ESD教育訓(xùn)練講義

ESD

教育訓(xùn)練教材

電源事業(yè)部工程部伴隨計(jì)算機(jī)、通信、集成電路的發(fā)展，靜電危害問(wèn)題日趨顯著。如CMOS器件絕緣層的典型厚度0.1um,其相應(yīng)耐擊穿電壓為80-100V,VMOS的耐擊穿電壓只有30V,千兆位的DRAM耐壓僅為10-20V。在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存等過(guò)程中產(chǎn)生的靜電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于上述閾值，造成微電子器件擊穿或軟擊穿，使之失效或嚴(yán)重影響產(chǎn)品的可靠性。據(jù)報(bào)道：因靜電問(wèn)題造成損失，美國(guó)100億美元/年，英國(guó)20億英磅，日本45%微電子子器件損壞，中國(guó)10億人民幣/年。為更好的解決電子工業(yè)的靜電防護(hù)問(wèn)題，必須普及靜電防護(hù)的基本知識(shí)。背景一、靜電基本概念二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題三、靜電防護(hù)原理四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)六、靜電放電模型與器件、設(shè)備ESD敏感度測(cè)試課程大綱一、靜電基本概念1。靜電定義：一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。2。靜電的特點(diǎn)：（1）小電量（2）高電位（3）放電時(shí)間短設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境、人體上的靜電量一般只有微庫(kù)侖或納庫(kù)侖級(jí)，但電位可達(dá)到幾千伏以上，瞬間放電能量達(dá)幾百瓦以上，峰值電流達(dá)到幾至十幾安培，足以造成微電子器件（組件）的損壞。3。靜電的產(chǎn)生（1）固體起電：摩擦起電，兩個(gè)物體相互摩擦后分別帶有等值異號(hào)電荷（表面能態(tài)、濕度、電荷密度不同引起）

；一、靜電基本概念分離時(shí)，C=εε0

/d變小，V=Q/C增大。導(dǎo)體摩擦起電小（自由電子），絕緣體摩擦起電大（束縛電荷）。濕度>70%,起電明顯減少;物體表面電阻率>1X1011Ω起電明顯。摩擦分離起電極性排列：+人手、兔毛、玻璃、云母、人發(fā)、尼龍、羊毛、鉛、絲綢、鋁、紙、棉花、鋼、木材、封蠟、硬橡膠、聚脂、聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯-。（2）粉體起電：粉體與粉體、粉體與器壁碰撞、摩擦分離、碎裂引起。如面粉加工、藥廠、煤廠。（3）液體起電：流動(dòng)的液體與管道摩擦起電，帶電粒子隨液體流動(dòng)形成電流（石油業(yè)、噴嘴）。一、靜電基本概念4。靜電防護(hù)材料（1）導(dǎo)靜電和靜電屏蔽材料：電荷能夠迅速耗散和泄露，表面電阻率<1X105Ω（靜電屏蔽包裝袋）。（2）靜電耗散材料：電荷由于中和、泄露、放電而使之部分或全部消失，表面電阻率1X105Ω-1X1011Ω（靜電皮）。（3）靜電絕緣材料：不能耗散和泄露電荷，表面電阻率1X1011Ω（塑料、橡膠）。一、靜電基本概念5。靜電感應(yīng)導(dǎo)體在靜電場(chǎng)中，表面不同部位感應(yīng)出不同電荷或?qū)w上原有電荷重新分布的現(xiàn)象。由于靜電感應(yīng)，不帶電的導(dǎo)體可以感應(yīng)起電！是一種常見的靜電起電方式，可在導(dǎo)體（包括人體、器件、設(shè)備）上產(chǎn)生較高的電壓，導(dǎo)致靜電對(duì)器件或帶電器件對(duì)周圍導(dǎo)體直接接觸或間接接觸式放電。一、靜電基本概念6。