直拉單晶棒少子壽命的檢測(cè)

關(guān)于直拉單晶棒少子壽命的檢測(cè)第一頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日檢測(cè)依據(jù)及設(shè)備、原理檢測(cè)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)檢測(cè)數(shù)據(jù)分析234采樣及其樣品處理1檢測(cè)報(bào)告書(shū)5第二頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日

采樣及其樣品處理

一、采樣1、單晶棒2、單晶片：取頭部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、樣品處理1、試樣待測(cè)面用28~42μm或20~28μm金剛砂研磨或噴砂。2、對(duì)圓片試樣，用5~14μm氧化鋁或金剛砂研磨上下表面。第三頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日檢測(cè)依據(jù)第四頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日檢測(cè)設(shè)備Ｘ射線晶體定向儀原理：如果波長(zhǎng)為λ的單色X射線入射到晶體上，要使其能在某晶面產(chǎn)生衍射，使得該晶面的放置位置相對(duì)于入射X射線來(lái)說(shuō)滿足布喇格方程2dsinθ=nλ，對(duì)不同結(jié)構(gòu)的晶體和不同的晶面其衍射線出現(xiàn)的方位不同，在與入射線的角度為2θ的位置上便會(huì)出現(xiàn)衍射線，根據(jù)衍射線的方位就能確定晶體的取向。

X射線的性質(zhì)：感光作用、螢光作用、電離作用、穿透能力強(qiáng)、X射線的折射率近似等于1、衍射作用第五頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日一臺(tái)X射線定向儀主要由下幾個(gè)部份組成：（1）X射線發(fā)生部分（2）X射線檢測(cè)部分（3）樣品臺(tái)及轉(zhuǎn)角測(cè)量部分第六頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日檢測(cè)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)1、對(duì)晶體要求：⑴在檢測(cè)前首先確認(rèn)被測(cè)晶體是否為單晶；⑵定向前需先判斷定向面的大致取向，如無(wú)法判定則可先假定一個(gè)，逐一實(shí)驗(yàn)，直到找到正確晶面；㈢記住樣品假定的方向。2、實(shí)驗(yàn)儀器：X射線定向儀、硅片第七頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日

3、實(shí)驗(yàn)步驟：①用前，開(kāi)機(jī)預(yù)熱5-10min；②查表，找與之對(duì)應(yīng)的布喇格角θ；③調(diào)節(jié)蓋革計(jì)數(shù)管放置在2θ的位置上；④開(kāi)x光電源，按下開(kāi)關(guān)，調(diào)電壓，0.8-1.0A之間；⑤開(kāi)氣閥，吸上標(biāo)準(zhǔn)石英，拉開(kāi)x光擋板，調(diào)數(shù)率旋鈕，搖動(dòng)手輪找到峰值；⑥換硅片，重復(fù)第5步操作；⑦當(dāng)計(jì)數(shù)表達(dá)到峰值，記下轉(zhuǎn)角，求水平偏離角，旋180?，重復(fù)上面步驟，兩次測(cè)量結(jié)果取平均值；⑧將樣品位置復(fù)原后，旋轉(zhuǎn)90?

后，重復(fù)操作，測(cè)得兩個(gè)垂直的偏離角，取平均值⑨利用公式，當(dāng)時(shí)，計(jì)算出Φ值第八頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日數(shù)據(jù)分析第九頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日第十頁(yè)，共十二頁(yè)，2022年，8月28日Thank