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文檔簡介
1、近代物理半導體激光器的原理及應用院(部):專 業(yè):班 級:姓 名:學 號:1.半導體激光器的原理及特性1.1基本原理半導體材料多是晶體結(jié)構(gòu)。當大量原子規(guī)則而緊密地結(jié)合成晶體時,晶體中那些價電子都處在晶體能 帶上。價電子所處的能帶稱價帶(對應較低能量)。與價帶最近的高能帶稱導帶,能帶之間的空域稱為禁 帶。當加外電場時,價帶中電子躍遷到導帶中去,在導帶中可以自由運動而起導電作用。同時,價帶中失 掉一個電子,則相當于出現(xiàn)一個帶正電的空穴,這種空穴在外電場的作用下,也能起導電作用。因此,價 帶中空穴和導帶中的電子都有導電作用,統(tǒng)稱為載流子。摻雜半導體與p-n結(jié)。沒有雜質(zhì)的純凈半導體, 稱為本征半導體。
2、如果在本征半導體中摻入雜質(zhì)原子,則在導帶之下和價帶之上形成了雜質(zhì)能級,分別稱 為施主能級和受主能級有施主能級的半導體稱為n型半導體;有受主能級的半導體稱這p型半導體。在常溫下,熱能使n型 半導體的大部分施主原子被離化,其中電子被激發(fā)到導帶上,成為自由電子。而p型半導體的大部分受主 原子則俘獲了價帶中的電子,在價帶中形成空穴。因此,n型半導體主要由導帶中的電子導電;p型半導 體主要由價帶中的空穴導電。半導體激光器中所用半導體材料,摻雜濃度較大,n型雜質(zhì)原子數(shù)一般為25X10i8cm-i; p型為1 3X10i9cm-i。在一塊半導體材料中,從?型區(qū)到n型區(qū)突然變化的區(qū)域稱為p-n結(jié)。其交界面處將
3、形成一空間電荷區(qū)。n型 半導體帶中電子要向p區(qū)擴散,而p型半導體價帶中的空穴要向n區(qū)擴散。這樣一來,結(jié)構(gòu)附近的n型區(qū)由于 是施主而帶正電,結(jié)區(qū)附近的p型區(qū)由于是受主而帶負電。在交界面處形成一個由n區(qū)指向p區(qū)的電場,稱 為自建電場。此電場會阻止電子和空穴的繼續(xù)擴散。0.0OOO0.0OOO半導體激光器的結(jié)構(gòu)圖半導體激光器的結(jié)構(gòu)圖I11:自建電場的示意圖p-n結(jié)電注入激發(fā)機理。若在形成了 p-n結(jié)的半導體材料上加上正向偏壓,p區(qū)接正極,n區(qū)接負極。 顯然,正向電壓的電場與p-n結(jié)的自建電場方向相反,它削弱了自建電場對晶體中電子擴散運動的阻礙作 用,使n區(qū)中的自由電子在正向電壓的作用下,又源源不斷地
4、通過p-n結(jié)向p區(qū)擴散,在結(jié)區(qū)內(nèi)同時存在 著大量導帶中的電子和價帶中的空穴時,它們將在注入?yún)^(qū)產(chǎn)生復合,當導帶中的電子躍遷到價帶時,多余 的能量就以光的形式發(fā)射出來。這就是半導體場致發(fā)光的 機理,這種自發(fā)復合的發(fā)光稱為自發(fā)輻射。要使p-n結(jié)產(chǎn)生激光,必須在結(jié)構(gòu)內(nèi)形成粒子反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),需使用重摻雜的半導體材料,要求注入p-n結(jié)的 電流足夠大(如30000A/cm2)。這樣在p-n結(jié)的局部區(qū)域 內(nèi),就能形成導帶中的電子多于價帶中空穴數(shù)的反轉(zhuǎn)分布 狀態(tài),從而產(chǎn)生受激復合輻射而發(fā)出激光。半導體激光器結(jié)構(gòu)。如圖為結(jié)構(gòu)圖,其外形及大小與小功率半導體三極管差不多,僅在外殼上多一個激光輸出窗口。夾著結(jié)區(qū)的P區(qū)與