靜電屏蔽（1）被動(dòng)屏蔽：外部有靜電場(chǎng)，空腔導(dǎo)體內(nèi)部靜電場(chǎng)為零，電場(chǎng)不能到達(dá)內(nèi)部。（2）主動(dòng)屏蔽：空腔導(dǎo)體內(nèi)部有靜電場(chǎng)，外殼接地后，電場(chǎng)不能到達(dá)外部。一、靜電基本概念7。法拉第筒利用法拉第筒靜電感應(yīng)原理，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)靜電壓或電量的測(cè)量。二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題1。靜電效應(yīng)靜電荷所產(chǎn)生的靜電場(chǎng)有很多的物理效應(yīng)，這些物理效應(yīng)對(duì)電子工業(yè)的影響很大。（1）電場(chǎng)力：F=q1q2/4Пεr2，一般產(chǎn)生的靜電力僅為幾至數(shù)百毫克，這樣小的力對(duì)毛發(fā)、紙片、塵埃、纖維的吸附作用非常明顯。（2）靜電放電（ESD）：高靜電電位的帶電體向低電位物體發(fā)生接觸或非接觸式放電，人體瞬間放電電流可以達(dá)到幾安培，設(shè)備瞬間放電電流可以達(dá)到幾十安培。（3）靜電感應(yīng)：因人體靜電、高壓設(shè)備、設(shè)備接地不良而導(dǎo)致器件金屬部位感應(yīng)靜電。二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題2。靜電危害（1）吸附塵埃：對(duì)微電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)影響大，使芯片漏電流增大，使用壽命縮短，甚至造成短路使芯片損壞。（2）靜電放電及產(chǎn)生的寬帶電磁脈沖效應(yīng)：靜電放電可使集成電路芯片擊穿，芯線熔斷，漏電流增大，加速老化，電性能參數(shù)改變等；另外，靜電放電可產(chǎn)生從低頻到幾兆赫茲的寬頻帶干擾，對(duì)電子儀器、信息化系統(tǒng)、醫(yī)療監(jiān)護(hù)系統(tǒng)等產(chǎn)生靜電噪聲和電磁干擾，使邏輯電路產(chǎn)生錯(cuò)誤的翻轉(zhuǎn)效應(yīng)；雷電是一種自然界宏觀靜電放電現(xiàn)象，電壓達(dá)到數(shù)十萬(wàn)伏，對(duì)電子設(shè)備的造成損害。（3）靜電感應(yīng)及放電：導(dǎo)體置于靜電場(chǎng)中感應(yīng)帶電，當(dāng)達(dá)到一定電壓就發(fā)生放電；器件置于靜電場(chǎng)中發(fā)生靜電感應(yīng)帶電時(shí)，在器件或芯片氧化膜兩端及結(jié)構(gòu)金屬突出部位因尖端效應(yīng)可感應(yīng)出較強(qiáng)的電場(chǎng)，因各點(diǎn)對(duì)地電位不同，當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度超過(guò)某點(diǎn)的絕緣強(qiáng)度閾值時(shí)，可導(dǎo)致介質(zhì)擊穿（或軟擊穿），使器件失效或品質(zhì)降低。二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題3。器件ESD失效突發(fā)性失效：10%，通常表現(xiàn)為開路、短路、電參數(shù)嚴(yán)重漂移，電壓擊穿或熱擊穿；潛在性失效：90%，電參數(shù)退化不明顯，但降低了防靜電的能力，降低了可靠性。（1）熱擊穿：靜電放電產(chǎn)生的能量使器件局部溫度升高而損壞。（2）介質(zhì)擊穿：靜電壓使絕緣層處薄弱點(diǎn)擊穿。（3）氣體電弧放電：在器件內(nèi)電極間，電場(chǎng)使氣體電弧放電而損壞。二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題4。