MASK的包裝、保存及清洗注意事項(xiàng)教案資料

1、Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。MASK的包裝、保存及清洗注意事項(xiàng)-客戶服務(wù)技術(shù)資料以下注意事項(xiàng)是我司在長(zhǎng)時(shí)間的生產(chǎn)和售后服務(wù)中學(xué)習(xí)和總結(jié)到的經(jīng)驗(yàn)，希望能給貴司帶來(lái)幫助。一、鉻版如何保存?1.鉻版存放在凈化車間（1000級(jí)以上）且存放處不許有玻璃屑類物品，并保持恒溫恒濕（65%濕度45%），因?yàn)殂t版的基材是玻璃,如果需要對(duì)鉻版長(zhǎng)期保存,最好保持在干燥的環(huán)境里,以防止玻璃出現(xiàn)發(fā)霉現(xiàn)象,影響光學(xué)性能.防止鉻版長(zhǎng)時(shí)間的存放不當(dāng)而使鉻版變形或使用壽命縮短；2.用專用鉻版盒或鉻版架且此盒或架子都有5mm3mm的溝能使鉻版固定在里面且不易被撞到而

2、導(dǎo)致?lián)p壞；3.鉻版為硬掩膜版,為防止其變形,需要豎直存放（我公司的鉻版存放架是PVC材質(zhì)）；4.使用后的鉻版需重新貼回干凈的保護(hù)薄膜，以避免鉻版與其它硬物摩擦而損傷鉻層表面。二、鉻版使用中應(yīng)注意什么問(wèn)題?為了盡可能地避免劃,碰傷,影響壽命,使用時(shí)要輕拿輕放，拿取鉻版時(shí)雙手必須戴有經(jīng)酒精清洗后的清潔的乳膠手套，在拿取鉻版時(shí)也只容許拿握鉻版的邊緣，不容許有手直接接觸圖形區(qū)域。曝光前對(duì)光檢查鉻版表面是否有硬性顆粒,在曝光過(guò)程中也需要經(jīng)常用凈化后的壓縮氣體清除鉻版表面的玻璃碎粒。使用完畢,應(yīng)將鉻版表面重新清洗潔凈,干燥后再保存。DI水、酒精、丙酮、異丙醇等有機(jī)溶劑對(duì)鉻膜無(wú)腐蝕性的作用，但需避免酸性物質(zhì)

3、或強(qiáng)堿性物質(zhì)對(duì)鉻膜或玻璃基版的腐蝕和破壞。三、鉻版的耐劃傷性如何？由于鉻版上的圖形由金屬鉻線條組成，它的硬度非常大，和玻璃接近，因此它的耐劃傷性能非常高，一般硬度較小的物體不會(huì)對(duì)其造成劃傷。但如果在使用過(guò)程中存在玻璃屑或其他硬物與其接觸，其表面就很容易受到損傷，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成頂傷。四、鉻版劃傷能否進(jìn)行修補(bǔ)？鉻版劃傷一般分為三種，一種是鉻層在外力作用有一劃傷印，但劃傷處并不透光，這種劃傷對(duì)曝光并不影響，不需要進(jìn)行修補(bǔ)；另一種是劃傷處的鉻層透光，但玻璃基版沒(méi)有損傷，這種劃傷較嚴(yán)重，需要修補(bǔ)；還有一種嚴(yán)重劃傷，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)應(yīng)該叫頂傷，它不僅鉻層受到破壞，而且玻璃基版也受到損壞，如果玻璃基版損壞處僅僅是在線

4、條下的玻璃基版，則可進(jìn)行修補(bǔ)，但如果出現(xiàn)非線條處的玻璃基版受到損傷的情況，則無(wú)法進(jìn)行修補(bǔ)。五、鉻版應(yīng)該使用什么樣的清洗方法？主要清洗方法有：（1）鉻版的局部清潔方法：A、首先使用凈化氣吹去鉻版的表面雜物.B、取一清潔的全新無(wú)塵布醮DI水，對(duì)發(fā)現(xiàn)的局部臟點(diǎn)沿一個(gè)方向進(jìn)行擦拭。C、再取一清潔的全新無(wú)塵布沾取經(jīng)蒸餾的分析純酒精，沿DI水的擦拭方向進(jìn)行多次的擦除。（2）鉻版的整版清洗方法：配制5%-6%的NaOH溶液并過(guò)濾，將鉻版完全起浸入NaOH溶液中（浸入前先要用無(wú)塵氣槍吹靜鉻版表面，以防止玻璃屑類的異物），使用清潔的全新無(wú)塵布對(duì)浸在溶液中的鉻版表面進(jìn)行擦洗（也要求擦洗背面），NaOH溶液擦洗時(shí)間

5、不可超過(guò)10分鐘。在使用NaOH溶液擦洗時(shí)需注意鉻版的表面不可與清洗槽或其他物體接觸，以免劃傷鉻版表面；使用NaOH溶液擦洗后，需用大量流動(dòng)DI水沖洗，沖洗必須完全和徹底，沖洗時(shí)間不可小于10分鐘。沖洗中同樣要注意避免導(dǎo)致鉻版表面的劃傷的因素。清洗后的鉻版需豎直存放在固定的位置，并使用含有經(jīng)高效過(guò)濾凈化氣分別在鉻版的兩個(gè)表面從左至右從上至下吹趕留存在玻璃表面的DI水或用無(wú)塵箱烘干。另外，要注意避免使用氣槍吹趕DI水時(shí)DI水的反彈現(xiàn)象（反彈的DI水會(huì)造成鉻版表面的水跡）。六、取版時(shí)要注意些什么？取版時(shí)一次取一塊版，請(qǐng)注意要輕拿輕放，不要使版碰到別的堅(jiān)硬物體或兩張版相撞，以免對(duì)鉻版造成崩邊、崩角或

6、表面劃傷的傷害。七、檢驗(yàn)時(shí)要注意些什么？檢驗(yàn)前要對(duì)檢測(cè)設(shè)備的平臺(tái)進(jìn)行徹底的清潔（清潔方法是：先用1um過(guò)濾的凈化氣吹過(guò)平臺(tái)表面，然后用無(wú)塵布蘸酒精對(duì)平臺(tái)的表面進(jìn)行同方向擦拭，然后，再用凈化氣沿同一方向吹過(guò)，確保在鉻版接觸的附近無(wú)玻璃類的硬物）；為了避免接觸式檢驗(yàn)，對(duì)鉻版檢驗(yàn)前，檢測(cè)設(shè)備的平臺(tái)上要求墊兩層泡沫，然后把鉻版邊緣放在泡沫條上，使鉻版圖形區(qū)域懸空，膜面朝上，進(jìn)行機(jī)器檢驗(yàn)。八、菲林的清潔菲林的清洗最好用DI水進(jìn)行清洗，然后再放入沖機(jī)烘干。若無(wú)以上條件可用無(wú)塵布蘸無(wú)水乙醇在有污點(diǎn)的地方輕輕的擦，或者用無(wú)塵布蘸DI水在有污點(diǎn)的地方輕輕的擦，再用氣槍吹干。九、菲林的儲(chǔ)存1、溫度在1525之間；濕度控制在50%左右。2、要避免熱源；3、避免UV光照射；4、菲林在儲(chǔ)存時(shí)必須平放，數(shù)量最好不超過(guò)20張；5、環(huán)境相當(dāng)重要，要在萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室或以上。十PI的清潔和保存：1水平