5、n區(qū)做成層狀,結(jié)區(qū)厚為幾十微米,面積約小于1mm2。半導體激光器的光學諧振腔是利用與p-n結(jié)平面相垂直的自然解理面(110面)構(gòu)成,它有35的反射 率,已足以引起激光振蕩。若需增加反射率可在晶面上鍍一層二氧化硅,再鍍一層金屬銀膜,可獲得95% 以上的反射率。一旦半導體激光器上加上正向偏壓時,在結(jié)區(qū)就發(fā)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)而進行復合 1.2半導體激光器的調(diào)制特性激光具有極好的時間相干性和空間相干性,它與無線電波相似,易于調(diào)制,且光波的頻率極高,能 傳遞信息的容量很大。加之激光束發(fā)散角小,光能高度集中,既能傳輸較遠距離,又易于保密。因而為光 信息傳遞提供了一種理想的光源。把欲傳輸?shù)男畔⒓虞d于激光副射的過程
6、稱為激光調(diào)制,把完成這一過程的裝置稱為激光調(diào)制器,由 已調(diào)制的激光輻射中還原出所加載信息的過程則稱為解調(diào)。由于激光起到“攜帶”信息的作用,所以稱其 為載波。通常將欲傳遞的信息稱為調(diào)制信號。被調(diào)制的激光稱為已調(diào)波或調(diào)制光。激光調(diào)制與無線電波調(diào)制相類似,激光振蕩的瞬時電場也可表示為:e(t)=Acos(wt+w )式中A為激光振蕩的復振幅,w為調(diào)制的角頻率,中為調(diào)制的相位角。模擬激光調(diào)制可分為調(diào)幅、調(diào) 頻和調(diào)相等類型。按載波的振蕩輸出方式不同又可分為連續(xù)調(diào)制、脈沖調(diào)制和脈沖編碼調(diào)制等。脈沖調(diào)制 主要分為脈沖調(diào)幅(PAM)、脈沖強度調(diào)制(PIM)、脈沖調(diào)頻(PFM)、脈沖調(diào)位(PPM)及脈沖調(diào)寬(P
7、WM) 等類型。脈沖編碼調(diào)制(PCM)是先將連續(xù)的模擬信號通過抽樣、量化和編碼,轉(zhuǎn)換成一組二進制脈沖代 碼,用幅度和寬度相等的矩形脈沖的有、無來表示,再將這一系列反映數(shù)字信號規(guī)律的電脈沖加在一個調(diào) 制器上以控制激光的輸出。這種調(diào)制形式也稱為數(shù)字強度調(diào)制。1.3半導體激光器的調(diào)制方式半導體激光器的激光調(diào)制分為內(nèi)調(diào)制和外調(diào)制兩類。間接調(diào)制是指加載調(diào)制信號在激光形成以后進 行的,即調(diào)制器置于激光諧振腔外,在調(diào)制器上加調(diào)制信號電壓,使調(diào)制器的某些物理特性發(fā)生相的變化, 當激光通過它時即得到調(diào)制。直接調(diào)制是指加載的調(diào)制信號在激光振蕩的過程中進行,以調(diào)制信號的規(guī)律去改變振蕩的參數(shù),從 而達到改變激光輸出特
8、性實現(xiàn)調(diào)制的目的。由于直接調(diào)制技術(shù)具有簡單、經(jīng)濟、容易實現(xiàn)等優(yōu)點,是低速光纖通信中最常采用的調(diào)制方式,但 只適合用于半導體激光器和發(fā)光二極管,這是因為發(fā)光二極管和半導體激光器(對激光器來說,閾值以上 部分)基本上與注入電流成正比,而且電流的變化轉(zhuǎn)換為光頻調(diào)制也呈線性,所以可以通過改變注入電流 來實現(xiàn)光強度調(diào)制。直接調(diào)制的帶寬:因為半導體激光器的結(jié)電容特性,并不能理想工作,激光器對于不 同的輸入頻率,響應并不相同,一般頻率越高,輸出的光強調(diào)制振幅越小1. 4半導體激光器的特點由于半導體激光器的體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單、光波長可調(diào)能量低、壽命較長、易于調(diào)制以及價格 低廉等優(yōu)點,使得它已在激光技術(shù)中
9、占有顯赫的地位,它的成功應用已遍及電子學以及激光光譜學等許多 重要領域。其中VCSEL型半導體激光器,由于單縱模、波長可連續(xù)調(diào)諧、無模式跳躍、波長分布范圍廣等特 點,很適合各種氣體的激光光譜學研究。垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL有如下特點:易于實現(xiàn)二維平面和光電集成:單個VC2SEL激光器僅幾微米大小,有可能在1cm2的芯片上集成百 萬個這種微型激光器。圓形光束易于實現(xiàn)與光纖的有效耦合:VCSEL有徑向?qū)ΨQ的高斯近場分布。因而它們更容易耦合到 光纖或光學器件上芯片生長后無須解理、封裝即可進行“在片”實驗制作工藝簡單,制作成本低。在很寬的溫度和電流范圍內(nèi)都以單縱模工作。光束發(fā)散角較小,約為5。(5