靜電敏感器件（SSD）的分級(jí)器件的靜電放電敏感度，以其能夠耐受住的最大靜電放電電壓值來(lái)表示（標(biāo)準(zhǔn)ESD實(shí)驗(yàn)?zāi)Ｐ停６㈦娮庸I(yè)中的靜電問(wèn)題二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題5。電子器件損壞統(tǒng)計(jì)ESD對(duì)器件的損害具有普遍性、隨機(jī)性和不易察覺，在電子工業(yè)生產(chǎn)、存儲(chǔ)、維護(hù)、運(yùn)輸?shù)热魏我画h(huán)節(jié)都有可能發(fā)生。ESD問(wèn)題往往不會(huì)造成人員的傷亡，不容易引起人們的重視，但其造成的經(jīng)濟(jì)損失巨大。靜電造成的電子產(chǎn)品平均損壞率（統(tǒng)計(jì)表）：部門平均損壞率（%）制造廠16-22承銷商8-14用戶27-33二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題6。電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的靜電源（1）人體（用品）靜電：電子工業(yè)中，作為操作者的人是最主要的靜電發(fā)生源，人體ESD是導(dǎo)致器件損壞的主要原因之一。起電方式：人在行動(dòng)或工作中，皮膚、頭發(fā)、衣服、帽子、手套、鞋襪相互摩擦起電；脫衣服、帽子、手套等剝離動(dòng)作也會(huì)起電；人體是靜電導(dǎo)體，當(dāng)帶電物體靠近人體時(shí)，人體會(huì)感應(yīng)起電。影響因素：起電率、人體對(duì)地電阻和電容。人體電阻800Ω-3KΩ，標(biāo)準(zhǔn)電阻1.5kΩ，人體對(duì)地電容不得100-350pF，標(biāo)準(zhǔn)電容100pF。

Q=qRC（2）樹脂、浸漆封裝表面：器件表面涂裝絕緣樹脂、漆，放入包裝后，因運(yùn)輸過(guò)程摩擦起電。（3）用PE（聚乙烯）、PP（聚丙烯）、PS（聚苯乙烯）、PUR（聚氨脂）等高分子材料制備的包裝容器和材料盒，都可因摩擦帶電。二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題（4）各種工作表面、工具：工作臺(tái)、座椅表面受摩擦起電，金屬工具感應(yīng)起電。（5）生產(chǎn)、焊接、裝配、檢驗(yàn)、清洗、修理、高低溫處理過(guò)程：貼片機(jī)、波峰焊、烙鐵、高溫箱、設(shè)備工裝運(yùn)行和使用中，相互摩擦及感應(yīng)起電。（6）各種絕緣地面：打臘拋光木地板、橡（塑）板、樹脂地面、瓷磚地坪都可因摩擦產(chǎn)生靜電。（7）接地系統(tǒng)和電源：生產(chǎn)檢驗(yàn)設(shè)備、電動(dòng)工具、供電系統(tǒng)、ESD防護(hù)系統(tǒng)（包括防雷接地）不良或錯(cuò)誤接地，可因設(shè)備漏電、個(gè)接地系統(tǒng)接地電位不平衡、靜電不能對(duì)地泄漏、雷擊產(chǎn)生浪涌電壓和電氣開關(guān)關(guān)閉產(chǎn)生的寬頻帶感應(yīng)等原因使器件或設(shè)備損壞。生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的電腦顯示屏、高壓電源產(chǎn)生的靜電場(chǎng)可使器件感應(yīng)帶電。（8）生產(chǎn)、存儲(chǔ)環(huán)境中的絕緣物和對(duì)地絕緣的導(dǎo)體：絕緣物因摩擦起電，對(duì)地絕緣的導(dǎo)體可感應(yīng)起電。三、靜電防護(hù)原理在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、裝配、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、使用過(guò)程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的，但產(chǎn)生靜電并非危險(xiǎn)所在，危害在于靜電積累，以及由此產(chǎn)生的靜電感應(yīng)、吸附和放電，由此，對(duì)靜電積累的限制和采取各種防護(hù)措施尤為重要。－靜電防護(hù)措施五個(gè)方面。靜電耗散和泄漏：使產(chǎn)生的靜電迅速耗散，以及泄漏，是防止靜電危害行之有效的方法，主要是通過(guò)更換生產(chǎn)過(guò)程中接觸到的各類絕緣制備的用具（工裝夾具、包裝、工具、物流傳遞品、人體用品等），而改用防靜電材料制備并使之接地來(lái)完成。

