標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 16944-1997是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《電子工業(yè)用氣體 氮》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中所使用的氮?dú)獾馁|(zhì)量要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求，旨在確保氮?dú)猱a(chǎn)品滿足電子工業(yè)的特定應(yīng)用需求，保證其純度與可靠性，從而促進(jìn)電子元件和器件的性能穩(wěn)定性和生產(chǎn)過(guò)程的高效性。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了標(biāo)準(zhǔn)適用的氮?dú)忸愋图捌湓陔娮庸I(yè)中的應(yīng)用范疇，比如作為保護(hù)氣體、置換氣體或工藝氣體使用。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)，這些文獻(xiàn)提供了測(cè)試方法、術(shù)語(yǔ)定義等基礎(chǔ)信息。

  3. 要求：

    • 純度：規(guī)定了氮?dú)庵醒?、氬、水、二氧化碳、烴類等雜質(zhì)的最大含量限值，以ppm（百萬(wàn)分之一）或更高精度單位表示，確保氮?dú)獾母呒儍舳取?/li>
    • 露點(diǎn)：設(shè)定了氮?dú)獾淖畹透稍镆?，通常以露點(diǎn)溫度表示，確保氣體無(wú)凝結(jié)水，適合電子元件的加工環(huán)境。
    • 氣味與外觀：要求氮?dú)鈶?yīng)無(wú)臭、無(wú)色，且在正常條件下為透明氣體，確保其不會(huì)對(duì)電子材料造成污染。

  4. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說(shuō)明了如何通過(guò)氣相色譜分析、露點(diǎn)測(cè)定等方法來(lái)檢測(cè)氮?dú)獾募兌取穸鹊汝P(guān)鍵指標(biāo)，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  5. 檢驗(yàn)規(guī)則：包括了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法及合格判定準(zhǔn)則，確保每批次氮?dú)舛挤蠘?biāo)準(zhǔn)要求。

  6. 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：規(guī)定了氮?dú)馊萜鞯牟馁|(zhì)、密封要求，以及在運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中應(yīng)采取的措施，以防止氣體受到污染或物理性損害，保持其質(zhì)量穩(wěn)定。

實(shí)施意義：

該標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施對(duì)于提升電子工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率具有重要意義，它不僅為氮?dú)夤?yīng)商提供了明確的產(chǎn)品質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)，也為電子制造商在選擇和使用氮?dú)鈺r(shí)提供了可靠依據(jù)，有助于保障整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的高質(zhì)量發(fā)展。


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  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16944-2009
  • 1997-08-13 頒布
  • 1998-05-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

TCE71.100.20G86中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16944一1997電子工業(yè)用氣體氮Gasesforelectronicindustry-Nitrogen1997-08-13發(fā)布1998-05-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16944-1997本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMIC3.28-92《瓶裝VLSI級(jí)氮標(biāo)準(zhǔn)》1995年版)制定的，在技術(shù)要求上與之等同，檢驗(yàn)方法與之等效在將SEMIC3.28-92轉(zhuǎn)化為本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，結(jié)合我國(guó)的實(shí)際情況，將標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍擴(kuò)大至液態(tài)氮和管道輸送氮，刪去了SEMIC3.28-92中僅作為參考的物理常數(shù)和注釋等內(nèi)容，試驗(yàn)方法中增加了抽樣和氮?dú)饧兌葍蓷l，各項(xiàng)雜質(zhì)含量的測(cè)定，分別采用我國(guó)相應(yīng)的通用試驗(yàn)方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)對(duì)檢測(cè)限和標(biāo)樣要求按SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行了適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。以上變動(dòng)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)無(wú)實(shí)質(zhì)性差異,并使標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院、北京普萊克斯實(shí)用氣體有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：何道善。

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體GB/T16944-1997Gasesforelectronicindustry-Nitrogen本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志等，適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護(hù)、加壓，也用于化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣等。氮?dú)饣瘜W(xué)性質(zhì)不活潑，不可燃，是一種室息性氣體，分子式：N：。相對(duì)分子質(zhì)量：28.0134(按1991年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí),所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T3864-—1996工業(yè)氮GB/T5832.1-86氣體中微量水分的測(cè)定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測(cè)定露點(diǎn)法GB/T6285—86氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法GB/T8981—88氣體中微量氫的測(cè)定氣相色譜法GB/T8984.1-1997，氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測(cè)定氣相色譜法氣體中總烴的測(cè)定GB/T8984.3-1997：火焰離子化法3要求電子工業(yè)用液態(tài)、氣態(tài)氮的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)指標(biāo)V/v指標(biāo)氮?dú)饧兌?10-99.9996-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含最,10-0.5氫含量，10~.（氧含量,10-0.5總烴(以甲烷計(jì))含量,1

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