10、 )有源區(qū)尺寸極小,因而可實現(xiàn)低閾值電流p區(qū)接正極,n區(qū)接負極。顯然,正向電壓的電場與p-n結(jié)的自建電場方向相反,它削弱了自建電場對 晶體中電子擴散運動的阻礙作用,使n區(qū)中的自由電子在正向電壓的作用下,又源源不斷地通過p-n結(jié)向p 區(qū)擴散,在結(jié)區(qū)內(nèi)同時存在著大量導帶中的電子和價帶中的空穴時,它們將在注入?yún)^(qū)產(chǎn)生復合,當導帶中 的電子躍遷到價帶時,多余的能量就以光的形式發(fā)射出來。這就是半導體場致發(fā)光的機理,這種自發(fā)復合 的發(fā)光稱為自發(fā)輻射。要使p-n結(jié)產(chǎn)生激光,必須在結(jié)構(gòu)內(nèi)形成粒子反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),需使用重摻雜的半導體材料,要求注入 p-n結(jié)的電流足夠大(如30000A/cm2)。這樣在p-n結(jié)的局部
11、區(qū)域內(nèi),就能形成導帶中的電子多于價帶中空 穴數(shù)的反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),從而產(chǎn)生受激復合輻射而發(fā)出激光。半導體激光器結(jié)構(gòu)。如圖為結(jié)構(gòu)圖,其外形及大小與小功率半導體三極管差不多,僅在外殼上多一 個激光輸出窗口。夾著結(jié)區(qū)的p區(qū)與n區(qū)做成層狀,結(jié)區(qū)厚為幾十微米,面積約小于1mm2。半導體激光器的光學諧振腔是利用與p-n結(jié)平面相垂直的自然解理面(110面)構(gòu)成,它有35的反射 率,已足以引起激光振蕩。若需增加反射率可在晶面上鍍一層二氧化硅,再鍍一層金屬銀膜,可獲得5% 以上的反射率。一旦半導體激光器上加上正向偏壓時,在結(jié)區(qū)就發(fā)生粒子數(shù)反轉(zhuǎn)而進行復合2.2.2半導體 激光器的工作特性半導體激光器的工作特性中,當注
12、入p-n結(jié)的電流較低時,只有自發(fā)輻射產(chǎn)生,隨電流值的增大增益 也增大,達閾值電流時,p-n結(jié)產(chǎn)生激光。影響閾值的幾個因素有:晶體的摻雜濃度越大,閾值越小。諧振腔的損耗小,如增大反射率,閾值就低。異質(zhì)結(jié)閾值電流比同質(zhì)結(jié)低得多。溫度愈高, 閾值越高。由于半導體激光器的諧振腔短小,激光方向性較差,在結(jié)的垂直平面內(nèi),發(fā)散角最大,可達20 -30; 在結(jié)的水平面內(nèi)約為10。左右。2半導體激光器的應用2.1半導體激光器在激光光譜學中的應用激光光譜具有廣泛的應用范圍,如從分子光譜、等離子物理、高階諧波產(chǎn)生的科學應用到大氣污染的 監(jiān)測及癌癥的診斷等。半導體激光器在激光光譜學中有較多優(yōu)勢,用于激光光譜學的半導體
13、激光器有一個 重要的特點就是可協(xié)調(diào)性。其波長可通過改變溫度或改變驅(qū)動電流來調(diào)諧。另外高靈敏度,高選擇性可以 減少譜線重疊,增加選擇性。半導體激光器還可用調(diào)制技術(shù)夠減少激光的過量噪聲。例如下圖即為 “SPECDILASV763OXYVCSEL所探測的02吸收光譜(半導體激光器的工作溫度Top=10C,Iset=4.6mA,加 32Hz,10.6mV的鋸齒波,256次平均)。VCSEL激光器的波長范圍為1.32m,可調(diào)諧波長范圍為3nm,主要用于光纖通信技術(shù)氣體監(jiān)測。由于 VCSEL激光器和DFB激光器能夠?qū)崿F(xiàn)單縱模特性,因此它們常應用在激光光譜學中尤其是氣體的測量中。 2.2大功率半導體激光器的