a.防靜電材料又稱ESD防護(hù)材料，包括靜電耗散和導(dǎo)電類。

b.接地的概念：地－能夠接受和供給大量電荷的物體（如大地、輪船外殼等）；接地極－埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體；接地電阻－接地極與測(cè)試極之間的電阻。三、靜電防護(hù)原理在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、裝配、存儲(chǔ)、運(yùn)輸、使用過(guò)程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的，但產(chǎn)生靜電并非危險(xiǎn)所在，危害在于靜電積累，以及由此產(chǎn)生的靜電感應(yīng)、吸附和放電，由此，對(duì)靜電積累的限制和采取各種防護(hù)措施尤為重要。－靜電防護(hù)措施五個(gè)方面。靜電耗散和泄漏：使產(chǎn)生的靜電迅速耗散，以及泄漏，是防止靜電危害行之有效的方法，主要是通過(guò)更換生產(chǎn)過(guò)程中接觸到的各類絕緣制備的用具（工裝夾具、包裝、工具、物流傳遞品、人體用品等），而改用防靜電材料制備并使之接地來(lái)完成。

a.防靜電材料又稱ESD防護(hù)材料，包括靜電耗散和導(dǎo)電類。

b.接地的概念：地－能夠接受和供給大量電荷的物體（如大地、輪船外殼等）；接地極－埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體；接地電阻－接地極與測(cè)試極之間的電阻。三、靜電防護(hù)原理2.5m0.2m接地極（直徑20mm鋼釬）接地線測(cè)試極R<10OHM10cm40cm電焊或氣焊建筑物>2m三、靜電防護(hù)原理c.靜電耗散和泄漏一般要求靜電耗散原理：當(dāng)某種原因在ESD防護(hù)材料上產(chǎn)生靜電時(shí)，通過(guò)靜電消散使其靜電不能在材料某點(diǎn)或某區(qū)域積累，降低單位面積的靜電量，從而起到降低靜電電位作用，防止靜電放電的發(fā)生。靜電泄漏原理：帶電體上的電荷通過(guò)內(nèi)部和表面等途徑，使之部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電耗散和泄漏的一般要求是將各類ESD防護(hù)用品或裝備、儀器設(shè)備、生產(chǎn)存儲(chǔ)環(huán)境中的導(dǎo)體等與大地之間進(jìn)行電氣連接，將上述物體積累或感應(yīng)的靜電泄放到大地。軟接地與硬接地：軟接地是通過(guò)串接限制流過(guò)人體的電流達(dá)到安全值的電阻連接到大地的一種方式（380V，I<5mA，1MOHM,1/4W或1/2W）；硬接地是指直接與大地做導(dǎo)電性連接的一種接地方式，通常用于靜電屏蔽或儀器、設(shè)備、金屬體接地。

