼睛。 6.3 坩堝護(hù)板安裝坩堝護(hù)板之前必須對坩堝護(hù)板進(jìn)行仔細(xì)檢查,發(fā)現(xiàn)有裂紋的坩堝護(hù)板一律不能再次 使用,擰螺母時盡量一個人操作,螺母的固定