GB/T 14847-1993重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 14847-1993》是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法》。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了如何利用紅外反射技術(shù)來(lái)測(cè)定在重?fù)诫s硅基板上生長(zhǎng)的輕摻雜硅外延層的厚度，旨在為半導(dǎo)體工業(yè)中的材料分析和質(zhì)量控制提供一種精確、可靠的測(cè)量手段。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的范圍，即適用于評(píng)估那些在高濃度摻雜的硅襯底上形成的低濃度摻雜硅外延層的厚度。這種結(jié)構(gòu)常見(jiàn)于特定的微電子器件和集成電路制造過(guò)程中。

2. 引用標(biāo)準(zhǔn)：列出了實(shí)施本測(cè)量方法所需遵循的其他相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量過(guò)程的一致性和可比性。

3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)涉及的專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了解釋，幫助讀者理解如“重?fù)诫s”、“輕摻雜”、“外延層”、“紅外反射”等關(guān)鍵概念。

4. 原理：闡述了紅外反射測(cè)量的基本物理原理，即不同材質(zhì)和厚度的半導(dǎo)體層對(duì)紅外光的反射特性存在差異，通過(guò)分析反射光譜可以反推出外延層的厚度。

5. 儀器與設(shè)備：詳細(xì)描述了進(jìn)行測(cè)量所需的儀器類型、規(guī)格及校準(zhǔn)要求，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

6. 樣品制備與處理：說(shuō)明了樣品的選取、切割、清洗以及必要的預(yù)處理步驟，以保證測(cè)量不受外來(lái)因素干擾。

7. 測(cè)量步驟：給出了詳細(xì)的測(cè)量操作流程，包括如何設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)、進(jìn)行反射率測(cè)試、數(shù)據(jù)采集與處理等具體指導(dǎo)。

8. 數(shù)據(jù)處理與分析：介紹了如何根據(jù)收集到的紅外反射數(shù)據(jù)，運(yùn)用特定的計(jì)算方法或模型來(lái)確定外延層的厚度，可能涉及光譜擬合、對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)曲線等方法。

9. 精度與誤差：討論了測(cè)量過(guò)程中可能出現(xiàn)的誤差來(lái)源及其對(duì)結(jié)果的影響，并提供了評(píng)估測(cè)量不確定度的方法。

10. 試驗(yàn)報(bào)告：規(guī)定了試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)包含的信息內(nèi)容，如樣品信息、測(cè)試條件、測(cè)量結(jié)果及不確定性評(píng)估等，以確保結(jié)果的透明度和可追溯性。

實(shí)施意義

本標(biāo)準(zhǔn)為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一種標(biāo)準(zhǔn)化的方法學(xué)，有助于提高不同實(shí)驗(yàn)室間測(cè)量結(jié)果的一致性和互認(rèn)性，對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、提升生產(chǎn)效率及產(chǎn)品質(zhì)量控制具有重要價(jià)值。它不僅促進(jìn)了技術(shù)交流，也為新材料和工藝的研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。

如需獲取更多詳盡信息，請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。