三、靜電防護(hù)原理d.耗散與接地的特殊情況懸浮接地：無(wú)法設(shè)置與大地相連的接地系統(tǒng)時(shí)，象航空器、不接地的機(jī)房，通常是將內(nèi)部所有儀器、金屬結(jié)構(gòu)、裝備的金屬外殼接地線連接到一表面積較大的物體表面，即認(rèn)為設(shè)定的地（航空器的外殼、防靜電地坪），連接后該接地對(duì)整個(gè)系統(tǒng)提供基準(zhǔn)地電位。靜電等位體：將環(huán)境中的設(shè)備、金屬導(dǎo)體、工裝器具、人員、各類防靜電用品等，使其處于同一電位，就避免靜電放電問(wèn)題，如移動(dòng)電子通信車。e.防靜電材料使用中的安全問(wèn)題使用電源有220V、380V或更高電壓源，為確保人身安全，所用的靜電防護(hù)材料必須為用靜電耗散材料，表面電阻>＝1X106Ω；直接接觸SSD的包裝和工器具等不宜使用表面電阻低于1X104Ω導(dǎo)靜電材料和金屬制品，因其不能防止器件的靜電放電。為確保靜電泄漏，任何物體帶靜電，對(duì)地電壓小于+/-100V，物體帶靜電5000V，對(duì)地分布電容200pF，在2s內(nèi)衰減到100V，靜電泄漏電阻<1X109Ω。三、靜電防護(hù)原理2.靜電中和:帶電體上的電荷與其內(nèi)部或外部相反符號(hào)的電荷（電子或離子）的復(fù)合而使所帶電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。某些場(chǎng)合中，當(dāng)不便使用ESD防護(hù)材料時(shí)，必須將某些高絕緣易產(chǎn)生靜電的用品存放在工作臺(tái)或工藝線路上時(shí)，或者在操作SSD時(shí)使用的各類器具（包括金屬制品）不能良好接地時(shí)，為了預(yù)防靜電積累及放電就必須對(duì)操作環(huán)境采取靜電中和措施。靜電中和原理：利用無(wú)源自感應(yīng)式、直流高壓、交流高壓、同位素（a射線）電離等原理，通過(guò)金屬針或放射線使空氣電離產(chǎn)生正負(fù)離子與靜電源上的正負(fù)電荷中和，從而消除靜電源上積累的靜電。（離子靜電消除器）使用離子靜電消除器時(shí)，應(yīng)考慮由于設(shè)計(jì)不合理而產(chǎn)生正負(fù)離子不平衡（殘余電壓）導(dǎo)致靜電不能被中和或是器件被充電現(xiàn)象的發(fā)生。殘余電壓要小于+/-50V。三、靜電防護(hù)原理3.靜電屏蔽與接地:通常用于對(duì)高壓電源產(chǎn)生的靜電場(chǎng)屏蔽，某些對(duì)靜電極其敏感電路的屏蔽，從而避免靜電場(chǎng)對(duì)SSD和SSD組件的感應(yīng)及靜電放電的發(fā)生。靜電屏蔽是通過(guò)將一個(gè)區(qū)域封閉起來(lái)的殼體實(shí)現(xiàn)的，殼體不允許存在孔洞。主動(dòng)屏蔽：將靜電場(chǎng)封閉在屏蔽體內(nèi)，外殼接地。被動(dòng)屏蔽：將靜電場(chǎng)屏蔽在屏蔽體外（靜電屏蔽包裝袋）。4.環(huán)境增濕：環(huán)境相對(duì)濕度增加，則非導(dǎo)體材料（衣服、工作臺(tái)等）表面電阻減小，使物體積蓄的靜電荷可以更快地泄漏。

同樣的紙，放置在40%濕度下表面電阻1X10E11Ω以上，放置在90%濕度下表面電阻大致在1X10E9Ω左右。安裝空調(diào)設(shè)備、噴霧器、加濕裝置，提高空氣的相對(duì)濕度消除靜電。但對(duì)孤立的帶電絕緣體和導(dǎo)體、表面不易被水浸潤(rùn)的介質(zhì)、高溫環(huán)境中的靜電絕緣體，增濕是無(wú)效的。一般要求環(huán)境溫度16-28度，濕度45%-75%。三、靜電防護(hù)原理5.電子產(chǎn)品ESD的防護(hù)設(shè)計(jì)a.對(duì)SSD設(shè)置ESD防護(hù)電路，是防止器件損壞的有效手段之一。常在SSD輸入端加限流電阻和保護(hù)二極管，好的器件設(shè)計(jì)提供的ESD防護(hù)電壓可達(dá)到2000V，而設(shè)備的ESD防護(hù)可達(dá)到4000V以上。保護(hù)電路可以降低器件對(duì)ESD的敏感性，但不能徹底根除。b.對(duì)設(shè)備，輸入/輸出電纜要使用屏蔽電纜，增加共模扼流圈，設(shè)置鉗位電路和旁路濾波器，電纜線要靠近回線位置使共模偶合減小?？刂泼姘宓脑O(shè)計(jì)應(yīng)使ESD不經(jīng)過(guò)敏感電路而直接如地。