大中華總代理商

1、大中華總代理商利音股份有限公司臺北縣中和市中山路二段327巷11弄13號2樓電話 : 886-2-22402166 傳真 : 886-2-22406777 網(wǎng)址: .tw產(chǎn)品名稱ITO 卷筒薄膜濺鍍系統(tǒng)產(chǎn)品型號RaON1300制造供應商VTS Corporation項目規(guī)格整套系統(tǒng)結(jié)構(gòu)應用這套系統(tǒng)設(shè)計作為SiO2/ITO單面濺鍍軟性塑料材料, 特別是PET這類塑料基材.整套系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要制程系統(tǒng)再卷線 (Re-winding) / 展開卷線(Un-winding)系統(tǒng)真空幫浦系統(tǒng)預熱單元預處理單元濺鍍系統(tǒng)電子控制系統(tǒng)效用項目規(guī)格系統(tǒng)結(jié)構(gòu)系統(tǒng)空間基礎(chǔ)薄膜規(guī)格卷線(winding)系統(tǒng)真空幫浦系統(tǒng)預

2、熱單元預處理單元 (離子束單元)濺鍍系統(tǒng)電子控制系統(tǒng)系統(tǒng)效用與銷售條件真空測試鍍膜1. 系統(tǒng)空間尺寸4.37(寬) x 7.05(長) x 2.60(高)公尺2. 基本薄膜規(guī)格規(guī)格產(chǎn)品 : 應用于觸控式面板薄膜材料 : 光學硬化處理 PET 薄膜薄膜厚度 : 25 200um薄膜寬度 : 1,340mm鍍膜寬度 : 1,300mm有效鍍膜寬度 : 1,250mm薄膜長度 (薄膜卷線直徑) : 1,000M (600mm)188um結(jié)構(gòu) : PET / SiO2 /ITO3. 卷線系統(tǒng)組成薄膜速度范圍 : 0.5 10m/min (step 0.1m/min)薄膜速度穩(wěn)定性 : + 0.1% (

3、at 10m/min)之內(nèi)薄膜張力范圍 : 24 180N Load cell薄膜張力穩(wěn)定性 : + 5N (在靜止狀況)之內(nèi)工作速度 : 3m/min薄膜速度方向 : 正常 / 反轉(zhuǎn)卷線 (3m/min)冷卻系統(tǒng)溫度 : 溫度 10 室溫冷卻時間 : 15 min. Room Temp. 10加熱時間 : 15 min. 10 Room Temp.驅(qū)動馬達 : 伺服馬達系統(tǒng) (UW, MR, RW)滑行, 凹陷, 皺紋, 刮傷 : 無薄膜移動 : + 0.5mm項目規(guī)格4. 真空幫浦系統(tǒng)4.1 主要幫浦系統(tǒng)Cryo pump, 2,400liter/sec : 8 ea機械 booster

4、pump, 30,000 liter/min : 2 eaRotary pump, 4,000 liter/min : 7eaPoly cold 100,000 liter/sec (展開卷線區(qū), 陰極區(qū)) : 1 ea4.2真空測量計單元Pirani gauge : 8 eaBaratron vacuum gauge : 4 eaFull range gauge : 6 ea4.3 氣體供應單元MFC for 預處理 : Ar gas/range 1,000sccm : 1 ea O2 gas/range 200sccm : 1 eaMFC for ITO 濺鍍 : Ar gas / ran

5、ge 1,000sccm : 8 ea O2 gas/range 200sccm : 8 eaMFC for SiO2濺鍍 : Ar gas / range 1,000sccm : 3 ea O2 gas/range 200sccm : 3 ea O2 gas/range 50sccm : 3 ea5. 預熱單元組成鹵素燈 : Approx. 12mm x 1,450mm (L) . 1 setsPID control unit : PLC control (temp. control) 1 setsSCR unit : 1 Phase, 110 Vac, Approx, 15KW溫度范圍 :