14、軍事應用隨著激光技術(shù)的日趨成熟和應用領域的不斷拓展。由于半導體激光器具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、壽命較 長易于調(diào)制及價格低廉等優(yōu)點使得半導體激光器在在軍事中得到廣泛應用,如激光制導跟蹤便是從制導站 的激光發(fā)射系統(tǒng)按一定規(guī)律向空間發(fā)射經(jīng)編碼調(diào)制的激光束,且光束中心線對準目標;在波束中飛行的導 彈,當其位置偏離波束中心時,裝在導彈尾部的激光接收器探到激光信號,經(jīng)信息處理后,彈上解算裝置計 算出彈體偏離中心線的大小和方向,形成控制信號;再通過自動駕駛儀操縱導彈相應的機構(gòu),使其沿著波束 中心飛行,直至摧毀目標為止。半導體激光引信是一種光學引信屬主動式近炸引信的技術(shù)范疇。激光引信 通過激光對目標進行探測,對激
15、光回波信息進行處理和計算,判斷出目標,計算出炸點,在最佳位置適時引 爆。炸彈一旦未捕獲或丟失目標以及引信失靈后,自炸機構(gòu)可以引爆彈丸自毀。半導體激光引信是激光探 測技術(shù)在武器系統(tǒng)中最成功的應用。測距儀采用半導體激光器作光源具有隱蔽性略加改進,還可測量車輛 之間的距離并進行數(shù)字顯示,在低于所需安全系數(shù)時發(fā)出警報。激光模擬主要是以半導體激光為基礎發(fā)展 起來的新型軍訓和演習技術(shù)。通過調(diào)節(jié)激光射束、周期和范圍以達到模擬任何武器特征的目的。武器模擬 主要使用904nm半導體激光器,用對眼睛安全的激光器作為戰(zhàn)術(shù)訓練系統(tǒng)的基礎,最初稱為激光交戰(zhàn)統(tǒng) (LES)。目前,全世界有美、英、瑞(典)三國出售MILES
16、II/SAWE系統(tǒng);北約國家、以色列、阿根廷、俄羅斯、 中國都在開發(fā)這種系統(tǒng)。另外軍用光纖陀螺是軍用光纖領域中用途最廣,是目標監(jiān)測和測量方面不可缺少 的技術(shù)手段。由光纖繞成環(huán)形光路,采用Sagnac干涉原理,檢測出隨轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的兩路激光束的相位差,由此 得出轉(zhuǎn)動的角速度。其主要優(yōu)點是:無運動部件,儀器牢固,耐沖擊,抗加速運動;機構(gòu)簡單,價格低廉;啟動 時間極短(原理上可瞬時啟動);靈敏度高可達10-7rad/s;動態(tài)范圍極寬(約為2000度/秒);壽命長等。在軍 用民用光纖通信、光纖制導導彈、制導魚類等方面廣泛應用。2.3半導體激光器在數(shù)字通信中的應用我們稱現(xiàn)代社會為信息社會,半導體激光器在信息
17、的獲取,傳輸,存儲和處理以及顯示中已得到廣泛 應用。在數(shù)字通信市場,波長為950 1550nm的半導體激光器應用廣闊。由于受發(fā)達國家的音頻和數(shù)字通信 發(fā)展以及東南亞、拉丁美洲等發(fā)展中國家新興工業(yè)區(qū)加速發(fā)展通信基礎設施的影響光纖通信獲得了發(fā)展。 該領域應用的半導體激光器銷售額一直高居首位。生產(chǎn)廠家?guī)缀跫杏谌毡?、北美,在歐洲也有生產(chǎn)。在 今后幾年中,日本、北美和德國等將發(fā)展直接至用戶的光纖網(wǎng)絡,這會使半導體激光器的需求量更大,對此 類激光器要求價格十分低廉、傳輸速率中等、可在-40一+80 r環(huán)境中工作。鑒于通信事業(yè)發(fā)展方興未艾, 這類應用的激光器市場將繼續(xù)有較大的增長。由于光纖通信具有損耗低、容量大、速率高、抗干擾、保密 性強、重量輕、體積小等優(yōu)點,加之信息爆炸、多媒體通信及全球網(wǎng)絡的發(fā)展光纖迅速成為信息社會的寵 兒。光半導體激光器作為光纖通信系統(tǒng)中的光源是關(guān)鍵元件是整個系統(tǒng)的核心部分,短距離的光纖通信用 單模光纖和130 150nm波長的半導體激光器,空間通信用列陣半導體激光器。所以全球光纖通信市場前景 廣闊,多信道密集波分復用技術(shù)(DWDM)對經(jīng)濟地擴展網(wǎng)絡容量有無可取代的作用
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