PCB布線避免將SSD連接到容易接觸ESD的引入端，應(yīng)增加串聯(lián)、分流、電壓鉗位措施；PCB電路引線盡可能短，將這些等效天線的偶合減少到最小。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求1.EPA定義：防靜電工作區(qū)（ESDProtectedArea），凡是直接或間接接觸SSD的區(qū)域都屬之。2.EPA總體要求：a.EPA內(nèi)所有金屬導(dǎo)體、儀器設(shè)備、防靜電裝備、人員應(yīng)接地，適于與其他各類接地共用一個(gè)接地體（特殊信號(hào)系統(tǒng)除外）。b.當(dāng)不便采用靜電泄漏和接地措施消除EPA內(nèi)絕緣體、設(shè)備、工具和各種操作產(chǎn)生的靜電時(shí)，應(yīng)采用離子靜電消除器提供靜電中和或采取屏蔽措施。c.EPA內(nèi)各種接地措施應(yīng)該滿足標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)要求。d.直接或間接接觸SSD的操作均應(yīng)在EPA內(nèi)進(jìn)行，在EPA之外，對(duì)SSD必須提供防靜電包裝予以保護(hù)，不允許將其暴露在防靜電包裝之外。e.對(duì)于無(wú)法設(shè)置接地的臨時(shí)EPA，可采用懸浮接地或等電位連接。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求f.EPA內(nèi)的環(huán)境潔凈度應(yīng)滿足不同SSD生產(chǎn)所規(guī)定要求，濕度在45%-75%之間。g.通常EPA的設(shè)計(jì)，應(yīng)能對(duì)靜電敏感度+/-100V以上的SSD提供防護(hù)。3.EPA硬件構(gòu)成：a.人體靜電防護(hù)用品－防靜電工作服、防靜電鞋（鞋束）、手腕帶、手套（指套）、帽子、襪子等。b.防靜電物流傳遞用品－防靜電包裝（盒、箱、盤）、填充材料（泡沫塑料、發(fā)泡材料）、運(yùn)轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)器具、存放柜（架）、傳輸帶等。c.防靜電地坪－PVC地板磚、瓷磚、地毯、水泥等。d.防靜電操作系統(tǒng)－工作臺(tái)、工作椅、工具類（烙鐵、維修工具、刷子、氣動(dòng)或電動(dòng)工具）等。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求e.防靜電接地系統(tǒng)－獨(dú)立或與其他共用接地系統(tǒng)。f.環(huán)境控制系統(tǒng)－溫濕度和潔凈度控制系統(tǒng)。g.專用生產(chǎn)設(shè)備－烘箱、波峰焊、插裝機(jī)、測(cè)試設(shè)備。h.特殊防靜電用品－靜電消除器（離子風(fēng)、靜電消除刷）、防靜電劑（噴劑、蠟、膠）。i.靜電測(cè)量（監(jiān)控）系統(tǒng)－非接觸或接觸靜電電壓表、電阻測(cè)試儀、靜電衰減時(shí)間測(cè)試儀、接地電阻測(cè)試儀、配套的測(cè)試用具和電極。4.EPA軟件和管理要求：與硬件同等重要，不能忽略。a.人員培訓(xùn)。b.防靜電工藝和文件。c.標(biāo)準(zhǔn)文件、管理規(guī)程、采購(gòu)制度。d.監(jiān)督檢查和試驗(yàn)等質(zhì)量保證體系。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求e.防靜電警示標(biāo)志。d.包裝、存儲(chǔ)、運(yùn)輸要求。e.產(chǎn)品的失效分析與記錄。f.接地系統(tǒng)要求和指導(dǎo)。g.所用SSD靜電敏感度分級(jí)與使用指南。5.靜電防護(hù)用品的要求（1）人體防靜電用品a.防靜電工作服：導(dǎo)電金屬絲（碳絲）和棉、化纖等混紡而成，通過(guò)與人體接觸泄漏或?qū)щ娎w維間放電、耗散，防止靜電積累。