6、 最大. 2006. 預處理單元6.1 操作規(guī)格離子源型態(tài) : 正極層離子加速器I 1 ea離子能源 : 400 2,500eV正極電壓 : 0.7 5KV放出電流 : 4.2mA/sm slit離子電流 : 1.1 1.3A工作壓力 : 5 x 104torr代表氣流 : Ar :1,000sccm / O2:200sccm 1 ea6.2 水冷卻最小水流 : 5 liter/min最大進水溫度 : Min. 15最大水阻 : 50 k-cm項目規(guī)格7. 濺鍍系統(tǒng)7.1 操作規(guī)格 7.1.1 電源 ITO : Pulse DC 12KW 4 sets SiO2 : MF 40KW 1 set

7、 7.1.2 靶材 ITO : In203/SnO2 (90/10wt%) SiO2 : Si target 7.1.3 電力密度 ITO : 15 W/c SiO2 : 17 W/c 7.1.4 靶材尺寸 : Approx.125mm(W) X 1,650mm(L) X 6mm (t) 7.1.5 靶材利用率 : 2530% both of Si and ITO 7.1.6 陰極數(shù)量 ITO : 單磁陰極 4 sets SiO2 : 雙磁陰極 1 set 7.1.7 工作壓力 : 2 x 103 torr 7.1.8 代表氣流 ITO : Ar :1,000sccm / O2:100sccm

8、 SiO2 : Ar :1,000sccm / O2:100 + 50sccm7.2 所有操作模式絕緣 : 500V 真空 (Anode Cathode-Ground)最大進水壓力 : 3Kgf/c最大進水溫度 : Min. 15水阻 : 50k-cm8. 電子控制系統(tǒng)8.1 接口方法機器 PLC : Digital I/O, Analog I/O, RS232C,RS485PLC GUI (Touch screen) : Mitsubishi controllerPLC PC : EthernetPLC Remote PC : Ethernet (Option)8.2 電子控制的優(yōu)點人工操作

9、 / 半自動 / 全自動預轉(zhuǎn)安全連鎖獨立計算機程序處理處理過程實時監(jiān)控數(shù)據(jù)處理反饋與曲線圖繪制功能預防操作失誤容易的電子線路聯(lián)機卷線控制模式 (4 款模式 :Un/W and Re/W)薄膜張力個別控制 (Un/W and Re/W)量測單元原地電組測試單元 (Guide roll contact type)實時監(jiān)控與測試數(shù)據(jù)繪制圖形項目規(guī)格9. 系統(tǒng)效用與銷售條件效用主要動力 : 380V or 220V, 3 phase, 60Hz or 50Hz動力消耗 : approx. 400KW空氣 : 3 4.5Kg/c, 100 liter/min水 : 3Kg/ c, 大于 400 lite

10、r/min, min.159.2 交貨 : 訂單簽約后 5個月 (裝船)9.3 保證檔案配置后提供 12 個月保證在12個月結(jié)束候后可以提供維護保養(yǎng)合約10. 真空測試10.1 最后壓力測試系統(tǒng)的干燥、清潔、清空 5.0 x 106 torr 在濺鍍區(qū)，幫埔運轉(zhuǎn) 12小時10.2 幫埔速度系統(tǒng)承載一卷PET film尺寸 : 1,300mmW x 1,000mL x 188umT)濺鍍壓力 5.0 x105 torr in less than 60min.10.3 滲透測試 : 小于 5.0 x108 torr liter/sec (氦滲透偵測)11. 鍍膜測試11.1 ITO 材料濺鍍 PET, 188um厚度, 濺鍍寬度 1,250mm, 濺鍍厚度致性在+5%;單面磁陰極濺鍍, 濺鍍速度 3m/min 在最小 250A, 表面阻抗近似 400/cm穿透度相對于未濺鍍前約-4%.11.2 SiO2材料濺鍍 PET, 188um厚度, 濺鍍寬度 1,250mm, 濺鍍厚度致性在+5%; 單一雙磁性陰極濺鍍, 濺鍍速度在最小120A時