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1、公差之二集團(tuán)標(biāo)準(zhǔn)化工作小組Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN平面度誤差的測量和評(píng)定方法1、平面度公差:被測平面對(duì)理想平面的允許變動(dòng)量。2、平面度公差帶:距離為公差值t的兩平行平面之間的區(qū)域。3、平面度誤差的測量方法1)直接方法(1)間隙法:刀口尺、平尺等(2)指示表法:調(diào)整被測表面與平板平行(即確定理想平面的位置),一般有兩種方法:A、對(duì)角線法(四點(diǎn)法):調(diào)整支撐使被測表面兩端點(diǎn)等高,即1點(diǎn)與2點(diǎn)等高,3點(diǎn)與4點(diǎn)等高(結(jié)果唯一但是不符合最小4b、三點(diǎn)法:b調(diào)整支撐使被測表面最遠(yuǎn)三點(diǎn)等高(結(jié)果不唯一且不符合最小條件,實(shí)測結(jié)果偏1按一定的布點(diǎn)測量被測表面,同時(shí)記錄*值,一般
2、可用指 示表的最大讀數(shù)與最小讀數(shù)之差近似地做為被測平面的平面度誤差。必要時(shí)可根據(jù)記錄的示值用計(jì)算法(圖解法)按最小條件計(jì) 算平面度誤差。(3)光軸法:自準(zhǔn)直儀將反射鏡放在被測表面上,并把自準(zhǔn)值儀調(diào)整到與被測表 面平行,沿對(duì)角線按一定布點(diǎn)測量、重復(fù)上述方法分別測量另一 條對(duì)角線和被測表面上其他各直線上的各布點(diǎn)。把各點(diǎn)示值換算 成線值,記錄在圖表上,通過中心點(diǎn)建立參考平面,由計(jì)算法(圖解法)按對(duì)角線法計(jì)算平面度誤差。必要時(shí)按最小條件計(jì)算 平面度誤差。標(biāo)準(zhǔn)27頁(4)干涉法:平晶將平晶放在被測表面上,觀測它們之間的干涉條紋。平面度誤差 為:對(duì)于封閉環(huán)形:平面度誤差等于干涉條 .一.I_紋數(shù)x光波波
3、長之半(圖a),即f = n x 2對(duì)于不封閉圖形:平面度誤差等于條紋的彎曲度與相鄰兩條紋間距之比再乘以光波波 長之半(圖b)2)間接方法(1)布點(diǎn)形式矩形平面的布點(diǎn)形式:網(wǎng)格布點(diǎn)、對(duì)角線布點(diǎn)園形平面的布點(diǎn)形式:網(wǎng)格布點(diǎn)、對(duì)角線布點(diǎn)園環(huán)形平面的布點(diǎn)形式:對(duì)于較寬的環(huán)形平面,其圓環(huán)測 量線不得少于兩圈,對(duì)于較窄的環(huán)形平面,可采用單圈測量線的 形式。3)水平儀法4)斑點(diǎn)法4、平面度誤差的評(píng)定方法1)最小包容區(qū)域法;對(duì)被測平面的偏差進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和平移,不改變被測平面的平面 度評(píng)定結(jié)果,是以構(gòu)成平面度最小包容區(qū)域的兩平行平面之一作為理想 平面。最小包容區(qū)域面的判定準(zhǔn)則A、三角形準(zhǔn)則有三個(gè)高極點(diǎn)(極點(diǎn)是實(shí)際
4、被測平面與最小包容區(qū)域面 的接觸點(diǎn))與一個(gè)極低點(diǎn),或相反有三個(gè)低極點(diǎn)與一個(gè)高極+1+2+4+3+54)三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法+4-1:適用于低精度的中小平面,評(píng)定結(jié)果不唯一。點(diǎn),其中的那個(gè)低極點(diǎn)(或高極點(diǎn))位于三個(gè)高極點(diǎn)(或低 極點(diǎn))構(gòu)成的三角形內(nèi)或位于三角形的一條邊上。這種情況 說明被測平面是凹面或凸面。B、交叉準(zhǔn)則有兩個(gè)高極點(diǎn)和兩個(gè)低極點(diǎn),其各自的連線成互相交叉的形 式。C、直線準(zhǔn)則有兩個(gè)高(低)極點(diǎn)與一個(gè)低(高)極點(diǎn)成直線排列,且那 個(gè)低(高)極點(diǎn)在兩個(gè)高(低)極點(diǎn)之間。2).最小二乘法3)對(duì)角線平面法:適用于中、高精度的較大平面?;鶞?zhǔn)平面經(jīng)過被測實(shí)際面的一條對(duì)角線,且平行于 另一條對(duì)角線,實(shí)際面上距離該基準(zhǔn)面的最高點(diǎn)與最低點(diǎn)的代數(shù) 差即為該平面的平面度誤差。f=5-(-1)=6um基準(zhǔn)平面通過被測實(shí)際平面上相距最遠(yuǎn)且不在一條直線上的三點(diǎn)(通常為3個(gè)角點(diǎn)),實(shí)際面上距此基準(zhǔn)平面的最高點(diǎn)f=7-(-與最低點(diǎn)的代數(shù)差近似為該平面的平面度誤差。+1+3+7+2+5+2m+1-33)=10u5、平面度誤差的數(shù)據(jù)處理1-6-1-5+1+2-3+16)=8um對(duì)角2+ 1 線法+-3+2-6-2 02-(-+1+1-2+11-6-1-5+1+2-3+15)=7um+1-3+2+20/-5f=2w+1+1-40對(duì)直
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