帶電量<0.1uC/件，耐洗滌試驗(yàn)（33H），點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻1x10E5-1x10E10Ω。b.防靜電鞋、襪、鞋束：加入防靜電劑的合成橡膠、PVC等制成。1x10E5-1x10E10Ω。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求c.防靜電腕帶：帶扣、導(dǎo)電帶、和接地線都要具有良好的導(dǎo)電性和電氣接觸。串接1MOHM,1/4W或1/2W電阻，對(duì)地泄漏電阻7.5x10E5-1x10E7Ω。不應(yīng)使用自感應(yīng)放電式腕帶，其靜電放電閾值>1000V。d.防護(hù)手套、指套：加入防靜電劑，有潔凈要求時(shí)使用。內(nèi)外表面二點(diǎn)間電阻1x10E5-1x10E9Ω。e.工作帽：防靜電和防塵雙重作用。（2）防靜電包裝類盒、箱、袋、盤、發(fā)泡墊等，大多使用高分子材料制作（PE、PC）。除滿足一般要求（耐老化、防潮、耐撕裂、耐高溫、抗沖擊等）外，還應(yīng)滿足防靜電要求。復(fù)合材料或多層包裝的內(nèi)層必須用靜電耗散材料，相鄰材質(zhì)盡量一樣。靜電耗散類包裝：內(nèi)表面電阻率1x10E6-1x10E11Ω，外表面電阻率小于1x10E12Ω；靜電90%的衰減（+/-1000V-+/-100V）時(shí)間小于2s。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求靜電屏蔽類包裝：表面電阻率小于1x10E5Ω；靜電90%的衰減（+/-1000V-+/-100V）時(shí)間小于2s；包裝外施加1000V放電試驗(yàn)電壓，并串接1.5kΩ放電回路電阻時(shí)間，包裝內(nèi)藕合靜電電壓小于30V或能量小于50nJ。（3）傳輸帶（線）應(yīng)為靜電耗散型，帶體應(yīng)與接地的傳輸帶金屬輪緊密接觸，以便泄放靜電。傳輸帶任何表面對(duì)地靜電泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。（4）運(yùn)轉(zhuǎn)車、存放柜、工作椅、工作臺(tái)表面采用靜電耗散材料，并與金屬部分連接；工作臺(tái)面通過(guò)串接1MOHM,1/4W安全電阻與接地線連接。表面泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求（5）運(yùn)轉(zhuǎn)車、存放柜、工作椅、工作臺(tái)表面采用靜電耗散材料，并與金屬部分連接；工作臺(tái)面通過(guò)串接1MOHM,1/4W安全電阻與接地線連接。表面泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。（6）工位器具（架）、操作工具（刷子、鑷子、螺絲刀等）宜用靜電耗散材料制作，不宜用金屬材料制作。如用金屬材料，為預(yù)防SSD帶電時(shí)對(duì)金屬器具發(fā)生放電或金屬器具感應(yīng)帶電，應(yīng)考慮用離子靜電消除器。外表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻小于1x10E9Ω，靜電90%的衰減期+/-1000V-+/-100V,不大于2s。（7）氣動(dòng)、電動(dòng)工具、焊接設(shè)備烙鐵、波峰焊應(yīng)采用硬接地。烙鐵的焊頭于接地極之間的電阻值應(yīng)小于2OHM，當(dāng)發(fā)生氧化時(shí)，不大于20OHM，不允許使用二芯烙鐵。氣動(dòng)、電動(dòng)工具外表面與地線間電阻小于1x10E9OHM。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求6.離子靜電消除器及使用能使空氣發(fā)生電離，產(chǎn)生消除靜電的離子裝置，又稱靜電中和器。