TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介解析課件

1、TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介TFT-LCD面板玻璃減薄工藝流程及不良簡介Contents減薄的作用1減薄工藝簡介2常見的減薄不良32Contents減薄的作用1減薄工藝簡介2常見的減薄不良32減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性3減薄的作用1.減少占有的空間3減薄工藝簡介用酸堿對(duì)Glass進(jìn)行刻蝕，從而達(dá)到減薄的目的。防止酸堿溶液從邊緣處進(jìn)入液晶盒內(nèi)，破壞封框膠，進(jìn)入Cell內(nèi)部，影響產(chǎn)品性能。獲得光亮、平整的表面。封膠減薄研磨4減薄工藝簡介用酸堿對(duì)Glass進(jìn)行刻蝕，從而達(dá)到減薄的目的。封膠 封膠工藝防止強(qiáng)酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部1. 加

2、蓋遮光墊 2.涂膠 3.擦膠 4. UV固化UV膠破壞TFT結(jié)構(gòu) 一般在這之前還會(huì)進(jìn)行檢查。 涂膠后靜置1min。 清除多的UV膠。 UV固化后檢查5封膠 封膠工藝防止強(qiáng)酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部封膠UV固化UV燈GLS邊框膠涂膠后檢查涂膠加蓋遮光墊6封膠UV固化UV燈GLS邊框膠涂膠后檢查涂膠加蓋遮光墊6原理及方式單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡原理1234減薄原理及方式6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O液體+固體（玻璃）-液體7原理及方式單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡原理1234減薄原理單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡優(yōu)點(diǎn)：1.可以同時(shí)間處理多片玻璃。缺點(diǎn)：1.裝置大型。2

3、.外圍產(chǎn)生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。優(yōu)點(diǎn)：1.可以滿足兩面不同蝕刻要求。多片缺點(diǎn)：1.蝕刻表面易產(chǎn)生凹點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)： 1.表面最光滑，甚至可以不用拋光三種方式優(yōu)缺點(diǎn)8單片直立噴灑瀑布流多片直立浸泡優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)： 三種方式優(yōu)Text in here蝕刻清洗減薄清洗減薄流程Slimming9Text 蝕刻清洗減薄清洗減薄流程Slimming910減薄設(shè)備其余組件： 供酸裝置 HF酸濃度計(jì) 溫度控制器 洗氣裝置Loader單元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗單元干燥單元Unloader單元 10減薄設(shè)備其余組件：Loader單元預(yù)清洗單元蝕刻單元清洗11減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失的

4、關(guān)系圖1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系11減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時(shí)間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系圖1.反應(yīng)時(shí)12減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系12減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF13減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之間的關(guān)系說明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因?yàn)橐詺滏I形式存在的HF鍵比HF分子中的HF鍵更脆弱，與SiO2反應(yīng)時(shí)更容易斷裂。13減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在H14減薄清洗單元（后）DI浸泡堿浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5

5、-10% NaOHb. 45鼓泡C. 10mina. 3% HClb. 或常溫C. 1mina. DI水b. 常溫C. 5mina. DI水b. 常溫C. 5min清洗14減薄清洗單元（后）DI浸泡堿浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5-清洗外觀檢查Polishing外觀檢查RejectItem自動(dòng)研磨手動(dòng)研磨Picture適應(yīng)產(chǎn)品無破損產(chǎn)品所有產(chǎn)品可修復(fù)不良不良率高發(fā)，嚴(yán)重不良不良率較低的輕微不良CAPAQ-panel拋光，效率高針對(duì)單點(diǎn)不良修復(fù)，效率低研磨15清洗外觀檢查Polishing外觀檢查RejectItem自16減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻16減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟

6、污2.薄化不勻17減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1. 除膠未干凈，有殘留2. PT等未清洗干凈1. 設(shè)備故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蝕刻方式）3.Nozzle堵塞（噴淋式蝕刻方式） 玻璃被蝕刻時(shí)局部蝕刻不一致工藝設(shè)備玻璃表面玻璃本身17減薄工藝自身不良玻璃本身含有雜質(zhì).1. 除膠未干凈，18Slimming后劃傷Slimming前發(fā)生輕微ScratchSlimming后Scratch程度加重Human eye invisibleSlimming18Slimming后劃傷Slimming前發(fā)生輕微Scra19Slimming后劃傷Lift Pin 凹點(diǎn)19Slimming后

7、劃傷Lift Pin 凹點(diǎn)20Slimming后劃傷2.Robot吸盤凹點(diǎn)20Slimming后劃傷2.Robot吸盤凹點(diǎn)21Slimming后劃傷3.輪印21Slimming后劃傷3.輪印22造成B-ITO不良現(xiàn)象： ADS產(chǎn)品做完B-ITO后，產(chǎn)品與BOX接觸的位置ITO被嚴(yán)重腐蝕 ，類似產(chǎn)品表面水干燥后殘留的印記。原因： BOX在Slimming車間長期周轉(zhuǎn)，slimming車間內(nèi)酸氣長期在BOX表面附著，從而使BOX表面呈現(xiàn)酸性1.水漬酸印22造成B-ITO不良現(xiàn)象：1.水漬酸印23其它不良1.電阻超標(biāo)原因： 酸殘留23其它不良1.電阻超標(biāo)原因： 酸殘留與減薄有關(guān)的性耐性沖擊和跌落高溫高濕老化玻璃基板表面蝕刻狀況確認(rèn)TFT端子部腐蝕狀況的確認(rèn)牢固度確認(rèn)將其放入冷熱交替的冷熱槽中對(duì)LCM進(jìn)行顯示檢查和顯微鏡Glass外觀檢查