放電針應(yīng)為鈦合金或鎢鉬合金等，不能用普通不銹鋼，并定期除去放電針氧化層。靜電消除+/-1000V-+/-100V時(shí)，不超過(guò)20s；殘余電壓小于+/-50V。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求7.防靜電劑防靜電蠟、噴劑、膠粘劑，起到短或長(zhǎng)時(shí)效靜電耗散功能。使用時(shí)需要考慮時(shí)效性，同時(shí)考慮是否會(huì)污染到器件或組件。8.EPA環(huán)境要求環(huán)境溫度控制在16-28度，相對(duì)濕度在45%-75%左右，同時(shí)對(duì)特殊SSD生產(chǎn)中配置空氣凈化系統(tǒng)，減少引靜電吸附塵埃造成墊子產(chǎn)品不良率提高。9.EPA內(nèi)的接地和防雷保護(hù)接地、工作接地、重復(fù)接地，接地電阻不大于4OHM。防靜電接地電阻值不大于10OHM。防雷接地是通過(guò)避雷針、接地線和接地裝置將雷電電流迅速導(dǎo)入大地以防止雷害，靜電接地電阻值不大于10OHM。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求10.防靜電接地a.EPA內(nèi)每個(gè)防靜電裝備應(yīng)單獨(dú)與防靜電接地相連。b.每個(gè)防靜電裝備的單獨(dú)接地線導(dǎo)電線截面積應(yīng)不小于2mm2，多個(gè)防靜電裝備接地匯總線的導(dǎo)電線直徑應(yīng)不小于3mm，接地母線的截面積應(yīng)不小于10mm2。c.非金屬導(dǎo)體接地時(shí)，緊密接觸面積不小于1.5cm2（傳輸帶不小于60cm2）。d.為達(dá)到EPA整個(gè)區(qū)域接地系統(tǒng)的零電位，防靜電接地宜與防雷、供電系統(tǒng)、保護(hù)接地等共用一個(gè)接地樁。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)為掌握靜電起電、放電的情況，了解生產(chǎn)、儲(chǔ)運(yùn)等過(guò)程中靜電產(chǎn)生情況，判斷該過(guò)程中靜電放電的危險(xiǎn)行，確定靜電源，檢驗(yàn)EPA靜電防護(hù)措施、用品的質(zhì)量以及分析靜電事故，都必須進(jìn)行靜電測(cè)試。a.靜電測(cè)試儀器要有小的輸入電容和極高的輸入電阻（1x10E13OHM)。b.靜電測(cè)試的結(jié)果往往與測(cè)試方法和測(cè)試電壓等測(cè)試條件有關(guān)，因此最好按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)際或行業(yè)規(guī)定的測(cè)試方法、測(cè)試電壓、測(cè)試電極等進(jìn)行測(cè)試。c.靜電測(cè)試受各種環(huán)境條件的影響顯著，如溫濕度。五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)1.電阻的測(cè)試材料本身的電阻是于其靜電泄漏及耗散密切相關(guān)的電氣參數(shù)，測(cè)試簡(jiǎn)單。（1）點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試Rx（2）靜電泄漏電阻Ry300mmRx初始測(cè)試電壓10V：如R<=10E5OHM，測(cè)量值為結(jié)果；否則施加測(cè)試電壓100V：測(cè)量值為結(jié)果。Ry五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)（3）表面電阻測(cè)試（4）體積電阻測(cè)試五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗(yàn)（5）影響電阻測(cè)試的因素：a.環(huán)境溫濕度，在規(guī)定的溫濕度